TWI391591B

TWI391591B - 閘閥

Info

Publication number: TWI391591B
Application number: TW099132609A
Authority: TW
Inventors: Takashi Nagao; Hiroshi Ogawa; Hiromi Shimoda
Original assignee: Smc Corp
Priority date: 2009-10-15
Filing date: 2010-09-27
Publication date: 2013-04-01
Also published as: TW201124656A; JP2011085195A; US20110089354A1; KR101234710B1; KR20110041400A; US8382066B2; CN102042420B; CN102042420A; JP5365867B2

Description

閘閥

本發明是關於被安裝在半導體處理裝置的真空室，使用作為開閉通到該真空室的開口的閘閥。

如下述的專利文獻1或專利文獻2所記載，在半導體處理裝置，在開閉通到真空室的開口使用閘閥。該閘閥具有開閉上述開口的閥板，利用該閥板閉鎖上述開口時，利用空氣汽缸使該閥板朝向與開口對向的對向位置移動時，傾斜該閥板將閥密封按壓在開口周圍的閥薄片部，使上述開口全開時，使上述閥密封從閥薄片部背離之後，利用空氣汽缸使上述閥板移動到與上述開口成為非對向的全開位置，並在其位置待機。

然而，閥板在上述全開位置待機時，該閥板雖與形成上述開口的壁相對，但由於在該閥板與壁面之間有間隙，所以加工氣體等的腐蝕性流體流入該間隙內，使得閥板的表面，尤其閥密封容易因等離子體攻擊或析出物的附著等而受到損傷。因此，不得不頻繁的進行閥板的清掃或閥密封的更換等。

另一方面，在專利文獻3，揭示有可消除這類問題的閘閥。該閘閥，係當閥板移動到與開口非對向的全開位置時，藉由傾斜該閥板，將閥密封按壓在壁面，而構成密封狀態。藉此，由於閥板及閥密封與腐蝕性流體接觸的面積變小，所以可減少因等離子體攻擊或析出物的附著造成該等閥板及閥密封的損傷。

可是，上述專利文獻3記載的閘閥，由於是組合複數(3個)個空氣汽缸來進行使閥板在開口的閉鎖位置與全開位置移動的操作；以及使該閥板在上述閉鎖位置及全開位置傾斜，將閥密封按壓在閥薄片部及壁面的操作，所以會有所謂構造及控制系變的複雜的問題。

專利文獻1：日本特開2000-356271號公報

專利文獻2：日本特開2005-291221號公報

專利文獻3：日本特許第3586657號公報

本發明的目的在於提供一種，可使用1個空氣汽缸來進行使閥板移動到閉鎖位置與全開位置的操作；以及使該閥板在上述閉鎖位置及全開位置傾斜，將閥密封按壓在開口的周圍的閥薄片部及壁面的操作之構造簡單且空氣汽缸用的控制系也簡單的閘閥。

為了達成上述目的，根據本發明提供一種具有：開閉通到真空室的開口的閥板；被設置在該閥板的閥密封；連結該閥板的閥軸；開閉操作該閥板的空氣汽缸；以及介設在該空氣汽缸與上述閥軸之間的作動機構，經由該作動機構利用上述空氣汽缸操作閥軸，藉此使上述閥板朝向與上述開口對向的對向位置、將閥密封朝上述開口的周圍的閥薄片部按壓關閉該開口的閉鎖密封位置、與上述開口非對向的全開位置、以及在該全開位置，將閥密封朝形成上述開口的壁的壁面按壓的開放密封位置移行的閘閥。

上述作動機構是具有：被安裝在上述空氣汽缸的活塞桿的驅動座；被安裝在上述閥軸的槓桿構件；可使該槓桿構件與上述驅動座相對位移地連結的連結機構；使上述槓桿構件傾動的凸輪機構；以及使上述槓桿構件在閥板的上述對向位置或全開位置停止的擋止機構。

上述凸輪機構是由：被形成在上述驅動座的凸輪溝；以及被安裝在上述槓桿構件的凸輪從動件所形成，該凸輪從動件是在上述凸輪溝內，藉由上述驅動座和槓桿構件的相對性的位移，從卡合在該凸輪溝的中央的中間卡合位置，朝該凸輪溝的一端的第1卡合位置或另一端的第2卡合位置移動，並藉由這樣的移動，使上述槓桿構件、閥軸、及閥板成一體的傾動。

又，上述連結機構是具有：連結台座；介設在該連結台座與上述槓桿構件之間的槓桿彈簧；以及介設在該連結台座與上述驅動座之間的導向彈簧，上述凸輪從動件位在中間卡合位置時，使上述驅動座與槓桿構件成為一體狀態，上述凸輪從動件在上述凸輪溝內從中間卡合位置往第1卡合位置或第2卡合位置移動時，藉由上述槓桿彈簧或導向彈簧的變形，使上述驅動座與槓桿構件相對位移，而可使該槓桿構件傾動。

再者，上述擋止機構是具有：被設置在上述槓桿構件的第1抵接構件及第2抵接構件；以及與上述空氣汽缸處於固定關係的第1擋止及第2擋止，藉由一方的抵接構件與一方的擋止的抵接，使槓桿構件在上述對向位置停止，藉由另一方的抵接構件與另一方的擋止的抵接，使槓桿構件在上述全開位置停止。

本發明中，在上述驅動座，台座承座與底座彈簧承座分開間隔形成在該驅動座的移動方向，又，在上述槓桿構件，槓桿彈簧承座隔著上述底座彈簧承座以佔據與上述台座承座相反的位置的方式被形成，上述連結台座可位移地配設在上述台座承座與底座彈簧承座之間，在該連結台座與上述槓桿彈簧承座之間介設有上述槓桿彈簧，並且在上述連結台座與上述底座彈簧承座之間介設有上述導向彈簧。

在本發明，理想是為了引導上述連結台座，將兩根平行的導軸以貫穿該連結台座的方式安裝在上述台座承座與底座彈簧承座，且設有兩個捲繞各導軸而形成螺旋狀的上述導向彈簧。

又，本發明中，當上述凸輪從動件在凸輪溝內從中間卡合位置朝第1卡合位置移動時，上述連結台座卡止在驅動座，使槓桿彈簧變形，當上述凸輪從動件在凸輪溝內從中間卡合位置朝第2卡合位置移動時，上述連結台座卡止在槓桿構件，使導向彈簧變形為理想。

本發明的理想的構成態樣中，在上述空氣汽缸的左右兩側，被連結在閥板的兩端的兩根的閥軸、以及與各閥軸對應的兩組的作動機構，隔著上述空氣汽缸對稱配設。

本發明的閘閥，是將使用彈簧的連結機構與凸輪機構介設在利用空氣汽缸操作的驅動座與被安裝在閥軸的槓桿構件之間，並且設置使槓桿構件在閥板的對向位置或全開位置停止的擋止機構，藉此可使用1個空氣汽缸進行使閥板在上述對向位置與全開位置移動的操作；以及進行使該閥板在該等對向位置及全開位置傾動，使閥密封抵接在開口周圍的閥薄片部及壁面，此結果，可將閘閥的構造及空氣汽缸的控制系做成簡單者。

實施發明用的形態

圖表示本發明的閘閥的一實施形態。該閘閥是與半導體處理裝置的真空室70(參閱圖3)連接開閉通到該真空室70的開口4者，並在該真空室70的排氣；或對該真空室70進行半導體晶圓的取出放入之際等，開閉上述開口4者。該閘閥是如圖1～圖4所示，具有與上述真空室70連接的閥箱1；以及與該閥箱1的下部連接的作動部腔體2。

上述閥箱1為四角箱形，在相對的前後壁1a及1b，並在通到上述真空室70的側面形成有長矩形的開口4與開口5，在該閥箱1的內部，在開閉前方的壁1a的開口4的側面收容有長矩形的閥板6。而且，在上述前方的壁1a的內面形成有圍繞上述開口4的矩形或長圓形的閥薄片部7，在上述閥板6的前面安裝有與該閥薄片部7抵接關閉上述開口4的矩形或長圓形的閥密封8。

又，在上述閥板6的上端部形成有連通孔6a，該閥板6在上述開口4全開的位置待機時，以該連通孔6a構成上述開口4與開口5沒有障礙的連通。可是，該連通孔6a並不一定必須要有，也可沒有形成有閥板6的該連通孔6a的上端部。

在上述閥板6的左右兩端部連結有兩根閥軸10的上端，該閥軸10的下端部是以可傾動的方式貫穿上述閥箱1的底壁1c與作動部腔體2的上端的閥帽板2a，延伸到該作動部腔體2的內部。

在上述作動部腔體2的內部配設有：單一的空氣汽缸11；以及介設在該空氣汽缸11與上述兩根的閥軸10之間的兩組的作動機構12，藉由上述單一的空氣汽缸11經由兩組的作動機構12操作兩根的閥軸10，構成上述閥板6佔據與上述開口4對向的對向位置(圖5、圖6)；將閥密封8按壓在閥薄片部7，閉鎖上述開口4的閉鎖密封位置(圖7、圖8)；位於與上述開口4非對向的位置的全開位置(圖9、圖10)；以及在該全開位置，將閥密封8按壓在閥箱1的前方的壁1a的壁面9的開放密封位置(圖11、圖12)。

此外，閘閥的實際的操作下，以閥板6封閉開口4時，該閥板6從圖11、圖12的開放密封位置朝圖9、圖10的全開位置；圖5、圖6的對向位置；圖7、圖8的閉鎖密封位置依序動作，開放開口4時，雖與此相反順序作動，但為了說明的方便，本閘閥的構造的說明是如圖1～圖4示，針對閥板6位在中間動作位置的情況進行說明。

上述空氣汽缸11是具有：成角柱狀的缸體15；該缸體15的內部的活塞16；被連結在該活塞16的活塞桿17，所以在上述閥帽板2a的下面活塞桿17以向下伸縮的姿勢被垂直固定，在該空氣汽缸11的左右兩側的位置，上述兩根的閥軸10與兩組的作動機構12隔著該空氣汽缸11對稱配設。因此，上述空氣汽缸11的中心軸線L與閘閥的中心軸線一致。

上述作動機構12是具有：與上述空氣汽缸11的活塞桿17連結，而與該活塞桿17一起移動的驅動座20；被固定在上述閥軸10與該閥軸10一起移動的槓桿構件21；以可使該槓桿構件21與上述驅動座20相對位移的方式連結的連結機構22；以及使上述槓桿構件21傾動的凸輪機構23；以及使上述槓桿構件21在上述閥板6的對向位置或全開位置停止的擋止機構24。

上述驅動座20是由將中央部連結在上述活塞桿17，朝左右均等地延伸的1片的板狀的構件20A所構成，該構件20A的右半部形成右側的作動機構12的驅動座20，左半部形成左側的作動機構12的驅動座20。

又，上述槓桿構件21是由做成U字形的1個構件21A所形成，該構件21A是在活塞桿17自有貫穿該構件的水平的底板的中央的孔的狀態下，以沿著上述缸體15的側面位移的方式配設在上述驅動座20與閥帽板2a之間。然後，該構件21A的右半部形成右側的作動機構12的槓桿構件21，左半部形成左側的作動機構12的槓桿構件21。上述槓桿構件21，在其側面具有軸安裝部26，在該軸安裝部26的位置藉由螺帽27被固定在上述閥軸10的下端。

在被安裝在上述閥帽板2a的筒狀的支撐構件29；與被安裝在閥軸10的環狀的支撐構件30，以圍繞該閥軸10的一部分的方式，連結伸縮自如的波紋管31的兩端，在該波紋管31，上述閥箱1的內部與作動部腔體2的內部彼此被遮斷，而形成閥箱1內的加工氣體不會流入到作動部腔體2的內部。

為了形成上述凸輪機構23，在上述驅動座20，在從其端部靠近稍微內側亦即靠近中心軸線L側的位置固定有沿著上述槓桿構件21的外面朝中心軸線L方向(驅動座20的移動方向)延伸的凸輪板34，在該凸輪板34形成有在中央彎折成ㄑ字形的形狀的凸輪溝35。

而相對於此，在上述槓桿構件21的下端部的外側面固定有貫穿上述凸輪溝35水平延伸到上述驅動座20的端部附近的凸輪軸36，在該凸輪軸36的中間位置，由滾子構成的凸輪從動件37旋轉自如地被安裝，該凸輪從動件37卡合在上述凸輪溝35。該凸輪從動件37是當維持著上述驅動座20和槓桿構件21保持著一定的位置關係的狀態而不會相對位移的狀態(一體狀態)時，佔據卡合在上述凸輪溝35的中央的中間卡合位置A，當上述驅動座20與槓桿構件21相對位移時，可從上述中間卡合位置A朝凸輪溝35的一端的第1卡合位置B或另一端的第2卡合位置C移動。而且，藉由該凸輪從動件37的移動，沿著上述凸輪溝35的傾斜，上述槓桿構件21、閥軸10、及閥板6成為一體傾動，使該閥板6佔據上述閉鎖密封位置(圖8)或開放密封位置(圖12)。

又，為了構成上述連結機構22，在上述驅動座20的端部形成有台座承座40，並且在上述凸輪板34的上端部外側面，板狀的底座彈簧座41與上述台座承座40平行固定，在該等台座承座40與底座彈簧承座41之間，做成板狀的連結台座42以可沿著兩根的平行的導軸43位移的方式被配設。上述導軸43是與中心軸線L平行配設，並將上下端固定在上述台座承座40與底座彈簧承座41，而貫穿上述連結台座42。又，在上述連結台座42的上面固定有倒溝形的卡止構件44，上述凸輪軸36的端部進入該卡止構件44的倒溝的內部。

另一方面，在上述槓桿構件21的軸安裝部26形成有槓桿彈簧承座45，該槓桿彈簧承座45是隔著上述底座彈簧承座41佔據與上述台座承座40相反側的位置。而且，形成螺旋狀的1個槓桿彈簧47是以貫穿被形成在底座彈簧承座41的孔41a的狀態下，成壓縮狀態介設在該槓桿彈簧承座45與上述連結台座42的卡止構件44之間，又，以環繞上述導軸43的方式形成螺旋狀的兩個導向彈簧48是以壓縮狀態介設在上述連結台座42與上述底座彈簧承座41之間。

上述連結台座42平常藉由上述槓桿彈簧47與導向彈簧48的彈推力被按壓在驅動座20的台座承座40，藉此，上述驅動座20與槓桿構件21互相保持一定的位置關係的狀態下，維持不會相對位移的一體狀態。此時，上述凸輪從動件37佔據凸輪溝35中央的中間卡合位置A。又，連結台座42的卡止構件44是處於由上與凸輪軸36接觸的狀態，但藉由該凸輪軸36舉起也不至使連結台座42從上述台座承座40浮起。

而且，上述驅動座20與槓桿構件21維持一體狀態下，藉由空氣汽缸11移動到上述對向位置或全開位置，藉由擋止機構24使槓桿構件21停止在其位置之後，當驅動座20移動時，由於凸輪溝35相對於凸輪從動件37位移，所以該凸輪從動件37成為往上述第1卡合位置B或第2卡合位置C進行相對性的移動。此時，藉由往驅動座20(凸輪溝35)的上方的移動，使上述凸輪從動件37從中間卡合位置A往凸輪溝35下端的第1卡合位置B移動時，由於上述連結台座42卡止在驅動座20的狀態下與該驅動座20成一體移動，進而壓縮槓桿彈簧47。又，藉由往驅動座20(凸輪溝35)的下方的移動，使上述凸輪從動件37從中間卡合位置A往凸輪溝35上端的第2卡合位置C移動時，由於上述連結台座42的卡止構件44卡止在凸輪軸36，使該連結台座42卡止在槓桿構件21，所以該連結台座42也停止在其位置，進而壓縮導向彈簧48。

上述擋止機構24是由：被設置在槓桿構件21，且在該槓桿構件21的移動方向分開間隔的第1抵接構件51及第2抵接構件52；以及與空氣汽缸11的缸體15成固定關係的方式被配設的第1擋止53及第2擋止54所形成。

上述第1抵接構件51及第2抵接構件52是由滾子所形成，第1抵接構件51被配設在槓桿構件21的上部側，第2抵接構件52被配設在槓桿構件21的下部側。

而相對於此，上述第1擋止53及第2擋止54是形成可嵌合上述滾子的凹狀，上述第1擋止53被設置在閥帽板2a的下面，第2擋止54被設置在缸體15的側面。

而且，上述第1抵接構件51與第1擋止53抵接的位置為閥板6的對向位置，又，上述第2抵接構件52與第2擋止54抵接的位置為閥板6的全開位置，在該等位置，上述槓桿構件21停止移動。

在上述驅動座20與槓桿構件21，設有當該等驅動座20與槓桿構件21處於一體狀態時，使槓桿構件21不會傾斜用的姿勢控制機構25。該姿勢控制機構25是由：被固定在上述凸輪板34的上端的溝槽板57；與被安裝在上述槓桿構件21的側面的卡止銷58所形成。

在上述溝槽板57，從其上端朝向下方形成卡止槽59，且該卡止槽59的溝槽寬幅，是在上端部部分變窄，在這以外的部分變寬。

上述卡止銷58是當上述驅動座20與槓桿構件21成一體狀態時，卡止在上述卡止槽59的上端的溝槽寬幅狹窄的部分，藉此，防止上述槓桿構件21的傾斜，當上述驅動座20與槓桿構件21相對位移時，藉由往上述卡止槽59內的溝槽寬幅寬的部分移動或從該卡止槽59脫離的方式，容許上述槓桿構件21的傾斜。亦即，當驅動座20朝向閉鎖密封位置往上方移動時，上述卡止銷58在上述卡止槽59內移動到溝槽寬幅寬的部分，當驅動座20朝向開放密封位置往下方移動時，上述卡止銷58佔據從上述卡止槽59朝上方脫落的位置。

又，為了在位於上述空氣汽缸11的內部的活塞16的兩側的第1及第2的兩個壓力室61a、61b供給排出壓縮空氣，與各壓力室61a、61b個別連通的第1及第2的兩根的導管62a、62b從缸體15向下延出，在該導管62a、62b的下端安裝有通道板63。該通道板63是可兼作為上述作動部腔體2的底板，且在側面具有第1及第2的兩個通道64a、64b，並且在內部具有與該通道64a、64b連通的兩個流路，該流路個別與上述導管62a、62b連通。然後，藉由對上述兩個通道64a、64b交替進行壓縮空氣的供給排出，使上述活塞16上下驅動，來操作閥板6。

具有上述構造的閘閥中，圖2～圖4表示從第1通道64a通過第1導管62a將壓縮空氣供給到空氣汽缸11的第1壓力室61a內，並且使第2壓力室61b內的空氣從第2導管62b通過第2通道64b排出到外部，藉此，活塞桿17上昇，閥板6成為從圖12的開放密封位置朝向圖8的閉鎖密封位置的途中的中間動作狀態。此時，上述驅動座20與槓桿構件21是藉由連結機構22維持一體狀態，上述凸輪機構23的凸輪從動件37位在中間卡合位置A，上述擋止機構24的第1抵接構件51及第2抵接構件52與第1擋止53及第2擋止54皆處於非抵接的狀態，上述姿勢控制機構25的卡止銷58是卡止在上述卡止槽59的上端的溝槽寬幅的狹窄的部分，防止上述槓桿構件21的傾斜。

由上述圖2～圖4的狀態，藉由對第1壓力室61a進一步供給的壓縮空氣，當空氣汽缸11的活塞桿17上昇時，如圖5及圖6所示，槓桿構件21的上端的第1抵接構件51抵接在第1擋止53，該槓桿構件21停止在其位置。因此，被固定在該槓桿構件21的閥軸10及閥板6也同樣停止，該閥板6佔據與開口4對向的對向位置。

可是，由於上述槓桿構件21停止之後驅動座20也還是會因活塞桿17而繼續上昇，所以如圖7及圖8所示，經由卡止在該驅動座20的連結台座42壓縮槓桿彈簧47，並且該驅動座20的凸輪溝35相對於上述槓桿構件21的凸輪從動件37往上方位移。藉由該凸輪溝35的位移，上述凸輪從動件37從中間卡合位置A往該凸輪溝35下端的第1卡合位置B相對性的位移，藉由該凸輪從動件37的移動，沿著凸輪溝35的傾斜，上述槓桿構件21與閥軸10和閥板6成一體的傾動，將該閥板6的閥密封8按壓在閥薄片部7，該閥板6佔據閉鎖密封位置。

又，在上述姿勢控制機構25，卡止槽59與上述驅動座20一起往上方位移，因此，上述槓桿構件21的卡止銷58在該卡止槽59內往下方移動，移動到溝槽寬幅寬的部分，容許該槓桿構件21的傾動。

接著，從上述圖7及圖8的閉鎖密封位置開放上述開口4時，從第2通道64b經過第2導管62b將壓縮空氣供給到空氣汽缸11的第2壓力室61b內時，第1壓力室61a內的空氣從第1導管62a經由第1通道64a被排出到外部。藉此，首先如上述圖5及圖6所示，藉由活塞桿17的下降力；與被壓縮的上述槓桿彈簧47的彈性復原力，上述驅動座20下降，與該下將一起凸輪溝35也下降，因此，上述凸輪從動件37在凸輪溝35內從第1卡合位置B移行到中間卡合位置A，並與該移行一起解除上述槓桿構件21、閥軸10、及閥板6的傾斜，閥密封8從閥薄片部7離開，且閥板6佔據對向位置。又，上述驅動座20與槓桿構件21是藉由連結機構22成為一體狀態，上述卡止銷58是卡合在卡止槽59的上端的溝槽寬幅的狹窄的部分。

接者，活塞桿17從上述狀態繼續下降時，經過圖3及圖4所示的動作狀態，如圖9及圖10所示，槓桿構件21的下方的第2抵接構件52與第2擋止54抵接，該槓桿構件21在該位置停止。因此，閥軸10及閥板6也與該槓桿構件21一起停止，該閥板6在從開口4遠離的位置，佔據該開口4與非對向的全開位置。又，連結台座42上的卡止構件44藉由從上方卡止在凸輪軸36，該連結台座42的下降也在其位置停止。

可是，上述驅動座20藉由活塞桿17也更進一步繼續下降，所以如圖11及圖12所示，壓縮該驅動座20的底座彈簧承座41與上述連結台座42之間的導向彈簧48，並且該驅動座20的凸輪溝35相對於上述槓桿構件21的凸輪從動件37朝下方位移。藉由該凸輪溝35的位移，上述凸輪從動件37從中間卡合位置A朝該凸輪溝35上端的第2卡合位置C相對性的位移，藉由該凸輪從動件37的移動，沿著凸輪溝35的傾斜，上述槓桿構件21、閥軸10、及閥板6形成一體的傾動，將該閥板6的閥密封8朝閥箱1的壁1a的內壁面9按壓，該閥板6佔據開放密封位置。

又，在上述姿勢控制機構25，由於上述卡止槽59與驅動座20一起往下方位移，所以上述槓桿構件21的卡止銷58從該卡止槽59脫落到外部，容許上述槓桿構件21的傾動。

而且，從上述圖11及圖12的開放密封位置關閉上述開口4時，使相對於空氣汽缸11的第1及第2壓力室61a、61b的壓縮空氣的供排關係反轉。藉此，首先藉由活塞桿17的上昇力與被壓縮的上述導向彈簧48的彈性復原力，上述驅動座20上昇，與此上昇一起凸輪溝35也上昇，所以上述凸輪從動件37在凸輪溝35內從第2卡合位置C朝中間卡合位置A移行，與該移行一起解除了上述槓桿構件21、閥軸10、及閥板6的傾斜，閥密封8從壁1a的壁面9遠離，閥板6是如圖9及圖10佔據全開位置。又，上述連接底座藉由抵接在驅動座20的台座承座40，該驅動座20與槓桿構件21成為一體狀態，上述卡止銷58卡合在卡止槽59的上端的溝槽寬幅的狹窄的部分。

然後，藉由活塞桿17從上述的狀態持續的上昇，作動機構12經由圖3及圖4的動作狀態，閥板6以往閉鎖密封位置移行的方式動作。

如此根據上述實施形態，將由彈簧47、48及連結台座42構成的連結機構22、與凸輪機構23介設在由空氣汽缸11所操作的驅動座20與安裝在閥軸10的槓桿構件21之間，並且，設置使上述槓桿構件21在閥板6的對向位置或全開位置停止的擋止機構24，藉此，可使用1個空氣汽缸11進行使上述閥板6從開放密封位置朝閉鎖密封位置移行或與此相反的反方向的移行的操作。因此，與使用複數個空氣汽缸的習知產品相比，可作成閘閥的構成簡單，且空氣汽缸的控制系也簡單者。

上述實施形態中，閘閥具有閥箱1，在該閥箱1的內部雖收容有閥板6，但這樣的閥箱1並不是必要的，僅留下相當於該閥箱1的前方的壁1a的壁面，即使沒有該閥箱1的後方的壁1b、左右的壁及上部的壁也無所謂。如此所構成的閘閥適合使用作為在真空室進行半導體晶圓的取出放入的開口的開閉者。此外，可依照需要省略形成上述閥板6的上端部的連通孔6a的部分的這個特徵，是與前述的實施形態的情況同樣。

6a．．．連通孔

8．．．閥密封

10．．．閥軸

2a．．．閥帽板

26．．．軸安裝部

27．．．螺帽

21．．．槓桿構件

12．．．作動機構

47．．．槓桿彈簧

22．．．連結機構

48．．．導向彈簧

20．．．驅動座

21A．．．U字形的1個構件

17．．．活塞桿

63．．．通道板

11．．．空氣汽缸

57．．．溝槽板

20A．．．板狀的構件

62a．．．導管

34．．．凸輪板

62b．．．導管

1c．．．底壁

45．．．槓桿彈簧承座

41．．．底座彈簧座

41a．．．孔

42．．．連結台座

36．．．凸輪軸

44．．．卡止構件

40．．．台座承座

64a．．．通道

64b．．．通道

4．．．開口

1．．．閥箱

29．．．筒狀的支撐構件

51．．．第1抵接構件

31．．．波紋管

30．．．環狀的支撐構件

15．．．缸體

35．．．凸輪溝

23．．．凸輪機構

37．．．凸輪從動件

2．．．作動部腔體

34．．．凸輪板

61b．．．壓力室

16．．．活塞

61a．．．壓力室

24．．．擋止機構

70．．．真空室

1a．．．前壁

7．．．閥薄片部

16．．．活塞

5．．．開口

6．．．閥板

43．．．導軸

53．．．第1擋止

52．．．第2抵接構件

54．．．第2擋止

59．．．卡止槽

58．．．卡止銷

25．．．姿勢控制機構

C．．．第2卡合位置

A．．．中間卡合位置

B．．．第1卡合位置

1b．．．後壁

9．．．壁面

圖1是省略閥箱及作動部腔體所示的本發明的一實施形態的中間動作狀態的立體圖。

圖2為圖1的部分破斷前視圖。

圖3為圖2的右側面圖。

圖4為沿著圖2的IV-IV線的剖面圖。

圖5為閥板位於對向位置的動作狀態的右側面圖。

圖6是位在與和圖5同樣的動作狀態的圖4的同樣位置的剖面圖。

圖7為閥板位於閉鎖密封位置的動作狀態的右側面圖。

圖8是位在與和圖7同樣動作狀態的圖4的同樣位置的剖面圖。

圖9是閥板位於全開位置的動作狀態的右側面圖。

圖10是位在與和圖9同樣的動作狀態的圖4的同樣位置的剖面圖。

圖11為閥板位於開放密封位置的動作狀態的右側面圖。

圖12是位在與和圖11同樣動作狀態的圖4的同樣位置的剖面圖。

1c．．．閥箱1的底壁

2a．．．閥帽板

6a．．．連通孔

6．．．閥板

8．．．閥密封

10．．．閥軸

11．．．空氣汽缸

12．．．作動機構

17．．．活塞桿

20．．．驅動座

20A．．．板狀的構件

21．．．槓桿構件

21A．．．U字形的1個構件

22．．．連結機構

26．．．軸安裝部

27．．．螺帽

34．．．凸輪板

36．．．凸輪軸

40．．．台座承座

41．．．底座彈簧座

41a．．．孔

42．．．連結台座

44．．．卡止構件

45．．．槓桿彈簧承座

47．．．槓桿彈簧

48．．．導向彈簧

52．．．第2抵接構件

57．．．溝槽板

62a．．．導管

62b．．．導管

63．．．通道板

64a．．．通道

64b．．．通道

Claims

一種閘閥，係具有：開閉通到真空室的開口的閥板；被設置在該閥板的閥密封；連結該閥板的閥軸；開閉操作該閥板的空氣汽缸；以及介設在該空氣汽缸與上述閥軸之間的作動機構，其中經由該作動機構利用上述空氣汽缸操作閥軸，藉此使上述閥板朝向與上述開口對向的對向位置、將閥密封朝上述開口的周圍的閥薄片部按壓關閉該開口的閉鎖密封位置、與該開口非對向的全開位置、以及在該全開位置，將閥密封朝形成上述開口的壁的壁面按壓的開放密封位置移行之閘閥，其特徵為：上述作動機構具有：被安裝在上述空氣汽缸的活塞桿的驅動座；被安裝在上述閥軸的槓桿構件；可使該槓桿構件與上述驅動座相對位移地連結的連結機構；使上述槓桿構件傾動的凸輪機構；以及使上述槓桿構件在閥板的上述對向位置或全開位置停止的擋止機構，上述凸輪機構，是由：被形成在上述驅動座的凸輪溝；以及被安裝在上述槓桿構件的凸輪從動件所形成，該凸輪從動件是在上述凸輪溝內，藉由上述驅動座和槓桿構件的相對性的位移，可從卡合在該凸輪溝的中央的中間卡合位置，朝該凸輪溝的一端的第1卡合位置或另一端的第2卡合位置移動，並藉由這樣的移動，使上述槓桿構件、閥軸、及閥板成一體的傾動，上述連結機構，是具有：連結台座；介設在該連結台座與上述槓桿構件之間的槓桿彈簧；以及介設在該連結台座與上述驅動座之間的導向彈簧，上述凸輪從動件位在中間卡合位置時，使上述驅動座與槓桿構件成為一體狀態，上述凸輪從動件在上述凸輪溝內從中間卡合位置往第1卡合位置或第2卡合位置移動時，藉由上述槓桿彈簧或導向彈簧的變形，使上述驅動座與槓桿構件相對位移，而可使該槓桿構件傾動，上述擋止機構是具有：被設置在上述槓桿構件的第1抵接構件及第2抵接構件；以及與上述空氣汽缸處於固定關係的第1擋止及第2擋止，藉由一方的抵接構件與一方的擋止的抵接，使槓桿構件在上述對向位置停止，藉由另一方的抵接構件與另一方的擋止的抵接，使槓桿構件在上述全開位置停止。
如申請專利範圍第1項記載的閘閥，其中，在上述驅動座，台座承座與底座彈簧承座分開間隔形成在該驅動座的移動方向，又，在上述槓桿構件，槓桿彈簧承座隔著上述底座彈簧承座以佔據與上述台座承座相反的位置的方式被形成，上述連結台座可位移地配設在上述台座承座與底座彈簧承座之間，在該連結台座與上述槓桿彈簧承座之間介設有上述槓桿彈簧，並且在上述連結台座與上述底座彈簧承座之間介設有上述導向彈簧。
如申請專利範圍第2項記載的閘閥，其中，為了引導上述連結台座，將兩根平行的導軸以貫穿該連結台座的方式安裝在上述台座承座與底座彈簧承座，且設有兩個捲繞各導軸而形成螺旋狀的上述導向彈簧。
如申請專利範圍第1至3項中任一項記載的閘閥，其中，當上述凸輪從動件在凸輪溝內從中間卡合位置朝第1卡合位置移動時，上述連結台座卡止在驅動座，使槓桿彈簧變形，當上述凸輪從動件在凸輪溝內從中間卡合位置朝第2卡合位置移動時，上述連結台座卡止在槓桿構件，使導向彈簧變形。
如申請專利範圍第1至3項中任一項記載的閘閥，其中，在上述空氣汽缸的左右兩側，被連結在閥板的兩端的兩根的閥軸、以及與各閥軸對應的兩組的作動機構，隔著上述空氣汽缸對稱配設。
如申請專利範圍第4項記載的閘閥，其中，在上述空氣汽缸的左右兩側，被連結在閥板的兩端的兩根的閥軸、以及與各閥軸對應的兩組的作動機構，隔著上述空氣汽缸對稱配設。