KR102140960B1 - 진공밸브 - Google Patents

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KR102140960B1
KR102140960B1 KR1020180113502A KR20180113502A KR102140960B1 KR 102140960 B1 KR102140960 B1 KR 102140960B1 KR 1020180113502 A KR1020180113502 A KR 1020180113502A KR 20180113502 A KR20180113502 A KR 20180113502A KR 102140960 B1 KR102140960 B1 KR 102140960B1
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김병용
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주식회사 케이브이티에스
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Abstract

본 기술은 진공밸브에 관한 것으로, 일측 및 타측이 각각 공정챔버와 진공펌프에 연결되는 유체통로가 내부에 형성되고, 상기 유체통로에 직교하는 방향으로 관통하는 슬라이딩 공간이 형성되는 밸브 하우징; 상기 슬라이딩 공간에 수평이동이 가능하도록 설치되어 상기 유체통로를 선택적으로 개폐하는 밸브 플레이트; 상기 유체통로와 평행한 방향으로 수직이동이 가능하도록 상기 유체통로에 설치되어 상기 슬라이딩 공간을 선택적으로 개폐하는 밀폐부재; 상기 밀폐부재와 상기 밸브 하우징 사이에 설치되고, 상기 공정챔버에 인접한 제1실링부재 및 상기 진공펌프에 인접한 제2실링부재; 및 상기 제1실링부재 및 상기 제2실링부재 각각에 인접한 상기 밸브 하우징에 형성되어 상기 유체통로와 상기 밸브 하우징 외부를 연통시키는 제1배출공 및 제2배출공을 포함하는 진공밸브를 제공한다.

Description

진공밸브{VACUUM VALVE}
본 발명은 진공밸브에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 실링부재의 손상에 기인하여 압축공기가 유체통로 내부로 유입되는 것을 방지할 수 있는 진공밸브에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조용 공정챔버와 공정챔버 내부의 진공상태를 형성/유지하기 위한 진공펌프 사이의 진공배관에는 진공밸브(Vacuum valve)가 설치된다. 상기 진공밸브는 진공배관이나 진공펌프 등 부대설비의 보수, 유지를 위해 진공배관 내의 유체통로를 차단하기 위해 사용되는 것이다.
이러한 진공밸브는 통상 하나의 구동판과 하나의 기밀판의 작동에 의해 공정챔버 측으로 연결되는 유체통로를 밀폐시킴으로써 공정챔버의 기밀성을 유지하게 된다.
따라서 반도체 제조장치의 진공 작업구역과 대기와의 밀폐기술도 반도체 제품의 품질에 많은 영향을 준다. 이에 따라 반도체 소자의 집적공정이 이루어지는 공정챔버와 이 공정챔버 내의 공기를 흡입하는 진공펌프와의 사이에 설치되어 진공펌프의 흡입력이 공정챔버로 전달되는 것을 개폐하는 진공밸브가 중요한 역할을 담당하게 되므로, 그 수명 및 내구성을 유지하기 위한 노력 또한 중요한 문제점으로 대두되고 있다.
특히, 진공밸브를 통하여 배출되는 공정챔버 내의 유체는 여러가지 부산물이 포함된다. 이러한 부산물은 유체의 배출 시 진공밸브의 밸브판을 구동하기 위한 액추에이터의 링크나 밸브판이 슬라이딩되는 하우징의 내벽에 지속적으로 부착되어 밸브판의 전후진 작동을 방해하게 되므로, 밸브판이 슬라이딩 되는 공간을 개폐하는 밀폐부재를 필요로 하였다. 이러한 밀폐부재를 구비한 종래의 진공밸브는 대한민국 등록특허공보 제10-0620726호 및 대한민국 등록특허공보 제10-0717865호 등에 개시되어 있다.
하지만, 종래의 진공밸브에 구비되는 밀폐부재는 압축공기에 의해 상하방향으로 이동되는데, 이때, 밀폐부재와 유체통로 사이에 설치된 실링부재가 마모 등에 의해 파손되는 경우, 밀폐부재를 구동하기 위한 압축공기가 유체통로 내부로 유입되는 문제점이 있다. 이처럼, 유체통로 내부로 압축공기가 유입되면 공정챔버 및 진공펌프를 손상시키는 치명적인 문제점이 발생한다.
또한, 밸브판이 유체통로를 차폐할 때, 밸브판이 하우징의 내부에 부딪치면서 소음공해를 발생시키고, 하우징 내벽에 부딪치는 밸브판의 가장자리가 손상되는 문제점도 있다.
따라서, 실링부재가 파손되더라도 유체통로 내측으로 압축공기가 유입되는 것을 방지함과 동시에 밸브판과 하우징 사이에서 발생하는 충격 및 소음을 저감시킬 수 있도록 구성되는 진공밸브가 요구된다.
따라서, 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명은 실링부재의 파손에 기인하여 유체통로 내부로 압축공기가 유입되는 것을 방지할 수 있는 진공밸브를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 밸브 플레이트 및 밸브 하우징 사이에서 발생하는 충격 및 충격에 기인한 소음을 저감시키고, 충격에 기인한 손상을 방지할 수 있는 진공밸브를 제공하는데 다른 목적이 있다.
본 발명의 해결과제는 이상에서 언급한 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 목적들을 달성하기 위한 본 발명에 따른 진공밸브는 일측 및 타측이 각각 공정챔버와 진공펌프에 연결되는 유체통로가 내부에 형성되고, 상기 유체통로에 직교하는 방향으로 관통하는 슬라이딩 공간이 형성되는 밸브 하우징; 상기 슬라이딩 공간에 수평이동이 가능하도록 설치되어 상기 유체통로를 선택적으로 개폐하는 밸브 플레이트; 상기 유체통로와 평행한 방향으로 수직이동이 가능하도록 상기 유체통로에 설치되어 상기 슬라이딩 공간을 선택적으로 개폐하는 밀폐부재; 상기 밀폐부재와 상기 밸브 하우징 사이에 설치되고, 상기 공정챔버에 인접한 제1실링부재 및 상기 진공펌프에 인접한 제2실링부재; 및 상기 제1실링부재 및 상기 제2실링부재 각각에 인접한 상기 밸브 하우징에 형성되어 상기 유체통로와 상기 밸브 하우징 외부를 연통시키는 제1배출공 및 제2배출공을 포함할 수 있다.
상기 제1실링부재 및 상기 제2실링부재 각각은 적어도 둘 이상의 서브-실링부재들을 포함할 수 있고, 상기 유체통로에 인접한 상기 제1배출공 및 상기 제2배출공 각각의 입구는 상기 둘 이상의 서브-실링부재들 사이에 위치할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 진공밸브는 상기 밸브 하우징의 외측 방향으로 향하는 상기 제1배출공 및 상기 제2배출공 각각의 출구에 형성된 이물질유입 방지부재를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 진공밸브는 상기 밸브 하우징의 외측 방향으로 향하는 상기 제1배출공 및 상기 제2배출공 각각의 출구에 형성된 유량감지센서를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 진공밸브는 상기 유체통로와 인접한 상기 밸브 하우징 내부에 설치되고, 상기 유체통로를 중심으로 서로 나란하게 위치하고, 상기 밸브 하우징 외부에서 탈착이 가능한 복수의 히터부재들을 더 포함할 수 있다. 상기 복수의 히터부재들 각각은 상기 유체통로의 직경에 대응하거나, 또는 상기 유체통로의 직경보다 작은 길이를 갖는 봉타입의 형상을 가질 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 진공밸브는 상기 유체통로로 향하는 상기 밸브 플레이트의 가장자리에 형성된 충격흡수부재를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 진공밸브는 상기 밀폐부재를 구동시키는 제1구동부를 더 포함할 수 있고, 상기 제1구동부는, 상기 밀폐부재를 하강시키도록 상기 밀폐부재의 외측 상부와 상기 밸브 하우징 사이의 공간에 압축공기를 제공하는 제1액츄에이터; 상기 밀폐부재를 승강시키도록 상기 밀폐부재의 외측 하부와 상기 밸브 하우징 사이의 공간에 압축공기를 제공하는 제2액츄에이터; 및 외부의 에어 서플라이로부터 공급받은 압축공기를 상기 제1액츄에이터 및 상기 제2액츄에이터 각각에 선택적으로 제공하는 압축공기 분배기를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 진공밸브는 상기 밸브 플레이트를 구동시키는 제2구동부를 더 포함할 수 있고, 상기 제2구동부는, 일단이 상기 밸브 플레이트와 연결되는 동력전달부재; 일단이 상기 제1힌지부재에 의해 상기 동력전달부재의 타단과 힌지 결합되어 직선운동이 가능하고, 상기 슬라이딩 공간과 중첩되는 피스톤; 및 상기 피스톤 타단이 내부에서 이동 가능하게 설치되는 실린더를 포함하고, 상기 피스톤은 상기 실린더 외부로 노출되는 길이가 가변되면서 상기 동력전달부재를 작동시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 진공밸브에서 상기 제2구동부는, 상기 피스톤을 전진시키도록 상기 실린더의 일측과 상기 피스톤 사이의 공간에 압축공기를 제공하는 제3액츄에이터; 상기 피스톤을 후진시키도록 상기 실린더의 타측과 상기 피스톤 사이의 공간에 압축공기를 제공하는 제4액츄에이터; 및 외부의 에어 서플라이로부터 공급받은 압축공기를 상기 제3액츄에이터 및 상기 제4액츄에이터 각각에 선택적으로 제공하는 압축공기 분배기를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 진공밸브에서 상기 제2구동부는 상기 피스톤과 마주보도록 상기 밸브 하우징에 형성되어 상기 피스톤이 상기 실린더 외부로 노출되는 최대 노출길이를 제한하는 스토퍼를 더 포함할 수 있다. 상기 스토퍼는 전체 또는 상기 피스톤과 접하는 일부가 탄성부재로 구성될 수 있다.
상기 동력전달부재는, 복수의 암(arm)들을 포함할 수 있고, 서로 인접하는 각각의 상기 암은 제2힌지부재에 의해 서로 직렬로 연결되며, 서로 인접하는 각각의 상기 암은 상기 제2힌지부재를 중심으로 서로 다른 방향으로 회동 가능할 수 있다. 상기 동력전달부재의 타단과 상기 피스톤의 일단은 링크부재에 의해 서로 연결될 수 있다. 상기 제1힌지부재와 인접한 위치의 상기 밸브 하우징에는 상기 링크부재가 이동 가능하게 위치되는 링크공이 관통 형성되고, 상기 링크공은 상기 제1 힌지부재를 중심으로 소정의 원호 형상을 가지도록 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 진공밸브는 제1배출공 및 제2배출공을 구비함으로써, 밀폐부재와 유체통로 사이에 형성된 제1실링부재 및 제2실링부재가 파손되더라도, 압축공기가 유체통로 내부로 유입되는 것을 원천적으로 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 진공밸브는 스토퍼를 구비함으로써, 밸브 플레이트와 밸브 하우징 사이의 충격 및 충격에 기인한 소음 발생을 저감시킬 수 있고, 충격에 기인한 밸브 플레이트의 손상을 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 진공밸브는 유체통로로 향하는 밸브 플레이트의 가장자리에 형성된 충격흡수부재를 구비함으로써, 밸브 플레이트와 밸브 하우징 사이의 충격 및 충격에 기인한 소음 발생을 보다 효과적으로 저감시킬 수 있고, 충격에 기인한 밸브 플레이트의 손상도 보다 효과적으로 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 진공밸브는 밸브 하우징 외측 제1배출공 및 제2배출공 각각의 출구에 이물질유입 방지부재를 구비함으로써, 제1배출공 및 제2배출공에 기인한 진공밸브의 오동작을 사전에 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 진공밸브는 밸브 하우징 외측 제1배출공 및 제2배출공 각각의 출구에 유량감지센서를 구비함으로써, 제1실링부재 및 제2실링부재의 파손여부를 신속하게 확인할 수 있어 유지 보수가 용이하다는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 진공밸브는 유체통로를 중심으로 서로 나란하게 위치하는 복수의 히터부재들을 구비함으로써, 유체통로 내부에 이물질이 흡착되는 것을 방지함과 동시에 밸브 플레이트 및 밀폐부재의 동작 성능을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 진공밸브에서 복수의 히터부재들 각각은 밸브 하우징 외부에서 탈착이 가능한 봉타입의 형상을 갖기 때문에 유지 보수가 용이하고, 히터부재에서 전달하는 열에 기인하여 밸브 하우징의 내부 공간에 위치하는 제1구동부, 제2구동부 및 컨트롤러가 손상되거나, 오동작하는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 진공밸브의 구성을 나타내는 부분 단면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 진공밸브의 일부 구성을 나타내는 부분 단면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 진공밸브의 일부 구성을 나타내는 평면도이다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 진공밸브의 동작을 나타내는 평면도이다.
본 발명에 관한 설명은 구조적 내지 기능적 설명을 위한 실시예에 불과하므로, 본 발명의 권리범위는 본문에 설명된 실시예에 의하여 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 된다. 즉, 실시예는 다양한 변경이 가능하고 여러 가지 형태를 가질 수 있으므로 본 발명의 권리범위는 기술적 사상을 실현할 수 있는 균등물들을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 본 발명에서 제시된 목적 또는 효과는 특정 실시예가 이를 전부 포함하여야 한다거나 그러한 효과만을 포함하여야 한다는 의미는 아니므로, 본 발명의 권리범위는 이에 의하여 제한되는 것으로 이해되어서는 아니 될 것이다.
한편, 본 출원에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.
"제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다. 예를 들어, 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어"있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결될 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어"있다고 언급된 때에는 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 한편, 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
단수의 표현은 문맥상 명백히 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 실시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이며, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
각 단계들에 있어 식별부호(예를 들어, a, b, c 등)는 설명의 편의를 위하여 사용되는 것으로 식별부호는 각 단계들의 순서를 설명하는 것이 아니며, 각 단계들은 문맥상 명백하게 특정 순서를 기재하지 않는 이상 명기된 순서와 다르게 일어날 수 있다. 즉, 각 단계들은 명기된 순서와 동일하게 일어날 수도 있고 실질적으로 동시에 수행될 수도 있으며 반대의 순서대로 수행될 수도 있다.
여기서 사용되는 모든 용어들은 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미를 지니는 것으로 해석될 수 없다.
후술하는 본 발명의 실시예는 슬라이딩 공간을 수평이동하여 유체통로를 개폐하는 밸브 플레이트 및 유체통로를 수직이동하여 슬라이딩 공간을 개폐하는 밀폐부재를 포함하고, 고속동작이 가능하도록 밸브 플레이트 및 밀폐부재를 압축공기를 이용하여 구동시키는 진공밸브를 제공하기 위한 것이다. 보다 구체적으로, 본 발명의 실시예에 따른 진공밸브는 유체통로와 밀폐부재 사이에 설치된 실링부재의 손상/파손에 기인하여 밀폐부재를 구동시키는 압축공기가 유체통로 내부로 유입되는 것을 원천적으로 방지할 수 있는 진공밸브를 제공하기 위한 것이다.
이를 위해, 본 발명의 실시예에 따른 진공밸브는 유체통로와 밀폐부재 사이에 설치된 실링부재에 인접한 밸브 하우징에 형성되어 실링부재의 손상에 기인하여 새어나온 압축공기가 유체통로 내부로 유입되는 것을 원천적으로 차단할 수 있는 배출공을 구비할 수 있다. 즉, 실링부재의 손상에 기인하여 새어나온 압축공기가 유체통로 내부로 유입되기 전에 배출공을 통해 진공밸브 외부로 배출시킴으로써, 실링부재의 손상에 기인한 문제를 원천적으로 방지할 수 있다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 진공밸브에 대해 보다 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 진공밸브의 구성을 나타내는 부분 단면도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 진공밸브의 일부 구성을 나타내는 부분 단면도이며, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 진공밸브의 일부 구성을 나타내는 평면도이다. 그리고, 도 4 및 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 진공밸브의 동작을 나타내는 평면도이다. 구체적으로, 도 4는 밸브 플레이트에 의해 유체통로가 폐쇄된 것을 도시한 평면도이고, 도 5는 밸브 플레이트에 의해 유체통로가 개방된 것을 도시한 평면도이다.
도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 진공밸브(10)는 일측 및 타측이 각각 공정챔버(미도시)와 진공펌프(미도시)에 연결되는 유체통로(101)가 내부에 형성되고, 유체통로(101)에 직교하는 방향으로 관통하는 슬라이딩 공간(110)이 형성되는 밸브 하우징(100)을 포함할 수 있다. 여기서, 밸브 하우징(100)은 유체통로(101)의 일측에 위치하여 슬라이딩 공간(110)과 분리되되, 슬라이딩 공간(110) 일부와 중첩되는 제어 공간(S)을 더 포함할 수 있다. 참고로, 도 1 및 도 2에서는 상단에 슬라이딩 공간(110)이 위치하고, 하단에 제어 공간(S)이 위치하는 경우를 도시하였다.
밸브 하우징(100)은 진공밸브(10)의 외관 및 골격을 제공하기 위한 것으로, 금속성물질을 포함할 수 있다. 밸브 하우징(100)의 내부에는 유체통로(101)가 형성될 수 있고, 유체통로(101)의 양측이 개구되어 공정챔버(미도시)와 진공펌프(미도시)에 각각 연결될 수 있다. 따라서, 유체통로(101)는 공정챔버와 인접한 챔버 유체통로(102) 및 진공펌프와 인접한 펌프 유체통로(103)를 포함할 수 있다. 슬라이딩 공간(110)은 유체통로(101)와 직교하는 방향으로 연장된 바타입(bar type)의 형상을 가질 수 있고, 유체통로(101)를 관통할 수 있다. 그리고, 제어 공간(S)은 슬라이딩 공간(110) 일부와 중첩되는 제어 공간(S)에는 밀폐부재(130) 구동시키기 위한 제1구동부(200), 밸브 플레이트(120)를 구동시키기 위한 제2구동부(300) 및 컨트롤러(C)가 위치할 수 있다. 컨트롤러(C)는 진공밸브(10)를 구성하는 각 구성요소 예컨대, 후술하는 제1구동부(200), 제2구동부(300), 히터부재(700) 및 유량감지센서(164, 174)를 제어하는 역할을 수행할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 진공밸브(10)는 슬라이딩 공간(110)에 수평이동이 가능하도록 설치되어 유체통로(101)를 선택적으로 개폐하는 밸브 플레이트(120)를 포함할 수 있다. 밸브 플레이트(120)는 유체통로(101)를 선택적으로 개폐하는 역할을 수행할 수 있다. 밸브 플레이트(120)는 유체통로(101)를 개폐하기 위한 차폐판(121), 차폐판(121)에 결합되어 밸브판의 수평이동을 안내하는 가이딩로드(122), 가이딩로드(122)와 차폐판(121)을 결속시키기 위한 결속부재(123) 및 가이딩로드(122)에 결합된 복수의 롤러(124)들을 포함할 수 있다. 차폐판(121)은 유체통로(101)의 직경보다 큰 직경을 갖는 원판 형상일 수 있으며, 결속부재(123)를 통한 가이딩로드(122)와의 결합을 위한 복수의 돌출부를 포함할 수 있다. 결속부재(123)는 밀폐부재(130)에 기인한 차폐판(121)의 수직이동이 가능하도록 탄성부재 예컨대, 스프링을 포함할 수 있다.
또한, 밸브 플레이트(120)는 유체통로(101)로 향하는 밸브 플레이트(120)의 가장자리에 형성된 충격흡수부재(610)를 더 포함할 수 있다. 보다 구체적으로, 충격흡수부재(610)는 유체통로(101)를 차폐하는 밸브 플레이트(120) 진행방향에서 가이딩로드(122)의 끝단에 형성될 수 있다. 충격흡수부재(610)는 밸브 플레이트(120)가 유체통로(101)를 차폐하는 방향으로 이동될 때, 밸브 플레이트(120)의 가장자리가 밸브 하우징(100)에 부딪치면서 발생하는 충격을 흡수하는 역할을 수행할 수 있다. 이를 통해, 밸브 플레이트(120)와 밸브 하우징(100) 사이의 충격을 흡수함과 동시에 충격에 기인한 소음 발생을 저감시킬 수 있다. 아울러, 충격에 기인한 밸브 플레이트(120)의 손상을 방지할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 진공밸브(10)는 유체통로(101)와 평행한 방향으로 수직이동이 가능하도록 유체통로(101)에 설치되어 슬라이딩 공간(110)을 선택적으로 개폐하는 밀폐부재(130)를 포함할 수 있다. 밀폐부재(130)는 유체통로(101) 개방시 슬라이딩 공간(110)으로 이물질이 유입되는 것을 방지하고, 유체통로(101) 차폐시 밸브 플레이트(120)와 더불어서 진공밸브(10)의 차폐력을 향상시키는 역할을 수행할 수 있다. 밀폐부재(130)는 링타입의 원기둥 형상일 수 있으며, 내측벽은 유체통로(101)의 내측벽에 정렬되어 버티컬한 측벽을 가질 수 있고, 밸브 하우징(100)에 접하는 외측벽은 수직이동을 위해 압축공기가 주입되는 공간을 제공하는 돌출부를 구비할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 진공밸브(10)는 밀폐부재(130)와 밸브 하우징(100) 사이에 설치되고, 공정챔버에 인접한 제1실링부재(140) 및 진공펌프에 인접한 제2실링부재(150)를 포함할 수 있다. 제1실링부재(140) 및 제2실링부재(150)는 밀폐부재(130)와 밸브 하우징(100) 사이를 밀폐하는 역할을 수행할 수 있다. 보다 구체적으로, 제1실링부재(140) 및 제2실링부재(150)는 밀폐부재(130)는 구동하기 위한 압축공기가 유체통로(101) 내부로 유입되는 것을 방지하는 역할을 수행할 수 있다.
제1실링부재(140) 및 제2실링부재(150) 각각은 상호 이격된 복수의 서브-실링부재들로 구성될 수 있다. 서브-실링부재는 고무소재로 구성되는 오링(O-ring) 또는 금속성물질로 구성되는 C타입 링(C type ring)을 포함할 수 있다. 제1실링부재(140) 및 제2실링부재(150) 각각이 상호 이격된 복수의 서브-실링부재들로 구성됨에 따라 밀폐부재(130)와 밸브 하우징(100) 사이의 기밀성을 보다 효과적으로 향상시킬 수 있다.
예를 들어, 제1실링부재(140) 및 제2실링부재(150) 각각은 상하로 소정 간격 이격된 한 쌍의 서브-실링부재들 즉, 제1서브-실링부재와 그 하부에 위치하는 제2서브-실링부재를 포함할 수 있다. 여기서, 제1서브-실링부재와 제2서브-실링부재는 서로 동일한 물질로 구성되거나, 또는 서로 상이한 물질로 구성될 수 있다. 참고로, 본 실시예에서는 제1실링부재(140) 및 제2실링부재(150) 각각이 한 쌍의 오링들로 구성되는 경우를 예시하였다.
본 발명의 실시예에 따른 진공밸브(10)는 제1실링부재(140) 및 제2실링부재(150) 각각에 인접한 밸브 하우징(100)에 형성되어 유체통로(101)와 밸브 하우징(100) 외부를 연통시키는 제1배출공(160) 및 제2배출공(170)을 포함할 수 있다. 제1배출공(160) 및 제2배출공(170)은 제1실링부재(140) 및 제2실링부재(150)의 파손에 기인하여 압축공기가 유체통로(101) 내부로 유입되는 것을 방지하는 역할을 수행할 수 있다. 이를 위해, 제1배출공(160) 및 제2배출공(170)은 제1실링부재(140) 및 제2실링부재(150) 각각이 상호 이격된 복수의 서브-실링부재들 사이에 위치할 수 있다. 예를 들어, 제1실링부재(140) 및 제2실링부재(150) 각각이 상하로 소정 간격 이격된 한쌍의 오링으로 구성되는 경우, 유체통로(101)에 인접한 제1배출공(160) 및 제2배출공(170) 각각의 입구는 한 쌍의 오링 즉, 상부 오링과 하부 오링 사이에 위치할 수 있다. 참고로, 제1실링부재(140) 및 제2실링부재(150)의 파손에 기인하여 유체통로(101)로 유입되는 압축공기는 밀폐부재(130)를 작동시키기 위해 제1구동부(200)에서 공급되는 압축공기일 수 있다.
제1배출공(160) 및 제2배출공(170)은 서로 동일한 형상을 갖거나, 또는 서로 상이한 형상을 가질 수 있다. 본 실시예에서는 제1배출공(160) 및 제2배출공(170)이 서로 다른 형상을 갖는 경우를 예시하였다. 이는, 제1배출공(160) 및 제2배출공(170)을 형성하기 위한 가공의 편의성에 기인한 것일 수 있다. 구체적으로, 제1배출공(160)은 수평방향으로 밸브 하우징(100)을 관통하는 라인타입의 원형관 형상을 가질 수 있다. 그리고, 제2배출공(170)는 수평방향으로 연장된 라인타입의 원형관 형상을 갖는 제1영역과 제1영역과 연통되어 수직방향으로 연장된 라인타입의 원형관 형상을 갖는 제2영역을 포함할 수 있다.
한편, 밸브 하우징(100)에 인접한 제1배출공(160) 및 제2배출공(170) 각각의 출구에는 이물질유입 방지부재(162, 172)가 구비될 수 있다. 아울러, 제1배출공(160) 및 제2배출공(170) 각각의 출구에는 유량감지센서(164, 174)가 구비될 수 있다. 이물질유입 방지부재(162, 172)는 제1배출공(160) 및 제2배출공(170)의 출구를 통해 외부로부터 이물질이 유입되는 것을 방지하기 위한 것으로, 메쉬(mesh) 형상을 가질 수 있다. 그리고, 유량감지센서(164, 174)는 제1실링부재(140) 및 제2실링부재(150)의 파손 여부를 신속하여 확인하기 위한 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 밸브 하우징(100)의 제어 공간(S)에 위치하고, 진공밸브(10)는 밀폐부재(130)를 구동시키기 위한 제1구동부(200)를 포함할 수 있다. 제1구동부(200)는 밀폐부재(130)를 수직이동하도록 작동시키는 역할을 수행할 수 있다. 구체적으로, 제1구동부(200)는 밀폐부재(130)를 하강시키도록 밀폐부재(130)의 외측 상부와 밸브 하우징(100) 사이의 공간에 압축공기를 제공하는 제1액츄에이터(132), 밀폐부재(130)를 승강시키도록 밀폐부재(130)의 외측 하부와 밸브 하우징(100) 사이의 공간에 압축공기를 제공하는 제2액츄에이터(134) 및 외부의 에어 서플라이로부터 공급받은 압축공기를 제1액츄에이터(132) 및 제2액츄에이터(134) 각각에 선택적으로 제공하는 압축공기 분배기(201)를 포함할 수 있다. 이처럼, 제1구동부(200)가 복동식 액츄에이터로 구성됨에 따라 밀폐부재(130)의 동작 속도를 현저히 향상시킬 수 있다.
제1액츄에이터(132) 및 제2액츄에이터(134) 각각은 압축공기 분배기(201)로부터 공급받은 압축공기를 이용하여 밀폐부재(130)를 승하강시키기 위한 역할을 수행하는 압축공기 주입기일 수 있다. 압축공기 분배기(201)는 제1액츄에이터(132) 및 제2액츄에이터(134)에 선택적으로 압축공기를 공급하는 역할을 수행할 수 있다. 압축공기 분배기(201)에서 제1액츄에이터(132)에 압축공기를 공급하면 밀폐부재(130)가 하강할 수 있고, 제2액츄에이터(134)에 압축공기를 공급하면 밀폐부재(130)가 승강할 수 있다. 압축공기 분배기(201)는 제1액츄에이터(132) 및 제2액츄에이터(134) 각각에 연결된 제1분배관(210) 및 제2분배관(220)을 포함할 수 있다. 제1분배관(210) 및 제2분배관(220)을 통해 외부의 에어 서플라이로부터 공급되는 압축공기를 제1액츄에이터(132) 및 제2액츄에이터(134) 각각에 공급할 수 있다. 압축공기 분배기(201)는 밸브 하우징(100)의 일측에 형성된 압축공기 주입구(250)를 통해 외부의 에어 서플라이부터 압축공기를 전달받을 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 진공밸브(10)는 밸브 하우징(100)의 제어 공간(S)에 위치하고, 밸브 플레이트(120)를 구동시키는 제2구동부(300)를 포함할 수 있다. 제2구동부(300)는 밸브 플레이트(120)가 수평이동 즉, 슬라이딩 이동이 가능하도록 작동시키는 역할을 수행할 수 있다. 구체적으로, 제2구동부(300)는 일단이 밸브 플레이트(120)와 연결되는 동력전달부재(310), 일단이 제1힌지부재(322)에 의해 동력전달부재(310)의 타단과 힌지 결합되어 직선운동이 가능하고 슬라이딩 공간(110)과 중첩되는 피스톤(370), 피스톤(370) 타단이 내부에서 이동 가능하게 설치되는 실린더(360)를 포함할 수 있다. 이때, 피스톤(370)은 실린더(360) 외부로 노출되는 길이가 가변되면서 동력전달부재(310)를 작동시킬 수 있다.
동력전달부재(310)는 밸브 플레이트(120)와 연결되어 밸브 플레이트(120)가 수평이동 즉, 슬라이딩 이동이 가능하도록 동력을 전달하는 역할을 수행할 수 있다. 구체적으로, 동력전달부재(310)는 복수의 암(arm)들로 구성될 수 있다. 본 실시예에서는 동력전달부재(310)가 두 개의 암 즉, 제1암(320) 및 제2암(330)으로 구성되는 경우를 예시하였다. 제1암(320)의 일단은 제2암(330)의 일단과 연결될 수 있고, 타단은 피스톤(370)의 일단과 연결될 수 있다. 그리고, 제2암(330)의 타단은 밸브 플레이트(120)와 연결될 수 있다.
제1암(320) 및 제2암(330)은 제2힌지부재(340)에 의해 서로 직렬로 연결될 수 있다. 제2힌지부재(340)는 제1암(320) 및 제2암(330)이 서로 회동 가능하도록 연결하기 위한 것으로, 힌지 핀 일 수 있다. 서로 인접하는 각각의 암들 즉, 제1암(320) 및 제2암(330)은 제2힌지부재(340)를 중심으로 서로 다른 방향으로 회동이 가능할 수 있다. 따라서, 제1암(320) 및 제2암(330)의 회동에 의해 밸브 플레이트(120)가 슬라이딩 되면서 유체통로(101)를 개폐할 수 있는 것이다.
동력전달부재(310)의 타단, 즉, 제1암(320)의 타단에는 피스톤(370)의 일단이 힌지 결합될 수 있다. 피스톤(370)의 일단은 제1힌지부재(322)에 의해 제1암(320)의 타단과 회동 가능하게 연결될 수 있다. 피스톤(370)은 실린더(360) 외부로 노출되는 길이가 가변되면서 동력전달부재(310)를 작동시키는 역할을 수행할 수 있다. 피스톤(370)의 타단은 실린더(360)의 내부에 이동 가능하게 설치될 수 있다. 실린더(360)는 유체통로(101)에 직교하는 방향으로 위치할 수 있다. 이는, 피스톤(370) 및 실린더(360)의 이동 거리를 최소화하여 밸브 플레이트(120)의 개폐속도를 향상시킴과 동시에 밸브 하우징(100)의 체적을 최소화시키기 위함이다.
제1암(320)의 타단과 피스톤(370)의 일단은 링크부재(380)에 의해 연결될 수 있다. 링크부재(380)는 제1암(320)과 피스톤(370)이 연결된 상태에서 링크공(410)에 걸어지도록 하는 역할을 수행할 수 있다. 링크공(410)은 제1힌지부재(322)와 인접한 위치에서 슬라이딩 공간(110)과 제어 공간(S)을 분리하는 밸브 하우징(100)을 관통하여 형성될 수 있다. 즉, 링크공(410)은 링크부재(380)가 이동 가능하도록 위치할 수 있다. 링크공(410)은 제1힌지부재(322)를 중심으로 소정의 원호 형상을 가지도록 형성될 수 있다. 예를 들어, 링크공(410)은 땅콩형상을 가질 수 있다. 링크부재(380)는 원호 형상을 갖는 링크공(410) 내에서 매우 짧은 거리를 이동하는 것으로 밸브 플레이트(120)를 구동시켜 유체통로(101)를 개폐하기 때문에 고속동작이 가능하다.
또한, 제2구동부(300)는 피스톤(370)과 마주보도록 밸브 하우징(100)에 형성되어 피스톤(370)이 실린더(360) 외부로 노출되는 최대 노출길이를 제한하는 스토퍼(500)를 더 포함할 수 있다. 즉, 스토퍼(500)는 피스톤(370)의 이동거리를 제한하는 것으로 동력전달부재(310)의 이동거리를 제한할 수 있다. 이를 통해, 밸브 플레이트(120)의 이동거리를 제한할 수 있기 때문에 밸브 플레이트(120)와 밸브 하우징(100) 사이의 충격 및 충격에 기인한 소음 발생을 저감시킬 수 있다. 아울러, 충격에 기인한 밸브 플레이트(120)의 손상을 보다 효과적으로 방지할 수 있다. 스토퍼(500)는 전체 또는 피스톤(370)과 접하는 일부가 고무와 같은 탄성부재로 구성될 수 있다. 이는, 스토퍼(500)와 피스톤(370) 사이의 충격, 충격에 기인한 소음 발생 및 충격에 기인한 구조물의 손상을 방지하기 위함이다.
또한, 제2구동부(300)는 피스톤(370)을 전진시키도록 실린더(360)의 일측과 피스톤(370) 사이의 공간에 압축공기를 제공하는 제3액츄에이터(352), 피스톤(370)을 후진시키도록 실린더(360)의 타측과 피스톤(370) 사이의 공간에 압축공기를 제공하는 제4액츄에이터(354) 및 외부의 에어 서플라이로부터 공급받은 압축공기를 제3액츄에이터(352) 및 제4액츄에이터(354) 각각에 선택적으로 제공하는 압축공기 분배기(201)를 더 포함할 수 있다.
제3액츄에이터(352) 및 제4액츄에이터(354) 각각은 압축공기 분배기(201)로부터 공급받은 압축공기를 이용하여 피스톤(370)을 전후진시켜 밸브 플레이트(120)를 수평이동시키는 역할을 수행하는 압축공기 주입기일 수 있다. 압축공기 분배기(201)는 제3액츄에이터(352) 및 제4액츄에이터(354)에 선택적으로 압축공기를 공급하는 역할을 수행할 수 있으며, 제3액츄에이터(352) 및 제4액츄에이터(354)는 제1액츄에이터(132) 및 제2액츄에이터(134)와 압축공기 분배기(201)를 공유할 수 있다. 즉, 압축공기 분배기(201)는 4포트 출력을 갖는 분배기일 수 있다. 압축공기 분배기(201)에서 제3액츄에이터(352)에 압축공기를 공급하면 피스톤(370)이 전진하면서 유체통로(101)를 개방하도록 밸브 플레이트(120)를 이동시킬 수 있고, 제4액츄에이터(354)에 압축공기를 공급하면 피스톤(370)이 후진하면서 유체통로(101)를 차폐하도록 밸브 플레이트(120)를 이동시킬 수 있다. 압축공기 분배기(201)는 제3액츄에이터(352) 및 제4액츄에이터(354) 각각에 연결된 제3분배관(230) 및 제4분배관(240)을 포함할 수 있다. 제3분배관(230) 및 제4분배관(240)을 통해 외부의 에어 서플라이로부터 공급되는 압축공기를 제3액츄에이터(352) 및 제4액츄에이터(354) 각각에 공급할 수 있다. 압축공기 분배기(201)는 밸브 하우징(100)의 일측에 형성된 압축공기 주입구(250)를 통해 외부의 에어 서플라이부터 압축공기를 전달받을 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 진공밸브(10)는 유체통로(101)와 인접한 밸브 하우징(100) 내부에 설치되고, 유체통로(101)를 중심으로 서로 나란하게 위치하는 복수의 히터부재(700)들을 더 포함할 수 있다. 이를 위해, 밸브 하우징(100)은 히터부재(700)가 설치될 히터홈(180)을 구비할 수 있으며, 히터홈(180)은 히터부재(700)에 대응하는 형상을 가질 수 있다. 그리고, 히터부재(700)에 기인하여 밸브 하우징(100)의 내부 공간에 위치하는 제1구동부(200), 제2구동부(300) 및 컨트롤러(C)(124)가 손상 및 오동작하는 것을 방지하기 위해 히터홈(180)은 유체통로(101)와 중첩되는 슬라이딩 공간(110)의 양측면에 형성될 수 있다.
히터부재(700)는 유체통로(101) 내에 이물질의 흡착을 방지하는 것과 동시에 밸브 플레이트(120) 및 밀폐부재(130)의 동작 속도를 향상시킬 수 있는 역할을 수행할 수 있다. 복수의 히터부재(700)들 각각은 유체통로(101)의 직경에 대응하거나, 또는 유체통로(101)의 직경보다 작은 길이를 갖는 봉타입의 형상을 가질 수 있다. 여기서, 히터부재(700)는 밸브 하우징(100) 외부에서 탈착이 가능한 봉타입의 형상을 갖기 때문에 유지 보수가 용이하고, 히터부재(700)에서 전달하는 열에 기인하여 밸브 하우징(100)의 내부 공간에 위치하는 제1구동부(200), 제2구동부(300) 및 컨트롤러(C)(124)가 손상되거나, 오동작하는 것을 방지할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 진공밸브(10)는 제1배출공(160) 및 제2배출공(170)을 구비함으로써, 밀폐부재(130)와 유체통로(101) 사이에 형성된 제1실링부재(140) 및 제2실링부재(150)가 파손되더라도, 압축공기가 유체통로(101) 내부로 유입되는 것을 원천적으로 방지할 수 있다.
또한, 스토퍼(500)를 구비함으로써, 밸브 플레이트(120)와 밸브 하우징(100) 사이의 충격 및 충격에 기인한 소음 발생을 저감시킬 수 있고, 충격에 기인한 밸브 플레이트(120)의 손상을 방지할 수 있다.
또한, 유체통로(101)로 향하는 밸브 플레이트(120)의 가장자리에 형성된 충격흡수부재(610)를 구비함으로써, 밸브 플레이트(120)와 밸브 하우징(100) 사이의 충격 및 충격에 기인한 소음 발생을 보다 효과적으로 저감시킬 수 있고, 충격에 기인한 밸브 플레이트(120)의 손상도 보다 효과적으로 방지할 수 있다.
또한, 밸브 하우징(100) 외측 제1배출공(160) 및 제2배출공(170) 각각의 출구에 이물질유입 방지부재(162, 172)를 구비함으로써, 제1배출공(160) 및 제2배출공(170)에 기인한 진공밸브(10)의 오동작을 사전에 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 밸브 하우징(100) 외측 제1배출공(160) 및 제2배출공(170) 각각의 출구에 유량감지센서(164, 174)를 구비함으로써, 제1실링부재(140) 및 제2실링부재(150)의 파손여부를 신속하게 확인할 수 있어 유지 보수가 용이하다는 장점이 있다.
또한, 유체통로(101)를 중심으로 서로 나란하게 위치하는 복수의 히터부재(700)들을 구비함으로써, 유체통로(101) 내부에 이물질이 흡착되는 것을 방지함과 동시에 밸브 플레이트(120) 및 밀폐부재(130)의 동작 성능을 향상시킬 수 있다.
또한, 복수의 히터부재(700)들 각각은 밸브 하우징(100) 외부에서 탈착이 가능한 봉타입의 형상을 갖기 때문에 유지 보수가 용이하고, 히터부재(700)에서 전달하는 열에 기인하여 밸브 하우징(100)의 내부 공간에 위치하는 제1구동부(200), 제2구동부(300) 및 컨트롤러(C)가 손상되거나, 오동작하는 것을 방지할 수 있다.
본 명세서에서 설명되는 실시 예와 첨부된 도면은 본 발명에 포함되는 기술적 사상의 일부를 예시적으로 설명하는 것에 불과하다. 따라서, 본 명세서에 개시된 실시 예는 본 발명의 기술적 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이므로, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아님은 자명하다. 본 발명의 명세서 및 도면에 포함된 기술적 사상의 범위 내에서 당업자가 용이하게 유추할 수 있는 변형 예와 구체적인 실시 예는 모두 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
10: 진공밸브 100: 밸브 하우징
101: 유체통로 110: 슬라이딩 공간
120: 밸브 플레이트 130: 밀폐부재
132: 제1액츄에이터 134: 제2액츄에이터
140: 제1실링부재 150: 제2실링부재
160: 제1배출공 170: 제2배출공
162, 172: 이물질유입 방지부재
164, 174 : 유량감지센서 180 : 히터홈
200: 제1구동부 201: 압축공기 분배기
210 : 제1분배관 220 : 제2분배관
230 : 제3분배관 240 : 제4분배관
300: 제2구동부 310: 동력전달부재
320: 제1암 322: 제1힌지부재
330: 제2암 340: 제2힌지부재
352 : 제3액츄에이터 364 : 제4액츄에이터
360: 실린더 370: 피스톤
380: 링크부재 410: 링크홈
500: 스토퍼 610: 충격흡수부재
700: 히터부재 C : 컨트롤러
S : 제어 공간

Claims (15)

  1. 일측 및 타측이 각각 공정챔버와 진공펌프에 연결되는 유체통로가 내부에 형성되고, 상기 유체통로에 직교하는 방향으로 관통하는 슬라이딩 공간이 형성되는 밸브 하우징;
    상기 슬라이딩 공간에 수평이동이 가능하도록 설치되어 상기 유체통로를 선택적으로 개폐하는 밸브 플레이트;
    상기 유체통로와 평행한 방향으로 수직이동이 가능하도록 상기 유체통로에 설치되어 상기 슬라이딩 공간을 선택적으로 개폐하는 밀폐부재;
    상기 밀폐부재와 상기 밸브 하우징 사이에 설치되고, 상기 공정챔버에 인접한 제1실링부재 및 상기 진공펌프에 인접한 제2실링부재;
    상기 제1실링부재 및 상기 제2실링부재 각각에 인접한 상기 밸브 하우징에 형성되어 상기 유체통로와 상기 밸브 하우징 외부를 연통시키는 제1배출공 및 제2배출공;
    상기 밀폐부재를 하강시키도록 상기 밀폐부재의 외측 상부와 상기 밸브 하우징 사이의 공간에 압축공기를 제공하는 제1액츄에이터;
    상기 밀폐부재를 승강시키도록 상기 밀폐부재의 외측 하부와 상기 밸브 하우징 사이의 공간에 압축공기를 제공하는 제2액츄에이터;
    외부의 에어 서플라이로부터 공급받은 압축공기를 상기 제1액츄에이터 및 상기 제2액츄에이터 각각에 선택적으로 제공하는 압축공기 분배기를 포함하고,
    상기 제1실링부재 및 상기 제2실링부재 각각은 적어도 둘 이상의 서브-실링부재들을 포함하고, 상기 제1배출공 및 상기 제2배출공 각각의 입구는 상기 둘 이상의 서브-실링부재들 사이에 위치하며,
    상기 제1액츄에이터 및 제2액츄에이터에서 배출되는 압축공기의 주입구는 상기 제1배출공 및 제2배출공 사이에 위치하고,
    상기 제1액츄에이터에서 배출되는 압축공기는 상기 제1배출공을 통해서 상기 밸브 하우징의 외부로 배출될 수 있고, 상기 제2액츄에이터에서 배출되는 압축공기는 상기 제2배출공을 통해서 상기 밸브 하우징의 외부로 배출될 수 있는 진공밸브.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 밸브 하우징의 외측 방향으로 향하는 상기 제1배출공 및 상기 제2배출공 각각의 출구에 형성된 유량감지센서를 더 포함하는 진공밸브.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 유체통로와 인접한 상기 밸브 하우징 내부에 설치되고, 상기 유체통로를 중심으로 서로 나란하게 위치하고, 상기 밸브 하우징 외부에서 탈착이 가능한 복수의 히터부재들을 더 포함하는 진공밸브.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 복수의 히터부재들 각각은 상기 유체통로의 직경에 대응하거나, 또는 상기 유체통로의 직경보다 작은 길이를 갖는 봉타입의 형상을 갖는 진공밸브.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 유체통로로 향하는 상기 밸브 플레이트의 가장자리에 형성된 충격흡수부재를 더 포함하는 진공밸브.
  8. 삭제
  9. 제1항에 있어서,
    상기 밸브 플레이트를 구동시키는 제2구동부를 더 포함하고,
    상기 제2구동부는,
    일단이 상기 밸브 플레이트와 연결되는 동력전달부재;
    일단이 제1힌지부재에 의해 상기 동력전달부재의 타단과 힌지 결합되어 직선운동이 가능하고, 상기 슬라이딩 공간과 중첩되는 피스톤; 및
    상기 피스톤 타단이 내부에서 이동 가능하게 설치되는 실린더를 포함하고,
    상기 피스톤은 상기 실린더 외부로 노출되는 길이가 가변되면서 상기 동력전달부재를 작동시키는 진공밸브.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제2구동부는,
    상기 피스톤을 전진시키도록 상기 실린더의 일측과 상기 피스톤 사이의 공간에 압축공기를 제공하는 제3액츄에이터;
    상기 피스톤을 후진시키도록 상기 실린더의 타측과 상기 피스톤 사이의 공간에 압축공기를 제공하는 제4액츄에이터; 및
    외부의 에어 서플라이로부터 공급받은 압축공기를 상기 제3액츄에이터 및 상기 제4액츄에이터 각각에 선택적으로 제공하는 압축공기 분배기
    를 더 포함하는 진공밸브.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 제2구동부는 상기 피스톤과 마주보도록 상기 밸브 하우징에 형성되어 상기 피스톤이 상기 실린더 외부로 노출되는 최대 노출길이를 제한하는 스토퍼를 더 포함하는 진공밸브.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 스토퍼는 전체 또는 상기 피스톤과 접하는 일부가 탄성부재로 구성되는 진공밸브.
  13. 제9항에 있어서,
    상기 동력전달부재는,
    복수의 암(arm)들을 포함하고,
    서로 인접하는 각각의 상기 암은 제2힌지부재에 의해 서로 직렬로 연결되며,
    서로 인접하는 각각의 상기 암은 상기 제2힌지부재를 중심으로 서로 다른 방향으로 회동 가능한 진공밸브.
  14. 제9항에 있어서,
    상기 동력전달부재의 타단과 상기 피스톤의 일단은 링크부재에 의해 서로 연결되는 진공밸브.
  15. 제9항에 있어서,
    상기 제1힌지부재와 인접한 위치의 상기 밸브 하우징에는 상기 링크부재가 이동 가능하게 위치되는 링크공이 관통 형성되고,
    상기 링크공은 상기 제1 힌지부재를 중심으로 소정의 원호 형상을 가지도록 형성되는 진공밸브.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220129788A (ko) * 2021-03-17 2022-09-26 정승수 다단 슬로우 펌프 밸브를 가진 진공 게이트 밸브
KR20220165351A (ko) * 2021-06-08 2022-12-15 정승수 벨로우즈 방식의 진공 게이트 밸브

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2681010B2 (ja) * 1994-06-23 1997-11-19 山形日本電気株式会社 真空装置用弁
KR100740036B1 (ko) * 2006-06-08 2007-07-19 (주)지에스티산업 진공 게이트 밸브
KR101493934B1 (ko) * 2013-03-06 2015-02-16 (주)와이케이티 진공 밸브
KR101684881B1 (ko) * 2015-05-06 2016-12-12 주식회사 에스알티 게이트 밸브

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101015826B1 (ko) * 2008-12-04 2011-02-23 주식회사 마이크로텍 진공 게이트 밸브의 밸브판 구동장치
KR101502936B1 (ko) * 2012-11-02 2015-04-23 (주)엘티엘 진자 밸브 및 이를 포함하는 진공처리장치
JP5909213B2 (ja) * 2013-07-24 2016-04-26 Ckd株式会社 真空弁の外部シール構造
KR20160059142A (ko) * 2014-11-18 2016-05-26 주식회사 태한이엔씨 게이트 밸브

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2681010B2 (ja) * 1994-06-23 1997-11-19 山形日本電気株式会社 真空装置用弁
KR100740036B1 (ko) * 2006-06-08 2007-07-19 (주)지에스티산업 진공 게이트 밸브
KR101493934B1 (ko) * 2013-03-06 2015-02-16 (주)와이케이티 진공 밸브
KR101684881B1 (ko) * 2015-05-06 2016-12-12 주식회사 에스알티 게이트 밸브

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220129788A (ko) * 2021-03-17 2022-09-26 정승수 다단 슬로우 펌프 밸브를 가진 진공 게이트 밸브
KR102472918B1 (ko) 2021-03-17 2022-12-01 정승수 다단 슬로우 펌프 밸브를 가진 진공 게이트 밸브
KR20220165351A (ko) * 2021-06-08 2022-12-15 정승수 벨로우즈 방식의 진공 게이트 밸브
KR102598828B1 (ko) * 2021-06-08 2023-11-03 정승수 벨로우즈 방식의 진공 게이트 밸브

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