CN101461036A

CN101461036A - 防逆流阀

Info

Publication number: CN101461036A
Application number: CNA2007800203748A
Authority: CN
Inventors: 徐俊英
Original assignee: Aon Instrument Co Ltd
Current assignee: ASTONE技术有限公司; Aon Instrument Co Ltd
Priority date: 2006-05-30
Filing date: 2007-05-29
Publication date: 2009-06-17
Also published as: KR100725733B1; WO2007139329A1

Abstract

本发明涉及一种防逆流阀，利用一气压缸操作隔板。本发明所述的用于驱动所述隔板的分离的动力源及所述阀的内部结构的由此的几何形状能够使所述隔板被放置以减小排气流导。由于增加了本发明所述的防逆流阀的排气流导，因此处理时间减少，排气效率提高并可快速而安全地防止由于所述真空泵的骤停而造成的逆流，从而防止所述真空室被污染。

Description

防逆流阀

技术领域

本发明涉及一种防逆流阀，尤其是一种设置在真空室与真空泵之间的防逆流阀，其包括：阀体；第一和第二连接部分，其自所述阀体的两端延伸并分别连接至自所述真空室和真空泵延伸的排气管；一旋转轴，其铰接至所述阀体内部上端以围绕一铰轴旋转；一连接至所述旋转轴的一端的隔板，其直径大于所述第一连接部分的内径而小于所述阀体的内径，并朝向所述第一连接部分旋转以便在真空管线中发生异常时防止流体流动；及一动力源，其连接至所述旋转轴的另一端，提供驱动力以驱动所述隔板。

背景技术

当制造半导体或等离子显示器面板(DPD)时，进行蚀刻、沉积、排气等类似过程。当进行此类过程时，使用包括真空室及类似装置的各种装置。此外，利用一真空泵来维持真空状态。然而，当所述真空泵由于故障或电源中断而不工作时，空气中诸如蒸气等类似的污染材料可能逆流进入所述真空室，导致所生产的产品的污染。

因此，已提出各种方法，通过这些方法，当真空泵停止时，防止此类逆流，并且阻隔所述真空室的内部与外部空气，以保护所述真空室内的产品。韩国专利提前公开公开号2004-0085926已经公开了一种具有防逆流阀的半导体制造装置。所述防逆流阀包括：一排气部件，其具有一开关阀并设置处理室的环境；一清洗部件，其清洗所述排气部件排放的杂质；及一防逆流部件，其设在所述排气部件与所述清洗部件之间，以防止所述杂质逆向流动。所述防逆流部件由第一凸起件和第二凸起件，所述第一凸起件由管道的一端向内凸起，所述第二凸起由所述管道的另一端向内凸起。所述防逆流部件被形成于所述管道中，所述管道把从所述排气部件排放的杂质导入所述清洗部件中。所述防逆流部件可以防止从所述清洗部件反向流至所述排气部件的诸如水的杂质推进。韩国实用新型专利提前公开公开号1993-016166已经公开了一种防护阀，其包括：一滑块，其连接至真空管上形成的喷射口的外侧以沿一轴滑动；一叶片，其形成于所述滑块的外周边上以承受大气压力的作用；一轴承，其被嵌入所述滑块的内表面以便操作可平滑地进行；及一O形圈，其被嵌入并被固定至所述喷射口与所述滑块之间的连接面以保持气密性。韩国专利提前公开公开号2000-0007260已经公开了一种防逆流阀，其包括：一支撑轴，其被固定至横穿排气管的内部通道；一左侧旋转叶片，其一端铰接至所述支撑轴的左侧且另一端通过大气压力旋转以当外部空气反向流动时在所述支撑轴的左侧阻塞所述内部通道；一右侧旋转叶片，其一端铰接至所述支撑轴的右侧且另一端被旋转以在所述支撑轴的右侧阻塞所述内部通道；及一塞子，其在外部空气反向流动时固定所述左侧和右侧叶片至阻塞所述内部通道的位置。

根据上述的发明所述的防护阀没有能够实现双向防护的结构。因此，很难防止由于真空泵骤停造成的损害。在本发明申请之前，本发明人已经申请了一防逆流阀的专利(韩国专利提前公开公开号2004-0104557)，以解决此问题。所述防逆流阀包括：第一圆柱形主体，其被第一盖和第二盖密封，所述第一盖具有连接至真空室上的管的入口，所述第二盖具有连接至真空泵上的管的入口，所述第一圆柱形主体具有形成于其中的真空区；第二圆柱形主体，其被嵌入并装配在所述第一圆柱形主体的所述真空区内并具有形成于其中央的具有预定直径的真空区；第三圆柱形主体，其被嵌入并装配在所述第二圆柱形主体的所述中央真空区内；及一隔板，其被安装在所述第三圆柱形主体与所述第一盖之间，并当由于所述真空室与所述真空泵之间的压差而垂直移动时打开和关闭一流径。所述第二圆柱形主体，其形成为环状，具有形成于其外表面的凸起。当所述第二圆柱形主体被嵌入所述第一圆柱形主体中时，在所述第一和第二圆柱形主体二者的圆周表面之间形成一垂直流径。此外，所述第二圆柱形主体具有在其顶部和底部表面形成的流径形成导向，以形成一水平流径。所述第三圆柱形主体具有在其圆周表面形成的凸起，以便在所述第二和第三圆柱形主体的圆周表面二者之间的间隙中形成一垂直流径。此外，所述第三圆柱形主体具有在其中央提供的真空区，以便朝向所述第二盖的入口形成一流径。

然而，上述的发明，包括本发明人的发明中公开的所述防逆流阀在所述阀的轴承不平滑运行时不可以在需要的时间操作。此外，在此类防逆流阀中，所述隔板设置在管道的中间。此结构即使当施加反压时用来阻塞流体流动并驱动所述隔板。然而，流体的流动被阻塞，所以排气流导被降低。

发明内容

本发明的一个目的是提供一种防逆流阀，其在真空泵停止时防止反向流动并阻隔真空室的内部与外部空气。当隔板不被操作时，所述防逆流阀推动所述隔板至一位置，在该位置流体的流动不被阻塞，从而增强排气流导。此外，一气压缸被用来快速打开和关闭所述阀，从而增强所述阀的可靠性。

根据本发明的一方面，提供一种设置在真空室与真空泵之间的防逆流阀，其包括：一阀体；第一和第二连接部分，其自所述阀体的两端延伸并分别连接至自所述真空室和真空泵延伸的排气管；一旋转轴，其铰接至所述阀体内部上端以围绕一铰轴旋转；一连接至所述旋转轴的一端的隔板，其直径大于所述第一连接部分的内径而小于所述阀体的内径，并朝向所述第一连接部分旋转以便在真空管线中发生异常时防止流体流动；及一动力源，其连接至所述旋转轴的另一端，提供驱动力以驱动所述隔板。

优选地，所述防逆流阀还包括一在所述阀体的所述第一连接部分的开口的内边缘形成的环状弹性件，其与所述隔板相接触以增强气密性。

优选地，所述隔板被成形为圆盘或圆锥形状。

优选地，所述隔板与所述旋转轴之间的连接通过连接所述旋转轴的所述端至所述隔板的圆周部分或连接所述隔板的下部的中央部分至所述旋转轴的所述端来实现。

优选地，所述旋转轴的旋转角度在20-90度范围内。

优选地，所述动力源是一气压缸。

优选地，所述防逆流阀还包括一由与所述隔板接触的所述第一连接部分至所述阀体的旁路路径及一用于打开和关闭该旁路路径的旁通阀。

优选地，所述旁通阀通过一气压缸打开和关闭。

本发明有益效果：根据本发明，所述防逆流阀利用一气压缸来操作所述隔板。因此，可以快速且安全地防止由于所述真空泵骤停而导致的反向流动，从而防止所述真空室被污染。当所述隔板不被操作时，所述隔板被强制推动以关闭所述阀，从而增加可靠性。

附图说明

图1是本发明实施例所述的防逆流阀的透视图；

图2是所述防逆流阀的横截面示意图，表示所述防逆流阀被操作之前及之后的状态；

图3是用于说明隔板与旋转轴相互连接的一个例子的透视图；

图4是用于说明隔板与旋转轴相互连接的另一例子的透视底视图。

图中主要部件的说明：

10、阀体；11、O形圈；20、第一连接部分；30、第二连接部分；

40、隔板；50、旋转轴；51、铰轴；60、气压缸；100、防逆流阀。

具体实施方式

下文将通过本发明的优选的实施例以及结合附图更加详细地说明本发明的防逆流阀。

图1是本发明实施例所述的防逆流阀100的透视图。图2是所述防逆流阀100的横截面示意图，表示所述防逆流阀100被操作之前及之后的状态。如图1和2所示，本发明实施例所述的防逆流阀设置在真空室(未示出)与真空泵(未示出)之间，其包括：阀体10；第一和第二连接部分20和30，其自所述阀体10的两端延伸并分别连接至自所述真空室和真空泵延伸的排气管；一旋转轴50，其铰接至所述阀体10内部上端以围绕铰轴51旋转；一连接至所述旋转轴50的一端的隔板40，其直径大于所述第一连接部分20的内径而小于所述阀体10的内径，并朝向所述第一连接部分20旋转以便在真空管线中发生异常时防止流体流动；及一动力源60，其连接至所述旋转轴50的另一端，提供驱动力以驱动所述隔板40。

如上所述，所述防逆流阀100设置在所述真空室与真空泵之间并用于防止空气的反向流动。在一些情形中，所述防逆流阀可被用作闸阀。在常规的防护阀中，所述隔板40被设置在流体流动的中间部分。因此，自所述真空室向所述真空泵的流体流动在所属阀体内部形成曲流，因而减少了排气流导。所述常规防护阀的隔板40用作即使在逆流形成时通过形成曲流减慢逆流。然而，因为排气流导的减少，处理时间增加了且排气效率降低。此外，当自所述真空泵反向流动的空气压力被用作动力源以驱动所述常规防护阀中的隔板时，所述隔板不可避免地被置于所述隔板阻塞流体流动的位置。然而，当在本发明的所述防护阀中利用分离的动力源来驱动所述隔板时，所述隔板被设置以不减少排气流导。

本发明的所述防逆流阀100包括：圆柱形阀体10；第一和第二连接部分20和30，其自所述阀体10的两端延伸以分别连接至自所述真空室和真空泵延伸的排气管。所述第一和第二连接部分与所述排气管之间的连接可以通过以凸缘形或类似来实现。此结构与常规防护阀没有差别。因此在本说明书中省去该结构的描述。

本发明的所述防逆流阀包括旋转轴50，其铰接至所述阀体10内部上端以围绕一铰轴旋转。如图2所示，所述旋转轴50铰接至所述阀体10内部上端以围绕所述铰轴旋转。所述隔板40连接至所述旋转轴50的一端，所述动力源60连接至所述旋转轴50的另一端。基于所述动力源60的运动，所述旋转轴50及与所述旋转轴50连接的所述隔板40被转动。所述旋转轴50与所述防护轴40之间的连接以及所述防护轴40与所述动力源60之间的连接通过已知的连接方法实施，即通过诸如铜焊或压焊的焊接、螺栓连接、或铰链与诸如轴承、链环或类似的连接器的适当组合。对所述连接方法没有特别的限制。如图2-4所示，应用于本发明的所述防逆流阀的所述旋转轴50被成形为一形状，从所述铰轴延伸至两侧的轴形成一预定角度。所述旋转轴50的形状增加所述旋转轴50在一有限区域内的旋转角度。在本说明书中所述旋转轴50的旋转角度指在所述隔板40朝向所述第一连接部分20移动以使所述防逆流阀100关闭的状态与所述防逆流阀100被打开的状态之间的一角度。换而言之，所述旋转轴50的旋转角度指一角度，在该角度所述隔板40与所述第一连接部分20分离。所述旋转角度可以根据所述防逆流阀中要求的应用特性改变。即，但要求最大的排气流导时，所述旋转轴50的旋转角度增加以使排气阻力减小。另外，如果必要，所述旋转轴50的旋转角度可以减小。在本发明的防逆流阀中，不限制所述旋转轴的旋转角度。然而，根据所述防逆流阀的应用环境，旋转角度优选20-90度。所述旋转轴的旋转角度越大，所述排气流导越高。尤其是，但要求高排气流导时，所述旋转轴50的旋转角度优选设置为接近90度。在此情形下，但所述阀打开时，旋转轴50以及连接至所述旋转轴50的所述隔板40紧靠所述阀体10的内壁，以诸塞流体的流动。此外，在所述阀中应当提供所述旋转轴旋转所需要的空间以防止逆流。

本发明的所述防逆流阀100包括连接至所述旋转轴50的一端的所述隔板40，所述隔板40的直径大于所述第一连接部分的内径而小于所述第二连接部分的内径，并朝向所述第一连接部分旋转以便在真空管线中发生异常时防止流体流动。如上所述，但所述真空泵正常操作时，所述隔板40附着在所述阀体10的内壁上以增加排气流导。接着，当真空泵的压力由于真空泵的故障或类似而降低时，所述隔板40自动朝向所述真空室移动，即朝向所述第一链接部分20，以隔开所述真空室。不特别限制所述隔板40的形状。所述隔板可以成形为任何形状，只要能实现隔开所述第一连接部分20与所述阀体10。然而，考虑到气密性或类似，所述隔板40优选被成形为圆盘或圆锥形状。此外，所述隔板40的防护直径可被设置成朝向所述第一或第二连接部分并不特别限制。然而，考虑到逆流，所述防护直径优选被设置朝向所述第一连接部分，即由应用压力的所述真空泵朝向所述真空室。此外，为了增加气密性，优选地，一组如O形圈11的弹性件设置在所述阀体10与所述隔板40之间。所述隔板40与所述旋转轴50的连接可以通过已知方法实施并不特别限制。图3是用于说明所述隔板40与所述旋转轴50相互连接的一个例子的透视图；图4是用于说明所述隔板40与所述旋转轴50相互连接的另一例子的透视底视图。在前面的例子中，所述圆盘形状的隔板40的圆周部分与所述旋转轴50的所述端部可以被制成一个部件，或通过焊接或类似相互连接，如图3所示。在后面的例子中，所述圆盘形状的隔板40的下部的中央部分与所述旋转轴50的所述端部可以通过焊接连接或通过一铰链连接，如图4所示。在所述的两个例子中，所述后面的例子(所述隔板40的下部的中央部分与所述旋转轴50的所述端部连接)更优选增加气密性，因为压力被均匀施加在所述隔板40上。

如上所述，常规的防逆流阀通过压差打开与关闭，无任何动力源。因此，但所述阀的轴承不平滑运行时，所述阀不可以在需要的时间操作，这不可能防止所述真空室被污染。然而，本发明的防逆流阀(100)通过使用所述分离的动力源60来驱动所述隔板40。因此，所述真空室可以被快速而精确地隔开。此外，也可以增加可靠性，且增强了所述真空室的气密性。至于所述动力源60，可以使用诸如弹簧的弹性件、气压缸等。在本实施例的防逆流阀100中，采用一气压缸。用作动力源60的所述气压缸60通过一轴承连接至所述旋转轴50的另一端，以便旋转所述旋转轴50。通过考虑所述隔板40和所述旋转轴50的尺寸和重量计算需要的压力可正确地设计所述气压缸60的配置和尺寸。所述气压缸60根据来自一分离的控制器(未示出)的打开和关闭信号操作。但所述真空泵中发生异常时，接收一互锁信号以驱动所述气压缸。接着，所述气压缸被操作以旋转所述旋转轴50，以使所述隔板40以与所述气压缸运行方向相反的方向移动，从而快速关闭所述阀。

本发明的所述防逆流阀100还可以包括一由所述第一连接部分20至所述阀体10的旁路路径(未示出)及一能够打开和关闭该旁路路径的旁通阀(未示出)。但所述防逆流阀100被打开位于大气压力被维持在所述防逆流阀100的上部部分而真空被维持在所述防逆流阀100的下部部分的状态时，一个大的载荷被施加给所述泵，使所述泵可能出故障。因此，所述旁路路径和旁通阀被构造成慢慢地流动流体。因为所述旁路路径和旁通阀的结构和位置对本领域技术人员是显而易见的，所以在本说明书中省去其详细说明。所述旁路路径和旁通阀被打开一定时器指定的时间。在所述指定的时间过去之后，连接至所述旋转轴50的所述隔板40被转动并朝向所述阀体10的壁表面移动，以进行主抽吸。

尽管本发明已参考典型实施例进行了说明，应当明白的是，本领域的技术人员可以进行修改和改变，当所述的修改和改变对本领域人员是显而易见时，此类修改和改变将被包含在本发明所附权利要求的范围内。

Claims

1、一种防逆流阀，其设置在真空室与真空泵之间，包括一阀体；

第一和第二连接部分，其自所述阀体的两端延伸并分别连接至自所述真空室和真空泵延伸的排气管；

一旋转轴，其铰接至所述阀体内部上端以围绕一铰轴旋转；

一连接至所述旋转轴的一端的隔板，其直径大于所述第一连接部分的内径而小于所述阀体的内径，并朝向所述第一连接部分旋转以在真空管线中发生异常时防止流体流动；

及一动力源，其连接至所述旋转轴的另一端，提供驱动力以驱动所述隔板。

2、根据权利要求1所述的防逆流阀，还包括一在所述阀体的所述第一连接部分的开口的内边缘形成的环状弹性件，其与所述隔板相接触以增强气密性。

3、根据权利要求1所述的防逆流阀，其特征在于：所述隔板被成形为圆盘或圆锥形状。

4、根据权利要求1所述的防逆流阀，其特征在于：通过连接所述旋转轴的所述端至所述隔板的圆周部分或连接所述隔板的下部的中央部分至所述旋转轴的所述端实现所述隔板与所述旋转轴之间的连接。

5、根据权利要求1所述的防逆流阀，其特征在于：所述旋转轴的旋转角度在20-90度范围内。

6、根据权利要求1-5任一项所述的防逆流阀，其特征在于：所述动力源是一气压缸。

7、根据权利要求6所述的防逆流阀，所述防逆流阀还包括一由与所述隔板接触的所述第一连接部分至所述阀体的旁路路径及一用于打开和关闭该旁路路径的旁通阀。

8、根据权利要求7所述的防逆流阀，其特征在于：通过一气压缸控制所述旁通阀的打开和关闭。