KR20130079916A - 진공 차단 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 진공 챔버의 출입구를 개폐하는 진공 차단 장치에 관한 것으로, 본 발명은 실시예로, 진공 챔버에 연결된 하우징의 내부에서 승강 이동하며, 상기 하우징의 전후로 관통된 출입구를 개방하거나 폐쇄하는 것으로, 상기 하우징의 내부에 구비되고 복수의 실린더부재를 구비하는 지지패널, 일면이 상기 실린더부재에 연결되고 타면은 상기 출입구의 주연부와 분리 가능하게 밀착되는 밸브판 및 상기 하우징에 결합되어 있고 상기 지지패널을 상기 출입구의 위치로 왕복 이송시키는 구동부를 포함하고, 상기 실린더부재는 압축공기에 의하여 작동되는 것이고, 상기 지지패널의 길이 방향 및 상기 길이 방향과 수직하는 폭 방향에 대하여 각기 복수가 배치되어 있는 진공 차단 장치를 제시한다.

Description

진공 차단 장치{Vacuum isolation apparatus}

본 발명은 진공 챔버의 출입구를 개폐하는 진공 차단 장치에 관한 것이다.

영상표시장치는 대형화 추세에 있으며, 그에 따라 영상표시장치에 사용되는 FPD 등 액정패널이 큰 사이즈로 제작되고 있다. 액정패널의 제조는 다양한 진공 영역에서 해당 제조 공정이 진행되는데, 각 제조 공정마다 요구되는 진공도를 구현하기 위하여 복수의 진공 챔버를 연결하여 구성하고, 각 진공 챔버의 출입구를 개폐하는 슬롯밸브와 같은 진공 차단 장치가 구비된다.

종래의 진공 차단 장치가 개폐하는 진공 챔버의 출입구는 액정패널의 사이즈에 따라 길이방향에 비하여 폭이 좁은 슬롯 형상이었다. 이러한 출입구보다 큰 면적을 가지는 밸브판으로 출입구의 주변부를 밀착하여 출입구를 차폐하는 진공 차단 장치의 작동 부하는 그리 크지 아니한 것이었다. 그러나 액정패널의 사이즈 증대에 따라 출입구의 개방 면적이 증대되면서 진공 차단 장치의 작동 부하도 증대되고, 종래의 기술에 따른 메커니즘으로는 출입구 차폐의 신뢰성이 저하되는 문제점이 있다.

출입구 개방 면적은 그 길이 방향으로 증가할뿐만 아니라 폭 방향으로도 증대되는 것이다. 따라서 길이와 폭이 모두 함께 커진 출입구를 높은 신뢰성으로 기밀할 수 있는 진공 차단 장치의 개발이 요구되고 있다.

[특허문헌1] 대한민국공개특허 제10-2011-0090594호 (2011.08.10) [특허문헌2] 대한민국공개특허 제10-2010-0061214호 (2010.06.07) [특허문헌3] 대한민국공개특허 제10-2010-0051376호 (2010.05.17) [특허문헌4] 대한민국공개특허 제10-2009-0081282호 (2009.01.23)

본 발명은 전술된 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 대형 액정패널이 통과하는 진공 챔버의 출입구를 높은 신뢰성을 가지며 차폐할 수 있게 하기 위한 것이다.

구체적으로 출입구를 차폐하는데 소요되는 작동 부하를 고르게 분산 지지할 수 있게 하며, 작동 출력을 향상시켜 안정된 출입구의 차폐가 가능케 하기 위한 것이다.

상기 과제를 위하여 본 발명은 실시예로, 진공 챔버에 연결된 하우징의 내부에서 승강 이동하며, 상기 하우징의 전후로 관통된 출입구를 개방하거나 폐쇄하는 것으로, 상기 하우징의 내부에 구비되고 복수의 실린더부재를 구비하는 지지패널, 일면이 상기 실린더부재에 연결되고 타면은 상기 출입구의 주연부와 분리 가능하게 밀착되는 밸브판 및 상기 하우징에 결합되어 있고 상기 지지패널을 상기 출입구의 위치로 왕복 이송시키는 구동부를 포함하고, 상기 실린더부재는 압축공기에 의하여 작동되는 것이고, 상기 지지패널의 길이 방향 및 상기 길이 방향과 수직하는 폭 방향에 대하여 각기 복수가 배치되어 있는 진공 차단 장치를 제시한다.

여기서, 상기 폭 방향에 따라 배열된 실린더부재들에서 왕복 이동하며 상기 지지패널에서 돌출되는 피스톤부재들에 안정판이 결합될 수 있다.

또한 진공 챔버에 연결된 하우징의 내부에서 승강 이동하며, 상기 하우징의 전후로 관통된 출입구를 개방하거나 폐쇄하는 것으로, 상기 하우징의 내부에 구비되고 복수의 실린더부재를 구비하는 지지패널, 일면이 상기 실린더부재에 연결되고 타면은 상기 출입구의 주연부와 분리 가능하게 밀착되는 밸브판 및 상기 하우징에 결합되어 있고 상기 지지패널을 상기 출입구의 위치로 왕복 이송시키는 구동부를 포함하고, 상기 실린더부재는 압축공기에 의하여 작동되는 것이며, 상기 구동부는 상기 하우징의 외측에 연결되어 있는 액추에이터, 상기 액추에이터에 연결되어 있으며 액추에이터의 작동에 따라 승강이동하는 링크암 그리고 일단은 상기 링크암에 고정되고, 상기 하우징을 관통하여 타단이 상기 지지패널에 고정되는 구동암을 포함하는 진공 차단 장치를 제시한다.

여기서, 상기 구동암은 적어도 한 쌍이 상기 액추에이터를 기준으로 대칭을 이루도록 배치될 수 있다. 나아가, 상기 구동암들에는 상기 실린더부재의 작동을 위한 압축공기가 통과하는 에어홀이 형성되어 있고, 어느 한 구동암의 에어홀은 압축공기의 주입에 사용되며, 상기 구동암과 상기 액추에이터를 기준으로 대칭을 이루는 다른 구동암의 에어홀은 압축공기의 배출에 사용되도록 구성할 수 있다.

추가로 구동부에는 상기 구동암이 통과하는 상기 하우징의 관통홀 주연부를 감싸는 벨로우즈, 상기 구동암의 둘레를 감싸며 상기 하우징의 내부와 상기 벨로우즈의 내부를 연통시키는 연결홀이 형성되어 있는 차단블록 그리고 상기 관통홀의 둘레에 장착되어 있으며 일부가 돌출되어 상기 차단블록과 접하는 오링을 포함하도록 구성하여, 하우징 내부와의 압력 차이에 의한 벨로우즈의 파손을 저감할 수 있다.

다른 실시예로 진공 챔버에 연결된 하우징의 내부에서 승강 이동하며, 상기 하우징의 전후로 관통된 출입구를 개방하거나 폐쇄하는 것으로, 상기 하우징의 내부에 구비되고 복수의 실린더부재를 구비하는 지지패널과, 일면이 상기 실린더부재에 연결되고 타면은 상기 출입구의 주연부와 분리 가능하게 밀착되는 밸브판과, 상기 하우징에 결합되어 있고 상기 지지패널을 상기 출입구의 위치로 왕복 이송시키는 구동부를 포함하고, 상기 구동부는 상기 하우징의 바닥판에 결합되는 액추에이터, 상기 액추에이터에 연결되어 승강하는 링크암 및 일단은 상기 링크암에 고정되고, 상기 바닥판을 관통하여 타단이 상기 지지패널에 고정되어 있는 구동암을 포함하는 진공 차단 장치를 제시한다.

여기서, 상기 구동부는 상기 바닥판에 결합되는 실린더몸체와, 리니어 축의 일단이 상기 링크암에 고정되며, 상기 리니어 축에 결합되는 리니어 베어링 너트는 상기 실린더몸체에 고정되는 리니어 베어링 부시를 포함할 수 있다.

여기서, 리니어 베어링 부시를 대신하여 스플라인 부시 등 공지된 구성의 정밀 직선 운동 기구가 구비될 수도 있다.

더하여, 상기 구동부는 상기 액추에이터의 양측 각각에 상기 실린더몸체 및 리니어 베어링 부시가 배치되고, 상기 액추에이터를 중심으로 대칭을 이루며 상기 실린더몸체 및 리니어 베어링 부시에 이웃하여 상기 구동암을 구비할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 지지패널의 길이 방향뿐만 아니라 길이 방향과 수직하는 폭 방향으로도 복수가 구비됨으로써 출입구를 폐쇄하는 대형 밸브판의 작동이 안정되게 이루어지게 한다. 특히 높은 압력으로 대형 밸브판을 가압하려 할 때에 복수의 실린더부재는 요구되는 가압력을 발휘할 수 있게 하는 것이다.

또 실린더부재가 압축공기를 사용함에 따라 밸브판의 출입구 주변 가압력을 용이하게 조절할 수 있는 장점을 가지며, 작동 유체의 누출에 따른 오염의 문제가 해소되는 장점을 갖는다.

또 구동부는 큰 사이즈로 제작되는 지지패널과 밸브판을 안정되게 하우징의 내부에서 이동시킴에 따라 정밀하며 안정된 작동이 보장되고, 그에 따라 작동 신뢰성이 향상되는 것이다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 진공 차단 장치를 도시한 사시도.
도 2는 도 1에 도시된 실시예를 일부 분해한 사시도.
도 3은 도 2에 도시된 실시예에 채용된 실린더부재의 단면도.
도 4는 도 2에 도시된 실시예의 정면도.
도 5는 도 2에 도시된 실시예의 사용 상태를 나타낸 단면도.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 진공 차단 장치의 정면도.

이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 실시예에 따른, 진공 차단 장치의 구성, 기능 및 작용을 설명한다. 단, 동일한 구성요소에 대한 도면번호는 통일하여 사용한다.

도 1을 참고하면 본 발명의 실시예에 따른 진공 차단 장치(10)는 진공 챔버에 연결되는 하우징(200)의 내부에 승강 이동하며, 하우징(200)의 전후로 관통된 출입구(210)를 개방하거나 폐쇄하는 것이다.

하우징(200)은 대개 육면체로 이루어진다. 하우징(200)의 전면과 후면에 서로 대응되는 높이로 출입구(210)가 형성되어 있다. 하우징(200)의 전면과 후면 각각은 다른 진공 챔버(도시 생략)에 연결된다.

하우징(200)의 저부를 이루는 바닥판(220)에 진공 차단 장치가 장착된다. 바닥판(220)은 진공 차단 장치의 유지, 보수가 용이하도록 하우징에 분리 가능하게 고정된다.

도 2는 하우징 내부에 구비되는 진공 차단 장치(10)가 도시되어 있다. 진공 차단 장치(10)는 지지패널(1), 밸브판(2) 및 구동부(3)를 포함한다.

지지패널(1)은 하우징의 내부에서 승강하는 부재로, 지지패널(1)에는 복수의 실린더부재(4)가 구비된다.

밸브판(2)은 지지패널의 실린더부재(4)에 결합되고, 실린더부재(4)의 작동에 의해 지지패널(1)의 일면에서 돌출되거나 원래의 위치로 복원된다. 또 밸브판(2)은 출입구의 개방 면적보다 크게 제작되어, 하우징의 내부에서 출입구 주변부와 접촉한다. 밸브판(2)에 구비된 실링(21)은 지지패널에 대하여 밸브판이 돌출될 때, 출입구 주변부와 밀착하여 출입구를 확실하게 폐쇄하게 된다.

도면에서는 지지패널(1)의 일면에 실린더부재들(4)과 밸브판(2)이 구비되는 것으로 제시되어 있지만, 다른 실시예로 지지패널의 양면 모두에 실린더부재들과 밸브판을 설치하여 하우징의 전면의 출입구와 후면의 출입구를 동시에 폐쇄하도록 구성할 수도 있다.

구동부(3)는 지지패널(1)과 밸브판(2)이 출입구를 가리지 아니하도록 지지패널(1)을 하우징의 내부에서 승강 이동시키는 구성요소이다. 또 본 발명의 실시예에서는 구동부(3)는 실린더부재(4)를 작동하는 동력원인 압축공기를 공급하는 루트를 제공한다.

도 3에는 본 발명의 실시예에 따른 실린더부재의 단면이 도시되어 있다.

실린더부재(4)는 지지패널의 일면에 결합되는 실린더케이스(41)와, 이 실린더케이스의 내부에서 슬라이딩 이동하는 피스톤부재(42)를 포함한다. 피스톤부재(42)의 로드는 실린더케이스(41)의 전방에서 돌출되어 밸브판(2)과 연결된다.

본 발명의 실시예에서 실린더부재(4)의 작동은 압축공기에 의하여 이루어진다. 압축공기는 지지패널(1)의 내부에 형성되는 제1,2유로를 통하여 제공된다. 제1유로(11)는 지지패널(1)의 일면과 연통되어 있다. 제1유로(11)를 통하여 실린더부재(4)의 내부로 유입된 압축공기는 피스톤부재(42)를 지지패널(1)과 멀어지는 방향으로 밀어낸다. 한편, 제2유로(12)는 실린더케이스(41)의 내부에 형성된 제3유로(411)를 통하여 실린더케이스(41)의 전단부에 연통된다. 제2유로(12) 및 제3유로(411)를 거쳐 실린더부재(4)의 내부로 유입된 압축공기는 피스톤부재(42)를 지지패널(1)과 가까워지는 방향으로 이동시킨다.

여기서 제1유로에 압축공기를 주입할 때에, 제2유로의 공기는 대기 중에 방출하거나 적극 흡입하여 음압을 형성할 수도 있다. 특히 밸브판이 출입구 주변부를 설정된 압력으로 가압할 수 있도록 하기 위하여, 제1유로의 양압 상태와 제2유로의 음압 상태를 유지시킬 수 있다.

도 3과 도 4에서 실린더부재(4)는 지지패널(1)의 길이 방향에 따라 복수가 가로로 배열되어 있으며, 또한 상기 길이 방향과 수직한 폭 방향(도면의 상하 방향)으로도 상하 한 쌍이 배열되어 있다. 즉, 하우징 출입구의 개방 면적이 증대됨에 따라 커진 밸브판(2)을 높은 압력으로 가압하도록 실린더부재(4)는 지지패널(1)의 길이 방향뿐만 아니라 폭 방향으로도 복수로 배열된다. 도면에서 실린더부재(4)는 폭 방향으로 2 열을 이루고 있지만, 출입구의 폭 사이즈에 따라 3 열이상을 형성할 수도 있다.

폭 방향으로 실린더부재가 복수로 구비됨에 따라 면적이 증대된 밸브판을 높은 압력으로 출입구 주변부에 밀착시켜, 고진공인 챔버의 내부를 보다 확실하게 폐쇄할 수 있다.

또한 본 발명의 실시예에서 실린더부재는 압축공기를 사용하여 작동된다. 실린더부재에 공급되는 공기의 압력에 따라 밸브판의 가압력을 용이하게 조절할 수 있는 장점이 있다. 또한 작동 유체로 오일을 사용하는 것보다 누출 시에 하우징의 내부나 진공 챔버를 오염시킬 가능성이 낮아진다.

본 발명은 압축공기를 사용하는 실린더부재들을 지지패널의 길이 방향뿐만 아니라 폭 방향으로도 복수를 이루도록 구성하여 대면적 밸브판에 의한 출입구 차폐의 신뢰성을 향상시킨다.

다시 도 2와 도 4를 참고하면, 지지패널의 폭 방향에 따라 배열된 실린더부재(4)의 피스톤부재들(42)에는 안정판(43)이 결합되어 있다. 도면에서 안정판(43)은 일부 피스톤부재에 구비되는 것으로 도시되어 있으나, 안정판은 폭 방향으로 상하 관계에 있는 모든 피스톤부재들 각각에 결합될 수 있다.

안정판(43)은 폭 방향으로 배열된 피스톤부재들(42)의 각 끝단부에 결합됨으로써 폭 방향의 피스톤부재(42)의 돌출 길이를 균일하게 하는 것이다. 따라서 밸브판의 돌출시 폭 방향으로 기울지는 것을 방지하고, 밸브판이 출입구의 주변부를 고르게 가압하도록 유도함으로써 밸브판에 구비된 실링이 편심 하중에 의하여 파손되는 문제점을 해소할 수 있게 한다.

한편, 본 발명의 실시예에 따른 구동부(3)는 하우징(200)의 외측에 연결되는 액추에이터(31), 이 액추에이터에 연결되어 있으며 액추에이터의 작동에 따라 승강 이동하는 링크암(32) 그리고 일단은 상기 링크암(32)에 고정되고 상기 하우징(200)을 관통하여 타단이 상기 지지패널(1)에 고정되는 구동암(33)을 포함한다.

나아가 구동암(33)은 적어도 한 쌍이 구비되며, 각 구동암(33)은 액추에이터(31)를 기준으로 좌우 대칭을 이루도록 배치된다.

도 2와 도 4에서 액추에이터(31)는 하우징(200)의 하부를 이루는 바닥판(220)에 일단이 고정되고 타단은 링크암(32)에 연결되어 있다.

여기서 액추에이터(31)는 공압, 유압에 의하여 피스톤로드가 신장되는 실린더로 이루어진다. 또는 액추에이터는 공지된 구성에 따라 전기를 공급받아 로드를 왕복 운동시키는 다양한 운동기구로 대체될 수 있다. 본 발명에서 실린더부재가 압축공기를 사용하여 작동되는 점을 고려할 때에 액추에이터는 공압 실린더로 이루어지는 것이 바람직하다.

액추에이터(31)는 바닥판(220)의 하부에 결합되어 있어 하우징의 외측에 위치한다. 따라서 액추에이터의 피스톤로드 등에 발라진 윤활유 등이 하우징의 내부 공간으로 유입되지 아니하는 것이다.

링크암(32)은 액추에이터(31)의 끝단부, 즉 피스톤로드(311)에 결합되는 프레임 부재이다. 본 발명의 실시예에서 한 쌍의 구동암(33)이 액추에이터(31)의 좌우에 나란히 구비됨에 따라 링크암(32)의 중앙이 피스톤로드(311)에 결합되어 있다.

구동암(33)은 링크암(32)의 끝단부에 일단이 결합되어 있다. 또한 구동암(33)은 바닥판(220)을 관통하여 지지패널(1)에 결합되어 있다. 도면에서 한 쌍의 구동암들(33)이 액추에이터(31)를 사이에 두고 대칭을 이루도록 배치되어 있으나, 액추에이터를 사이에 두고 대칭을 이루는 조건에서 구동암들은 한 쌍 이상의 복수가 구비될 수 있다. 또는 링크암에는 하나의 구동암만이 결합될 수도 있다.

실린더부재(4)를 작동하는 압축공기는 구동암(33)을 통하여 공급할 수 있다. 이를 위하여 구동암(33)의 내부에는 압축공기가 통과하는 에어홀(331)을 형성하고, 이 에어홀(331)은 지지패널(1)의 내부에 형성된 제1유로(11)나 제2유로(12)에 연통되게 구성한다.

나아가, 액추에이터(31)를 기준으로 좌우 대칭인 한 쌍의 구동암 중에서 어느 한 구동암(33)의 에어홀(331)은 압축공기의 주입에 사용되며, 액추에이터(31)를 기준으로 대칭을 이루는 다른 구동암(33)의 에어홀(331)은 압축공기의 배출에 사용될 수 있다. 이와 같은 구동암들의 역할 분담은 구동암의 위치에 따른 공기 주입 경로를 명확히 하여 사용자가 압축공기라인을 잘못 설정하는 조립 불량을 저감한다.

또한 액추에이터(31)의 좌우에 대칭되는 구동암들은 액추에이터(31), 링크암(32) 및 구동암(33)을 포함하는 구동부의 구조적 강도를 개선하는 것이다. 즉, 액추에이터(31)의 신축 작동이 링크암(32)의 양측에 대칭적으로 위치하는 구동암(33)에 고르게 전달되어, 지지패널(1)이 그 길이 방향의 어느 한 쪽으로 치우치지 아니하고 균등하게 상승할 수 있게 된다.

이러한 구동부(3)는 지지패널(1)의 사이즈에 따라 복수가 구비될 수 있다. 도면에서는 지지패널(1)의 길이 방향에 따라 2개의 구동부(3)가 구비되어 있다. 복수로 구비되는 구동부는 지지패널의 중앙을 기준으로 서로 대칭을 이루어 지지패널의 승강 이동시 어느 한 쪽으로 치우치는 것을 방지하게 된다.

나아가 바닥판(220)에는 구동암(33)이 통과하는 관통홀(230)에 의하여 하우징 내부로 외부의 공기가 들어갈 수 있으므로, 이를 방지하기 위하여 구동암이 통과하는 관통홀(230) 주연부를 감싸는 벨로우즈(34)가 장착된다. 구체적으로 벨로우즈(34)는 일단이 관통홀(230)의 주연부를 감싸는 형상으로 바닥판(220)에 결합되어 있으며, 타단부는 구동암(33)의 둘레에 결합된다. 벨로우즈(34)는 주름관으로 형성되어 구동암의 이동에 따라 신축 가능하다.

또한 구동암의 둘레를 감싸며 하우징의 내측면에 대어지는 차단블록(35)과, 관통홀(230)의 둘레에 장착되어 있으며 일부가 돌출되어 상기 차단블록과 접하는 오링(36)을 설치한다.

오링(36)의 장착을 위하여 관통홀(230)의 주연부에는 원형으로 함몰홈(240)이 형성된다. 이 함몰홈(240)은 내부로 갈수록 단면적이 커지게 형성되어 함몰홈(240)의 입구측은 오링(36)의 지름보다 좁다. 또한, 함몰홈(240)의 깊이도 오링(36)의 지름보다 얕게 형성됨으로써, 이 함몰홈(240)에 삽입된 오링(36)의 일부분은 바닥판(220)의 표면보다 돌출되어 차단블록(35)과 접하여 탄성변형된다. 따라서 차단블록(35)과 바닥판(220)의 표면 사이로 이물질이 벨로우즈의 내부로 들어가는 것을 방지할 수 있게 된다.

더하여 차단블록(35)에는 하우징(200)의 내부와 벨로우즈(34)의 내부를 연통시키는 연결홀(351)이 형성된다. 연결홀(351)은 구동부의 작동에 의하여 체적이 가변하는 벨로우즈(34)의 내부 압력을 하우징(200)의 내부 압력와 가능한 일치하도록 함으로써, 하우징(200) 내부의 압력과 벨로우즈(34) 내부의 압력 차이에 기인한 벨로우즈(34)의 파손을 저감하는 것이다.

이 연결홀(351)에는 유리 가루나 기타 이물질이 벨로우즈의 내부에 유입되는 것을 차단하기 위한 필터(도시 생략)가 구비될 수 있다.

도 5에는 본 발명의 실시예에 따른 진공 차단 장치의 사용 상태가 도시되어 있다. (a)는 출입구를 개방한 상태이고, (b)는 출입구를 폐쇄한 상태이다.

도 5의 (a)에서 실린더부재(4)는 신축하여 밸브판(2)이 지지패널(1)과 가깝게 위치되며, 구동부(3)의 액추에이터(31)가 신장하여 지지패널(1)과 밸브판(2)이 하우징(200)의 하부로 내려가 있다. 이로써 하우징(200)의 양 출입구(210) 사이는 완전히 개방되어 출입구들을 통하여 액정패널 등이 통과할 수 있게 된다.

도 5의 (b)에서 액추에이터(31)가 신축하여 링크암(32)과 구동암(33)이 상승하고, 그에 따라 구동암(33)과 연결되는 지지패널(1)이 하우징(200)의 출입구(210) 높이까지 상승한다. 이후 구동암(33)의 에어홀로 압축공기가 주입되면, 실린더부재(4)에서 피스톤부재(42)가 돌출되고 그에 따라 밸브판(2)이 지지패널(1)과 멀어지면서 출입구(210) 주변부와 밀착된다. 또한 밸브판(2)이 돌출되는 지지패널(1)의 일면과 반대 방향의 후면은 다른 출입구 주변부와 밀착하여 진공 차단 장치가 하우징(200)의 양 출입구(210)를 폐쇄하게 된다.

이때, 압축공기압을 조절하여 밸브판과 지지패널에 의한 출입구의 가압력을 높게 얻을 수 있다. 특히 본 발명에서 상하 방향으로 복수로 구비되는 실린더부재는 대형 사이즈의 밸브판을 요구되는 높은 압력으로 출입구 주변부에 가압할 수 있게 하는 것이다. 또 안정판은 상하로 배열된 각 실린더부재에서 피스톤부재가 균일하게 돌출되게 함으로써 밸브판이 기울어지는 것을 방지할 수 있게 된다.

도 6에는 본 발명의 다른 실시예에 따른 진공 차단 장치가 도시되어 있다.

다른 실시예에 따른 진공 차단 장치는 지지패널(1), 밸브판 및 구동부(3)를 포함한다. 더하여 구동부(3)는 상기 하우징의 바닥판에 결합되는 액추에이터(31), 액추에이터(31)에 연결되어 승강하는 링크암(32) 및 일단은 상기 링크암(32)에 고정되고 상기 바닥판(220)을 관통하여 타단이 상기 지지패널에 고정되어 있는 구동암(33)을 포함한다.

여기서 지지패널, 밸브판 및 구동부를 구성하는 액추에이터, 링크암 및 구동암의 구성은 아래에 설명되는 내용과 저촉되지 아니하는 한도 내에서 전술된 실시예의 기술적 특징을 포함할 수 있는 것으로, 중복된 설명은 생략한다.

다른 실시예에 따른 진공 차단 장치는 사이즈가 증대된 지지패널과 밸브판이 정밀하게 하우징의 내부에서 이동하도록 하는 것이다.

구동부(3)에는 바닥판(220)에 결합되며 실린더몸체(37)와, 리니어 축(381)의 일단이 링크암에 고정되며, 리니어 축(381)에 결합되는 리니어 베어링 너트(도시 생략)는 상기 실린더몸체(37)에 고정되는 리니어 베어링 부시(38)를 포함한다.

이때, 리니어 축(381)의 일단은 상기 링크암(32)에 고정되며, 상기 리니어 축(381)에 결합되는 리니어 베어링 너트는 실린더몸체(37)에 고정된다. 구체적으로 리니어 베어링 너트의 외주면은 실린더몸체(37)의 내부에 형성된 중공홀에 결합되어 있다. 리니어 베어링 너트에 구비된 볼의 회전에 의하여 리니어 축(461)은 실린더몸체(37)에 대하여 부드럽게 이동할 수 있게 된다. 또한 실림더몸체와 리니어 베어링 부시는 지지패널과 밸브판을 하중을 바닥판으로 분산 지지되게 하면서 정밀한 직선 이동이 이루어지도록 하는 것이다.

나아가, 구동부의 건강성(强健性)을 증대시키기 위하여, 링크암(32)과 바닥판(220)을 연결하는 각 축 부재는 복수로 구비될 수 있다.

구체적으로 액추에이터(31)의 양측 각각에 실린더몸체(37) 및 리니어 베어링 부시(38)가 배치된다. 또한 액추에이터를 중심으로 대칭을 이루며 각 실린더몸체(37) 및 리니어 베어링 부시(38)에 이웃하여 구동암(33)이 구비된다.

액추에이터(31)는 링크암(32)의 중앙에 결합되어 있으며, 액추에이터(31)를 중심으로 좌우측에 각기 전술된 실린더몸체(37) 및 리니어 베어링 부시(38)가 구비되고, 그 좌우측에는 구동암(33)이 구비되는 것이다. 이로써 액추에이터를 기준으로 좌우 축 부재들이 대칭된 구성을 가지게 된다.

이 경우, 복수의 축 부재가 바닥판과 링크암을 연결함으로써 구동부의 건강성이 크게 증대된다. 또한, 좌우로 구비되는 구동암 간의 간격을 늘릴 수 있게 되므로 길게 형성되는 지지패널을 안정되게 지지할 수 있게 된다.

10 : 진공 차단 장치
1 : 지지패널 11 : 제1유로 12 : 제2유로
2 : 밸브판 21 : 실링
3 : 구동부 31 : 액추에이터 311 : 피스톤로드
32 : 링크암 33 : 구동암 331 : 에어홀
34 : 벨로우즈 35 : 차단블록 351 : 연결홀 36 : 오링
37 : 실린더몸체 38 : 리니어 베어링 부시 381 : 리니어 축
4 : 실린더부재 41 : 실린더케이스 411 : 제3유로
42 : 피스톤부재 43 : 안정판
200 : 하우징 210 : 출입구 220 : 바닥판
230 : 관통홀 240 : 함몰홈

Claims (9)

1. 진공 챔버에 연결된 하우징의 내부에서 승강 이동하며, 상기 하우징의 전후로 관통된 출입구를 개방하거나 폐쇄하는 것으로,
   상기 하우징의 내부에 구비되고 복수의 실린더부재를 구비하는 지지패널,
   일면이 상기 실린더부재에 연결되고 타면은 상기 출입구의 주연부와 분리 가능하게 밀착되는 밸브판 및
   상기 하우징에 결합되어 있고 상기 지지패널을 상기 출입구의 위치로 왕복 이송시키는 구동부를 포함하고,
   상기 실린더부재는 압축공기에 의하여 작동되는 것이고, 상기 지지패널의 길이 방향 및 상기 길이 방향과 수직하는 폭 방향에 대하여 각기 복수가 배치되어 있는 진공 차단 장치.
2. 제1항에서,
   상기 폭 방향에 따라 배열된 실린더부재들에서 왕복 이동하며 상기 지지패널에서 돌출되는 피스톤부재들에 안정판이 결합되어 있는 진공 차단 장치.
3. 진공 챔버에 연결된 하우징의 내부에서 승강 이동하며, 상기 하우징의 전후로 관통된 출입구를 개방하거나 폐쇄하는 것으로,
   상기 하우징의 내부에 구비되고 복수의 실린더부재를 구비하는 지지패널,
   일면이 상기 실린더부재에 연결되고 타면은 상기 출입구의 주연부와 분리 가능하게 밀착되는 밸브판 및
   상기 하우징에 결합되어 있고 상기 지지패널을 상기 출입구의 위치로 왕복 이송시키는 구동부를 포함하고,
   상기 실린더부재는 압축공기에 의하여 작동되는 것이며,
   상기 구동부는
   상기 하우징의 외측에 연결되어 있는 액추에이터,
   상기 액추에이터에 연결되어 있으며 액추에이터의 작동에 따라 승강이동하는 링크암 그리고
   일단은 상기 링크암에 고정되고, 상기 하우징을 관통하여 타단이 상기 지지패널에 고정되는 구동암을 포함하는 진공 차단 장치.
4. 제3항에서,
   상기 구동암은 적어도 한 쌍이 상기 액추에이터를 기준으로 대칭을 이루도록 배치되어 있는 진공 차단 장치.
5. 제3항에서,
   상기 구동암들에는 상기 실린더부재의 작동을 위한 압축공기가 통과하는 에어홀이 형성되어 있고,
   어느 한 구동암의 에어홀은 압축공기의 주입에 사용되며, 상기 구동암과 상기 액추에이터를 기준으로 대칭을 이루는 다른 구동암의 에어홀은 압축공기의 배출에 사용되는 진공 차단 장치.
6. 제3항에서,
   상기 구동부에는
   상기 구동암이 통과하는 상기 하우징의 관통홀 주연부를 감싸는 벨로우즈,
   상기 구동암의 둘레를 감싸며 상기 하우징의 내부와 상기 벨로우즈의 내부를 연통시키는 연결홀이 형성되어 있는 차단블록 그리고
   상기 관통홀의 둘레에 장착되어 있으며 일부가 돌출되어 상기 차단블록과 접하는 오링을 포함하는 진공 차단 장치.
7. 진공 챔버에 연결된 하우징의 내부에서 승강 이동하며, 상기 하우징의 전후로 관통된 출입구를 개방하거나 폐쇄하는 것으로,
   상기 하우징의 내부에 구비되고 복수의 실린더부재를 구비하는 지지패널과, 일면이 상기 실린더부재에 연결되고 타면은 상기 출입구의 주연부와 분리 가능하게 밀착되는 밸브판과, 상기 하우징에 결합되어 있고 상기 지지패널을 상기 출입구의 위치로 왕복 이송시키는 구동부를 포함하고,
   상기 구동부는
   상기 하우징의 바닥판에 결합되는 액추에이터,
   상기 액추에이터에 연결되어 승강하는 링크암 및
   일단은 상기 링크암에 고정되고, 상기 바닥판을 관통하여 타단이 상기 지지패널에 고정되어 있는 구동암을 포함하는 진공 차단 장치.
8. 제7항에서,
   상기 구동부는
   상기 바닥판에 결합되는 실린더몸체와,
   리니어 축의 일단이 상기 링크암에 고정되며, 상기 리니어 축에 결합되는 리니어 베어링 너트는 상기 실린더몸체에 고정되는 리니어 베어링 부시를 포함하는 진공 차단 장치.
9. 제8항에서,
   상기 구동부에는
   상기 액추에이터의 양측 각각에 상기 실린더몸체 및 리니어 베어링 부시가 배치되고,
   상기 액추에이터를 중심으로 대칭을 이루며 상기 실린더몸체 및 리니어 베어링 부시에 이웃하여 상기 구동암이 구비되는 수직형 진공 차단 장치.

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