TWI385329B - Vacuum gate valve and its opening and closing method - Google Patents

Description

真空閘閥及使用其之閘開閉方法

本發明係關於一種使用於真空處理裝置之間或真空處理裝置與真空排氣泵之間的真空閘閥、及使用該真空閘閥之閘開閉方法。

一般而言，設置有密接於排氣口所設之閘密封(gate seal)面而閉塞排氣口之閘的情形時，設置有閘後退口遮蔽裝置，以便於閘(閥體)自排氣口後退時雜質不會侵入、附著於閘後退室。

於日本專利特開平7-42872號公報中，揭示有於形成排氣口的排氣通路內設置圓筒型遮板(shutter)，使其移動至排氣通路內，於閘後退時遮蔽閘後退口，以作為上述閘後退口遮蔽裝置。

於日本專利特開平3-239884號公報中，揭示有一種超高真空閘閥，其特徵在於，包括：閥箱、閥座、具有開口之閥板、連接於該閥板之閥棒、閥棒驅動機構、閥板固定件、及內插連接於上述閥箱與上述閥座及閥板固定件間之自由伸縮的伸縮管(bellows)；於上述閥板之開、閉位置，上述閥板通常與上述閥座及上述閥板固定件對接，使上述閥棒驅動機構所佔有之上述閥箱內的靜區(dead space)閉塞。

日本專利特開平7-42872號公報中所揭示的圓筒型遮板係排氣通路內移動者，此外，於日本專利特開平3-239884號公報中所揭示之伸縮自由之伸縮管係設置於靜區內。若根據上述先前例之 構成，則存在於閘之後退或閉塞移動時，遮板或者伸縮管與排氣接觸，而附著排氣中之雜質之危險

本發明之目的在於借鑒相關方面之優點，而提供一種真空閘閥及使用該真空閘閥之閘開閉方法，其係包括閘之後退及閉塞移動時在內，於自閘開放狀態向閉塞狀態及自閉塞狀態向開放狀態之轉變過程中，可減少雜質侵入、附著於閘後退室。

本發明係提供一種真空閘閥，其包括：具有於端部形成有排氣口之排氣筒部的本體、具有閘後退室之閘後退部、自上述閘後退室移動至上述排氣筒部而閉塞上述排氣口且收納於上述閘後退室內的閘、使該閘移動之閘驅動部、可沿上述排氣筒移動並設置於上述遮板移動室的遮板、及使該遮板移動之遮板驅動部，其特徵在於：上述本體係面向上述排氣筒部之側面部形成有入口，並具有形成有於上述閘向上述入口閉塞移動時及於上述閘向上述閘後退室後退移動時使上述遮板自上述排氣筒部隔離之上述遮板移動室之遮板移動部；上述閘後退部之上述閘後退室係與上述遮板移動室連通而設置；於上述遮板移動部中，與上述遮板移動室之上述入口相對形 成有固定密封部； 上述遮板係與上述固定密封部相對而具有遮板遮板密封部； 上述閘係可自上述閘後退室向上述遮板室，進而自該遮板室向上述排氣筒部移動，而且上述閘中，於其一面側與上述固定密封部相對形成有第一閘密封部，而且，上述閘中，於第一閘密封部之相反面側與上述遮板遮板密封部相對形成有第二閘密封部；上述遮板係於上述閘收納於上述閘後退室時，使上述遮板移動室移動，藉由遮板密封部接觸於上述固定密封部而閉塞上述入口，且於上述閘使上述遮板移動室移動，藉由第一閘密封部與上述固定密封接觸而閉塞上述排氣口時，使上述遮板移動室移動，藉由上述遮板密封部與第二閘密封部接觸而閉塞上述入口。

此外，本發明係提供一種真空閘閥，其中，上述固定密封部、上述遮板密封部、第一閘密封部、及第二閘密封部係於上述排氣筒部之長度方向上，配設於上述遮板移動室內的同一線上。

此外，本發明係提供一種真空閘閥，其中，上述遮板密封部係藉由模板(shuttering)而形成，該模板及上述遮板可互相裝卸自由，上述排氣筒部係於內周面具有圓筒狀的蓋及於蓋之外周側具有成為上述遮板移動室之一部分的遮板收納室，於該遮板收納室之側面側沿該遮板收納室設置有上述遮板驅動部之遮板驅動活塞，該遮板驅動活塞係與上述模板連接，藉由沿上述排氣筒部作動之上述遮板驅動活塞，而沿上述排氣筒部移動。

此外，本發明係提供一種真空閘閥，其中，上述閘驅動部與上述遮板驅動部係藉由一組驅動源及驅動力切換裝置而驅動，並具有於上述閘後退於上述閘後退室時，以移動上述遮板之方式進行控制之控制裝置。

此外，本發明係提供一種真空閘閥，其中，上述閘後退部形成箱狀，自本體側面與上述本體形成一體，且可裝卸自由，上述閘使用擺形閘，該閘可使上述閘後退部及上述遮板移動室搖動。

本發明係提供一種真空閘閥之閘開閉方法，其係包括：具有於端部形成有排氣口之排氣筒部的本體、具有閘後退室之閘後退部、自上述閘後退室向上述排氣筒部移動而閉塞上述排氣口且收納於上述閘後退室的閘、使該閘移動之閘驅動部、可沿上述排氣筒移動並設置於上述遮板移動室之遮板、使該遮板移動之遮板驅動部；上述本體係於面向上述排氣筒部之側面部形成有入口，並具有形成有於上述閘向上述入口閉塞時及上述閘向上述閘後退室後退時使上述遮板自上述排氣筒部隔離之遮板移動室之遮板移動部；上述閘後退部之上述閘後退室與上述遮板移動室連通而設置；上述遮板移動部中，與上述遮板移動室之上述入口相對形成有固定密封部； 上述遮板係以與上述固定密封部相對之方式具有遮板密封部，而且上述閘中，於其一面側與上述固定密封部相對形成有第一閘密封部，而且，於上述閘中，於第一閘密封部之相反面側與上述遮板密封部相對形成有第二閘密封部者，其特徵在於：其係以如下之方式來實行上述閘之開閉，即，於上述閘收納於上述閘後退室時，上述遮板使上述遮板移動室移動，藉由遮板密封部與上述固定密封部接觸而閉塞上述入口，且於使上述閘自上述閘後退室向上述遮板室移動，進而自該遮板室向上述排氣筒部移動，藉由上述閘密封部與上述固定密封接觸而閉塞上述排氣口時，上述遮板移動上述遮板移動室，藉由上述遮板密封部與第二密封部接觸而閉塞上述入口。

此外，本發明係提供一種真空閘閥之閘開閉方法，其中，上述固定密封部、上述遮板密封部、第一閘密封部、及第二閘密封部係於上述排氣筒部之長度方向，以與上述固定密封部相對之方式於同一線上移動於上述遮板移動室。

以下，根據圖式說明本發明之一實施例。

若根據本發明，則具有上述遮板及遮板移動室，遮板於閘之後退時，以及於閘之排氣口閉塞時，均可閉塞遮板移動室之入口，且於閘後退移動時及閉塞移動時，自排氣筒部隔離，閘自開放狀 態向閉塞狀態及自閉塞狀態向開放狀態之轉變過程中，可減少雜質向閘後退室侵入附著。

[實施例]

圖1係本發明之實施例之真空閘閥之頂視圖，圖2係側面剖面圖，圖3係底視圖。再者，圖2係圖3之A-A剖面圖。

該等圖中，真空閘閥100由本體11與閘後退部12構成，本體11、閘後退部12同時形成為箱狀，兩者可相互自由裝卸地成為一體，兩者間配設有O形環14。如圖1所示，本體11與閘後退部12相比高度較高，從上方觀測之情形時，兩者幾乎成為楕圓形，中央部成為較粗之形狀。

本體11係於中央之內部設置有排氣筒部15，面向該排氣筒部15之側面部，以獨立於排氣筒部15之周圍之形式形成有遮板移動室16。即，於本體11之側面部之周圍設置有形成遮板移動室16之遮板移動部17。

於閘後退部12之內部具有閘後退室13，該閘後退室13介由遮板移動室16與排氣筒部15連通。排氣筒部15形成圓筒狀，因此，遮板移動室16亦形成獨立於排氣筒部15之周圍之形狀，於遮板移動室16中，面向排氣筒部15之側面於其周圍形成有入口18。排氣筒部15之端部(下側端部、出口端部)中形成有排氣口20。

閘(閥)21具有可閉塞排氣口20之大小，如下所述，係可於 排氣筒部15、遮板移動室16及閘後退室13中移動。

遮板移動室16中圓筒狀之遮板22設置為可於排氣筒部15之筒長方向沿排氣筒部15移動。

圖4係表示圖1之遮板移動室16及遮板移動室16附近之構成之詳細結構。

圖4中，本體11包括中央部材31、上部部材32及下部部材33，各自之接著面中配設有密封材而成為一體，整體上成為筒狀箱體。

於中央部材31之下部方向，下部部材之內方向上藉由中央部材31與下部部材33而形成有遮板移動室16。因此，中央部材31及下部部材33構成具有遮板移動室16之遮板移動部17。

如下所述，遮板移動室16係以允許閘21之擺狀旋轉之方式於平面方向面向閘後退室13形成逐漸擴大之室。

本體11之排氣筒部15之壁面上圓筒狀的蓋35向下方之排氣口20之方向延伸嵌入而黏著。

中央部材31之內壁部形成有孔(hollow)，該孔之前面側以蓋35加以覆蓋，形成有遮板收納室36，該遮板收納室36於其下方部與遮板移動室16連通成為遮板移動室16之一部分。因此，遮板移動室16成為向遮板收納室36上方突出之形狀。

遮板收納室36中收納有遮板22。遮板收納室36之圖中，上下方向之長度與蓋35覆蓋孔之長度相等。遮板22可移動遮板收 納室36，且其下方部之遮板移動室36可向閘21移動。遮板22向上方移動時，遮板22之大部分可收納於遮板收納室36。

於中央部材31之內部，於遮板收納室36之側面，沿遮板收納室36設置有遮板驅動部41。遮板驅動部41包括圓筒42、O形環收納室43、貫通圓筒42及O形環收納室43而配置之驅動軸44之上端所設置之遮板驅動活塞45、於O形環收納室43所配設之O形環46及於驅動軸44下端所設置之模板保持部47。於遮板驅動活塞45上端面與上部部材32之下端面之間的圓筒42中導入有源自驅動源之空氣，藉由空壓，而與O形環46擠壓力相抗衡而作用於遮板驅動活塞45，使驅動軸44及模板保持部47向下方移動。

於遮板22之下端部之壓側面固定有模板(密封環)48，該模板48係於左方端部安裝有模板保持部47，並藉由模板保持部47而保持及移動。伴隨模板48之移動，遮板22與其形成一體而上下運動。

模板48之下端面形成為密封面，該部分係稱為遮板密封部49。於閘21之上面與遮板密封部49相對設置有O形環51，此處，包括該O形環51在內稱為第二閘密封部52。

於閘21之相反側之面，即下面設置有其他O形環53，此處，包括該O形環51在內稱為第一閘密封部54。

設置於下方部材33之排氣口20之入口部周圍構成為閥座，該閥座中著座有閘21，但是，該著座部中設置有固定密封部，此 處，稱為固定密封部55。如上所述，於遮板移動部17中，與遮板移動室16之入口18相對形成有固定密封部55。

O形環51及O形環53分別介在於遮板密封部49與第二閘密封部52、第一閘密封部54與固定密封部55之間，發揮密封功能及緩衝、減振功能。O形環51並非構成密封部之必需品。

如上所述，固定密封部55、遮板密封部49、第一閘密封部54及第二閘密封部52於排氣筒部15之長度方向、於遮板移動室16之內部配設於同一線(A)上。如上所述，遮板密封部49係藉由模板48而形成，模板48及遮板22，進而模板48及模板保持部47係可互裝卸自由。如上所述，本體11中，於排氣筒部15之側面部形成有遮板移動室16，然而，該遮板移動室16與排氣筒部15之間以閘21可移動之方式而連通，遮板移動室16之入口18成為連通部入口。因此，藉由本體11而形成之遮板移動部17中，面向排氣筒部15之側面部形成有入口18，並形成有收納遮板22而可自排氣筒部15隔離的遮板移動室16。自該遮板22之排氣筒部15隔離以及藉由各密封部密封及入口18之遮板22之閉塞係於該遮板移動室16內進行。而且，遮板移動部17中，與遮板移動室16之入口18相對，於閥座上形成有固定密封部55。而且，如上所述，遮板22係以與固定密封部55相對之方式於下端部具有遮板密封部49。

如圖1所示，本體11中，以圍住排氣筒部15之方式安裝有 螺栓61，可將本體11固定於其他部材。此外，如圖3所示，本體11中，設置有用於操作閘21之閘及遮板操作部62。

圖5及圖6係表示由閘21引起的真空閥100之閘開閉狀態。圖5係表示由閘21引起之閥閉狀態，而且，圖6係表示由閘21引起的閥開狀態。其等之圖中，遮板移動室16係與閘後退室13連通，閘21係以軸68為中心而於遮板移動室16及閘後退室13中擺狀旋轉，即形成閥體旋轉。圖5係表示閘21於遮板移動室旋轉而閉塞排氣口20之狀態，圖6係表示閘21於遮板後退室13旋轉而開放排氣口20，本身後退於遮板後退室13之狀態。

圖7係表示作為閘及遮板驅動源之閘及遮板操作部62之構成。

圖7中，閘及遮板操作部62係包括：藉由配設於操作本體64、操作本體62內之致動器65、致動器65而被旋轉驅動之一群齒輪66、67，藉由固定旋轉之齒輪67而旋轉操作之軸68，藉由揺動公轉之齒輪66而被揺動操作之空氣切換杠杆69，藉由揺動之空氣切換杠杆69而被操作之空氣切換閥70、71及空氣切換閥70、71送出空氣之空氣室72。

藉由所供應之空氣而操作致動器65並使操作齒輪群66、67旋轉。

伴隨於此，軸68旋轉，並使固定於軸68之閘21擺狀旋轉，從而形成圖5、圖6所示之狀態。該情形時，藉由揺動之齒輪66 而使空氣切換閥70、71之空氣切換。如上所述構成該驅動力切換裝置。於供應空氣時，可設置不僅實行上述機械的控制，而且實行程序控制(程式化計算機控制等)之控制裝置。

經切換之空氣自空氣室72導入圓筒42之上方部、下方部，分別作用於遮板驅動用活塞45，以與閘21之旋轉連動之形式，使遮板22上下運動。如上所述，形成閘驅動部及遮板驅動部之一部分，本例之情形係使用有一組空氣驅動源。亦可藉由其他驅動源來驅動閘驅動部及遮板驅動部。

圖5-圖7係表示擺類型之閘21(排架輥類型閘)之例，使用可直線狀移動之閘，使與該直線狀移動之閘之移動連動之遮板22上下運動。

圖8係表示閘21與遮板22之連動狀態之圖。圖8(1)係表示閘21位於與排氣口20相對之位置，遮板22向下方端移動，且遮板密封部49與固定密封部55接觸之狀態，圖8(2)係表示藉由向圓筒42導入切換空氣，遮板驅動活塞45向上方移動，且遮板22收納於遮板收納室36之狀態，而閘21變得可後退，圖8(3)係表示藉由軸68之旋轉，閘21自排氣筒15經由軸移動室16而後退於閘後退室13之狀態，圖8(4)係表示閘21後退於閘後退室13時，經切換之空氣導入至圓筒42，遮板22向下方運動到達最下點，遮板密封部49與固定密封部55接觸之狀態。如上所述，閘21與遮板22向對角線方向移動。再者，其等之圖係表示閘21 及遮板22作動之圖，只是密封環48之比例，並非正確地表示密封情況者。

圖9係表示自閥閉塞(CLOSE)至開放(OPEN)之順序圖。

圖9(1)係表示閥閉之狀態。該狀態中閘21之第一閘之密封部54與固定密封部55接觸而閉塞閘21之排氣口20，遮板密封部49與第二閘密封部52接觸，且遮板22與閘一起閉塞遮板移動室16之入口18之狀態。藉此而防止自製程腔體(process chamber)飛揚之雜質(depot)介由入口18浸入閘後退室13。

圖9(2)係表示為了閘21向閘後退室13後退，遮板22向上運動之狀態。該狀態中，空氣經切換，遮板22係收納於遮板收納室36內，排氣筒部15、遮板移動室16及閘後退室13相連通。

圖9(3)係表示閘21後退於閘後退室13之狀態。

圖9(4)係表示於閘21後退於閘後退室13之狀態下，空氣經切換，收納於遮板收納室36之遮板22向下運動，並到達下端，遮板密封部49與固定密封部55接觸，遮板22單獨閉塞入口18。該狀態下閥變成開放狀態。

圖10係表示自閥開放至閥閉塞之順序圖。步驟與圖9所示之順序相反。

圖10(1)係與圖9(4)相似，表示閘21後退於閘後退室13，遮板22單獨閉塞入口18之狀態。該情形時，遮板密封部49係與固定密封部55接觸。

圖10(2)係與圖9(3)相似，表示為了移動閘21，遮板22向上運動並收納於遮板收納室36之狀態。如上所述閘後退室13、遮板移動室16及排氣筒部15相連通。

圖10(3)係與圖9(2)相似，表示閘21於連通之閘後退室13、遮板移動室16及排氣筒部15中移動，且向排氣口20之上方移動之狀態。

圖10(4)係與圖9(1)相似，於排氣口20之上方存在之閘21向下運動，第一閘密封部54與固定密封部55接觸，閘31移動至排氣口20，與空氣被切換，閉塞排氣口20之同時，遮板22向下運動，遮板密封部49與第二閘密封部52接觸，遮板22與閘21一起閉塞入口18。該狀態係閥閉狀態。

如上所述，遮板22係於閘21收納於閘後退室13時，於遮板移動室16移動，藉由遮板密封部49與固定密封部55接觸而閉塞入口18，且閘21於遮板移動室16移動，藉由第一閘密封部54與固定密封部55接觸而閉塞排氣口20時，於遮板移動室16中移動，藉由遮板密封部與第二閘密封部52接觸而閉塞入口18。

於該情形時，固定密封部55、遮板密封部49、第一閘密封部52及第二閘密封部54係於排氣筒部15之長度方向，與固定密封部55相對之方式於同一線(A)上於遮板移動室16中移動。

於閘21使排氣口20處於開狀態時，遮板密封部49係與固定密封部55接觸，固定密封部55可防止於排氣口暴露，並可防止 雜質附著於固定密封部55。於閘21使排氣口處於閉狀態時，第一閘密封部53係與固定密封部55接觸，且遮板密封部49與第二閘密封部52接觸，藉此而閉塞入口18，可防止雜質浸入附著於閘後退室13。遮板22係於構成遮板移動室16之一部分的遮板收納室16上，於閘21移動時及閘21閉塞排氣口20時，可防止經收納之雜質附著於遮板22。如上所述，遮板22係具有於形成之遮板移動室16中上下運動，於遮板室16內防止雜質浸入閘後退室的功能。而且，於閘21閉塞排氣口20時，各密封部係配設於遮板移動室16內與上下方向相同的垂直線上，確保閉塞，從而有效地防止附著雜質。

11‧‧‧本體

12‧‧‧閘後退部

13‧‧‧閘後退室

14‧‧‧O形環

15‧‧‧排氣筒部

16‧‧‧遮板移動室

17‧‧‧遮板移動部

18‧‧‧入口

20‧‧‧排氣口

21‧‧‧閘

22‧‧‧遮板

31‧‧‧閘

32‧‧‧上部部材

33‧‧‧下部部材

35‧‧‧蓋

36‧‧‧遮板收納室

41‧‧‧遮板驅動部

42‧‧‧圓筒

43‧‧‧O形環收納室

44‧‧‧驅動軸

46‧‧‧O形環

47‧‧‧模板保持部

48‧‧‧模板

49‧‧‧遮板密封部

51‧‧‧O形環

52‧‧‧第二閘密封部

53‧‧‧O形環

54‧‧‧第一閘密封部

55‧‧‧固定密封部

61‧‧‧螺栓

62‧‧‧遮板操作部

65‧‧‧致動器

66‧‧‧齒輪

67‧‧‧齒輪

68‧‧‧軸

69‧‧‧杠杆

70‧‧‧切換閥

71‧‧‧切換閥

72‧‧‧空氣室

100‧‧‧真空閘閥

圖1係本發明之實施例之頂視圖。

圖2係本發明之實施例之側面剖面圖(圖3之A-A剖面圖)。

圖3係本發明之實施例之底視圖。

圖4係圖2之一部分之詳細圖。

圖5係表示閘之旋轉狀況(1)之圖。

圖6係表示閘之旋轉狀況(2)之圖。

圖7係閘及遮板操作部之構成圖。

圖8係說明閘及遮板移動之圖。

圖9係表示自閥閉塞至閥開放之狀態之圖。

圖10係自閥開放至閥閉塞之狀態之圖。

11‧‧‧本體

15‧‧‧排氣筒部

61‧‧‧螺栓

100‧‧‧真空閘閥

Claims (7)

1. 一種真空閘閥，包括：具有於端部形成有排氣口之排氣筒部的本體、具有閘後退室之閘後退部、自上述閘後退室移動至上述排氣筒部而閉塞上述排氣口且收納於上述閘後退室的閘、使該閘移動的閘驅動部、可沿上述排氣筒部移動之遮板、及使該遮板移動之遮板驅動部，其特徵在於：上述本體係面向上述排氣筒部之側面部形成有連通上述排氣口之閘後退室之入口，於上述閘向上述排氣口閉塞時及上述閘向上述閘後退室後退時，根據上述遮板形成上述閘後退室之入口的閉塞；上述遮板具備模板，該模板形成遮板密封部，可接觸上述排氣口的著座部所形成之固定密封部，且上述遮板係收納於上述排氣筒部之側方之遮板收納室，形成可向筒長方向移動的圓筒狀，相對於上述固定密封部；上述閘係可於上述閘後退室與上述排氣筒部之間的遮板移動室移動，於其一面側與上述固定密封部相對形成有第一閘密封部，於第一閘密封部之相反面側與上述遮板密封部相對形成有第二閘密封部；上述遮板係向上述排氣筒部之筒長方向移動，於上述閘收納於上述閘後退室，上述模板移動而上述遮板密封部接觸上述固定密封部時，上述遮板比上述模板突出，在上述排氣筒部側閉塞上述閘 後退室之入口，且上述閘是從上述閘後退室移動至上述排氣筒部，第一閘密封部接觸上述固定密封部而閉塞上述排氣口，上述模板移動，而上述遮板密封部接觸第二閘密封部時，上述遮板閉塞上述閘後退室之入口。
2. 如申請專利範圍第1項所述之真空閘閥，其中，上述固定密封部、上述遮板密封部、第一閘密封部及第二閘密封部於上述排氣筒部之長度方向上，配設於上述遮板移動室內之上下方向相同的垂直線上。
3. 如申請專利範圍第1項所述之真空閘閥，其中，上述遮板密封部係藉由模板而形成，該模板及上述遮板互相裝卸自由，上述排氣筒部於內周面具有遮板收納室，且上述遮板收納室具備圓筒狀的蓋，於該遮板收納室之側面側沿該遮板收納室設置有上述遮板驅動部之遮板驅動活塞，該遮板驅動活塞與上述模板連接，且上述遮板藉由沿上述排氣筒部作動之上述遮板驅動活塞，以與上述遮板收納室非接觸之狀態沿上述排氣筒部移動。
4. 如申請專利範圍第1項所述之真空閘閥，其中，上述閘驅動部與上述遮板驅動部係藉由一組驅動源及驅動力切換裝置而驅動，具有上述閘後退於上述閘後退室時以移動上述遮板之方式進行控制的控制裝置。
5. 如申請專利範圍第1項所述之真空閘閥，其中，上述閘後退部形成為箱狀，自本體側面與上述本體形成一體，且裝卸自由，上述 閘使用擺形閘，該閘可使上述閘後退部及上述遮板移動室搖動。
6. 一種真空閘閥之閘開閉方法，其包括：具有於端部形成有排氣口之排氣筒部的本體、具有閘後退室之閘後退部、自上述閘後退室向上述排氣筒部移動閉塞上述排氣口且收納於上述閘後退室的閘，使該閘移動之閘驅動部、可沿上述排氣筒移動並設置於遮板移動室的遮板、使該遮板移動之遮板驅動部；上述本體係於面向上述排氣筒部之側面部形成有連通上述排氣口之閘後退室之入口，於上述閘向上述排氣口閉塞時、及上述閘向上述閘後退室後退時，根據上述遮板形成上述閘後退室之入口的閉塞；上述遮板具備模板，該模板形成遮板密封部，可接觸上述排氣口的著座部所形成之固定密封部，且上述遮板係與上述固定密封部相對，而上述遮板的內筒側的端部形成於筒長方向比模板突出；上述閘係可於上述閘後退室與上述排氣筒部之間的遮板移動室移動，其一面側上與上述固定密封部相對形成有第一閘密封部，於第一閘密封部之相反面側，與上述遮板密封部相對形成有第二閘密封部者，其特徵在於：其係以如下方式來實行上述閘之開閉，即，上述閘收納於上述閘後退室，上述模板往上述排氣筒部的筒長方向移動，移動後之模板之上述遮板密封部與上述固定密封部接觸時，上述遮板比上述模板突出，在上述排氣筒部側閉塞上述閘後退室之入口，且上述 閘從上述閘後退室移動至上述排氣筒部，上述第一閘密封部與上述固定密封部接觸，閉塞上述排氣口時，上述遮板向上述排氣筒部之筒長方向移動，移動後之模板之上述遮板密封部接觸第二閘密封部而上述遮板閉塞上述閘後退室之入口。
7. 如申請專利範圍第6項所述之真空閘閥之閘開閉方法，其中，上述固定密封部、上述遮板密封部、第一閘密封部、及第二閘密封部係於上述排氣筒部之長度方向，與上述固定密封部相對，於上下方向相同的垂直線上移動。