KR100884256B1 - 진공 라인용 개폐 밸브 - Google Patents

Abstract

진공 라인용 개폐 밸브에 관하여 개시한다. 본 발명의 장치는, 몸체 외측에 설치되며, 피스톤이 설치된 실린더와; 몸체의 벽면을 관통하여 설치되는 축과; 피스톤의 전후 이동에 따라 축을 회전시키는 링크와; 축과 상기 디스크를 연결하되, 축의 회전에 따라 디스크를 슬라이딩 시키는 관절형 링크가 구비되는 액츄에이터를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 축을 중심으로 2중의 링크 구조를 가짐으로써 실린더에서 압축공기가 누설된다 하더라도 밸브의 오픈 상태가 그대로 유지되는 장점이 있다. 또한, 기계적인 작동만으로 프로텍터가 슬라이딩되므로 종래에 압축공기 방식의 프로텍터에서 발생되는 문제점들을 해결할 수 있다.

진공 라인, 개폐 밸브, 2중의 링크 구조, 프로텍터

Description

진공 라인용 개폐 밸브{Opening - closing valve for vacuum line}

도 1a 및 도 1b는 본 발명의 실시예에 따른 진공 라인용 개폐 밸브가 열렸을 때를 나타낸 도면들;

도 1c 및 도 1d는 본 발명의 실시예에 따른 진공 라인용 개폐 밸브가 닫혔을 때를 나타낸 도면들;

도 2a는 본 발명의 실시예에 따른 프로텍터를 설명하기 위한 도면;

도 2b는 본 발명의 실시예에 따른 프로텍터 쉬프트용 액츄에이터를 설명하기 위한 도면; 및

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 진공 라인용 개폐 밸브의 작동을 설명하기 위한 도면이다.

본 발명은 진공 라인용 개폐 밸브에 관한 것으로서, 특히 액츄에이터가 2중의 링크구조를 가지는 진공 라인용 개폐 밸브에 관한 것이다.

반도체 및 LCD 제조장치의 공정챔버 배기측과 진공펌프 사이에는 배관 및 진공펌프 등 부대설비의 보수, 유지시 배관 라인의 개폐를 위하여 개폐 밸브가 설치된다. 종래의 진공 개폐 밸브의 작동방식으로는, 수동 개폐와 자동 개폐로 구분되며, 자동 개폐방식에는 액츄에이터의 구동 방식에 따라 압축공기 또는 전기 구동 방식이 있다.

그런데, 압축공기로 구동하는 방식에 있어서 실린더와 디스크가 일직선상에 위치되는 경우에는 밸브가 열려있는 상태에서 실린더의 파손 또는 단순 리크(leak)에 의하여 압축공기가 누설되면 그 실린더 내부는 대기압 상태가 되므로 밸브 라인에 형성되어 있는 진공에 의하여 디스크가 밸브의 유체통로를 닫게 되므로 공정상 에러가 발생하게 된다.

또한, 진공 라인용 개폐 밸브는 진공을 유지해야 하므로 누설 방지가 특히 중요하며, 밸브가 열리는 순간에 진공펌프측에 과부하가 걸리지 않도록 밸브의 운용에 신중을 기해야 한다.

나아가, 진공 라인용 개폐 밸브를 통하여 배기되는 것은 유체뿐만 아니라 반도체 및 LCD 제조공정 중에 발생한 파우더 등의 부산물도 배기되게 되므로 개폐 밸브 내측에는 어느 정도의 그 부산물이 쌓이게 된다. 따라서 그 부산물이 개폐 밸브를 개폐하는 디스크가 슬라이딩되는 영역에 쌓이게 되면 개폐 밸브에 작동 불량이 발생하게 된다. 따라서 이러한 문제점을 해결하기 위한 장치, 이른바 프로텍터를 장치한 진공 라인용 개폐 밸브들이 소개되고 있다. 하지만, 몸체 내부에 압축공기 를 불어넣어 프로텍터를 상하로 이동시키는 방식에 의할 경우에는 실링(sealing)재의 파손시에 그 압축공기가 공정 라인에 유입되어 지장을 초래하는 문제점이 있다.

따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 액츄에이터의 파손시에도 개폐 밸브가 닫히는 것을 방지하는 진공 라인용 개폐 밸브를 제공하는 데 있다.

또한, 압축공기를 이용한 프로텍터의 작동상의 문제점을 해결할 수 있는 진공 라인용 개폐 밸브를 제공하는 데 있다.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 진공 라인용 개폐 밸브는: 상측에 형성된 유입구를 포함하는 유입부, 하측에 형성된 유출구를 포함하는 유출부, 상기 유입부와 유출부를 연결하는 유체통로, 상기 유체통로와 연결되는 디스크 통로, 상기 디스크 통로 아래쪽에 위치되는 프로텍터 쉬프트 통로 및 소정영역이 상기 프로텍터 쉬프트 통로와 연결되는 소정 높이의 홈이 상기 유출부의 내측 벽면을 따라 횡으로 형성된 몸체와;
상기 디스크 통로를 따라 전후로 슬라이딩되며 상기 유체통로를 개폐하는 디스크와;
상기 몸체 외측에 설치되며 내부에 압축공기에 의해 전후 이동하는 피스톤이 설치된 실린더와, 상기 몸체의 벽면을 관통하여 회전가능하도록 설치되는 축과, 상기 축과 상기 피스톤을 연결하되 상기 축과 수직하도록 설치되어 상기 피스톤의 전후 이동에 따라 상기 축을 회전시키는 링크와, 상기 축과 상기 디스크를 연결하되 상기 축의 타단과 직접 연결된 마디는 상기 축과 수직하도록 설치되어 상기 축의 회전에 따라 상기 디스크를 슬라이딩 시키는 관절형 링크를 포함하여 이루어져 상기 디스크를 슬라이딩 시키는 디스크용 액츄에이터와;
실린더 형상으로 외주면을 따라 외측으로 돌출된 날개가 형성되며 저면에는 반구형 돌출면이 형성되고, 상기 유출부에 형성된 홈에 상기 날개가 위치되어 상기 유출부를 따라 상하로 슬라이딩되도록 상기 유출부의 내주면에 설치되는 프로텍터와;
상면에는 상기 반구형 돌출면과 대향하는 반구형 홈이 형성되고, 외주면이 상기 유출부에 형성된 홈의 하단에 걸쳐지도록 설치되는 프로텍터 쉬프트와;
상기 유체통로가 열렸을 때는 상기 반구형 돌출면의 소정영역이 상기 반구형 홈에 위치되고 상기 유체통로를 닫았을 때는 상기 반구형 돌출면이 상기 프로텍터 쉬프트의 상면에 있어서 상기 반구형 홈이 형성되지 않은 영역에 위치되도록 상기 프로텍터 쉬프트를 수평이동시키는 프로텍터 쉬프트용 액츄에이터가 구비되는 것을 특징으로 한다.

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나아가, 상기 프로텍터 쉬프트용 액츄에이터는 상기 몸체 외측에 설치되며, 내부에 압축공기에 의해 전후 이동하는 피스톤이 설치된 별도의 실린더와; 상기 프로텍터 쉬프트와 상기 피스톤을 연결하는 별도의 링크를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. 또는 상기 프로텍터 쉬프트용 액츄에이터는 상기 디스크용 액츄에이터의 피스톤에 있어서 상기 링크가 연결된 면의 반대면과 상기 프로텍터 쉬프트를 연결하는 별도의 링크를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

그리고 상기 날개와 상기 유출부에 형성된 홈의 상단 사이에는 스프링이 설치되는 것을 특징으로 한다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다.

도 1a 및 도 1b는 본 발명의 실시예에 따른 진공 라인용 개폐 밸브가 열렸을 때를 나타낸 도면들이고, 도 1c 및 도 1d는 본 발명의 실시예에 따른 진공 라인용 개폐 밸브가 닫혔을 때를 나타낸 도면들이고, 도 2a는 본 발명의 실시예에 따른 프로텍터를 설명하기 위한 도면이며, 도 2b는 본 발명의 실시예에 따른 프로텍터 쉬프트용 액츄에이터를 설명하기 위한 도면이고, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 진공 라인용 개폐 밸브의 작동을 설명하기 위한 도면이다.

도 1a 내지 도 1d를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 진공 라인용 개폐 밸브는 몸체(100)와, 몸체 내부에 설치되는 디스크(200)와, 디스크(200)를 슬라이딩시키는 액츄에이터(300)를 포함하여 이루어진다.

몸체(100)에는 상측에 형성된 유입구를 포함하는 유입부(110)와, 하측에 형 성된 유출구를 포함하는 유출부(120)와, 유입부(110)와 유출부(120)를 연결하며 디스크(200)에 의해 개폐되는 유체통로(130)와, 유체통로(130)와 연결되며 디스크(200)가 전후로 슬라이딩되도록 형성된 디스크 통로(140)가 형성되어 있다.

본 발명은 압축공기 방식의 디스크용 액츄에이터에 있어서, 밸브가 열려있는 상태에서 압축공기가 유입되는 실린더가 파손되어도 밸브가 열려있는 상태를 그대로 유지할 수 있는 디스크용 액츄에이터를 제공하는 데 특징이 있다. 이하, 본 발명에 따른 디스크용 액츄에이터에 대해서 후술한다.

본 발명에 따른 디스크용 액츄에이터(300)는 내부에 피스톤(320)이 설치되어 있는 실린더(310)와, 링크(330)와, 관절형 링크(340)와, 회전하는 축(350)을 포함하여 이루어진다. 링크(330)는 축(350)의 일단과 베어링에 의해 연결되고 관절형 링크(340)는 축(350)의 타단과 베어링에 의해 연결된다. 즉, 축을 중심으로 2중의 링크 구조를 가지게 된다.

실린더(310)와 링크(330)는 몸체(100) 외측에 설치되고, 축(350)은 몸체(100)를 관통하여 회전 가능하도록 설치되며, 관절형 링크(340)는 몸체(100) 내측에 설치된다.

피스톤(320)을 사이에 두고 앞쪽 또는 뒤쪽으로 압축공기가 실린더(310)에 유입됨으로서 피스톤(320)이 전후로 이동하게 된다.

링크(330)는 축(350)과 피스톤(320)의 로드(321)를 연결한다. 이 때, 링크(330)는 축(350)과 수직하도록 설치된다. 따라서 피스톤(320)의 전후 왕복 운동에 의하여 링크(330)가 전후로 이동하면서 축(350)을 회전시키게 된다.

관절형 링크(340)는 디스크(200)와 축(350)을 연결한다. 이 때, 관절형 링크(340)를 이루는 마디 중에서 축(350)의 타단과 연결되는 마디(341)는 축(350)과 수직하도록 설치된다. 따라서 축(350)의 회전에 따라 관절형 링크(340)가 전후로 이동하면서 디스크(200)를 전후로 슬라이딩시키게 된다.

종래 액츄에이터의 경우에는 디스크와 실린더가 링크에 의해 일직선상에 위치되어, 실린더가 파손 또는 단순 리크(leak)에 의해 실린더 내부의 압력이 손실되면 대기압을 이루므로 몸체 내의 진공압이 그 링크를 끌어당겨서 밸브가 닫힘으로써 공정에 에러를 발생시킨다. 그런데, 본 발명의 액츄에이터(300)에 의하면 관절형 링크(340)와 축의 (350)의 타단은 몸체(100) 내부에 위치하고 있으므로 밸브가 오픈되어 진공상태인 경우에는 관절형 링크(340) 및 축(350)의 타단이 위치된 영역도 진공상태를 유지하게 된다. 그리고 실린더(310)에서 리크가 발생되어 실린더 내의 압력이 대기압 상태가 된다하더라도 몸체(100) 내부에 형성된 진공은 축(350)에 대하여 중심축 방향으로 작용하게 되어 축(350)은 회전이 일어나지 않게 된다. 따라서 축(350)은 회전되지 않을 뿐만 아니라 실린더(310)에 리크가 발생되어도 관절형 링크(340)에는 여전히 진공압이 미치므로 축(350)과 관절형 링크(340)는 현상태를 유지하게 되어 밸브가 오픈된 상태를 그대로 유지하게 된다.

이와 같이, 본 발명에 의할 경우에는 액츄에이터의 실린더가 파손된다 하더라도 밸브의 오픈 상태가 그대로 유지되므로, 진공상태에서 이루어지는 공정을 그대로 진행시킬 수 있는 장점이 있으며, 공정 중에 갑자기 밸브가 닫힘으로써 발생되는 공정상의 문제점이 해결되게 된다.

한편, 본 발명의 실시예에 따른 진공 라인용 개폐 밸브에는 프로텍터가 구비된다. 프로텍터는 실린더 형상으로 유출부를 따라 상하로 슬라이딩되도록 유출부의 내주면에 설치되어, 디스크가 유체통로를 닫았을 때는 디스크를 밀어 올려주어 완전한 기밀성을 보장한다. 즉, 밸브는 디스크와 프로텍터에 의하여 닫히게 된다. 밸브를 열고자 할 때에는 소프트 펌핑이 되도록 먼저, 프로텍터를 아래쪽으로 이동시킨 다음에 디스크를 밸브 개방위치로 이동시킴으로써 진공펌프에 갑작스런 과부하가 걸리는 것을 방지해 준다. 그리고 밸브가 완전히 열렸을 때에는 진공 라인용 개폐 밸브를 통하여 배기되는 것은 유체뿐만 아니라 반도체 및 LCD 제조공정 중에 발생한 파우더 등의 부산물도 배기되게 되어 그 부산물에 의해 개폐 밸브를 개폐하는 디스크가 슬라이딩되는 영역에 쌓이게 되므로 다시 프로텍터를 디스크 슬라이딩 통로 높이까지 올려주어 그 디스크 슬라이딩 통로에 부산물 등이 유입되는 것을 막아준다. 이 때, 프로텍터는 다양하게 구성할 수 있지만, 몸체 내부에 압축공기를 불어넣어 프로텍터를 상하로 이동시키는 경우에 발생되는 문제점을 해결하기 위하여 하기와 같이 구성하였으며, 도면 2a 및 도 2b를 참조하여 상세히 설명한다.

도 2a를 참조하면, 몸체(100)에는 프로텍터 및 그 작동부를 설치하기 위하여, 디스크 통로(140) 아래쪽에 실링재(800)에 의해 외부와 차단된 프로텍터 쉬프트 통로(150)가 형성되며 소정 높이를 가지는 홈(160)이 유출부의 내측 벽면을 따라 횡으로 형성된다. 이 때, 홈(160)의 소정 영역은 프로텍터 쉬프트 통로(150)와 연결된다.

프로텍터(400)는, 실린더 형상으로 외주면을 따라 외측으로 돌출된 날 개(410)가 형성되며 저면에는 반구형 홈(420, 이하에서 제1 반구형 홈이라 한다)이 형성되고, 몸체의 유출부에 형성된 홈(160)에 날개(410)가 위치되며 유출부를 따라 상하로 슬라이딩되도록 유출부의 내주면에 설치된다. 제1 반구형 홈(420)에는 구슬(430)이 고정된다.

프로텍터 쉬프트(500)의 상면에는 프로텍터(400)에 형성된 제1 반구형 홈(420)과 대향하는 반구형 홈(510, 이하에서 제2 반구형 홈이라 한다)이 형성되고, 외주면이 유출부에 형성된 홈(160)의 하단에 걸쳐지도록 설치된다.

프로텍터 쉬프트(500)를 수평이동시키는 프로텍터 쉬프트용 액츄에이터가 필요하게 되는 데, 프로텍터 쉬프트용 액츄에이터를 도 2b와 같이 완전히 별개로 구성하거나 디스크용 액츄에이터를 이용할 수 있다.

한편, 상기 구슬의 용도는 프로텍터의 저면에 반구형 돌출면을 형성하기 위한 것이므로 별도의 구슬을 설치하지 않고 프로텍터의 저면에 바로 반구형 돌출면을 형성하고 그 반구형 돌출면에 대향하는 반구형 홈을 프로텍터 쉬프트에 형성하여도 좋고, 구슬을 설치하는 경우에는 프로텍터와 구슬이 일체형으로 형성되어 있어도 좋다.

도 2b를 참조하면, 프로텍터 쉬프트용 액츄에이터(600)는 내부에 피스톤(620)이 설치되어 있는 실린더(610)와, 그 피스톤(620)과 프로텍터 쉬프트(500)를 연결하는 링크(630)를 포함하여 이루어져, 실린더(610)에 유입되는 압축공기에 의하여 피스톤(620)의 전후 왕복 운동에 의하여 링크(630)가 전후로 이동하면서 프로텍터 쉬프트(500)를 이동시키게 된다.

디스크용 액츄에이터를 이용하는 경우에는 도 1a 내지 도 1d와 결부하여 설명하면, 별도의 링크를 이용하여 피스톤(320)에 있어서 링크(330)가 연결된 면의 반대면과 프로텍터 쉬프트(500)와 연결되는 별도의 링크를 설치하여 간단하게 구성할 수 있는 데, 디스크가 밸브를 열었을 때에는 프로텍터를 상측으로 이동시켜 디스크 통로에 부산물이 쌓이는 것을 방지하고 디스크가 밸브를 닫았을 때는 프로텍터를 하측으로 이동시키게 된다.

한편 도 2a를 다시 참조하면, 구슬(430)이 프로텍터 쉬프트에 형성된 제2 반구형 홈(510)에 위치되었을 때 프로텍터(400)가 하측으로 이동하기 쉽도록 프로텍터에 형성된 날개(410)의 상면과 유출부에 형성된 홈(160)의 상단 사이에는 스프링(700)을 설치하였다.

이와 같이, 기계적인 작동만으로 프로텍터가 슬라이딩되므로 종래에 몸체 내부에 압축공기를 불어넣어 프로텍터를 상하로 이동시키는 경우에 발생되는 문제점들을 해결할 수 있다.

상술한 설명에서 전후 또는 상하로 방향이 표시되어 있지만, 이것은 용이한 설명을 위하여 설정된 것으로 그 방향만으로 본 발명에 따른 진공 라인용 개폐 밸브의 권리범위가 한정되는 것은 아니며 반드시 그 방향으로 설치되어야만 하는 것도 아니다.

이하에서, 디스크와 프로텍터에 의한 본 발명에 따른 진공 라인용 개폐 밸브의 개폐과정을 도 3을 참조하여 설명한다.

밸브를 닫을 때에는, 먼저 도 3의 (a)와 같이 디스크(200)가 유체통로를 닫 는 위치로 이동하고, 다음에 도 3의 (b)와 같이 프로텍터 쉬프트(500)가 이동하면서 구슬(430)이 프로텍터 쉬프트(500)의 상면에 위치됨으로써 프로텍터(400)를 밀어 올려주어 그 프로텍터(400)는 디스크(200)와 더불어 유체통로를 완전히 닫아준다.

밸브를 열어줄 때는, 먼저 도 3의 (c)와 같이 프로텍터(400)에 설치된 구슬(430)이 프로텍터 쉬프트(500)에 형성된 반구형 홈에 위치되도록 프로텍터 쉬프트가 위치 이동하면 프로텍터(400)는 스프링(700)에 의해 아래쪽으로 이동하게 된다. 그러면, 디스크(200)와 프로텍터(400)의 틈새를 통한 소프트 펌핑이 된 이후에 디스크(200)가 슬라이딩 되어 디스크 통로 내로 들어가게 되어 밸브가 완전히 열리게 된다. 이렇게 밸브가 완전히 열리게 되면 도 3의 (e)와 같이 프로텍터 쉬프트(500)가 이동하면서 구슬(430)이 프로텍터 쉬프트(500)의 상면에 위치됨으로써 프로텍터(400)를 밀어 올려주어 그 프로텍터(400)는 디스크 통로(140)를 막아주어 디스크 통로(140)에 부산물 등이 쌓이는 것을 방지한다.

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 진공 라인용 개폐 밸브에 의하면, 축을 중심으로 2중의 링크 구조를 가짐으로써 액츄에이터의 실린더가 파손된다 하더라도 밸브의 오픈 상태가 그대로 유지되어 공정 중에 갑자기 밸브가 닫힘으로써 발생되는 공정상의 문제점이 해결되게 된다.

또한, 기계적인 작동만으로 프로텍터가 슬라이딩되므로 종래에 몸체 내부에 압축공기를 불어넣어 프로텍터를 상하로 이동시키는 경우에 발생되는 문제점들을 해결할 수 있다.

본 발명은 상기 실시예들에만 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 많은 변형이 가능함은 명백하다.

Claims (8)

1. 상측에 형성된 유입구를 포함하는 유입부, 하측에 형성된 유출구를 포함하는 유출부, 상기 유입부와 유출부를 연결하는 유체통로, 상기 유체통로와 연결되는 디스크 통로, 상기 디스크 통로 아래쪽에 위치되는 프로텍터 쉬프트 통로 및 소정영역이 상기 프로텍터 쉬프트 통로와 연결되는 소정 높이의 홈이 상기 유출부의 내측 벽면을 따라 횡으로 형성된 몸체와;

   상기 디스크 통로를 따라 전후로 슬라이딩되며 상기 유체통로를 개폐하는 디스크와;

   상기 몸체 외측에 설치되며 내부에 압축공기에 의해 전후 이동하는 피스톤이 설치된 실린더와, 상기 몸체의 벽면을 관통하여 회전가능하도록 설치되는 축과, 상기 축과 상기 피스톤을 연결하되 상기 축과 수직하도록 설치되어 상기 피스톤의 전후 이동에 따라 상기 축을 회전시키는 링크와, 상기 축과 상기 디스크를 연결하되 상기 축의 타단과 직접 연결된 마디는 상기 축과 수직하도록 설치되어 상기 축의 회전에 따라 상기 디스크를 슬라이딩 시키는 관절형 링크를 포함하여 이루어져 상기 디스크를 슬라이딩 시키는 디스크용 액츄에이터와;

   실린더 형상으로 외주면을 따라 외측으로 돌출된 날개가 형성되며 저면에는 반구형 돌출면이 형성되고, 상기 유출부에 형성된 홈에 상기 날개가 위치되어 상기 유출부를 따라 상하로 슬라이딩되도록 상기 유출부의 내주면에 설치되는 프로텍터와;

   상면에는 상기 반구형 돌출면과 대향하는 반구형 홈이 형성되고, 외주면이 상기 유출부에 형성된 홈의 하단에 걸쳐지도록 설치되는 프로텍터 쉬프트와;

   상기 유체통로가 열렸을 때는 상기 반구형 돌출면의 소정영역이 상기 반구형 홈에 위치되고 상기 유체통로를 닫았을 때는 상기 반구형 돌출면이 상기 프로텍터 쉬프트의 상면에 있어서 상기 반구형 홈이 형성되지 않은 영역에 위치되도록 상기 프로텍터 쉬프트를 수평이동시키는 프로텍터 쉬프트용 액츄에이터가 구비되는 것을 특징으로 하는 진공 라인용 개폐 밸브.
2. 삭제
3. 삭제
4. 제 1항에 있어서, 상기 프로텍터의 저면에 별도의 반구형 홈이 형성되고, 상기 프로텍터에 형성된 반구형 홈에 구슬이 설치됨으로써 상기 구슬에 의하여 반구형 돌출면이 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 라인용 개폐 밸브.
5. 제 4항에 있어서, 상기 프로텍터와 상기 구슬은 일체형인 것을 특징으로 하는 진공 라인용 개폐 밸브.
6. 제 1항에 있어서, 상기 프로텍터 쉬프트용 액츄에이터는 상기 몸체 외측에 설치되며, 내부에 압축공기에 의해 전후 이동하는 피스톤이 설치된 별도의 실린더와;

   상기 프로텍터 쉬프트와 상기 피스톤을 연결하는 별도의 링크를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공 라인용 개폐 밸브.
7. 제 1항에 있어서, 상기 프로텍터 쉬프트용 액츄에이터는 상기 피스톤에 있어서 상기 링크가 연결된 면의 반대면과 상기 프로텍터 쉬프트를 연결하는 별도의 링크를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공 라인용 개폐 밸브.
8. 제 1항에 있어서, 상기 날개와 상기 유출부에 형성된 홈의 상단 사이에는 스프링이 설치되는 것을 특징으로 하는 진공 라인용 개폐 밸브.

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