KR100725733B1

KR100725733B1 - 차단밸브

Info

Publication number: KR100725733B1
Application number: KR1020060048412A
Authority: KR
Inventors: 서준영
Original assignee: (주)에이오앤
Priority date: 2006-05-30
Filing date: 2006-05-30
Publication date: 2007-06-08
Also published as: WO2007139329A1; CN101461036A

Abstract

본 발명은 차단밸브에 관한 것으로, 보다 상세하게는 진공챔버와 진공펌프 사이에 위치하여 대기의 역류를 방지하는 차단밸브에 있어서, 상기 차단밸브는 밸브본체와; 상기 밸브본체의 양단부에서 돌출연장되어 각각 상기 진공챔버 및 진공펌프에서 연장된 배기관과 연결되는 제1연결부 및 제2연결부와; 상기 밸브본체의 내부 상단과 힌지연결되어 힌지축을 중심으로 회동하는 거동축과,; 상기 거동축의 일측 단부에 연결되어 있으며 상기 제1연결부의 내경보다는 크고 상기 밸브본체의 내경보다는 작은 직경을 가지고 있고 진공라인의 이상시 상기 제1연결부쪽으로 회동하여 유체의 흐름을 차단하는 차단판 및; 상기 거동축의 타측 단부와 연결되어 상기 차단판의 회동을 가능하게 하는 구동력을 제공하는 동력원을 포함한 차단밸브에 관한 것으로, 본 발명의 차단밸브는 진공펌프의 갑작스런 미작동으로 인한 역류를 신속하고 안전하게 차단하여 진공챔버의 오염을 방지할 수 있으며, 종래의 차단밸브에 비해 배기컨덕턴스가 향상되어 배기효율을 제고할 수 있다.

차단밸브, 차단판, 배기컨덕턴스, 진공챔버, 진공펌프

Description

차단밸브{VALVE FOR PREVENTING REVERSE-FLOW}

도 1은 본 발명에 따른 차단밸브의 일실시예의 투시사시도

도 2는 본 발명에 따른 차단밸브의 차단 작동 전 및 작동 후의 모습을 설명하기 위한 단면도

도 3은 차단판과 거동축의 결합상태의 일실시예를 설명하기 위한 사시도

도 4는 차단판과 거동축의 결합상태의 다른 실시예를 설명하기 위한 배면사시도

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10 밸브본체 11 오-링

20 제1연결부 30 제2연결부

40 차단판 50 거동축

51 힌지 60 공압실린더

100 차단밸브

본 발명은 차단밸브에 관한 것으로, 보다 상세하게는 진공챔버와 진공펌프 사이에 위치하여 대기의 역류를 방지하는 차단밸브에 있어서, 상기 차단밸브는 밸브본체와; 상기 밸브본체의 양단부에서 돌출연장되어 각각 상기 진공챔버 및 진공펌프에서 연장된 배기관과 연결되는 제1연결부 및 제2연결부와; 상기 밸브본체의 내부 상단과 힌지연결되어 힌지축을 중심으로 회동하는 거동축과,; 상기 거동축의 일측 단부에 연결되어 있으며 상기 제1연결부의 내경보다는 크고 상기 밸브본체의 내경보다는 작은 직경을 가지고 있고 진공라인의 이상시 상기 제1연결부쪽으로 회동하여 유체의 흐름을 차단하는 차단판 및; 상기 거동축의 타측 단부와 연결되어 상기 차단판의 회동을 가능하게 하는 구동력을 제공하는 동력원을 포함한 차단밸브에 관한 것이다.

반도체나 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel, PDP) 등의 제조시에는 식각, 증착 또는 배기 등의 공정을 진행하며, 상기 공정의 진행에 거의 진공챔버를 비롯한 장치를 사용하게 되며, 진공상태를 만들어 주기 위하여 진공펌프를 사용하게 된다. 그런데, 고장, 정전 등의 이유로 진공펌프가 작동하지 않는 경우에는 대기 중의 수증기 기타 오염물질 등이 진공장비내로 역류하여 제조 중인 제품이 오염되는 일이 발생하기도 한다.

따라서, 진공펌프의 정지시 역류를 방지하고 챔버 내부를 외부 공기로부터 차단하여 진공챔버내의 제품을 보호하기 위한 방법 또는 장치가 제안되었다. 대한민국 공개특허공보 제2004-0085926호에는 스위칭 밸브를 구비하는 배기부는 프로세스 챔버의 환경을 설정하고, 세정부는 배기부에 의해 배출되는 불순물을 세정하며, 역류 방지부는 배기부와 세정부간에 구비되어, 불순물의 역류를 방지한다. 이때 역 류 방지부는 배관의 단면중 일측에서 내측으로 돌출된 제1 돌출부재와, 타측에서 내측으로 돌출된 제2 돌출부재로 이루어져, 배기부로부터 출력되는 불순물을 세정부에 도입하는 배관에 형성되어 세정부에서 배기부로 역류하는 워터와 같은 불순물 진행을 방해할 수 있는 역류 방지 배관을 갖는 반도체 제조장치가 개시되어 있다. 또한, 대한민국 실용신안공개 제1993-016166호에는 진공라인상에 형성된 토출구의 외측으로 슬라이더가 축을 따라 슬라이딩 가능하게 결합되어 있고 상기 슬라이더의 바깥둘레에는 공기압의 영향을 많이 받을 수 있도록 날개가 형성되어 있는데, 이때 슬라이더의 내측면에는 작용이 원활해질 수 있도록 베어링이 삽입되어 있고, 토출구와 슬라이더의 접속면에는 기밀을 유지하기 위한 오-링이 삽입고정되어 있는 형태의 차단밸브가 개시되어 있다. 또한, 공개특허공보 제2000-0007260호에는 배출관의 내부통로를 가로지르도록 고정되는 지지축; 일측이 상기 지지축을 중심으로 좌측에 힌지결합되고, 상기 외부공기가 역류될 때 기압에 의해 타측이 회동하여 각각 상기 지지축의 좌측의 상기 내부통로를 막는 좌측회동날개; 일측이 상기 지지축을 중심으로 우측에 힌지결합되고, 타측이 회동하여 각각 상기 지지축의 우측의 상기 내부통로를 막는 우측회동날개; 및 상기 좌측 및 우측회동날개가 상기 외부공기가 역류될 때 상기 내부통로를 막는 위치에 고정되도록 하는 스토퍼를 구비한 역류방지용 밸브가 개시되어 있다.

상기 문헌에 개시된 역류방지방법 또는 장치는 양방향 차단을 충족할 수 없는 구조의 것으로, 진공펌프의 급작스런 동작 중지로 인한 피해를 방지하기 어려운 측면이 있었다. 본 발명을 출원하기에 앞서, 본 발명자는 이러한 문제를 해결하기 위하여 진공챔버측관과 연결되는 입구를 구비한 제1덮개와 상기 진공펌프측 관과 연결되는 입구를 구비한 제2덮개로 밀봉되고, 내부에 빈 공간을 지니는 제1원통형바디; 상기 제1원통형바디의 내부 빈 공간에 삽입되어 조립되고 중아에 소정의 길이를 반경으로 하여 빈 공간을 구비한 도우넛 형태의 원통형 디스크 형태로서, 원통의 외측면에는 돌기 구조를 구비하여 상기 제1원통형바디속에 삽입시에 양 원주면 둘레들 사이를 틈으로 하여 수직방향의 유로를 형성하고, 상기 도우넛 형태의 원통형 디스크의 위면과 아랫면에는 각각 유로 형성가이드가 형성되어 수평 방향의 유로를 형성하는 제2원통형바디; 상기 제2원통형바디의 중앙 빈 공간에 삽입되어 조립되고, 원주면 둘레 측면에 돌기구조를 구비하여 상기 제2원통형 바디의 둘레면과의 틈새에 수직 방향의 유로를 형성하고, 중앙에 빈 공간을 구비하여 상기 제2덮개의 입구로 유로를 형성하는 제3원통형바디; 및 상기 제3원통형바디와 제1덮개 사이에 설치되어 상기 진공 챔버측과 진공펌프측의 압력 차이에 따라 상하 수직 운동을 하면서 상기 유로를 개폐하는 차단판을 구비한 역류방지밸브에 대한 특허출원을 한 바 있다(대한민국 특허출원 제2004-0104557호).

그러나, 본 발명자의 상기 특허출원을 비롯하여 상기 문헌에 개시된 역류방지용 밸브 등은 밸브의 베어링이 부드럽지 않은 경우 원하는 시기에 작동이 되지 않거나 작동불능상태에 놓여지게 되어질 위험이 있고, 또한 상기 종래의 역류차단밸브는 차단판이 배관 중간에 놓여지는 구조로 되어 있는데, 이러한 구조는 역압이 걸릴 때에도 유체의 흐름을 방해하는 역할을 수행하고 차단판을 구동하는 원동력이 되기도 하지만, 유체의 흐름이 방해를 받아 배기컨덕턴스가 다소 저하될 수 밖에 없는 문제가 있었다.

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 진공펌프의 정지시 역류를 방지하고 챔버 내부를 외부 공기로부터 차단하는 차단밸브에 있어서 차단판이 작동하지 않은 경우에는 유체의 흐름에 방해되지 않는 위치에 오도록 하여 배기컨덕턴스를 높이고, 공압실린더에 의하여 신속한 밸브계폐 및 미작동 등의 가능성을 차단하여 밸브의 신뢰성을 높일 수 있는 차단밸브를 제공하는 것이다.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명은 진공챔버와 진공펌프 사이에 위치하여 대기의 역류를 방지하는 차단밸브에 있어서, 상기 차단밸브는 밸브본체와; 상기 밸브본체의 양단부에서 돌출연장되어 각각 상기 진공챔버 및 진공펌프에서 연장된 배기관과 연결되는 제1연결부 및 제2연결부와; 상기 밸브본체의 내부 상단과 힌지연결되어 힌지축을 중심으로 회동하는 거동축과,; 상기 거동축의 일측 단부에 연결되어 있으며 상기 제1연결부의 내경보다는 크고 상기 밸브본체의 내경보다는 작은 직경을 가지고 있고 진공라인의 이상시 상기 제1연결부쪽으로 회동하여 유체의 흐름을 차단하는 차단판 및; 상기 거동축의 타측 단부와 연결되어 상기 차단판의 회동을 가능하게 하는 구동력을 제공하는 동력원을 포함한 차단밸브를 제공한다.

또한, 본 발명은 상기 차단판이 맞닿는 밸브본체의 내측 제1연결부쪽의 개구부의 주연부에 기밀성을 향상시키기 위한 환상의 탄성부재를 더 추가한 것을 특징 으로 하는 차단밸브를 제공한다.

또한, 본 발명은 상기 차단판이 디스크(disk) 또는 콘(cone) 형상인 것을 특징으로 하는 차단밸브를 제공한다.

또한, 본 발명은 상기 차단판과 상기 거동축의 연결이 상기 거동축의 단부와 차단판의 원주부가 맞닿아 결합되거나 상기 차단판의 하단 중앙부와 거동축의 단부가 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 차단밸브를 제공한다.

또한, 본 발명은 상기 거동축의 회동각이 20 내지 90°범위인 것을 특징으로 하는 차단밸브를 제공한다.

또한, 본 발명은 상기 동력원이 공압식 실린더인 것을 특징으로 하는 차단밸브를 제공한다.

또한, 본 발명은 상기 차단판이 맞닿는 제1연결부에서 밸브본체로의 바이패스통로 및 상기 바이패스통로의 개폐를 조절할 수 있는 바이패스밸브를 추가로 포함한 것을 특징으로 하는 차단밸브를 제공한다.

또한, 본 발명은 상기 바이패스밸브가 공압실린더에 의해 개폐가 조절되는 것을 특징으로 하는 차단밸브를 제공한다.

이하에서 본 명세서에 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 역류차단밸브(100)의 일실시예의 투시사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 역류차단밸브(100)의 일실시예의 밸브작동 전 및 작동 후의 모습을 설명하기 위한 단면도이다. 도 1 및 도 2에서 볼 수 있는 것과 같이, 본 발 명의 역류차단밸브(100)의 일실시예는 진공챔버(미도시)와 진공펌프(미도시)의 사이에 위치하며, 밸브본체(10)와; 상기 밸브본체(10)의 양단부에서 돌출연장되어 각각 상기 진공챔버 및 진공펌프에서 연장된 배기관과 연결되는 제1연결부(20) 및 제2연결부(30)와; 상기 밸브본체(10)의 내부 상단과 힌지연결되어 힌지축(51)을 중심으로 회동하는 거동축(50)과,; 상기 거동축(50)의 일측 단부에 연결되어 있으며 상기 제1연결부의 내경보다는 크고 상기 밸브본체(10)의 내경보다는 작은 직경을 가지고 있고 진공라인의 이상시 상기 제1연결부쪽(20)으로 회동하여 유체의 흐름을 차단하는 차단판(40) 및; 상기 거동축(50)의 타측 단부와 연결되어 상기 차단판(40)의 회동을 가능하게 하는 구동력을 제공하는 동력원(60)을 포함한다.

전술한 바와 같이, 본 발명의 차단밸브(100)는 진공챔버와 진공펌프 사이에 위치하여 대기의 역류를 방지하는 역류방지밸브 역할을 수행하며, 경우에 따라 게이트밸브(gate valve)로 사용할 수도 있다. 종래의 차단밸브는 상기 차단판(40)이 유체가 흐르는 중간에 놓여져 있는 구조이기 때문에 진공챔버에서 진공펌프로 흐르는 유체가 밸브 본체 내에서 곡류(meander)를 형성하고 그에 따라 배기컨덕턴스가 저하되는 문제가 있다. 물론, 전술한 종래의 차단밸브의 차단판(40) 구조는 역류가 형성될 때에도 곡류를 형성하여 진공챔버로의 역류를 다소 늦추어 주는 역할을 수행하기도 하지만 배기컨덕턴스의 저하로 인한 공정시간의 연장 및 배기효율의 저하로 인한 경제성의 문제가 더 클 수 밖에 없다. 또한, 종래의 차단밸브가 상기 차단판을 구동하기 위한 동력원으로 진공펌프쪽으로부터 역류하는 대기의 압력을 사용하는 경우 불가피하게 차단판이 유체의 흐름을 가로막는 위치에 놓여져야 하지 만, 본 발명의 차단밸브와 같이 차단판을 구동하기 위한 별도의 동력원을 사용하는 경우에는 배기컨덕턴스를 저하시켜야 하는 구조로 차단판이 놓여져야 할 요인은 찾기 어렵다.

본 발명의 차단밸브(100)는 원통형의 밸브본체(10)와 상기 밸브본체(10)의 양단부에서 돌출연장되어 각각 상기 진공챔버 및 진공펌프에서 연장된 배기관과 연결되는 제1연결부(20) 및 제2연결부(30)를 포함한다. 상기 제1연결부 및 제2연결부와 배기관과의 연결은 플랜지 형태 등으로 이루어 질 수 있으며, 상기와 같은 구조는 종래의 차단밸브와 차이가 나는 것은 아니기 때문에 본 명세서에서 더 이상의 설명은 하지 않기로 한다.

본 발명의 차단밸브는 상기 밸브본체(10)의 내부 상단과 힌지연결되어 힌지축을 중심으로 회동하는 거동축(50)을 포함한다. 도 2에 도시된 것과 같이, 상기 거동축(50)은 밸브본체(10)의 내측 상단부에 힌지 연결되어 힌지축을 중심으로 회동하게 된다. 거동축(50)의 일측 단부에는 차단판(40)이 연결되어 있고 타측 단부에는 상기 거동축(50)을 움직일 수 있는 동력원(60)이 연결되어, 동력원(60)의 움직임에 따라 거동축(50) 및 그와 연결되어 있는 차단판(40)이 회동하게 된다. 상기 거동축(50)의 형태 및 상기 거동축(50)과 차단판(40)과의 연결, 동력원(60)과의 연결은 공지의 연결방법, 즉 블레이징, 본딩 등의 용접 또는 볼팅, 힌지부 등과 베어링, 링크 등의 체결구를 적절히 조합하여 수행될 수 있으며 특별히 제한되는 것은 아니다. 도 2 내지 도 4에서 볼 수 있는 것과 같이, 본 발명의 차단밸브에 적용되는 상기 거동축(50)의 형태는 힌지축을 중심으로 양쪽으로 연장된 축이 소정의 각도를 이루는 형태로 될 수 있다. 이러한 거동축(50)의 형태는 제한된 영역내에서 상기 거동축(50)의 회동각을 크게 주기 위한 것이다. 본 명세서에서 상기 거동축(50)의 회동각은 차단밸브(100)가 닫힌 상태, 즉 상기 차단판(40)이 제1연결부(20)방향으로 이동하여 있는 상태에서 밸브(100)가 열리는 상태, 즉 차단판(40)이 상기 제1연결부(20)에서 이격되어 있는 각도를 의미하는 것으로, 상기 회동각은 상기 차단밸브에 요구되는 사용특성에 따라 달라질 수 있다. 즉, 배기컨덕턴스가 최대한 요구되는 경우에는 상기 거동축(50)의 회동각을 크게 주어 배기저항이 거의 없게 할 수 있고, 그렇지 않은 경우에는 필요에 따라 상기 거동축(50)의 회동각을 작게 할 수도 있다. 본 발명의 차단밸브의 경우 상기 거동축의 회동각은 특별히 제한될 필요는 없으나, 상기 차단밸브의 사용환경에 따라 20 내지 90도 범위인 것이 바람직하다. 상기 거동축의 회동각이 크면 클수록 배기컨덕턴스가 높아지게 된다. 특히, 높은 배기컨덕턴스가 요구되는 경우에는, 밸브가 오픈(open)된 경우 상기 거동축(50) 및 거동축(50)과 결합된 차단판(40)이 최대한 밸브본체(10)의 내벽쪽으로 붙어 유체의 흐름을 방해하지 않게 하기위하여 상기 거동축의 회동각이 90도에 가깝게 하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 거동축(50)의 회동을 위하여 필요한 공간이 차단밸브 내부에 마련되어야 함은 물론이다.

본 발명의 차단밸브(100)는 상기 거동축(50)의 일측 단부에 연결되어 있으며 상기 제1연결부의 내경보다는 크고 상기 밸브본체(10)의 내경보다는 작은 직경을 가지고 있고 진공라인의 이상시 상기 제1연결부쪽으로 회동하여 유체의 흐름을 차단하는 차단판(40)을 포함한다. 전술한 바와 같이, 상기 차단판(40)은 배기컨덕턴 스를 높이기 위하여 진공펌프의 정상적인 작동시에는 밸브본체(10) 내벽쪽으로 붙어 있는 형태를 유지하다가, 진공펌프의 고장 등으로 인해 진공챔버의 압력이 더 낮아질 때 자동적으로 진공챔버방향, 즉 제1연결부(20)방향으로 이동하여 진공챔버를 격리하는 역할을 수행한다. 상기 차단판(40)의 형상은 특히 제한되는 것은 아니고 제1연결부(20)와 밸브본체(10)와의 차단이 이루어질 수 있는 형태이면 무방하나, 기밀성 등을 고려할 때 디스크(disk) 또는 콘(cone) 형상인 것이 바람직하다. 또한, 상기 차단판(40)의 차단방향은 제1연결부 또는 제2연결부 모두 가능하며 특별히 제한되는 것은 아니나, 역류의 차단이라는 점에서 압력이 가해지는 방향, 즉 진공펌프에서 진공챔버 방향인 제1연결부쪽의 차단이 진공의 유지라는 측면에서 보다 바람직하다. 또한, 기밀성을 향상시키기 위하여, 오-링(11, O-ring)과 같은 탄성부재를 밸브본체(10)와 차단판(50) 사이에 위치시키는 것이 바람직하다. 상기 차단판(40)과 거동축(50)의 연결은 공지의 방법으로 수행될 수 있으며, 특별히 제한되는 것은 아니다. 도 3은 차단판(40)과 거동축(50)의 결합상태의 일실시예를 설명하기 위한 사시도이고, 도 4는 차단판(40)과 거동축(50)의 결합상태의 다른 실시예를 설명하기 위한 배면사시도이다. 도 3 및 도 4에서 볼 수 있는 것과 같이, 본 발명의 일실시예는 상기 디스크 형상의 차단판(40)의 원주부와 거동축(50)의 단부가 애초에 하나의 부품형태로 제조되거나 용접 등의 방법으로 결합된 형태로 제작할 수 있고, 또 다른 실시예에서는 상기 디스크 형상의 차단판(40)의 하단 중앙부와 거동축(50)의 단부가 용접 또는 힌지 결합되어 있는 형태로 제작될 수도 있다. 차단판(40)에 고른 압력을 가하여 기밀성을 높일 수 있는 면에서, 후자(차단 판의 하단 중앙부와 거동축(50)의 단부가 결합된 예)가 보다 바람직하다.

전술한 바와 같이, 종래의 역류차단밸브는 별다른 동력장치 없이 압력차에 의하여 밸브의 개폐가 조절되는 방식이어서 밸브의 베어링이 부드럽지 않은 경우 원하는 시기에 작동이 되지 않거나 작동불능상태에 놓여지게 되어 결국 진공챔버의 오염을 막지 못하는 경우가 발생할 수 있지만, 본 발명의 차단밸브(100)는 별도의 동력원(60)을 이용하여 차단판(40)을 구동하기 때문에 신속하고 정확하게 진공챔버를 격리할 수 있고, 신뢰성을 높이고 차단시 진공챔버의 기밀성도 제고할 수 있다. 상기 동력원(60)으로 사용될 수 있는 것은 스프링과 같은 탄성부재와 공압실린더 등이 있으며, 본 발명의 차단밸브(100)의 일실시예에서는 공압실린더를 채택하였다. 상기 동력원(60)으로서의 공압실린더(60)는 상기 거동축(50)의 타측 단부에 베어링 등으로 연결되어 거동축(50)을 회동하도록 한다. 상기 공압실린더(60)의 배치형태, 크기 등은 거동축(50)과 차단판(40)의 크기, 무게 등을 고려해서 필요한 힘을 계산하여 적절한 수준으로 설계할 수 있다. 상기 공압실린더(60)의 작동은 별도의 콘트롤러(미도시)의 개폐신호에 의해 조작되어 지고, 진공펌프의 이상시 인터록 신호를 받아 실린더를 작동하여 거동축(50)을 회동시켜 실린더의 작동방향과 반대방향으로 차단판(40)이 움직여 신속한 폐쇄가 가능하게 할 수 있다.

본 발명의 차단밸브(100)는 상기 제1연결부(20)에서 밸브본체(10)로의 바이패스통로(미도시) 및 상기 바이패스통로의 개폐를 조절할 수 있는 바이패스밸브(미도시)를 추가로 포함할 수 있다. 상기 바이패스통로 및 바이패스밸브는 밸브의 차단시 밸브 상부가 대기압이고 하부가 진공인 상태에서 밸브를 개방하게 되면 펌프 에 큰 부하가 걸려 고장날 수 있기 때문에, 밸브 내에 작은 통로를 만들어 유체가 조금씩 흐르도록 한 것이다. 상기 바이패스 통로 및 바이패스 밸브 등에 관한 구조나 위치 등은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 모두 잘 알고 있을 것이므로, 본 명세서에서 더 이상의 상세한 설명은 하지 않기로 한다. 상기 바이패스통로 및 바이패스밸브의 작동은 타이머에서 지정된 시간만큼 개방되어 유지되다가 지정된 시간이 경과한 다음에는 거동축(50)에 연결된 차단판(40)이 회동하여 밸브본체(10)의 벽면으로 이동하면서 메인펌핑(main pumping)을 하게 되는 방법으로 작동할 수 있다.

이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명의 차단밸브는 공압실린더를 채용하여 차단링을 작동하기 때문에 진공펌프의 갑작스런 미작동으로 인한 역류를 신속하고 안전하게 차단하여 진공챔버의 오염을 방지하고 압력차에 의해 작동하게 되어 있는 차단판의 미작동시에도 강제로 차단판을 이동시켜 밸브를 폐쇄할 수 있기 때문에 신뢰성을 제고할 수 있다.

앞에서 설명된 본 발명의 일실시예는 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.

Claims

진공챔버와 진공펌프 사이에 위치하여 대기의 역류를 방지하는 차단밸브에 있어서,

상기 차단밸브는 밸브본체와;

상기 밸브본체의 양단부에서 돌출연장되어 각각 상기 진공챔버 및 진공펌프에서 연장된 배기관과 연결되는 제1연결부 및 제2연결부와;

상기 밸브본체의 내부 상단과 힌지연결되어 힌지축을 중심으로 회동하는 거동축과,;

상기 거동축의 일측 단부에 연결되어 있으며 상기 제1연결부의 내경보다는 크고 상기 밸브본체의 내경보다는 작은 직경을 가지고 있고 진공라인의 이상시 상기 제1연결부쪽으로 회동하여 유체의 흐름을 차단하는 차단판 및;

상기 거동축의 타측 단부와 연결되어 상기 차단판의 회동을 가능하게 하는 구동력을 제공하는 동력원을 포함한 차단밸브.
제1항에 있어서,

상기 차단판이 맞닿는 밸브본체의 내측 제1연결부쪽의 개구부의 주연부에 기밀성을 향상시키기 위한 환상의 탄성부재를 더 추가한 것을 특징으로 하는 차단밸브.
제1항에 있어서,

상기 차단판은 디스크(disk) 또는 콘(cone) 형상인 것을 특징으로 하는 차단밸브.
제1항에 있어서,

상기 차단판과 상기 거동축의 연결은 상기 거동축의 단부와 차단판의 원주부가 맞닿아 결합되거나 상기 차단판의 하단 중앙부와 거동축의 단부가 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 차단밸브.
제1항에 있어서,

상기 거동축의 회동각은 20 내지 90° 범위인 것을 특징으로 하는 차단밸브.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 동력원은 공압식 실린더인 것을 특징으로 하는 차단밸브.
제6항에 있어서,

상기 제1연결부에서 밸브본체로의 바이패스통로 및 상기 바이패스통로의 개폐를 조절할 수 있는 바이패스밸브를 추가로 포함한 것을 특징으로 하는 차단밸브.
제7항에 있어서,

상기 바이패스밸브는 공압실린더에 의해 개폐가 조절되는 것을 특징으로 하는 차단밸브.