CN113883288B - 一种半导体工厂用全自动防倒灌插板阀门及防倒灌方法 - Google Patents

一种半导体工厂用全自动防倒灌插板阀门及防倒灌方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种半导体工厂用全自动防倒灌插板阀门及防倒灌方法，包括直通通道和插板；所述直通通道中心线与插板所在水平面垂直设置；外力作用所述直通通道一侧的插板往复运动开闭于直通通道所述插板运动封盖住直通通道一端上，起到阻断直通通道内气流的作用，进而起到防止气流回灌的目的；所述插板插入直通通道内，形成插入式阻断结构，通过插入式阻断结构上下双向封堵于直通通道。本发明提供一种半导体工厂用全自动防倒灌插板阀门及防倒灌方法能有效的防止气体回灌，保持管路压力的效果。

Description

一种半导体工厂用全自动防倒灌插板阀门及防倒灌方法
技术领域
本发明涉及半导体产线及面板厂领域，尤其涉及阀门领域。
背景技术
在半导体工厂CVD、ETCH、DIFF、T/F等Powder较多工艺的部门，常因泵不预期停机，导致气体回灌，腔体污染，从而导致不良品发生。同时还要对已污染腔体，进行清洁保养，严重影响生产计划，降低产能。因此当泵异常停机时，需要及时的控制阀门关闭腔体的管道，防止气体回灌。
发明内容
发明目的：为了克服现有技术中存在的不足，本发明提供一种半导体工厂用全自动防倒灌插板阀门及防倒灌方法能有效的防止气体回灌，保持管路压力的效果。
技术方案：为实现上述目的，本发明的技术方案如下：
一种半导体工厂用全自动防倒灌插板阀门，包括直通通道和插板；所述直通通道中心线与插板所在水平面垂直设置；外力作用所述直通通道一侧的插板往复运动开闭于直通通道；
所述插板运动封盖住直通通道一端上，起到阻断直通通道内气流的作用，进而起到防止气流回灌的目的；所述插板插入直通通道内，形成插入式阻断结构，通过插入式阻断结构上下双向封堵于直通通道。
进一步的，还包括呈矩形箱体结构的阀体，且阀体上对应盖设有阀体盖板，所述阀体一端上下贯通开设有安装通孔，所述直通通道对应适应设置于安装通孔内，且所述直通通道与安装通孔同轴设置；
所述插板运动封盖住直通通道一端上，起到阻断直通通道内气流的作用，进而起到防止气流回灌的目的；所述插板插入直通通道内，形成插入式阻断结构，通过插入式阻断结构上下双向封堵于直通通道。
进一步的，所述阀体相对安装通孔另一端内设置插板；所述插板两侧固定对称设置有伸缩杆；所述阀体设置安装通孔一侧上的伸缩装置与伸缩杆远离插板一端驱动连接。
进一步的，所述直通通道对应安装通孔一段为活塞；所述活塞中部贯通设置；所述活塞中部侧壁环向固设有限制环；所述限制环处于阀体内部，且所述限制环外径大于安装通孔内径。
进一步的，所述活塞两端分别连通设置有法兰，且对称的所述法兰与活塞同轴设置；对称的法兰与活塞之间形成直通通道。
进一步的，所述活塞一端与对应的法兰之间间距设置，形成间隙；所述插板运动轨迹处于间隙内；所述活塞对应顶部的法兰上设置有压力同步装置。
进一步的，还包括泵和主控制器；所述泵对应连接于直通通道一端的法兰上；所述泵的信号输出端与主控制器信号输入端电性连接；所述主控制器的信号输出端与伸缩装置的信号输入端电性连接。
进一步的，所述阀体以及插板形成阀门；可多个阀门串联设置。
进一步的，所述活塞对应插板一端边缘为弹性结构；所述活塞对应插板一端侧壁环绕设置有增扩结构；所述增扩结构包括固定环；所述固定环对应固定套设在活塞上；所述固定环侧壁上环绕间距设置有若干摆动条所述固定环上摆动装置与摆动条一端驱动连接；所述摆动条另一端延伸至弹性结构周边，若干所述摆动条延伸端环绕间隙于弹性结构设置；所述摆动条延伸端通过弹性连接块与弹性结构侧壁固定连接；所述插板插入直通通道时，所述弹性结构抵触于插板侧壁，且所述摆动条通过弹性连接块带动弹性结构向外扩展开；所述活塞通过弹性结构的扩展相应吸附在插板侧壁上。
进一步的，第一步骤：正常状态下，所述直通通道处于通气状态，所述插板脱离于直通通道，设置于直通通道一侧；
第二步骤：当所述直通通道内气流倒灌时，所述伸缩装置驱动伸缩杆带动插板运动插入直通通道的间隙之中，封堵直通通道，阻断气流；
第三步骤：所述固定环上摆动装置驱动摆动条通过弹性连接块带动弹性结构扩展开，避免弹性结构褶皱发生漏气，促使活塞吸附在插板上。
有益效果：本发明中阀门打开状态时，可形成直通通道，不改变气体流向，同时保持通道尺寸的独特设计，不会影响Pump本身的抽速，使阀门拥有更好的使用寿命和稳定性；阀门通过添加PUMP Interface BD信号，实现泵和主控制器的通信，当泵异常停机时，主控制器收到信号后，立即关闭阀门，预防气体回灌，并保持管路压力。
附图说明
附图1为全自动防倒灌插板阀门结构图；
附图2为直通通道结构图；
附图3为增扩结构图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作更进一步的说明。
如附图1-3：一种半导体工厂用全自动防倒灌插板阀门，包括直通通道1和插板2；所述直通通道1中心线与插板2所在水平面垂直设置；外力作用所述直通通道1一侧的插板2往复运动开闭于直通通道1；所述插板2运动封盖住直通通道1一端上，起到阻断直通通道1内气流的作用，进而起到防止气流回灌的目的；所述插板2插入直通通道1内，形成插入式阻断结构，通过插入式阻断结构上下双向封堵于直通通道1。插板运动封盖住直通通道一端上，就能起到阻断的作用，气流就不能从直通通道流过，进而起到防止气流回灌的效果。
还包括呈矩形箱体结构的阀体3，且阀体3上对应盖设有阀体盖板32，所述阀体3一端上下贯通开设有安装通孔31，所述直通通道1对应适应设置于安装通孔31内，且所述直通通道1与安装通孔31同轴设置。通过将直通通道设置在阀体上，能起到很好的稳定的作用，同时能便于阀体内的插板按照既定轨迹运动封堵住直通通道，保证能及时阻断直通通道中气流的流通。
所述阀体3相对安装通孔31另一端内设置插板2；所述插板2两侧固定对称设置有伸缩杆21；所述阀体设置安装通孔31一侧上的伸缩装置与伸缩杆21远离插板2一端驱动连接。伸缩装置驱动伸缩杆带动插板运动，插板相应的运动插入到直通通道中，进而起到阻断直通通道内气流的目的。
所述直通通道1对应安装通孔31一段为活塞11；所述活塞11中部贯通设置；所述活塞11中部侧壁环向固设有限制环12；所述限制环12处于阀体3内部，且所述限制环12外径大于安装通孔31内径。当活塞安装于安装通孔内时，通过限制环的限位，能保证活塞的稳定性，避免活塞在气流的流动过程中发生侧动，同时也能保证插板能及时插入阻断直通通道内气流的流通。
所述活塞11两端分别连通设置有法兰13，且对称的所述法兰13与活塞11同轴设置；对称的法兰13与活塞11之间形成直通通道1。通过法兰安装密封。
所述活塞11一端与对应的法兰13之间间距设置，形成间隙14；所述插板2运动轨迹处于间隙14内；所述活塞11对应顶部的法兰13上设置有压力同步装置4；存在间隙能保证插板正确的插入到直通通道之间，及时的阻断气流流通，并保持管路压力稳定；当阀门打开时，压力同步装置预先打开，使直通通道内上下压力保持平衡，然后阀门的插板打开，是阀门完全开启，降低看由于直通通道内负压导致阀门无法开启的现象。
还包括泵和主控制器；所述泵对应连接于直通通道1一端的法兰13上；所述泵的信号输出端与主控制器信号输入端电性连接；所述主控制器的信号输出端与伸缩装置的信号输入端电性连接。所述阀体3以及插板2形成阀门；可多个阀门串联设置。阀门打开状态时，可形成直通通道，不改变气体流向，同时保持通道尺寸的独特设计，不会影响Pump本身的抽速，使阀门拥有更好的使用寿命和稳定性。阀门通过添加PUMP Interface BD信号，实现泵和主控制器的通信，当泵异常停机时，主控制器收到信号后，立即关闭阀门，预防气体回灌，并保持管路压力。可以配套多通道阀门控制器，最多可连接4台阀门，集成度高，可实现设备端及Pump端对阀门进行控制，拥有运行日记审视及记录功能。
所述活塞11对应插板2一端边缘为弹性结构；所述活塞11对应插板2一端侧壁环绕设置有增扩结构5；所述增扩结构5包括固定环51；所述固定环51对应固定套设在活塞11上；所述固定环51侧壁上环绕间距设置有若干摆动条52所述固定环51上摆动装置与摆动条52一端驱动连接；所述摆动条52另一端延伸至弹性结构周边，若干所述摆动条52延伸端环绕间隙于弹性结构设置；所述摆动条52延伸端通过弹性连接块53与弹性结构侧壁固定连接；所述插板2插入直通通道1时，所述弹性结构抵触于插板2侧壁，且所述摆动条52通过弹性连接块53带动弹性结构向外扩展开；所述活塞11通过弹性结构的扩展相应吸附在插板2侧壁上，就能避免插板插入活塞上时造成弹性结构产生褶皱漏气。
第一步骤：正常状态下，所述直通通道1处于通气状态，所述插板2脱离于直通通道1，设置于直通通道1一侧；
第二步骤：当所述直通通道1内气流倒灌时，所述伸缩装置驱动伸缩杆21带动插板2运动插入直通通道1的间隙之中，封堵直通通道1，阻断气流；
第三步骤：所述固定环51上摆动装置驱动摆动条52通过弹性连接块53带动弹性结构扩展开，避免弹性结构褶皱发生漏气，促使活塞吸附在插板2上。
以上描述是本发明的优选实施案例，而相对于本领域普通技术人员而言，在不脱离本发明原理的情况下还能做出若干改进和润色，这些改进和润色还视为本发明的保护范围。

Claims (2)

1.一种半导体工厂用全自动防倒灌插板阀门，其特征在：包括直通通道（1）和插板（2）；所述直通通道（1）中心线与插板（2）所在水平面垂直设置；外力作用所述直通通道（1）一侧的插板（2）往复运动开闭于直通通道（1）；
所述插板（2）运动封盖住直通通道（1）一端上，起到阻断直通通道（1）内气流的作用，进而起到防止气流回灌的目的；所述插板（2）插入直通通道（1）内，形成插入式阻断结构，通过插入式阻断结构上下双向封堵于直通通道（1）；
还包括呈矩形箱体结构的阀体（3），且阀体（3）上对应盖设有阀体盖板（32），所述阀体（3）一端上下贯通开设有安装通孔（31），所述直通通道（1）对应适应设置于安装通孔（31）内，且所述直通通道（1）与安装通孔（31）同轴设置；
所述阀体（3）相对安装通孔（31）另一端内设置插板（2）；所述插板（2）两侧固定对称设置有伸缩杆（21）；所述阀体（3）设置安装通孔（31）一侧上的伸缩装置与伸缩杆（21）远离插板（2）一端驱动连接；
所述直通通道（1）对应安装通孔（31）一段为活塞（11）；所述活塞（11）中部贯通设置；所述活塞（11）中部侧壁环向固设有限制环（12）；所述限制环（12）处于阀体（3）内部，且所述限制环（12）外径大于安装通孔（31）内径；
所述活塞（11）两端分别连通设置有法兰（13），且对称的所述法兰（13）与活塞（11）同轴设置；对称的法兰（13）与活塞（11）之间形成直通通道（1）；
所述活塞（11）一端与对应的法兰（13）之间间距设置，形成间隙（14）；所述插板（2）运动轨迹处于间隙（14）内；所述活塞（11）对应顶部的法兰（13）上设置有压力同步装置（4）；
还包括泵和主控制器；所述泵对应连接于直通通道（1）一端的法兰（13）上；所述泵的信号输出端与主控制器信号输入端电性连接；所述主控制器的信号输出端与伸缩装置的信号输入端电性连接；
所述阀体（3）以及插板（2）形成阀门；可多个阀门串联设置；
所述活塞（11）对应插板（2）一端边缘为弹性结构；所述活塞（11）对应插板（2）一端侧壁环绕设置有增扩结构（5）；所述增扩结构（5）包括固定环（51）；所述固定环（51）对应固定套设在活塞（11）上；所述固定环（51）侧壁上环绕间距设置有若干摆动条（52）所述固定环（51）上摆动装置与摆动条（52）一端驱动连接；所述摆动条（52）另一端延伸至弹性结构周边，若干所述摆动条（52）延伸端环绕间隙于弹性结构设置；所述摆动条（52）延伸端通过弹性连接块（53）与弹性结构侧壁固定连接；所述插板（2）插入直通通道（1）时，所述弹性结构抵触于插板（2）侧壁，且所述摆动条（52）通过弹性连接块（53）带动弹性结构向外扩展开；所述活塞（11）通过弹性结构的扩展相应吸附在插板（2）侧壁上。
2.根据权利要求1所述一种半导体工厂用全自动防倒灌插板阀门的防倒灌方法：
第一步骤：正常状态下，所述直通通道（1）处于通气状态，所述插板（2）脱离于直通通道（1），设置于直通通道（1）一侧；
第二步骤：当所述直通通道（1）内气流倒灌时，所述伸缩装置驱动伸缩杆（21）带动插板（2）运动插入直通通道（1）的间隙之中，封堵直通通道（1），阻断气流；
第三步骤：所述固定环（51）上摆动装置驱动摆动条（52）通过弹性连接块（53）带动弹性结构扩展开，避免弹性结构褶皱发生漏气，促使活塞吸附在插板（2）上。
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