KR101502936B1 - 진자 밸브 및 이를 포함하는 진공처리장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 진자 밸브에 관한 것으로, 일면에 제1 입구 및 타면에 제2 입구가 형성된 하우징, 상기 제1 입구 및 상기 제2 입구를 단속하는 제1 밸브판 및 제2 밸브판을 포함하고 상기 하우징 내부에 진자 운동 가능하게 설치된 밸브 유닛, 상기 제1 밸브판과 상기 제2 밸브판 사이에 위치하고 상기 제1 밸브판과 상기 제2 밸브판을 각각 직선 이동 시키는 적어도 하나의 제1 및 제2 승강 구동부, 그리고 상기 밸브 유닛의 일측에 연결되어 있고 상기 밸브 유닛을 진자 운동 시키는 진자 구동부를 포함할 수 있다.

Description

진자 밸브 및 이를 포함하는 진공처리장치{Pendulum valve and vacuum processing apparatus}

본 발명은 진자 밸브 및 이를 포함하는 진공처리장치에 관한 것이다.

플라즈마를 이용하는 화학 기상 증착 설비, 식각 설비, 이온주입설비 등에서 피처리체를 처리하는 진공처리장치는 챔버와 챔버 사이, 챔버와 진공펌프 사이에 출입구를 개폐하는 진자 밸브가 설치된다.

진자 밸브는 밸브 하우징, 밸브 하우징 내부에 중심축을 기준으로 회전하는 진자 플레이트, 상기 진자 플레이트를 업다운 시키는 업다운 구동부, 그리고 상기 진자 플레이트를 회전시키는 진자 구동부를 포함할 수 있다.

업다운 구동부의 구동과 상기 진자 구동부의 구동에 의해 진자 플레이트는 밸브 하우징에 형성된 입구를 막거나 열게 된다.

공개특허공보 제10-2006-0013810호 (2006.02.14.) 공개특허공보 제10-2005-0015191호 (2005.02.21.)

본 발명은 신뢰성을 향상시킬 수 있는 진자 밸브 및 이를 포함하는 진공처리장치를 제공한다.

본 발명의 한 실시예에 따른 진자 밸브는, 일면에 제1 입구 및 타면에 제2 입구가 형성된 하우징, 상기 제1 입구 및 상기 제2 입구를 단속하는 제1 밸브판 및 제2 밸브판을 포함하고 상기 하우징 내부에 진자 운동 가능하게 설치된 밸브 유닛, 상기 제1 밸브판과 상기 제2 밸브판 사이에 위치하고 상기 제1 밸브판과 상기 제2 밸브판을 각각 직선 이동 시키는 적어도 하나의 제1 및 제2 승강 구동부, 그리고 상기 밸브 유닛의 일측에 연결되어 있고 상기 밸브 유닛을 진자 운동 시키는 진자 구동부를 포함한다.

상기 밸브 유닛은, 상기 제1 밸브판과 상기 제2 밸브판 사이에 위치하고 일면에 상기 제1 승강 구동부가 위치하는 제1 작동 공간이 형성되어 있고 타면에 상기 제2 승강 구동부가 위치하는 제2 작동 공간이 형성되어 있는 밸브 몸체 및 상기 밸브 몸체의 둘레면을 따라 결합되어 있고 일측 부분이 상기 진자 구동부와 연결되어 있는 지지 몸체를 포함할 수 있으며, 상기 밸브 몸체의 둘레면을 따라 제1 내지 제3 둘레 유로가 형성되어 있고, 상기 지지 몸체에는 상기 제1 유로 및 상기 제3 유로와 연결된 제1 외측 유로와 상기 제2 유로와 연결된 제2 외측 유로가 형성되어 있으며, 제1 둘레 유로는 상기 제2 작동 공간과 연결되어 있으며, 상기 제2 둘레 유로는 상기 제1 작동 공간 및 상기 제2 작동 공간과 연결되어 있고, 상기 제3 둘레 유로는 상기 제2 작동 공간과 연결될 수 있다.

상기 제1 승강 구동부는, 상기 제1 작동 공간 내부에 직선 이동 가능하게 배치되어 있는 제1 승강 피스톤, 일측이 상기 제1 밸브판에 연결되어 있고 타측이 상기 제1 승강 피스톤에 연결된 제1 로드, 그리고 상기 제1 작동 공간의 개방부를 단속하며 상기 제1 로드가 관통된 제1 승강 캡을 포함할 수 있다.

상기 제1 승강 구동부는, 상기 제1 승강 캡과 상기 제2 승강 피스톤 사이에 위치하고 상기 제1 밸브판이 상기 밸브 몸체의 일면에 접하도록 탄성력을 부여하는 제1 승강 탄성체를 더 포함할 수 있다.

상기 제2 승강 구동부는, 상기 제2 작동 공간 내부에 직선 이동 가능하게 배치되어 있는 제2 승강 피스톤, 일측이 상기 제1 밸브판에 연결되어 있고 타측이 상기 제2 승강 피스톤에 연결된 제2 로드, 그리고 상기 제2 작동 공간의 개방부를 단속하며 상기 제2 로드가 관통된 제2 승강 캡을 포함할 수 있다.

상기 제2 승강 구동부는, 상기 제2 승강 캡과 상기 제2 승강 피스톤 사이에 위치하고 상기 제2 밸브판이 상기 밸브 몸체의 타면에 접하도록 탄성력을 부여하는 제2 승강 탄성체를 더 포함할 수 있다.

상기 진자 밸브는, 상기 제1 밸브판과 상기 제2 밸브판 사이에 위치하고 상기 제1 밸브판과 상기 제2 밸브판이 서로 마주하는 방향으로 이동하도록 탄성력을 부여하는 적어도 하나의 복귀 탄성부를 더 포함할 수 있다.

상기 복귀 탄성부는, 일측이 상기 밸브 몸체에 이동 가능하게 배치되어 있고 타측이 상기 제2 밸브판에 연결된 복귀 하우징, 일측이 상기 제1 밸브판에 연결되어 있고 타측이 상기 복귀 하우징 내부에 이동 가능하게 위치한 복귀 로드, 그리고 상기 복귀 하우징의 일측과 상기 복귀 로드의 타측 사이에 위치하고 상기 복귀 하우징과 상기 복귀 로드가 서로 반대 방향으로 이동하도록 탄성력을 부여 하는 복귀 탄성체를 포함할 수 있다.

상기 진자 구동부는, 상기 하우징의 일측에 장착되어 있고 내부가 상기 하우징의 내부와 연통된 샤프트 하우징, 피니언을 포함하고 상기 샤프트 하우징 내부에 회전 가능하게 설치되어 있으며 상기 지지 몸체에 편심되게 연결된 샤프트, 그리고 상기 피니언과 연결된 랙 로드와, 상기 랙 로드를 직선 이동 시키는 피스톤이 배치된 실린더로 구성된 전방 엑추에이터를 포함할 수 있고, 상기 샤프트에는 상기 제1 외측 유로와 연결된 제1 샤프트 유로와 상기 제2 외측 유로와 연결된 제2 샤프트 유로가 형성되어 있으며, 상기 샤프트 하우징의 내부 둘레면을 따라 상기 제1 샤프트 유로와 연결된 제1 공급 유로가 형성되어 있고 상기 제2 샤프트 유로와 연결된 제2 공급 유로가 형성될 수 있다.

상기 진자 구동부는, 내부가 상기 실린더의 내부와 연통된 후방 실린더와, 상기 후방 실린더 내부에 이동 가능하게 배치된 후방 피스톤과, 일측이 피스톤에 접하고 타측이 상기 후방 피스톤에 연결된 후방 로드 구성된 후방 엑추에이터를 더 포함할 수 있다.

상기 진자 구동부는, 상기 후방 엑추에이터에 연결되어 있고, 상기 후방 피스톤의 직선 이동을 제한하는 제한 부재를 더 포함할 수 있다.

상기 후방 로드의 내부에는 상기 후방 피스톤 방향으로 개방된 제한 공간이 형성되어 있고, 상기 제한 부재는, 상기 제한 공간에 직선 이동 가능하게 배치된 스토퍼, 일측이 상기 스토퍼에 연결되어 있고 타측이 상기 후방 실린더 외부로 노출된 스크류, 그리고 상기 제한 공간 내부에 위치하고 상기 스크류 회전시 상기 스토퍼가 직선 이동하도록 하는 가이드를 포함할 수 있으며, 상기 제한 공간과 상기 후방 피스톤의 경계 부분에는 상기 스토퍼가 걸리는 단턱이 형성될 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 진공처리장치는 위에서 설명한 진자 밸브를 포함한다.

본 발명의 실시예에 따르면, 제1 밸브판과 제2 밸브판이 작동 유체의 압력에 의해 작동하는 제1 승강 구동부와 제2 승강 구동부에 의해 직선 이동하게 된다. 제1 밸브판과 제2 밸브판이 제1 승강 구동부와 제2 승강 구동부에 직접 연결되어 있으므로 제1 밸브판과 제2 밸브판이 움직일 때 별도의 물리적 접촉이 발생하지 않는다. 따라서 제1 및 제2 밸브판의 동작 시 파티클(Particle)의 발생을 억제할 수 있어 진자 밸브의 신뢰성이 향상된다.

본 발명의 실시예에 따르면, 제1 밸브판과 제2 밸브판을 이동시키는 제1 승강 구동부와 제2 승강 구동부가 유로를 통해 유입된 작동 유체의 압력에 의해 작동한다. 따라서 상기 작동 유체의 압력을 조절함으로써 상기 제1 밸브판과 상기 제2 밸브판이 입구에 밀착되는 압력을 적절하게 조절할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 밸브 유닛이 진자 구동부에 의해 움직일 때 한번의 동작으로 밸브 유닛이 제1 입구와 제2 입구를 완전히 벗어나게 되면 급격한 압력변화에 의해 진자 밸브의 부품이나 공정 부품의 손상을 가져올 수 있다. 그러나 후방 엑추에이터와 전방 엑추에이터에 의하여 밸브 유닛이 단계적으로 제1 입구와 제2 입구 사이를 벗어나게 되어 하우징 내의 급격한 압력 변화를 방지할 수 있다. 이에 따라 급격한 압력 변화에 따른 부품 손상을 방지할 수 있다.

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 진자 밸브를 나타낸 사시도.
도 2는 도 1에 도시한 진자 밸브 분해 사시도.
도 3은 도 1에 도시한 진자 밸브 반단면 사시도.
도 4은 도 3에 도시한 A 부분 확대도.
도 5는 도 3에 도시한 B 부분 확대도.
도 6는 도 3에 도시한 C 부분 확대도.
도 7는 도 1에 도시한 밸브판이 입구를 개방한 상태를 나타낸 단면도.
도 8은 도9에 도시한 밸브판이 입구를 막고 있는 상태를 나타낸 단면도.
도 9은 도 1에 도시한 진자 구동부를 나타낸 단면도.
도 10은 도 9에 도시한 제한 부재를 나타낸 분해 사시도.
도 11은 도 9에 도시한 후방 피스톤의 이동 거리를 조절한 상태를 나타낸 작동도.
도 12 내지 도 14는 도 1에 도시한 밸브 유닛이 단계적으로 개방되는 상태를 나타낸 작동도.
도 15는 도 14에 밸브 유닛이 제1 몸체 외부로 노출된 상태를 나타낸 작동도.
도 16은 본 발명의 한 실시예에 따른 진공 처리 장치 사시도.

이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참고로 하여 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다.

그러면 본 발명의 한 실시예에 따른 진공 처리 장치에 대하여 도 1 내지 도 3, 도 16을 참고하여 설명한다.

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 진자 밸브를 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시한 진자 밸브 분해 사시도이며, 도 3은 도 1에 도시한 진자 밸브 반단면 사시도이고, 도 16은 도 1 내지 도 3의 진자 밸브가 적용된 진공 처리 장치의 사시도이다.

본 실시예에 따른 진공 처리 장치는 챔버(2), 진자 밸브(1) 및 진공 펌프(3)를 포함한다. 진자 밸브(1)는 챔버(cnamber)(2)와 진공펌프(3) 사이에 위치한다. 그러나, 진자 밸브(1)는 복수의 챔버 사이에 설치될 수도 있다. 본 실시예에서는 챔버(2)와 진공펌프(3) 사이에 설치된 진자 밸브(1)에 대하여 설명한다. 챔버(2)는 반도체, 태양전지 등의 제조와 관련된 공정을 진공 처리하는 것이라면 어떠한 것이라도 무방하다. 진공펌프(3) 역시 공지의 것이 모두 적용될 수 있다.

진자 밸브(1)는 도 1 내지 도 3에서 나타낸 바와 같이, 하우징(10), 밸브 유닛(20), 제1 승강 구동부(30), 제2 승강 구동부(40), 진자 구동부(60), 복귀 탄성부(50)를 포함한다.

하우징(10)은 제1 몸체(11) 및 제2 몸체(12)를 포함한다. 제1 몸체(11) 및 제2 몸체(12)는 서로 분리 가능하게 연결되어 있으며, 제1 몸체(11) 및 제2 몸체(12)의 내부에는 수납 공간(11a, 12a)이 형성되어 있다. 제1 몸체(11)의 일면에는 수납 공간(11a)을 챔버와 연통시킨 제1 입구(111a)가 형성되어 있다. 제1 몸체(11)의 타면에는 수납 공간(11a)을 진공펌프와 연통시킨 제2 입구(112a)가 형성되어 있다. 제1 입구(111a)와 제2 입구(112a)는 동일 선상에 위치하여 서로 마주한다. 첨부된 도면에서 제1 입구(111a)와 제2 입구(112a)를 원형으로 도시하였으나, 제1 입구(111a)와 제2 입구(112a)는 사각형과 같은 다양한 형상으로 형성될 수 있다. 아울러, 제1 입구(111a)와 제2 입구(112a)는 서로 바뀔 수 있다. 이에 따라 제1 입구(111a)에 진공펌프가 연결되고 제2 입구(112a)에 챔버가 연결될 수 있다.

한편, 제1 몸체(11)는 제1 부재(111)와 제2 부재(112)로 이루어져 있다. 제1 부재(111)와 제2 부재(112)는 서로 분리 가능하게 연결되어 있다. 제2 몸체(12) 또한 제1 부재와 제2 부재로 이루어질 수 있다.

아울러, 제1 몸체(11)와 제2 몸체(12)가 접하는 부분과 제1 부재(111)와 제2 부재(112)가 접하는 부분에는 기밀을 유지하는 실링 부재(도시하지 않음)가 설치되어 있다.

한편, 제1 몸체(11)의 제1 부재(111)와 제2 부재(112)에는 힌지공(111b, 112b)이 형성되어 있다. 이때 힌지공(111b, 112b)에는 제1 몸체(11)가 제2 몸체(12)에 접하고 있는 부분과 이웃하게 형성되어 있다.

밸브 유닛(20)은 수납 공간(11a, 12a))에 움직임 가능하게 결합되어 제1 입구(111a)와 제2 입구(112a)를 단속하는 것으로 지지 몸체(21), 밸브 몸체(22), 제1 밸브판(23), 그리고 제2 밸브판(24)을 포함한다. 아울러 첨부된 도 3에서 밸브 몸체(22), 제1 밸브판(23), 그리고 제2 밸브판(24)을 사시도로 나타내면서 위에서 본 상태와 아래에서 본 상태를 동시에 도시하여 평면과 저면이 동시에 보일 수 있도록 도시 하였다.

지지 몸체(21)는 수납 공간(11a)에 위치하며 링체(211) 및 링 연결부(212)를 포함한다.

링체(211)는 내부가 상하 관통되어 배치 공간(211a)이 형성되어 있다. 링체(211)의 직경은 제1 입구(111a) 및 제2 입구(112a)의 직경보다 크게 형성되어 있다. 링체(211)의 상면과 하면에는 링체(211)의 중심을 향하여 돌출된 링 플랜지(도시하지 않음)가 형성되어 있다. 링 플랜지는 링체(211)의 상면과 하면에 단턱을 형성한다.

링 연결부(212)는 링체(211)의 외부 둘레면 소정 위치에서 돌출되어 있다. 링 연결부(212)에는 일측이 배치 공간(211a)과 연결된 제1 외측 유로(212a) 및 제2 외측 유로(212b)가 형성되어 있다.

돌출된 링 연결부(212)의 단부는 힌지공(111b, 112b)에 위치한다. 아울러, 제1 외측 유로(212a)와 제2 외측 유로(212b)의 타측은 힌지공(111b, 112b) 부분에 위치한다. 힌지공(111b, 112b)에 위치한 링 연결부(212)의 단부는 지지 몸체(21)의 움직이는 중심이 된다. 움직이는 지지 몸체(21)는 제1 몸체(11)와 제2 몸체(12)의 범위 내에서 움직일 수 있다.

밸브 몸체(22)는 배치 공간(211a)에 배치되어 있다. 밸브 몸체(22)의 둘레면은 배치 공간(211a)의 둘레면에 접할 수 있다. 밸브 몸체(22)는 링 플랜지에 의하여 배치 공간(211a)에 고정되어 있다. 즉, 링 플랜지가 링체(211)와 밸브 몸체(22)의 적어도 일부분에 중첩되어 밸브 몸체(22)가 배치 공간(211a)에 고정된다.

밸브 몸체(22)의 외부 둘레면에는 제1 둘레 유로(221a), 제2 둘레 유로(221b), 그리고 제3 둘레 유로(221c)가 형성되어 있다. 제1 둘레 유로(221a)와 제3 둘레 유로(221c)는 제1 외측 유로(212a)와 연결되어 있으며, 제2 둘레 유로(221b)는 제2 외측 유로(212b)와 연결되어 있다.

한편, 둘레 유로들의 기밀성을 위하여 둘레 유로들 사이에는 제1 둘레 실링 부재(225)들이 배치되어 있다. 더불어, 밸브 몸체(22)의 상부측과 하부측에도 제2 둘레 실링 부재(226)가 각각 배치되어 있다. 제2 둘레 실링 부재(226)는 링체(211)와 링 플렌지에 접하여 제1 둘레 유로(221a)와 제3 둘레 유로(221c)의 기밀을 유지한다.

밸브 몸체(22)의 중앙 부분에는 관통공(642a)이 상하 관통되어 있다. 그리고 밸브 몸체(22)의 일면에는 제1 작동 공간(222)이 형성되어 있다. 제1 작동 공간(222)은 밸브 몸체(22)의 원주 방향을 따라 간격을 두고 형성되어 있다. 더불어 밸브 몸체(22)의 타면에는 제2 작동 공간(223)이 형성되어 있다. 제2 작동 공간(223)은 밸브 몸체(22)의 원주 방향을 따라 간격을 두고 형성되어 있다. 이와 같은 제1 작동 공간(222)과 제2 작동 공간(223)은 서로 반대 방향으로 형성되어 있다. 그리고 제1 작동 공간(222)과 제2 작동 공간(223)의 바닥면에는 제1 단차부(222a) 및 제2 단차부(223a)가 각각 형성되어 있다.

아울러, 제1 작동 공간(222)은 제2 둘레 유로(221b) 및 제3 둘레 유로(221c)와 연통되어 있다. 이때 제3 둘레 유로(221c)는 제1 작동 공간(222)의 바닥면 부분으로 연통되어 있고 제2 둘레 유로(221b)는 제1 작동 공간(222) 중앙 부분으로 연통되어 있다.

또한, 제2 작동 공간(223)은 제1 둘레 유로(221a) 및 제2 둘레 유로(221b)와 연결되어 있다. 이때 제1 둘레 유로(221a)는 제2 작동 공간(223)의 바닥면 부분으로 연통되어 있고 제2 둘레 유로(221b)는 제2 작동 공간(223)의 중앙 부분으로 연통되어 있다.

제1 밸브판(23)은 제1 작동 공간(222)이 형성된 밸브 몸체(22)의 일면에 승강 가능하게 배치되어 제1 입구(111a)를 단속한다. 제1 작동 공간(222)과 마주하는 제1 밸브판(23)의 면에는 원주 방향을 따라 제1 작동 공간(222)과 연통된 제1 연결홀(231)들이 간격을 두고 형성되어 있다. 그리고 제1 밸브판(23)의 중앙 부분에는 원주 방향을 따라 고정홀(232)들이 간격을 두고 형성되어 있다.

한편, 제1 입구(111a)의 주변부와 마주하는 제1 밸브판(23)의 일면 가장자리에는 원주방향을 따라 실링 부재(도시하지 않음)가 배치되어 있다. 실링 부재는 제1 입구(111a)의 주변부에 접촉되어 기밀을 유지한다.

제2 밸브판(24)은 제2 작동 공간(223)이 형성된 밸브 몸체(22)의 타면에 승강 가능하게 배치되어 제2 입구(112a)를 단속한다. 제2 작동 공간(223)과 마주하는 제2 밸브판(24)의 면에는 원주 방향을 따라 제2 작동 공간(223)과 연통된 제2 연결홀(241)들이 간격을 두고 형성되어 있다. 그리고 제2 밸브판(24)의 중앙 부분에는 원주 방향을 따라 고정통공(242)들이 간격을 두고 형성되어 있다. 고정통공(242)과, 관통공(642a)과, 고정홀(232)은 서로 연통되어 있다.

한편, 제2 입구(112a)의 주변부와 마주하는 제2 밸브판(24)의 일면 가장자리에는 원주방향을 따라 실링 부재(도시하지 않음)가 배치되어 있다. 실링 부재는 제2 입구(112a)의 주변부에 접촉되어 기밀을 유지한다.

이와 같은 제1 밸브판(23)과 제2 밸브판(24)은 서로 다른 방향으로 직선 이동하여 제1 입구(111a)와 제2 입구(112a)을 동시에 단속한다.

한편, 밸브 유닛(20)이 힌지공(111b, 112b)을 기준으로 움직이게 되면서 밸브 유닛(20)은 힌지공(111b, 112b)이 형성된 위치에 의해 제1 몸체(11)를 완전하게 벗어날 수 있다. 이렇게 되면 제1 밸브판(23)과 제2 밸브판(24)에 결합된 기밀 부재가 외부로 노출되므로 기밀 부재의 교체성이 향상된다.

제1 승강 구동부(30)는 제1 작동 공간(222)에 위치하여 제1 밸브판(23)을 승강 시키며, 제2 승강 구동부(40)는 제2 작동 공간(223)에 위치하여 제2 밸브판(24)을 승강 시킨다. 그리고 관통공(642a)에 복귀 탄성부(50)가 위치한다. 이때 복귀 탄성부(50)의 관통공(642a)에 위치하여 일측은 제1 밸브판(23)에 연결되고 타측은 제2 밸브판(24)에 연결되어 있다.

도 4, 도 7 및 도 8을 참고하여 제1 승강 구동부(30)에 대하여 설명한다.

도 4은 도 3에 도시한 A 부분 확대도이고, 도 7는 도 1에 도시한 밸브판이 입구를 개방한 상태를 나타낸 단면도이고, 도 8은 도9에 도시한 밸브판이 입구를 막고 있는 상태를 나타낸 단면도이다.

도 4, 도 7 및 도 8을 참고하면, 본 실시예에 따른 제1 승강 구동부(30)는, 제1 승강 피스톤(31), 제1 로드(32), 그리고 제1 승강 캡(33)을 포함한다. 제1 승강 구동부(30)는 제1 승강 탄성체(34)를 더 포함할 수 있다.

제1 승강 피스톤(31)은 제1 작동 공간(222)에 승강 가능하게 배치되어 있다. 제1 승강 피스톤(31)은 제1 단차부(222a)에 의하여 제1 작동 공간(222)의 바닥면 완전하게 접하지 않는다. 제1 승강 피스톤(31)은 제2 둘레 유로(221b) 및 제3 둘레 유로(221c)를 통하여 제1 작동 공간(222)으로 유입되는 작동 유체의 압력에 의해 움직일 수 있다. 이때 제1 승강 피스톤(31)은 제2 둘레 유로(221b)와 제3 둘레 유로(221c)의 사이에서 움직인다. 예컨대, 작동 유체가 제3 둘레 유로(221c)를 통하여 제1 작동 공간(222)의 바닥면으로 유입되면 제1 승강 피스톤(31)은 제1 입구(111a) 방향으로 이동할 수 있다. 그리고 작동 유체가 제2 둘레 유로(221b)를 통하여 제1 작동 공간(222)으로 유입되면 제1 승강 피스톤(31)은 제1 입구(111a)에서 멀어지는 방향으로 이동할 수 있다.

제1 로드(32)는 제1 승강 피스톤(31)과 제1 밸브판(23) 사이에 위치한다. 제1 로드(32)의 일측은 제1 연결홀(231)에 연결되어 있고 타측은 제1 승강 피스톤(31)에 연결되어 있다. 이에 따라 제1 승강 피스톤(31)이 작동 유체에 압력에 의해 움직이면 제1 로드(32)는 제1 승강 피스톤(31)의 움직이는 방향을 따라 움직이게 된다. 이에 따라 제1 로드(32)의 움직임으로 제1 밸브판(23) 또한 움직이게 된다. 이때 제1 승강 피스톤(31)의 움직이는 방향에 따라 제1 밸브판(23)이 제1 입구(111a)의 주변부에 밀착되거나 제1 입구(111a)의 주변부에서 떨어질 수 있다.

제1 승강 캡(33)은 제1 밸브판(23)과 제1 승강 피스톤(31) 사이에 위치하여 제1 작동 공간(222)의 개방 부분에 배치되어 있다. 제1 승강 캡(33)은 제1 작동 공간(222)을 단속하여 작동 유체의 누출을 방지한다. 아울러, 제1 로드(32)는 제1 승강 캡(33)을 관통하여 제1 밸브판(23)과 연결되어 있다.

제1 승강 탄성체(34)는 제1 승강 피스톤(31)과 제1 승강 캡(33) 사이에 배치되어 있다. 제1 승강 탄성체(34)는 코일 스프링으로 형성되어 있다. 제1 승강 탄성체(34)는 제1 승강 피스톤(31)이 제1 입구(111a) 방향으로 이동하면 압축되면서 탄성력이 발생한다. 압축된 제1 승강 탄성체(34)는 작동 유체가 제2 둘레 유로(221b)를 통하여 제1 작동 공간(222)으로 유입될 때 제1 승강 피스톤(31) 제1 작동 공간(222)의 바닥면 방향으로 신속하게 이동할 수 있도록 탄성력을 부여한다. 이에 따라 제1 밸브판(23)이 제1 입구(111a)의 주변부에서 신속하게 떨어질 수 있다.

도 5, 도 7 및 도 8을 참고하여 제2 승강 구동부(40)에 대하여 설명한다.

도 5는 도 3에 도시한 B 부분 확대도이며, 도 7 및 도 8은 다시 참고 한다.

도 5, 도 7, 도 8을 참고하면, 제2 승강 구동부(40)는, 제2 승강 피스톤(41), 제2 로드(32), 그리고 제2 승강 캡(43)을 포함한다. 제2 승강 구동부(40)는 제2 승강 탄성체(44)를 더 포함할 수 있다. 본 실시예에 따른 제2 승강 구동부(40)는 도 4에 도시한 제1 승강 피스톤, 제1 로드, 제1 승강 캡, 그리고 제1 승강 탄성체와 같은 구성 및 작용을 가지므로 중복된 설명은 생략한다.

제2 작동 공간(223)에 위치한 제2 승강 피스톤(41)은 제1 둘레 유로(221a)와 제2 둘레 유로(221b)를 통하여 유입된 작동 유체의 압력에 의하여 움직인다. 제2 승강 피스톤(41)은 제1 둘레 유로(221a)와 제2 둘레 유로(221b) 사이에서 움직인다. 예컨대, 작동 유체가 제1 둘레 유로(221a)를 통하여 제2 작동 공간(223)의 바닥면으로 유입되면 제2 승강 피스톤(41)은 제2 입구(112a) 방향으로 이동할 수 있다. 그리고 작동 유체가 제2 둘레 유로(221b)를 통하여 제2 작동 공간(223)으로 유입되면 제2 승강 피스톤(41)은 제2 입구(112a)에서 멀어지는 방향으로 이동할 수 있다.

제2 로드(32)는 제2 승강 피스톤(41)과 제2 밸브판(24) 사이에 위치한다. 제2 로드(32)의 일측은 제2 연결홀(241)에 연결되어 있고 타측은 제2 승강 피스톤(41)에 연결되어 있다. 이에 따라 제2 승강 피스톤(41)이 작동 유체의 압력에 의해 움직이면 제2 로드(32)는 제2 승강 피스톤(41)이 움직이는 방향을 따라 움직이게 된다. 이에 따라 제2 로드(32)의 움직임으로 제2 밸브판(24) 또한 움직이게 된다. 제2 승강 피스톤(41)의 움직이는 방향에 따라 제2 밸브판(24)이 제2 입구(112a)의 주변에 밀착되거나 제2 입구(112a)의 주변부에서 떨어질 수 있다.

제2 승강 캡(43)은 제2 밸브판(24)과 제2 승강 피스톤(41) 사이에 위치하여 제2 작동 공간(223)의 개방 부분에 배치되어 있다.

제2 승강 탄성체(44)는 제2 승강 피스톤(41)과 제2 승강 캡(43) 사이에 배치되어 있다. 제2 승강 탄성체(44)는 제2 승강 피스톤(41)이 제2 입구(112a) 방향으로 이동하면 압축되면서 탄성력이 발생한다. 압축된 제2 승강 탄성체(44)는 작동 유체가 제2 둘레 유로(221b)를 통하여 제2 작동 공간(223)으로 유입될 때 제2 승강 피스톤(41) 제2 작동 공간(223)의 바닥면 방향으로 신속하게 이동할 수 있도록 탄성력을 부여한다. 이에 따라 제2 밸브판(24)이 제2 입구(112a)의 주변부에서 신속하게 떨어질 수 있다.

다음으로 도 6, 도 7 및 도 8을 참고하여 복귀 탄성부에 대하여 설명한다.

도 6는 도 3에 도시한 C 부분 확대도이며, 도 7 및 도 8은 다시 참고한다.

도 6, 도 7 및 도 8을 참고하면, 밸브 몸체(22)의 관통공(642a)에 위치한 복귀 탄성부(50)는, 복귀 하우징(51), 복귀 로드(52), 그리고 복귀 탄성체(53)를 포함한다.

복귀 하우징(51)은 내부가 상하 관통되어 있다. 복귀 하우징(51)의 내부 상부측에는 단턱이 형성되어 있다. 복귀 하우징(51)의 하부측은 제2 밸브판(24)의 고정통공(242)에 결합되어 있다. 복귀 하우징(51)의 상부측은 제1 밸브판(23)과 떨어져 있다. 복귀 하우징(51)은 제2 밸브판(24)을 따라 움직일 수 있다.

복귀 로드(52)는 복귀 하우징(51)의 내부에 이동 가능하게 배치되어 있다. 이때 복귀 하우징(51)의 내부 둘레면과 복귀 로드(52)의 외부 둘레면은 간격을 두고 떨어져 있다. 복귀 로드(52)의 일측은 제1 밸브판(23)의 고정홀(232)에 결합되어 있다. 복귀 하우징(51)의 타측은 복귀 하우징(51)의 상부측과 간격을 두고 떨어져 있다. 복귀 로드(52)의 타측에는 복귀 하우징(51)의 단턱과 마주하는 단턱이 형성되어 있다. 복귀 로드(52)는 제1 밸브판(23)을 따라 움직일 수 있다. 이와 같은 복귀 로드(52)와 복귀 로드(52)는 서로 반대 방향으로 움직인다.

복귀 탄성체(53) 복귀 하우징(51)의 내부에 위치하여 복귀 로드(52)의 단턱과 복귀 하우징(51)의 단턱 사이에 위치한다. 복귀 탄성체(53)의 일측과 타측은 단턱에 각각 지지되어 있다.

제1 작동 공간(222)과 제2 작동 공간(223)의 바닥면으로 작동 유체가 유입되어 제1 밸브판(23)이 제1 입구(111a) 방향으로 이동하고 제2 밸브판(24)이 제2 입구(112a) 방향으로 이동할 때 복귀 탄성체(53)는 제1 밸브판(23)과 연결된 복귀 로드(52)의 단턱, 제2 밸브판(24)과 연결된 복귀 하우징(51)의 단턱에 의하여 압축되면서 탄성력이 발생한다.

그러나 제2 둘레 유로(221b)를 통하여 제1 작동 공간(222)과 제2 작동 공간(223)으로 작동 유체가 유입되어 제1 밸브판(23)이 제1 입구(111a)의 주변부에서 떨어지고 제2 밸브판(24)이 제2 입구(112a)의 주변부에서 떨어질 때 압축된 복귀 탄성체(53)의 탄성력에 의하여 제1 밸브판(23)과 제2 밸브판(24)은 신속하게 입구의 주변부에 떨어지게 된다.

이와 같은 복귀 탄성부(50)는, 제1 승강 탄성체(34), 그리고 제2 승강 탄성체(44)는 제1 밸브판(23)과 제2 밸브판(24)이 입구의 주변부에서 신속하게 떨어질 수 있도록 하게 된다.

다음으로 도 9 내지 도 11을 참고하여 진자 구동부에 대하여 설명한다.

도 9은 도 1에 도시한 진자 구동부를 나타낸 단면도이고, 도 10은 도 9에 도시한 제한 부재를 나타낸 분해 사시도이며, 도 11은 도 9에 도시한 후방 피스톤의 이동 거리를 조절한 상태를 나타낸 작동도이다.

도 9 내지 도 11을 참고하면, 본 실시예에 따른 진자 구동부(60)는 샤프트 하우징(61), 샤프트(62), 그리고 전방 엑추에이터(63)를 포함한다. 본 실시예에 따른 진자 구동부(60)는 후방 엑추에이터(64) 및 제한 부재(66)를 더 포함할 수 있다.

샤프트 하우징(61)의 내부는 상하 관통되어 있다. 관통된 샤프트 하우징(61)의 내부에는 샤프트 공간(611)과 피니언 공간(612)이 형성되어 있다. 샤프트 공간(611)은 샤프트 하우징(61)의 내부 상부측에 피니언 공간(612) 샤프트 하우징(61)의 내부 하부측에 형성된다. 샤프트 공간(611)과 피니언 공간(612)은 서로 연통되어 있다.

샤프트 하우징(61)의 상부측은 제1 몸체(11)의 제2 부재(112) 힌지공(112b) 주변부에 결합되어 있다. 이때 샤프트 하우징(61)의 샤프트 공간(611)과 힌지공(112b)의 내부는 연통되어 있다. 이에 따라 샤프트 공간(611)과 링 연결부(212)에 형성된 제1 외측 유로(212a)와 제2 외측 유로(212b)의 타측은 샤프트 공간(611) 위에 위치할 수 있다.

샤프트 하우징(61)의 내부 둘레면을 따라 작동 유체가 유입되는 제1 공급 유로(611a)와 제2 공급 유로(611b)가 형성되어 있다. 제1 공급 유로(611a)와 제2 공급 유로(611b)는 간격을 두고 떨어져 있다. 제1 공급 유로(611a)와 제2 공급 유로(611b)의 주변에는 기밀 부재가 설치되어 있다. 기밀 부재는 공급 유로 유입된 작동 유체의 누출을 방지한다.

한편, 샤프트 하우징(61)의 저면에는 피니언 공간(612)을 단속하는 캡(613))이 설치되어 있다.

샤프트(62)는 샤프트 하우징(61)의 내부에 위치하여 샤프트 공간(611)과 피니언 공간(612)를 걸쳐 위치한다. 이때 샤프트(62)의 상부측은 베어링으로 샤프트 공간(611)에 회전 가능하게 지지되어 있다.

샤프트(62)의 상부측은 샤프트 공간(611)외부로 노출되어 제2 부재(112)의 힌지공(112b) 부분에 위치한다. 힌지공(112b) 부분에 위치한 샤프트(62)의 상부측은 다각형으로 형성되어 있다.

샤프트(62)의 상부측은 제1 외측 유로(212a)와 제2 외측 유로(212b)의 타측 부분이 위치하는 링 연결부(212)에 연결되어 있다. 이때 링 연결부(212)가 링체(221)의 외부 둘레면에서 돌출되는 형태로 연결되어 있어 샤프트(62)는 밸브 유닛(20)에 편심되게 연결된다. 이와 같은 샤프트(62)는 지지몸체(21)의 회전(자전)의 중심축이 된다.

샤프트(62)의 회전력이 링 연결부(212)에 전달될 수 있도록 샤프트(62)가 연결되어 있는 링 연결부(212) 부분은 다각홈으로 형성되어 있다. 그러나 샤프트(62)와 링 연결부(212)는 샤프트(62)의 회전 미끄럼을 방지하는 키(도시하지 않음)로 연결될 수 있다.

샤프트(62)와 링 연결부(212)가 서로 연결된 부분이 다각 형상으로 형성되거나 키로 연결되어 샤프트(62) 회전 시 밸브 유닛(20) 또한 샤프트(62)의 회전 방향을 따라 움직일 수 있다.

샤프트(62)의 내부에는 상하 방향으로 제1 샤프트 유로(621)와 제2 샤프트 유로(622)가 형성되어 있다. 제1 샤프트 유로(621)와 제2 샤프트 유로(622)는 구획되어 있다. 아울러, 제1 샤프트 유로(621)는 제1 공급 유로(611a)와 연결되어 있고 제2 샤프트 유로(622)는 제2 공급 유로(611b)와 연결되어 있다. 더불어 제1 샤프트 유로(621)는 제1 외측 유로(212a)와 연결되어 있으며, 제2 샤프트 유로(622)는 제2 외측 유로(212b)와 연결되어 있다.

샤프트(62)의 하부는 피니언 공간(612)에 배치된 피니언(623)이 결합되어 있다. 피니언(623)은 샤프트(62)와 키(K)로 연결되어 있다. 키(K)에 의하여 피니언(623)이 회전하면 샤프트(62) 또한 회전할 수 있다. 아울러, 피니언(623)의 상하부는 피니언 공간(612)에 베어링으로 지지되어 있다. 한편, 샤프트 하우징(61)에 결합된 캡(613)을 분리하면 피니언(623)과 샤프트(62)를 동력 연결하는 키(K)를 분리할 수 있다. 키(K)가 분리되면 피니언(623)의 동력이 샤프트(62)에 전달되지 않는다. 이때 작업자가 밸브 유닛(20)을 움직이면 샤프트(62)는 회전할 수 있다.

전방 엑추에이터(63)는 샤프트 하우징(61)에 연결되어 피니언(623)에 구동력을 제공하는 것으로, 실린더(631) 및 피스톤(632)을 포함한다.

실린더(631)는 샤프트 하우징(61)의 하부측에 결합되어 있다. 실린더(631)의 내부는 피니언 공간(612)과 연통되어 있다. 아울러, 실린더(631)가 샤프트 하우징(61)에 결합될 때 실린더(631)의 중심이 피니언 공간(612)의 일측으로 편심되게 결합된다. 한편, 실린더(631)의 일측과 타측에는 실린더(631) 내부로 작동 유체를 공급하는 제1 포트(도시하지 않음)와 제2 포트(도시하지 않음)가 형성되어 있다.

피스톤(632)은 실린더(631)의 내부에 직선 이동 가능하게 결합되어 있다. 피스톤(632)는 포트를 통하여 실린더(631) 내부로 유입되는 작동 유체의 압력에 의하여 움직일 수 있다. 이때 제1 포트를 통해 작동 유체가 실린더(631) 내부로 유입되면 피스톤(632)은 샤프트 하우징(61)에서 멀어지는 방향으로 이동하며, 제2 포트를 통하여 작동 유체가 실린더(631) 내부로 유입되는 피스톤(632)는 샤프트 하우징(61)과 가까워지는 방향으로 이동한다.

이러한, 피스톤(632)에는 피스톤(632)을 따라 이동하는 랙 로드(633)가 연결되어 있다. 이때, 랙 로드(633)의 일측은 피스톤(632)에 연결되어 있으며, 랙 로드(633)의 타측은 피니언 공간(612)에 위치하여 피니언(623)과 접한 상태가 된다. 피니언(623)과 접하고 있는 랙 로드(633) 부분에는 랙 기어들이 형성되어 있다. 이에 따라 실린더(631) 내부로 유입되는 작동 유체에 의하여 피스톤(632)이 움직이면 랙 로드(633) 또한 움직이며, 움직이는 랙 로드(633)는 피니언(623)을 회전시키게 된다. 피니언(623)의 회전으로 샤프트(62) 또한 회전될 수 있다. 이러한 샤프트(62)의 회전으로 밸브 유닛(20)이 움직이게 된다.

한편, 피스톤(632)의 이동 거리에 따라 샤프트(62)가 회전된다. 이때 샤프트(62)가 0ㅀ내지 130ㅀ범위 내에서 회전할 수 있도록 피스톤(632)은 이동한다. 그러나 실린더(631)의 크기가 변경될 경우 피스톤(632)의 이동 거리 또한 변경될 수 있으므로 샤프트(62)는 130ㅀ이상 회전할 수도 있다.

이와 같이, 전방 엑추에이터(63)의 구동에 의해 밸브 유닛(20)이 움직이면 밸브 유닛(20)은 제1 입구(111a)와 제2 입구(112a)의 사이를 점진적으로 벗어나거나, 제1 입구(111a)와 제2 입구(112a) 사이로 점진적으로 위치할 수 있다. 즉, 도 12 내지 도 14에서 나타낸 바와 같이, 전방 엑추에이터(63)의 구동에 의하여 밸브 몸체(22)는 하우징(10)의 내부에서 움직이면서 제1 입구(111a)와 제2 입구(112a)를 단속하게 된다.

후방 엑추에이터(64)는 샤프트(62)의 회전을 단계적으로 정확하게 제어하기 위한 것으로 전방 엑추에이터(63)와 연결되어 있다. 후방 엑추에이터(64)는 후방 실린더(641), 후방 피스톤(642) 그리고 후방 로드(643)를 포함한다.

후방 실린더(641)는 실린더(631)에 연결되어 있다. 이때 후방 실린더(641)와 실린더(631)는 연결 블록(67)으로 연결되어 있다. 연결 블록(67)의 내부에는 후방 실린더(641)의 내부와 실린더(631)의 내부를 연결하는 연결 통로(671)가 형성되어 있다. 이때 연결 통로(671)의 적어도 일부분으로 피스톤(632)의 일부분이 삽입되어 있다. 그러나 피스톤(632)의 일부분은 연결 통로(671)로 삽입되지 않을 수도 있다. 한편, 연결 블록(67)과 마주하는 후방 실린더(641)의 바닥면 중앙 부분은 외부로 관통되어 있다. 이러한 후방 실린더(641)의 바닥면 부분에는 제3 포트(641a) 및 제4 포트(641b)가 형성되어 있다. 제3 포트(641a)를 통하여 후방 실린더(641)의 내부로 작동 유체가 유입될 수 있다. 그리고 제4 포트(641b)를 통하여 후방 실린더(641) 내부로 유입된 작동 유체가 배출될 수 있다.

후방 피스톤(642)은 후방 실린더(641)의 내부에 직선 이동 가능하게 배치되어 있다. 후방 피스톤(642)은 제3 포트(641a)를 통하여 후방 실린더(641) 내부로 작동 유체가 유입되면 연결 블록(67) 방향으로 이동할 수 있다. 아울러, 후방 피스톤(642)의 중앙 부분에는 관통공(642a)이 형성되어 있다. 관통공(642a)은 후방 피스톤(642)의 길이 방향을 따라 관통한다.

후방 로드(643)는 소정 길이로 형성되며 피스톤(632)과 후방 피스톤(642) 사이에 위치한다. 후방 로드(643)의 일측은 연결 통로(671)에 위치하며 타측은 후방 피스톤(642)에 분리 가능하게 연결되어 있다. 한편, 피스톤(632)이 샤프트 하우징(61)에서 멀어지는 방향으로 이동하면 후방 로드(643)의 일측은 피스톤(632)과 접할 수 있다.

후방 로드(643)의 일측이 피스톤(632)에 접한 상태에서 후방 피스톤(642)이 연결 블록(67) 방향으로 이동하면 피스톤(632)는 샤프트 하우징(61) 방향으로 이동할 수 있다. 이와 반대로 피스톤(632)이 샤프트 하우징(61)에서 멀어지는 방향으로 이동하면 후방 피스톤(642)은 연결 블록(67)에서 멀어지는 방향으로 이동할 수 있다.

후방 로드(643)의 내부에는 후방 피스톤(642) 방향으로 제한 공간(643a)이 형성되어 있다. 제한 공간(643a)는 후방 피스톤(642)의 관통공(642a)과 연통되어 있다. 한편, 제한 공간(643a)의 둘레면에는 상하 길이 방향으로 적어도 하나의 가이드 홈(643b)이 형성되어 있다. 가이드 홈(643b)의 형성으로 후방 로드(643)와 후방 피스톤(642)이 접하는 부분에는 단턱(65)이 형성된다. 그러나 제한 공간(643a)의 내부 둘레면에는 상하 길이 방향을 따라 가이드 돌기(도시하지 않음)이 형성될 수도 있다. 가이드 돌기는 제한 공간(643a)의 중심을 향하여 돌출되어 있다. 그러나 가이드 홈(643b)은 생략될 수도 있다.

제한 부재(66)는 밸브 유닛(20)을 단계적으로 개방하기 위하여 후방 피스톤(642)의 움직이는 거리를 제한하는 것으로 스토퍼(661), 스크류(662), 그리고 가이드(663)를 포함한다.

스토퍼(661)는 제한 공간(643a)에 위치하며 스토퍼 몸체(661a) 및 날개편(661c)을 포함한다.

스토퍼 몸체(661a)는 제한 공간(643a)과 대응되는 형상으로 형성되어 있으며 가운데 부분에는 체결공(661b)이 형성되어 있다.

날개편(661c)은 스토퍼 몸체(661a)의 외부 둘레면에서 수직하게 돌출되어 있다. 날개편(661c)는 가이드 홈(643b)과 동일한 개수로 형성된다. 날개편(661c)은 가이드 홈(643b)에 위치한다. 날개편(661c)이 가이드 홈(643b)에 위치하므로 스토퍼(661)는 제한 공간(643a) 내에서 가이드 홈(643b)을 따라 직선 이동할 수 있다. 아울러, 후방 피스톤(642)이 연결 블록(67) 방향으로 이동할 때 단턱(65)은 날개편(661c)에 접할 수 있다. 날개편(661c)에 단턱(65)이 접하면 후방 피스톤(642)는 연결 블록(67) 방향으로 더 이상 이동하지 못한다.

스크류(662)는 스토퍼(661)를 직선 이동시키고 직선 이동한 위치를 고정하기 위한 것으로 후방 실린더(641)의 관통된 바닥면을 통하여 제한 공간(643a)에 위치한다. 스크류(662)의 일측은 제한 공간(643a)에 위치하여 체결공(661b)에 체결되어 있다. 그리고 스크류(662)의 타측은 후방 실린더(641)의 관통된 바닥면을 통하여 외부로 노출되어 있다. 노출된 스크류(662)의 타측에는 공구 결합부가 형성되어 있다. 공구 결합부는 육감홈 또는 육각 돌기 따 따위 형성되어 있다. 한편, 스크류(662)의 타측과 후방 실린더(641)의 바닥면 사이에는 후방 실린더(641)의 내부 기밀을 위한 기밀 부재가 배치되어 있다.

이와 같은 스크류(662)의 회전시 스토퍼(661)는 날개편(661c)이 가이드 홈(643b)에 위치하므로 스크류(662)를 따라 회전하지 못하고 가이드 홈(643b)을 따라 직선 이동하게 된다. 스크류(662)의 회전으로 스토퍼(661)의 위치가 설정되면 후방 피스톤(642)은 스토퍼(661)와 후방 실린더(641)의 바닥면 사이에서만 움직일 수 있다.

가이드(663)는 스크류(662)를 제한 공간(643a)에서 회전 가능하게 지지하는 것으로 제한 공간(643a)과 후방 피스톤(642)의 바닥면을 걸쳐 배치되어 있다. 이때 가이드(663)의 일부분은 후방 실린더(641)의 외부로 노출될 수 있다. 가이드(663)의 내부는 길이 방향을 따라 관통되어 있다. 가이드(663)의 내부에는 스토퍼 몸체(661a)가 위치한다. 그리고 가이드(663)에는 길이 방향을 따라 날개편(661c)이 관통하는 적어도 하나의 레일 홈(663a)이 형성되어 있다. 아울러, 가이드(663)의 외부 둘레면은 후방 로드(643)의 이 동시 간섭되지 않도록 제한 공간(643a)의 내부 둘레면과 간격을 두고 떨어져 있다.

한편, 가이드(663)와 후방 실린더(641)의 바닥면 사이에는 기밀 부재가 위치한다. 후방 실린더 외부로 노출된 가이드(663) 부분에는 스크류(662)의 이탈을 방지하는 스냅링(664)이 결합되어 있다. 아울러, 스크류(662)가 가이드(663) 내부에서 임의적으로 회전하는 것을 방지하기 위하여 후방 실린더(641) 외부로 노출된 부분에는 스크류(662)를 고정하는 리들 스크류(도시하지 않음)가 결합되어 있다.

이와 같은 제한 부재(66)에 의하여 이동 거리가 제한된 후방 피스톤(642)의 이동 거리만큼 피스톤(632)이 이동한다. 그리고 피스톤(632)과 연결된 랙 로드(633)가 이동하면서 샤프트(62)가 회전한다. 샤프트(62)의 회전으로 밸브 유닛(20)은 샤프트(62)를 기준으로 1차적으로 움직이게 된다. 이후 제한 부재(66)에 의하여 후방 피스톤(642)이 움직이지 않으면 실린더(631) 내부로 유입되는 작동 유체가 유입되며 피스톤(632)이 움직인다. 피스톤(632)의 움직임으로 여 랙 로드(633)가 이동하여 피니언(623)과 샤프트(62)가 회전하여 밸브 유닛(20) 2차 적으로 움직이게 된다.

한편, 진자 구동부(60), 제1 승강 구동부(30), 그리고 제2 승강 구동부(40)로 공급되는 작동 유체는 공기 압축기와 연결된 솔레노이드(S)에 의해 제어된다. 솔레노이드(S)는 도 9에서 나타낸 바와 같이, 후방 실린더(641)의 저면에 배치되어 있다. 솔레노이드(S)의 위치를 한정하지 않는다. 그리고 후방 실린더(641)의 바닥면 내부에는 솔레노이드(S)와 연결된 매니폴드(도시하지 않음)가 형성되어 있다. 한편, 후방 엑추에이터(64)가 생략된 경우 솔레노이드와 매니폴드는 전방 엑추에이터(63)의 실린더에 형성될 수도 있다.

이와 같은, 매니폴드는 진자 구동부(60)의 실린더 포트, 제1 공급 유로(611a), 제2 공급 유로(611b)와 연결될 수 있다.

솔레노이드에 의해 제어된 압축 공기는 매니폴드를 통하여 진자 구동부(60) 또는 승강 구동부 중 선택된 어느 하나로 공급될 수 있다.

이와 같이 매니폴드가 엑추에이터의 실린더 내부에 일체로 형성되므로 작동 유체의 제어에 따른 사용부품을 최소화 할 수 있다. 그리고 매니폴드가 엑추에이터의 실린더 내부에 일체로 형성되므로 엑추에이터의 외관을 미려하게 할 수 있다.

다음은 도 7, 도 8, 도 12 내지 도 15를 다시 참고하여 위에서 설명한 진자 밸브의 작용에 대하여 설명한다.

먼저, 제1 밸브판(23)과 제2 밸브판(24)이 제1 입구(111a)와 제2 입구(112a)의 주변부에 밀착되는 상태에 대해서 설명한다.

도 7에서 도시한 바와 같이, 제1 밸브판(23)과 제2 밸브판(24)이 제1 입구(111a)와 제2 입구(112a)의 주변부에서 떨어진 상태에서 공기 압축기에서 발생한 작동 유체가 솔레노이드(S, 도 9 참고)의 제어로 샤프트 하우징(61)의 제2 공급 유로(611b)가 오픈 된 상태에서 제1 공급 유로(611a), 제1 샤프트 유로(621), 그리고 제1 외측 유로(212a)를 통하여 제1 둘레 유로(221a) 및 제3 둘레 유로(221c)로 유입된다.(도 8 참고)

제1 둘레 유로(221a)로 유입된 작동 유체는 제2 작동 공간(223)의 바닥면 방향으로 유입되고 제3 둘레 유로(221c)로 유입된 작동 유체는 제1 작동 공간(222)의 바닥면 방향으로 유입된다. 유입된 작동 유체는 제1 승강 피스톤(31)과 제2 승강 피스톤(41)을 바닥면에서 각 승강 캡 방향으로 이동시킨다. 이때 제1 로드(32) 및 제2 로드(32) 또한 각 승강 피스톤(632)과 동일한 방향으로 이동한다. 한편, 각 승강 피스톤이 각 승강 캡 방향으로 이동하면 제1 승강 탄성체(34)와 제2 승강 탄성체(44)는 압축된다.

그리고 작동 유체가 지속적으로 유입되어 각 승강 피스톤이 각 승강 캡 방향으로 이동하면 제1 로드(32)와 제2 로드(32)에 연결된 제1 밸브판(23)과 제2 밸브판(24)은 이동하여 제1 입구(111a)와 제2 입구(112a)의 주변부에 밀착시킨다. 이때 각 밸브판에 결합된 기밀 부재가 입구의 주변부에 밀착되면서 압축되어 제1 입구(111a)와 제2 입구(112a)가 완전하게 닫히게 된다.

아울러, 제1 밸브판(23)과 제2 밸브판(24)이 입구의 주변부에 밀착되면서 제2 밸브판(24)과 연결된 복귀 하우징(51)과 제1 밸브판(23)과 연결된 복귀 로드(52)는 각 밸브판을 따라 이동하게 된다. 이때 복귀 하우징(51)과 복귀 로드(52)가 서로 다른 방향으로 이동하게 되면서 복귀 탄성체(53)는 압축된 상태를 유지한다. 압축된 복귀 탄성체(53)와 제1 승강 탄성체(34), 그리고 제2 승강 탄성체(44)는 제1 밸브판(23)과 제2 밸브판(24)이 입구의 주변부에서 떨어지도록 승강 피스톤과 복귀 하우징(51), 복귀 로드(52)에 탄성력을 부여한다.

다음으로, 제1 밸브판(23)과 제2 밸브판(24)이 제1 입구(111a)와 제2 입구(112a)의 주변부에 떨어지는 상태에 대해서 설명한다.

도 8에서 도시한 바와 같이, 제1 밸브판(23)과 제2 밸브판(24)이 제1 입구(111a)와 제2 입구(112a)의 주변부에 밀착된 상태에서 공기 압축기에서 발생한 작동 유체가 솔레노이드(S, 도 9 참고)의 제어로 샤프트 하우징(61)의 제1 공급 유로(611a)를 오픈 한다. 그리고 작동 유체를 샤프트 하우징(61)의 제2 공급 유로(611b), 제2 샤프트 유로(622), 그리고 제2 외측 유로(212b)를 통하여 제2 둘레 유로(221b)로 유입된다.(도 7 참고)

이때 각 작동 공간으로 유입된 작동 유체는 각 승강 피스톤과 각 승강 캡 사이로 유입되어 승강 피스톤을 작동 공간의 바닥면 방향으로 이동시킨다. 이때 각 로드 또한 각 승강 피스톤을 따라 이동하게 되면서 제1 밸브판(23)과 제2 밸브판(24)은 입구의 주변에서 떨어지게 된다. 각 밸브판이 각 입구의 주변부에서 떨어지면서 입구가 열린 상태가 된다.

한편, 제1 공급 유로(611a)가 오픈 될 때 바닥면과 승강 피스톤 사이로 유입된 압축 공기의 압력은 상실된다. 이때 압축된 각 승강 탄성체와 복귀 탄성체가 복귀 되면서 각 승강 피스톤을 바닥면 방향으로 이동시키고 복귀 하우징과 복귀 로드를 원상태로 복귀 시킨다. 이와 같은 승강 탄성체와 복귀 탄성체의 탄성 복원력과 승강 피스톤과 승강 캡 사이로 유입된 압축 공기의 압력에 의하여 제1 밸브판(23)과 제2 밸브판(24)은 입구의 주변부에서 신속하게 떨어져 입구가 열릴 수 있다.

이와 같이 제1 밸브판(23)과 제2 밸브판(24)을 움직이는 제1 승강 구동부(30) 및 제2 승강 구동부가 작동 유체의 압력에 의해 동작하므로 제1 밸브판(23)과 제2 밸브판(24)의 동작이 우수하며 진공 차단성능이 향상된다.

한편, 첨부된 도면과 위 설명에서 제1 승강 구동부(20)와 제2 승강 구동부(40)를 구동시키는 작동 유체가 각 유로를 통하여 각 작동 공간으로 유입되는 것으로 설명하였으나, 작동 유체는 각 유로를 통하지 않고 각 작동 공간으로 직접 유입되어 승강 구동부를 구동할 수 있다. 그리고 유로는 다양한 구조로 형성될 수도 있다.

다음으로 도 12 내지 도 14를 참고하여 밸브 유닛이 제1 입구와 제2 입구 사이에서 벗어나는 것에 대하여 설명한다.

도 7에서 도시한 바와 같이 제1 밸브판(23)과 제2 밸브판(24)이 각 입구의 주변부에서 떨어진 상태에서 진자 구동부(60)가 구동한다.

도 12에서 나타낸 바와 같이 밸브 유닛(20)이 제1 입구(111a)와 제2 입구 사이에 전체적으로 위치하면 피스톤(632)과 후방 피스톤(642)은 각 실린더의 하사점에 위치한다. 그리고 스토퍼(661)은 소정 위치에 위치한 상태를 유지한다.

제1 포트(631a)가 오픈 된 상태에서 솔레노이드(S)의 제어로 작동 유체가 제4 포트(641b)를 통하여 후방 실린더(641) 내부로 작동 유체가 유입된다. 후방 실린더(641)내부로 유입된 작동 유체는 후방 피스톤(642)을 연결 블록(67) 방향으로 이동시킨다. 그리고 후방 피스톤(642)에 연결된 후방 로드(643)는 피스톤(632)을 샤프트 하우징(61) 방향으로 이동시킨다. 피스톤(632)은 랙 로드(633)를 이동시켜 피니언(623)을 회전시킨다. 피니언(623)이 샤프트(62)와 키(K)로 연결되어 있으므로 샤프트(62)는 피니언(623)을 따라 회전한다. 회전하는 샤프트(62)와 연결된 밸브 유닛(20)은 제1 입구(111a)와 제2 입구(112a) 사이에서 점진적으로 벗어나게 된다.

연결 블록(67) 방향으로 이동하던 후방 피스톤(642)의 단턱(65)이 스토퍼(661)에 걸리면 후방 실린더(641) 내부로 유입되더라도 후방 피스톤(642)은 연결 블록(67) 방향으로 더 이상 이동하지 않는다. 이에 따라 후방 로드(643)에 의해 이동하던 피스톤(632) 또한 이동하지 않는다. 이에 따라 제1 입구(111a)와 제2 입구(112a) 사이에서 점진적으로 벗어나는 밸브 유닛(20)의 움직임은 멈추게 된다. 따라서 도 13에서 나타낸 바와 같이 제1 입구(111a)와 제2 입구(112a)의 일부분이 서로 연통될 수 있다.

후방 피스톤(642)의 이동이 멈춘 상태에서 솔레로이드(S)의 제어로 작동 유체는 제2 포트(631b)를 통하여 실린더(631) 내부로 유입된다. 실린더(631) 내부로 유입된 작동 유체는 피스톤(632)을 직선 이동시킨다. 이때 피스톤(632)은 후방 로드(643)로부터 떨어지며 샤프트 하우징(61) 방향으로 이동하게 된다. 피스톤(632)의 움직임으로 랙 로드(633)가 이동하여 피니언(623)을 회전시키게 된다. 피니언(623)의 회전으로 밸브 유닛(20)은 다시 움직이게 된다. 그리고 피스톤(632)이 실린더(631)에 상사점에 도달하면 밸브 유닛(20)은 도 14에서 도시한 바와 같이 제1 입구(111a)와 제2 입구(112a) 사이에서 완전히 벗어나 제1 입구(111a)와 제2 입구(112a)가 연통된다.

이와 같은 밸브 유닛(20)이 진자 구동부(60)의 후방 엑추에이터(64)와 전방 엑추에이터(63)에 의하여 밸브 유닛(20)이 단계적으로 열리게 되면서 제1 입구(111a)와 제2 입구(112a)가 단계적으로 연통되므로 급격한 압력 변화를 방지할 수 있다. 이에 따라 급격한 압력 변화에 따른 부품 손상을 방지할 수 있다.

한편, 밸브 유닛(20)을 다시 제1 입구(111a)와 제2 입구(112a) 사이에 위치 시키고자 할 경우, 솔레노이드(S)의 제어로 제2 포트(631b) 및 제3 포트(641a)는 닫힌 상태를 유지한다. 그리고 작동 유체가 제1 포트(631a)를 통하여 실린더 내부로 유입되면 피스톤(632)은 샤프트 하우징(61)에서 멀어지는 방향으로 이동하게 된다. 이때 랙 로드(633) 또한 피스톤(632)을 따라 이동하게 되면서 피니언(623)이 역방향으로 회전하여 밸브 유닛(20)을 제1 입구(111a)와 제2 입구(112a) 사이로 점진적으로 유치 시킨다.

샤프트 하우징(61)에서 멀어지는 방향으로 이동하던 피스톤(632)이 후방 로드(643)에 접하게 되면 후방 로드(643) 또한 연결 블록(67)에서 멀어지는 방향으로 이동하게 되면 스토퍼(661)에 걸린 후방 피스톤(642) 또한 연결 블록(67)에서 멀어지는 방향으로 이동하게 된다.

이와 같은 피스톤(632)과 후방 피스톤(642)이 실린더의 바닥면에 위치하게 되면 밸브 유닛(20)은 제1 입구(111a)와 제2 입구(112a) 사이에 위치한 상태가 된다. 이때 승강 구동부의 구동으로 제1 밸브판(23)과 제2 밸브판(24)이 입구의 주변부에 다시 밀착되어 각 입구가 닫히게 된다.

한편, 제1 밸브판(23)과 제2 밸브판(24)에 결합된 기밀 부재의 손상으로 기밀 부재를 교체해야 할 경우 도 15에서 도시한 바와 같이 제1 몸체(11)에서 제2 몸체(12)를 분리한다. 이러한 상태에서 작업자가 제1 입구(111a)와 제2 입구(112a)를 벗어난 밸브 유닛(20)을 인위적으로 회전 시킬 경우 샤프트(62)와 키(K)(도 14 참고)로 연결된 피니언(623)이 랙 로드(633)와 연결되어 있으므로 샤프트(62)가 회전되지 않는다. 이에 따라 밸브 유닛(20)이 회전할 수 없다.

그러나, 피니언(623)과 샤프트(62)를 동력 연결하는 키(K)를 분리하면, 샤프트(62)는 자유 회전이 가능한 상태가 된다. 샤프트(62)의 자유 회전이 가능한 상태에서 작업자가 밸브 유닛(20)을 회전시키면 피니언(623)과 동력 연결이 끊긴 샤프트(62)는 밸브 유닛(20)을 따라 움직이게 된다. 이때 작업자가 밸브 유닛(20)을 제2 몸체(12) 방향으로 회전시키면 밸브 유닛(20)은 도 15에서 도시한 바와 같이 제1 몸체(11)를 완전하게 벗어나게 된다.

이에 따라 제1 밸브판(23)과 제2 밸브판(24)에 결합된 기밀 부재가 제1 몸체(11) 외부로 완전하게 노출된다. 기밀 부재가 전체적으로 제1 몸체(11) 외부로 노출되므로 밸브판에 결합된 기밀 부재가 제1 몸체(11)에 걸리지 않아 작업영역이 넓게 형성될 수 있다. 이에 따라 기밀 부재의 교체에 따른 정비성이 향상될 수 있다. 아울러, 제1 몸체(11)의 제1 부재(111)와 제2 부재(112)를 분리하여 밸브 유닛(20)의 기밀 부재를 교체할 수도 있다.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.

1: 진자 밸브 10: 하우징
11: 제1 몸체 111: 제1 부재
112: 제2 부재 111a: 제1 입구
112a: 제2 입구 111b, 112b: 힌지공
12: 제2 몸체 11a, 12a: 수납 공간
20: 밸브 유닛 21: 지지 몸체
211: 링체 211a: 배치 공간
212: 링 연결부 212a: 제1 외측 유로
212b: 제2 외측 유로 22: 밸브 몸체
221a: 제1 둘레 유로 221b: 제2 둘레 유로
221c: 제3 둘레 유로 222: 제1 작동 공간
222a: 제1 단차부 223: 제2 작동 공간
223a: 제2 단차부 224: 통공
225: 제1 둘레 실링 부재 226: 제2 둘레 실링 부재
23: 제1 밸브판 231: 제1 연결홀
232: 고정홀 24: 제2 밸브판
241: 제2 연결홀 242: 고정통공
30: 제1 승강 구동부 31: 제1 승강 피스톤
32: 제1 로드 33: 제1 승강 캡
34: 제1 승강 탄성체 40: 제2 승강 구동부
41: 제2 승강 피스톤 42: 제2 로드
43: 제2 승강 캡 44: 제2 승강 탄성체
50: 복귀 탄성부 51: 복귀 하우징
52: 복귀 로드 53: 복귀 탄성체
60: 진자 구동부 61: 샤프트 하우징
611: 샤프트 공간 611a: 제1 공급 유로
611b: 제2 공급 유로 612: 피니언 공간
62: 샤프트 621: 제1 샤프트 유로
622: 제2 샤프트 유로 623: 피니언
63: 전방 엑추에이터 631: 실린더
631a: 제1 포트 631b: 제2 포트
632: 피스톤 633: 랙 로드
64: 후방 엑추에이터 641: 후방 실린더
641a: 제3 포트 641b: 제4 포트
642: 후방 피스톤 642a: 관통공
643: 후방 로드 643a: 제한 공간
643b: 가이드 홈 65: 단턱
66: 제한 부재 661: 스토퍼
661a: 스토퍼 몸체 661b: 체결공
661c: 날개편 662: 스크류
663: 가이드 663a: 레일 홈
664: 스냅링 67: 연결 블록
671: 연결 통로

Claims (14)

1. 제1 입구 및 제2 입구가 형성되어 있는 하우징,
   상기 제1 입구 및 상기 제2 입구를 각각 단속하는 제1 밸브판 및 제2 밸브판을 포함하고, 상기 하우징 내부에 진자 운동 가능하게 설치된 밸브 유닛,
   상기 제1 밸브판과 상기 제2 밸브판 사이에 위치하고 상기 제1 밸브판과 상기 제2 밸브판을 각각 이동시키는 제1 승강 구동부 및 제2 승강 구동부, 그리고
   상기 밸브 유닛에 연결되어 있고, 상기 밸브 유닛을 진자 운동 시키는 진자 구동부
   를 포함하고,
   상기 제1 승강 구동부는,
   상기 밸브 유닛 내부에 직선 이동 가능하게 배치되어 있는 제1 승강 피스톤,
   일측이 상기 제1 밸브판에 연결되어 있고 타측이 상기 제1 승강 피스톤에 연결된 제1 로드, 그리고
   상기 밸브 유닛 내부를 단속하며 상기 제1 로드가 관통된 제1 승강 캡
   을 포함하는
   진자 밸브.
2. 제1항에서,
   상기 밸브 유닛은,
   상기 제1 밸브판과 상기 제2 밸브판 사이에 위치하며 상기 제1 승강 구동부가 배치된 제1 작동 공간이 일면에 형성되어 있고, 상기 제2 승강 구동부가 배치된 제2 작동 공간이 타면에 형성된 밸브 몸체 및
   상기 밸브 몸체를 지지하며 상기 진자 구동부와 연결된 지지 몸체
   를 포함하고,
   상기 밸브 몸체와 상기 지지 몸체에는 상기 제1 승강 구동부 및 상기 제2 승강 구동부로 작동 유체를 공급하는 유로들이 형성되어 있으며, 상기 작동 유체의 압력에 의해 상기 제1 승강 구동부와 상기 제2 승강 구동부는 서로 다른 방향으로 직선 이동하는
   진자 밸브.
3. 제1항에서,
   상기 제1 승강 구동부는, 상기 제1 승강 캡과 상기 제1 승강 피스톤 사이에 위치하고 상기 제1 밸브판이 상기 밸브유닛에 접하도록 탄성력을 부여하는 제1 승강 탄성체를 더 포함하는 진자 밸브.
4. 제1항에서,
   상기 제2 승강 구동부는,
   상기 밸브 유닛 내부에 직선 이동 가능하게 배치되어 있는 제2 승강 피스톤,
   일측이 상기 제1 밸브판에 연결되어 있고 타측이 상기 제2 승강 피스톤에 연결된 제2 로드, 그리고
   상기 밸브 유닛 내부를 단속하며 상기 제2 로드가 관통된 제2 승강 캡
   을 포함하는
   진자 밸브.
5. 제4항에서,
   상기 제2 승강 구동부는, 상기 제2 승강 캡과 상기 제2 승강 피스톤 사이에 위치하고 상기 제2 밸브판이 상기 밸브유닛에 접하도록 탄성력을 부여하는 제2 승강 탄성체를 더 포함하는 진자 밸브.
6. 삭제
7. 제1 입구와 제2 입구가 형성되어 있는 하우징,
   상기 제1 입구 및 상기 제2 입구를 각각 단속하는 제1 밸브판 및 제2 밸브판을 포함하고, 상기 하우징 내부에 진자 운동 가능하게 설치된 밸브 유닛,
   상기 제1 밸브판과 상기 제2 밸브판 사이에 위치하고 상기 제1 밸브판과 상기 제2 밸브판을 각각 이동시키는 제1 승강 구동부 및 제2 승강 구동부,
   상기 밸브 유닛에 연결되어 있고, 상기 밸브 유닛을 진자 운동 시키는 진자 구동부, 그리고
   상기 밸브 유닛에 배치되어 있으며 상기 제1 밸브판과 상기 제2 밸브판이 서로 마주하는 방향으로 이동하도록 상기 제1 밸브판과 상기 제2 밸브판에 탄성력을 부여하는 적어도 하나의 복귀 탄성부
   를 포함하고,
   상기 복귀 탄성부는,
   상기 밸브 유닛에 이동 가능하게 배치되어 있고 상기 제2 밸브판에 연결된 복귀 하우징,
   상기 복귀 하우징 내부에 이동 가능하게 배치되어 있고, 상기 제1 밸브판과 연결된 복귀 로드, 그리고
   상기 복귀 하우징과 상기 복귀 로드 사이에 위치하고 상기 복귀 하우징과 상기 복귀 로드가 서로 반대 방향으로 이동하도록 탄성력을 부여 하는 복귀 탄성체
   를 포함하는
   진자 밸브.
8. 제1 입구 및 제2 입구가 형성되어 있는 하우징,
   상기 제1 입구 및 상기 제2 입구를 각각 단속하는 제1 밸브판 및 제2 밸브판을 포함하고, 상기 하우징 내부에 진자 운동 가능하게 설치된 밸브 유닛,
   상기 제1 밸브판과 상기 제2 밸브판 사이에 위치하고 상기 제1 밸브판과 상기 제2 밸브판을 각각 이동시키는 제1 승강 구동부 및 제2 승강 구동부, 그리고
   상기 밸브 유닛에 연결되어 있고, 상기 밸브 유닛을 진자 운동 시키는 진자 구동부
   를 포함하고,
   상기 진자 구동부는,
   상기 하우징의 일측에 장착되어 있고 내부가 상기 하우징의 내부와 연통된 샤프트 하우징,
   피니언을 포함하고 상기 샤프트 하우징 내부에 회전 가능하게 설치되어 있으며 상기 밸브 유닛의 일측에 연결된 샤프트, 그리고
   상기 피니언과 연결된 랙 로드와, 상기 랙 로드를 직선 이동 시키는 피스톤이 배치된 실린더로 구성된 전방 엑추에이터
   를 포함하는
   진자 밸브.
9. 제8항에서
   상기 샤프트 하우징과 상기 샤프트에는 상기 밸브 유닛 내부에 형성된 유로와 연결되어 있는 유로가 형성되어 있으며, 상기 작동 유체는 상기 샤프트 하우징의 유로를 통하여 상기 제1 승강 구동부와 상기 제2 승강 구동부로 유입되는 진자 밸브.
10. 제8항에서,
    상기 진자 구동부는,
    내부가 상기 실린더의 내부와 연통된 후방 실린더와, 상기 후방 실린더 내부에 이동 가능하게 배치된 후방 피스톤과, 일측이 상기 피스톤에 접하고 타측이 상기 후방 피스톤에 연결된 후방 로드 구성된 후방 엑추에이터를 더 포함하는 진자 밸브.
11. 제10항에서,
    상기 진자 구동부는, 상기 후방 엑추에이터에 연결되어 있고, 상기 후방 피스톤의 직선 이동을 제한하는 제한 부재를 더 포함하는 진자 밸브.
12. 제11항에서,
    상기 후방 로드의 내부에는 상기 후방 피스톤 방향으로 개방된 제한 공간이 형성되어 있고,
    상기 제한 부재는,
    상기 제한 공간에 직선 이동 가능하게 배치된 스토퍼,
    일측이 상기 스토퍼에 연결되어 있고 타측이 상기 후방 실린더 외부로 노출된 스크류, 그리고
    상기 제한 공간 내부에 위치하고 상기 스크류 회전시 상기 스토퍼가 직선 이동하도록 하는 가이드
    를 포함하고,
    상기 제한 공간과 상기 후방 피스톤의 경계 부분에는 상기 스토퍼가 걸리는 단턱이 형성되어 있는
    진자 밸브.
13. 제8항에서,
    상기 피니언과 상기 샤프트는 키로 연결되어 있으며, 상기 키 분리시 상기 샤프트는 자유회전 상태로서 상기 밸브 유닛을 따라 회전할 수 있는 진자 밸브.
14. 제1항 내지 제5항, 제7항 내지 제13항 중 어느 한 항에서 정의된 진자 밸브를 포함하는 진공처리장치.

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