CN106321877A - 一种大通道尺寸真空插板阀 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种真空阀门，具体的涉及一种大通道尺寸真空插板阀，包含阀体、阀舌、阀舌驱动器和压力平衡结构，当需要开启或者关闭阀门时，可以先使用压力平衡结构对阀舌两侧压力进行平衡后再操作，本发明一种大通道尺寸真空插板阀具有通道尺寸大，自身结构简单，密封性好，密封件不易磨损，寿命长等优势，适合各种真空腔体接口处使用。

Description

一种大通道尺寸真空插板阀

技术领域

本发明涉及一种真空阀门，进一步地，涉及一种大通道尺寸真空插板阀。

背景技术

在腔室进出口或者多腔室连接口处需要使用阀门，根据设备使用需求，腔体连接口的内部通道尺寸要求越来越大。现有技术的大通道尺寸真空插板阀情况如下：

一种是密封区域设计在阀舌边缘侧面，其优势是：阀门两端存在压力差的情况下，加之内部通道尺寸大，压力差产生的巨大压力不会传递到阀门密封件上，所以该类阀门两侧出现压差的条件下，也能正常开启和关闭。其弊端是：阀自身结构复杂，当内部通道尺寸变大后，对精度要求高，密封性难度大，而且成本高；密封功能所需要的作用力，来自阀舌驱动器，阀门关闭时，如果两侧压力差值较大，需要保证良好的密封性，对驱动动力方面要求高。

另一种是密封区域在阀舌的一个侧面上或两个侧面上都有，其优势是：结构简单，通道尺寸可以做到很大，密封性能好。其弊端是：在阀舌两端有压差的情况下，阀门不能直接开启或关闭，如果强制开启或者关闭，需要巨大的阀舌驱动力，且密封件容易被损坏，导致阀门寿命短。所以在有压差的情况下使用，需要先平衡阀舌两端压差，这样会增加系统硬件结构，增加成本。

现有技术真空插板阀,将通道做大后，要么自身结构复杂，精度要求高，成本高；要么需要增加系统硬件，而且密封件容易损坏，阀门寿命短。

发明内容

发明目的：解决现有技术大通道真空插板阀自身结构复杂，精度要求高，成本高；系统复杂，密封件容易损坏，阀门寿命短等问题。

为了解决以上问题，本发明采用以下技术方案：

本发明一种大通道尺寸真空插板阀，包含阀体、阀舌、阀舌驱动器和压力平衡结构四部分。

所述阀体，包含与腔体相连的法兰结构，必要时还有阀门冷却结构。

所述阀舌，工作在阀体内部，阀舌包含A侧、B侧两个侧面，阀舌一侧侧面或者两侧侧面设计有与阀体密封的结构。

所述阀舌驱动器，安装在阀体上，与阀舌连接在一起，并为阀舌提供驱动动力。可以是气缸，也可以是电缸。

所述压力平衡结构，包含压力平衡通道和控制阀；压力平衡通道包括A侧压力平衡通道和B侧压力平衡通道；其中A侧压力平衡通道连通于阀舌的A侧，B侧压力平衡通道连通于阀舌的B侧；控制阀可以控制阀舌A、B两侧的压力平衡通道接通或断开；当阀舌两侧的压力平衡通道接通时，阀舌A、B两侧的空间接通；当阀舌两侧的压力平衡通道断开时，阀舌A、B两侧的空间断开；控制阀可以是电动控制阀，也可以是气动控制阀，还可以是手动控制阀。

压力平衡结构可以在阀体上，也可以在阀舌上，只需要保证：A侧压力平衡通道连通于阀舌的A侧，B侧压力平衡通道连通于阀舌的B侧。

工作原理：当需要开启或者关闭阀门时，首先，将压力平衡结构上的控制阀开启，控制阀舌两侧的空间接通，从而使阀门两侧的压力相同；然后，通过阀舌驱动器可以轻松的将阀舌置于开启或关闭状态，这种状态下阀舌与阀体密封环节间相互作用力非常小，密封件不容易损坏，寿命长。

本发明一种大通道尺寸真空插板阀，结构简单，可以将内部通道做得很大，比如直径大于300mm的圆形通道，或长×宽大于50mm×300mm的矩形通道等；阀舌相对阀体运动之前，能快速平衡阀舌两侧的压力，保证阀舌运动时，阀舌与阀体密封环节间相互作用力非常小，密封件不容易损坏，寿命长。

附图说明

图1为实施例一中所描述的一种大通道尺寸真空插板阀结构示意图；

图2为实施例一中所描述的一种大通道尺寸真空插板阀结构的一个剖面示意图；

图3为实施例一中所描述的一种大通道尺寸真空插板阀的压力平衡结构的一种工作状态示意图；

图4为实施例一中所描述的一种大通道尺寸真空插板阀的压力平衡结构的另一种工作状态示意图；

图5为实施例二中所描述的一种大通道尺寸真空插板阀的阀舌局部剖视图。

图中编号和字母含义如下：

A:阀门A侧，B：阀门B侧，1：阀体，11：法兰，12：密封圈，2：阀舌，3：阀舌驱动器，4：压力平衡结构，41：驱动气体通道，42：弹簧，43：控制芯，44：B侧压力平衡通道，45：A侧压力平衡通道，5：电动控制阀，51：控制线。

具体实施方式

为了促进对本发明的进一步理解，以下结合两个实施例，对本发明的思想和内容进一步阐释。

实施例一

本实施例所述一种大通道尺寸真空插板阀结构如图1所示，包含阀体1、阀舌2、阀舌驱动器3和压力平衡结构4四部分结构。

阀舌驱动器3采选用气缸，气缸安装在阀体1上，气缸轴与阀舌2连接在一起。

如图2，阀体1两侧有两个法兰11，可与腔室连接，还包含两组与阀舌2做密封的密封圈12，胶圈与胶圈安装槽设计在阀体1上，胶圈与阀舌2密封面接触，即可实现密封隔离。

如图2，压力平衡结构4设计在阀舌2上，选用气动控制阀方式，通过驱动气体通道41与驱动气体气源连接。压力平衡结构4，其详细结构如图3所示，它包含弹簧42，控制芯43，A侧压力平衡通道45，B侧压力平衡通道44。其中控制芯43分为两段，两段相对密封隔离，当A侧压力平衡通道45与B侧压力平衡通道44处于控制芯43的同一段区域时，则A侧压力平衡通道45与B侧压力平衡通道44导通；当A侧压力平衡通道45与B侧压力平衡通道44处于控制芯43的不同段区域时，则A侧压力平衡通道45与B侧压力平衡通道44断开。

当驱动气体通道41中的驱动气体无压力(压力与大气压平衡)时，弹簧42处于舒张状态，A侧压力平衡通道45与B侧压力平衡通道44处于控制芯43的不同段区域，A侧压力平衡通道45与B侧压力平衡通道44断开，如图3所示。

当驱动气体通道41中的驱动气体有压力(通常需要4至6个大气压)时，弹簧42处于压缩状态，A侧压力平衡通道45与B侧压力平衡通道44处于控制芯43的同一段区域，A侧压力平衡通道45与B侧压力平衡通道44导通，此时，阀舌A、B两侧的空间接通，压力快速达到平衡，从而可以方便的完成阀门的开启和关闭操作，如图4所示。

实施例二

本实施例所述一种大通道尺寸真空插板阀结构与实施例一不同之处在于压力平衡结构2，其具体结构如图5所示。

本实施例一种大通道尺寸真空插板阀的压力平衡结构2设置在阀舌上，其控制阀选用电动控制阀方式，A侧压力平衡通道45与B侧压力平衡通道44与电动控制阀5连接，电动控制阀5通过控制线51穿过阀体，与外部控制信号相连。

每次阀舌2需要开启或关闭时，先通过电动控制阀5将A侧压力平衡通道45与B侧压力平衡通道44接通，从而使阀舌两侧的压力平衡，然后，阀舌2开始动作，动作完成后，再通过电动控制阀5将A侧压力平衡通道45与B侧压力平衡通道44断开。

以上两个实施例，表明本发明一种大通道尺寸真空插板阀，结构简单，密封性好，寿命长。另，以上实施例是对本发明做了进一步阐释，其作用是促进对本发明的了解，而不是对本发明保护内容的限制。

Claims (5)

1.一种大通道尺寸真空插板阀，包含阀体、阀舌、阀舌驱动器，其特征在于，还包括压力平衡结构，所述压力平衡结构，包含压力平衡通道和控制阀。

2.根据权利要求1所述一种大通道尺寸真空插板阀，其特征在于，所述压力平衡通道，包括A侧压力平衡通道和B侧压力平衡通道，其中A侧压力平衡通道连通于阀舌的A侧，B侧压力平衡通道连通于阀舌的B侧。

3.根据权利要求1所述一种大通道尺寸真空插板阀，其特征在于，所述控制阀，可以控制A侧压力平衡通道和B侧压力平衡通道接通或断开；当压力平衡通道接通时，阀舌A、B两侧的空间接通；当压力平衡通道断开时，阀舌A、B两侧的空间隔开。

4.根据权利要求1或3所述一种大通道尺寸真空插板阀，其特征在于，所述控制阀，位于压力平衡通道上，可以是电动控制阀，也可是气动控制阀，还可以是手动控制阀。

5.根据权利要求1所述的一种大通道尺寸真空插板阀，其特征在于，所述压力平衡结构，可以在阀舌上，也可以在阀体上。