JP6050521B2 - スライド逆圧遮断バルブ - Google Patents
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Description
ガス流入部61に供給された窒素ガス(N2)は、図21の(a)及び(b)に示したように、円形流路63の形状を持つガス流出部62によって垂直方向に円形の流れを持つことになる。前記バルブボディーの内周面及びパウダー流入防止リング51を備えた場合、前記パウダー流入防止リング51の上面が接触する部分の隙間とともに形状化したバルブの内部の内周面に沿って前記窒素ガス(N2)が流れると、パウダーと前記内周面との間にガス層を形成することになる。これにより、前記内周面にパウダーが吸着されることを防止することになり、パウダー流入防止リング51が備えられた場合、前記パウダー流入防止リング51の上昇及び下降作動の誤作動を防止することができることになる。前記パウダー流入防止リング51を備えていない場合、バルブの内部のシーリング(sealing)のために使われるOリング又はOリングと接触するシーリング面の汚染を防止する目的で使うことができる。
ガス流入部61に供給された高圧のN2ガスは円形流路63を持つガス流出部62を通じて垂直方向に円形の噴射流れを持つことになる。これにより、工程進行中にパウダー流入防止リング51の上面、その上面と接触するバルブボディー10の内面、及び内周面に吸着されたパウダーを高圧でクリーニングして前記バルブボディー10の内周面に吸着されたパウダー70を除去し、パウダー流入防止リング51を備えた場合、再び工程が進行する間に発生し得る前記パウダー流入防止リング51の上昇及び下降の誤作動を防止することができることになる。
前記ガス流入部61に供給されたフッ素(F2)ガスは円形流路63を持つガス流出部62を通じて垂直方向に円形の噴射流れを持つことになる。これにより、工程進行中にパウダー流入防止リング51の上面、その上面と接触するバルブボディー10の内面、及び内周面に吸着されたパウダーを高圧でクリーニングして前記バルブボディー10の内周面に吸着されたパウダー70を除去し、パウダー流入防止リング51を備えた場合また工程が進行する間に発生し得る前記パウダー流入防止リング51の上昇及び下降の誤作動を防止することができることになる。
11 流体流入部
12 流入部カバー
13 流体流出部
14 流出部カバー
15 側壁部
16 結合部材
17 Oリング
20 移送体
21 移送体ボディー
22 回転軸結合部
22a 回転軸結合孔
24,25,26 コマ
27 リンク手段結合部
30 遮断板
31 遮断板面
32 突部
40 移送体移動手段
41 駆動手段
42 回転軸
43 リンク手段
50 パウダー流入防止シリンダー
51 パウダー流入防止リング
52、53 圧縮空気供給部
55 空間部
56 ガス流路誘導リング
61 ガス流入部
62 ガス流出部
63 円形流路
70 パウダー
Claims (14)
- 流体流入部と流体流出部が上下に配置され、前記流体流入部と流体流出部の間に前記流体の通過する空間が形成された流体通過空間部を含んでなるバルブボディーと、
前記流体流入部を閉鎖する遮断板が上部に載置され、流体遮断の際、前記流体通過空間部の位置に移動する移送体と、
前記移送体を移動させる移送体移動手段とを含んでなり、
逆圧が発生すると、前記移送体移動手段が前記移送体を前記流体流入部の閉鎖位置に移送し、前記移送体に載置された遮断板が前記バルブボディー内の逆圧による圧力差によって浮揚し、前記流体流入部を閉鎖することによって逆圧を遮断し、
前記遮断板は円板形であり、その外径は前記流体流入部の直径よりも大きく形成され、前記遮断板の下面には下方に突部が突設されることにより、前記遮断板が前記移送体に載置されたとき、前記遮断板の水平移動を制限するようにし、
前記遮断板が前記バルブボディー内の逆圧による圧力差によって浮揚して前記流体流入部を閉鎖して逆圧を遮断するとき、前記バルブボディーにおいて前記遮断板と接触する部位にOリングが設けられて気密を維持するようにし、
前記バルブボディーにおいて、前記Oリングが設けられた面と前記移送体の上面との間の高さ(A)又は前記突部が突設された下面との間の高さ(D)は、前記遮断板の厚さ(B)と前記遮断板の下面に形成された突部の高さ(C)の和よりも小さいこと
すなわち、AorD<(B+C)となる
ことを特徴とする、スライド逆圧遮断バルブ。 - 前記移送体移動手段は、空圧シリンダー又は電気モーターのような駆動手段の回転軸に前記移送体を結合し、前記回転軸の回転によって前記移送体が前記流体流入部の閉鎖位置に移動するようにする
ことを特徴とする、請求項1に記載のスライド逆圧遮断バルブ。 - 前記移送体は、前記回転軸と結合する回転軸結合部と前記遮断板が載置される移送体ボディーとを含んでなり、
前記移送体ボディーには前記遮断板の直径よりも小さな開放円形空間が形成されることによって前記遮断板が載置される
ことを特徴とする、請求項2に記載のスライド逆圧遮断バルブ。 - 前記移送体移動手段は、空圧シリンダー又は電気モーターのような駆動手段にリンク手段の一端部を連結し、前記リンク手段の他端部に前記移送体を結合し、
前記駆動手段が作動して前記リンク手段が伸長することによって前記移送体が前記流体流入部の閉鎖位置に移動するようにする
ことを特徴とする、請求項1に記載のスライド逆圧遮断バルブ。 - 前記移送体は、前記遮断板が載置される移送体ボディーと、前記リンク手段と結合されるリンク手段結合部とを含んでなり、
前記移送体ボディーは前記遮断板の直径よりも小さな開放円形空間が形成されることによって前記遮断板が載置される
ことを特徴とする、請求項4に記載のスライド逆圧遮断バルブ。 - 前記移送体ボディーには円滑な移動のためにコマを備えた
ことを特徴とする、請求項3又は5に記載のスライド逆圧遮断バルブ。 - 前記バルブボディーにパウダー流入防止シリンダーをさらに備え、
前記パウダー流入防止シリンダーの内部に、外部から供給される圧縮空気又は圧縮ガスによって上下に移動するパウダー流入防止リングを備え、
前記パウダー流入防止リングによって、前記移送体及び移送体移動手段を収容する空間に流入するパウダーの流入を遮断する
ことを特徴とする、請求項1に記載のスライド逆圧遮断バルブ。 - 前記パウダー流入防止リングは2段に折り曲げられた円筒状のもので、前記パウダー流入防止シリンダーに備えられた圧縮空気供給部に供給された圧縮空気又は圧縮ガスによって上下に移動する
ことを特徴とする、請求項7に記載のスライド逆圧遮断バルブ。 - 外部から逆圧発生信号が発生すると、まず前記パウダー流入防止リングが開放し始め、前記パウダー流入防止リングが完全開放する前にも前記移送体移動手段が前記移送体を前記流体流入部の閉鎖位置に移送することができるように、前記移送体において前記遮断板が載置される移送体ボディーの下部に一定の厚さ(t)の空間が形成された
ことを特徴とする、請求項8に記載のスライド逆圧遮断バルブ。 - 前記移送体ボディーの下部に形成された一定の厚さ(t)の空間は1mm以上の厚さを持つ空間である
ことを特徴とする、請求項9に記載のスライド逆圧遮断バルブ。 - 前記パウダー流入防止リングの内周面又は前記バルブボディーの内周面にパウダーが吸着されることを防止するために、前記バルブボディーに外部からパウダー吸着防止ガスを供給するガス流入部を備え、
前記ガス流入部から供給された前記パウダー吸着防止ガスを前記バルブボディーの内周面に沿って流れるようにするガス流出部を備えた
ことを特徴とする、請求項7に記載のスライド逆圧遮断バルブ。 - 前記ガス流出部は、前記バルブボディーの内周面に沿ってパウダー吸着防止ガスが流れるように円形の流路状に形成された
ことを特徴とする、請求項11に記載のスライド逆圧遮断バルブ。 - 前記バルブボディーの内部に前記バルブボディーの内径よりも小さな直径を持つ円筒状のガス流路誘導リングをさらに備えることで、前記ガス流出部から流出する前記パウダー吸着防止ガスが前記バルブボディーの内周面に誘導されるようにした
ことを特徴とする、請求項11に記載のスライド逆圧遮断バルブ。 - 前記ガス流路誘導リングは前記ガス流出部が形成された部分よりも長く形成された
ことを特徴とする、請求項13に記載のスライド逆圧遮断バルブ。
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