KR20240043914A - 진공 게이트 밸브 - Google Patents

진공 게이트 밸브 Download PDF

Info

Publication number
KR20240043914A
KR20240043914A KR1020220122957A KR20220122957A KR20240043914A KR 20240043914 A KR20240043914 A KR 20240043914A KR 1020220122957 A KR1020220122957 A KR 1020220122957A KR 20220122957 A KR20220122957 A KR 20220122957A KR 20240043914 A KR20240043914 A KR 20240043914A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
ring
gate plate
contact
valve
ring body
Prior art date
Application number
KR1020220122957A
Other languages
English (en)
Inventor
김중섭
이한선
김진웅
Original Assignee
주식회사 엘오티머트리얼즈
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 엘오티머트리얼즈 filed Critical 주식회사 엘오티머트리얼즈
Priority to KR1020220122957A priority Critical patent/KR20240043914A/ko
Publication of KR20240043914A publication Critical patent/KR20240043914A/ko

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F16K3/0227—Packings
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/28—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with resilient valve members
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/30—Details
    • F16K3/314—Forms or constructions of slides; Attachment of the slide to the spindle

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Sliding Valves (AREA)
  • Details Of Valves (AREA)

Abstract

본 발명은 진공 게이트 밸브에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 게이트 밸브는 공기 유로가 형성되는 밸브 몸체, 상기 밸브 몸체의 내부에 형성된 이동 공간에 설치되고, 상기 공기 유로 상으로 이동되면서 상기 공기 유로를 개폐하는 게이트 플레이트, 상기 게이트 플레이트를 구동시키는 액츄에이터, 및상기 게이트 플레이트의 이동 시 상기 게이트 플레이트에 쌓인 파우더가 걸려 상기 이동 공간으로 유입되지 않도록 상기 게이트 플레이트의 상면에 밀착되는 프로텍션 링을 포함할 수 있다.

Description

진공 게이트 밸브{VACUUM GATE VALVE}
본 발명은 진공 게이트 밸브에 관한 것으로, 보다 상세하게는 파우더의 유입을 방지할 수 있는 구조를 가진 진공 게이트 밸브에 관한 것이다.
일반적으로 진공 게이트 밸브는 진공 또는 고청정의 작업환경이 요구되는 반도체, 웨이퍼, LCD 패널, OLED 패널 등과 같은 첨단 반도체 장치나 FPD, 태양광 제조 공정 또는 기타 의료 기기를 제조하기 위해 사용되는 산업 설비 시설인 진공 챔버와 진공 펌프 사이에 설치된다.
이러한 진공 게이트 밸브는 개방 시 챔버의 공간 내로 반도체 칩이나 웨이퍼 등을 이동시키기 위한 통로를 제공하고, 차폐 시 챔버 내의 기밀 상태가 유지되도록 하는 역할을 한다.
반도체 제조공정은 크게 노광공정, 현상공정, 증착공정 및 에칭공정으로 분류되는데, 이 중 증착공정은 많은 유해가스를 사용하며 또한 배기라인 내부에 많은 부산물이 발생한다. 이러한 부산물은 가루형태(파우더)로 진공배관 내부에 쌓이게 되며, 이러한 환경에서 사용되는 진공 게이트 밸브는 개폐 동작을 할 때마다 구동부위로 파우더가 유입되어 진공 게이트 밸브의 성능이 저하되고 수명을 단축시키는 문제가 있었다.
본 발명은 밸브의 개폐 시에 게이트 플레이트의 이동공간으로 파우더가 유입되는 것을 방지할 수 있는 구조를 가진 진공 게이트 밸브를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 진공 게이트 밸브는 공기 유로가 형성되는 밸브 몸체; 상기 밸브 몸체의 내부에 형성된 이동 공간에 설치되고, 상기 공기 유로 상으로 이동되면서 상기 공기 유로를 개폐하는 게이트 플레이트; 상기 게이트 플레이트를 구동시키는 액츄에이터; 및 상기 게이트 플레이트의 이동 시 상기 게이트 플레이트에 쌓인 파우더가 걸려 상기 이동 공간으로 유입되지 않도록 상기 게이트 플레이트의 상면에 밀착되는 프로텍션 링을 포함하고, 상기 프로텍션 링은, 상기 밸브 몸체에 승강되게 설치되는 링 몸체; 상기 링 몸체의 하단에 형성된 승강홈에 이동가능하게 설치되고, 상기 공기 유로의 개방 시 상기 게이트 플레이트의 상면에 밀착되는 접촉링; 및 상기 링 몸체와 상기 접촉링의 사이에 위치하도록 상기 승강홈에 설치되고, 상기 접촉링이 상기 게이트 플레이트의 상면을 가압하도록 탄성력을 제공하는 탄성부재를 포함할 수 있다.
상기 링 몸체는 상기 공기 유로의 폐쇄 시에는 하강되어 상기 접촉링과 함께 상기 게이트 플레이트의 상면에 밀착될 수 있다.
상기 접촉링의 하면에는, 상기 게이트 플레이트의 상면과 접촉하는 접촉부; 및 상기 접촉부의 외측 단부에서 외측으로 상향 경사지게 형성되는 경사부를 포함할 수 있다.
상기 링 몸체에는 상기 접촉링의 외면에 밀착되는 오링이 구비되고, 상기 접촉링에 의해 상기 오링은 공기 노출이 보호될 수 있다.
상기 링 몸체의 외면에는 밸브 몸체와의 실링을 위한 오링이 밀착되는 단차면이 형성될 수 있다.
상기 링 몸체의 내면 중 일부에는 살빼기부가 내측으로 요입되어 형성될 수 있다.
상기 밸브 몸체에는, 상기 링 몸체의 하강을 위해 공기가 주입되는 제1 주입구; 및 상기 링 몸체의 상승을 위해 공기가 주입되는 제2 주입구가 형성될 수 있다.
상기 제1 주입구 및 상기 제2 주입구는 상기 링 몸체의 측면 방향에서 연장되어 형성되고, 상기 제1 주입구는 상부에 배치되며, 상기 제2 주입구는 하부에 배치될 수 있다.
상기 게이트 플레이트의 구동축과 함께 회전되는 제1 링크; 및 상기 제1 링크의 단부에 회전가능하게 연결되고, 상기 게이트 플레이트의 이동 시에 상기 제1 링크의 상부 또는 하부에 중첩되도록 접히는 제2 링크를 더 포함할 수 있다.
상기 링 몸체의 상부에는 상기 밸브 몸체와의 실링을 위한 내부 오링 및 외부 오링이 내측면 및 외측면에 각각 구비될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 밸브의 개폐 시에 게이트 플레이트의 이동공간으로 파우더가 유입되는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 게이트 밸브의 단면을 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 게이트 밸브의 프로텍션 링의 단면을 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 플레이트의 폐쇄된 상태를 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 링 몸체의 하강을 위해 공기가 주입되는 제1 주입구를 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 링 몸체의 상승을 위해 공기가 주입되는 제2 주입구를 도시한 도면이다.
도 6 내지 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따라 공기 유로가 폐쇄된 상태에서 개방되는 것을 순차적으로 도시한 도면이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
또한, 명세서 전체에서, "연결된다"라고 할 때, 이는 둘 이상의 구성요소가 직접적으로 연결되는 것만을 의미하는 것이 아니고, 둘 이상의 구성요소가 다른 구성요소를 통하여 간접적으로 연결되는 것, 물리적으로 연결되는 것뿐만 아니라 전기적으로 연결되는 것, 또는 위치나 기능에 따라 상이한 명칭들로 지칭되었으나 일체인 것을 의미할 수 있다.
이하, 본 발명에 의한 진공 게이트 밸브의 일 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 게이트 밸브의 단면을 도시한 도면이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 게이트 밸브의 프로텍션 링의 단면을 도시한 도면이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 플레이트의 폐쇄된 상태를 도시한 도면이다.
이에 도시된 바에 따르면, 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 게이트 밸브는 공기 유로(22)가 형성되는 밸브 몸체(1), 상기 밸브 몸체(1)의 내부에 형성된 이동 공간(6)에 설치되고, 상기 공기 유로(22) 상으로 이동되면서 상기 공기 유로(22)를 개폐하는 게이트 플레이트(20), 상기 게이트 플레이트(20)를 구동시키는 액츄에이터(10), 및 상기 게이트 플레이트(20)의 이동 시 상기 게이트 플레이트(20)에 쌓인 파우더가 걸려 상기 이동 공간(6)으로 유입되지 않도록 상기 게이트 플레이트(20)의 상면에 밀착되는 프로텍션 링(30)을 포함할 수 있다.
밸브 몸체(1)는 진공펌프와 진공챔버 사이에 설치되는 진공 게이트 밸브의 전체적인 외관을 형성한다. 밸브 몸체(1)는 장방형의 박스 형상으로 만들어지고, 일측에는 공기가 통과하는 공기 유로(22)가 원통 형상으로 개구된다. 본 명세서에서 공기는 반도체 공정 등에 사용되는 가스를 포함한다.
밸브 몸체(1)의 공기 유로(22) 측에는 프로텍션 몸체(2)가 설치된다. 프로텍션 몸체(2)는 실질적으로 내측에 공기 유로(22)를 형성하고, 프로텍션 링(30)이 설치되는 부분이다. 프로텍션 몸체(2)는 밸브 몸체(1)와 일체로 형성될 수도 있다.
그리고, 밸브 몸체(1)에서 프로텍션 몸체(2)의 반대측에는 커버(4)가 착탈가능하게 설치된다. 커버(4)는 내부에 설치되는 바이패스 밸브(5)를 커버하는 역할을 한다. 바이패스 밸브(5)는 공기 유로(22)를 통과하는 공기가 슬로우 펌핑될 수 있도록 조절한다.
액츄에이터(10)는 밸브 몸체(1)의 일측 상면에 설치되고, 구동축(12)을 회전시킨다. 구동축(12)에는 제1 링크(14)가 함께 회전되게 설치되고, 제1 링크(14)의 단부에는 제2 링크(16)가 회전축(17)에 의해 회전가능하게 연결된다. 도 3을 참조하면, 제2 링크(16)는 게이트 플레이트(20)의 이동 시에 제1 링크(14)의 상부 또는 하부에 중첩되도록 접히게 회전된다. 이때, 제1 링크(14)는 대략 90°만큼 회전되고 제2 링크(16)가 상부 또는 하부에 중첩되도록 접히기 때문에 좁은 이동 공간(6)에서도 원활한 구동이 가능하다.
게이트 플레이트(20)는 공기 유로(22)를 폐쇄할 수 있는 크기의 플레이트 형상으로 만들어진다. 게이트 플레이트(20)는 제2 링크(16)에 회전축(23)에 의해 연결된다. 그리고, 게이트 플레이트(20)의 양측에는 가이드부재(24)가 구비되고, 가이드부재(24)는 이동 공간(6)의 양측에 형성된 가이드슬릿(26)에 안착되어 게이트 플레이트(20)가 공기 유로(22)의 개폐를 위해 이동되게 한다. 게이트 플레이트(20)가 이동 공간(6) 상으로 이동될 때 제2 링크(16)는 회전되면서 제1 링크(14)에 접히게 된다.
도 2를 참조하면, 프로텍션 링(30)은, 상기 밸브 몸체(1)에 승강되게 설치되는 링 몸체(32), 상기 링 몸체(32)의 하단에 형성된 승강홈(34)에 이동가능하게 설치되고, 상기 공기 유로(22)의 개방 시 상기 게이트 플레이트(20)의 상면에 밀착되는 접촉링(50), 및 상기 링 몸체(32)와 상기 접촉링(50)의 사이에 위치하도록 상기 승강홈(34)에 설치되고, 상기 접촉링(50)이 상기 게이트 플레이트(20)의 상면을 가압하도록 탄성력을 제공하는 탄성부재(60)를 포함할 수 있다.
프로텍션 링(30)은 프로텍션 몸체(2)에 공기 유로(22) 상에 승강되게 설치되어 파우더가 이동 공간(6)으로 유입되는 것을 방지하는 역할을 한다. 프로텍션 링(30)은 소정의 두께를 가진 링 형상으로 만들어질 수 있다. 링 몸체(32)는 프로텍션 링(30)의 전체적인 외관을 형성한다. 링 몸체(32)는 공기 유로(22)의 폐쇄 시에는 하강되어 접촉링(50)과 함께 게이트 플레이트(20)의 상면에 밀착된다. 그리고, 링 몸체(32)의 공기 유로(22)의 개방 시에는 상승되고 이때에는 접촉링(50)만 게이트 플레이트(20)의 상면에 밀착된다.
링 몸체(32)의 하단에는 상방으로 요입되게 승강홈(34)이 형성되고, 승강홈(34)에는 접촉링(50)이 이동가능하게 설치된다. 접촉링(50)은 직접 이동되는 것은 아니고 탄성부재(60)를 매개로 링 몸체(32)에 설치되어 링 몸체(32)에 대하여 상대 이동될 수 있다.
링 몸체(32)의 상하 방향 중간에는 프로텍션 몸체(2)와의 실링을 위한 오링(36)이 구비된다. 그리고, 링 몸체(32)의 상부에는 프로텍션 몸체(2)와의 실링을 위한 내부 오링(38) 및 외부 오링(39)이 각각 구비된다. 내부 오링(38)과 외부 오링(39)은 각각 링 몸체(32)의 상부의 내측면 및 외측면에 각각 구비되어 링 몸체(32)의 승강 시 실링 역할을 한다.
한편, 링 몸체(32)의 외면에는 밸브 몸체(1)와의 실링을 위한 오링(42)이 밀착되는 단차면(40)이 형성된다. 이와 같이 본 실시예에서는 다양한 부분에 오링이 구비되어 프로텍션 링(30)의 실링을 담당하게 된다. 링 몸체(32)의 내면 중 일부에는 살빼기부(44)가 내측으로 요입되어 형성될 수 있다.
접촉링(50)의 승강홈(34)에 설치되어 상하로 이동될 수 있다. 접촉링(50)은 링 몸체(32)보다 작은 높이를 가진 링 형상으로 만들어지고 테프론 재질로 만들어질 수 있다. 접촉링(50)은 공기 유로(22)의 개방 시 실질적으로 게이트 플레이트(20)의 상면에 밀착되어 게이트 플레이트(20)가 이동 공간(6)으로 이동하는 동안 상면에 쌓인 파우더가 함께 유입되지 않도록 하는 역할을 한다.
접촉링(50)의 하면에는 게이트 플레이트(20)의 상면과 접촉하는 접촉부(52), 및 접촉부(52)의 외측 단부에서 외측으로 상향 경사지게 형성되는 경사부(54)를 포함할 수 있다. 이와 같이 경사부(54)가 형성되면 게이트 플레이트(20)에 밀착된 상태에서 게이트 플레이트(20)의 이동시 마찰력을 줄일 수 있어 게이트 플레이트(20)의 이동이 용이하다.
링 몸체(32)와 접촉링(50)의 사이에 위치하도록 승강홈(34)에는 탄성부재(60)가 설치된다. 탄성부재(60)는 접촉링(50)이 게이트 플레이트(20)의 상면을 가압하도록 탄성력을 제공한다. 따라서, 공기 유로(22)의 개방 시 링 몸체(32)가 상승할 때 탄성부재(60)는 접촉링(50)을 가압하여 게이트 플레이트(20)와의 접촉을 유지할 수 있도록 한다. 링 몸체(32)에는 접촉링(50)의 외면에 밀착되는 오링(62)이 구비되어 실링을 담당하게 되고, 접촉링(50)은 오링(62)이 공기에 노출되는 것을 보호한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 링 몸체의 하강을 위해 공기가 주입되는 제1 주입구를 도시한 도면이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 링 몸체의 상승을 위해 공기가 주입되는 제2 주입구를 도시한 도면이다.
도 4를 참조하면, 링 몸체(32)는 외부에서 주입되는 공기의 압력에 의해 승강이 이루어질 수 있다. 밸브 몸체(1)에는 링 몸체(32)의 승강을 위해 공기가 주입되는 제1 포트(70) 및 제2 포트(74)가 각각 구비된다. 그리고, 프로텍션 몸체(2)에는 제1 포트(70) 및 제2 포트(74)와 연결된 제1 주입구(72) 및 제2 주입구(76)가 각각 채널로 형성될 수 있다.
공기 유로(22)의 폐쇄 시 제1 포트(70)를 통해 제1 주입구(72)로 공기가 주입되고 공기압에 의해 링 몸체(32)는 하강된다. 반대로 공기 유로(22)의 개방 시 제2 포트(74)를 통해 제2 주입구(76)로 공기가 주입되고 공기압에 의해 링 몸체(32)는 상승된다. 이와 같이 공기 유로(22)의 폐쇄 시에는 링 몸체(32)를 하강시켜야 하기 때문에 제1 포트(70) 및 제1 주입구(72)는 상부에 배치되고, 제2 포트(74) 및 제2 주입구(76)는 하부에 배치될 수 있다.
도 6 내지 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따라 공기 유로가 폐쇄된 상태에서 개방되는 것을 순차적으로 도시한 도면이다.
도 6을 참조하면, 본 상태는 공기 유로(22)가 폐쇄된 상태이다. 이때에는 게이트 플레이트(20)가 공기 유로(22) 상으로 이동되고, 제1 포트(70)를 통해 제1 주입구(72)로 공기가 유입되어 링 몸체(32)가 하강하여 게이트 플레이트(20)에 밀착된다.
도 7을 참조하면, 공기 유로(22)를 개방하기 위해 제2 포트(74)를 통해 제2 주입구(76)로 공기가 유입되어 링 몸체(32)만 상승된다. 이때, 접촉링(50)은 탄성부재(60)의 탄성력에 의해 게이트 플레이트(20)의 상면에 밀착된 상태를 유지한다.
도 8을 참조하면, 액츄에이터(10)가 구동되고 구동축(12)과 함께 제1 링크(14)가 대략 90°만큼 회전된다. 그리고, 제1 링크(14)의 회전에 연동하여 제2 링크(16)가 회전되면서 제1 링크(14)에 접히게 되고 이와 동시에 게이트 플레이트(20)는 후방으로 이동되어 이동 공간(6)에 위치하게 된다. 게이트 플레이트(20)의 이동 과정에서 접촉링(50)은 계속하여 상면에 밀착되기 때문에 상면에 쌓인 파우더는 이동 공간(6)으로 유입되지 않을 수 있다.
도 9를 참조하면, 공기 유로(22)의 폐쇄를 위해 제1 포트(70)를 통해 제1 주입구(72)로 공기가 유입되어 링 몸체(32)가 하강하여 공기 유로(22)와 이동 공간(6) 사이를 폐쇄하게 된다.
이상에서 설명한 것은 공기 유로(22)가 폐쇄된 상태에서 개방되는 것이며, 다시 공기 유로(22)를 폐쇄된 상태로 전환하는 것은 상술한 과정을 역순으로 진행하면 된다.
상기에서는 본 발명의 특정의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
1: 밸브 몸체 2: 프로텍션 몸체
4: 커버 5: 바이패스 밸브
6: 이동 공간 10: 액츄에이터
12: 구동축 14: 제1 링크
16: 제2 링크 17: 회전축
20: 게이트 플레이트 22: 공기 유로
24: 가이드부 26: 가이드슬릿
30: 프로텍션 링 32: 링 몸체
34: 승강홈 36: 오링
38: 내부 오링 39: 외부 오링
40: 단차면 42: 오링
44: 살빼기부 50: 접촉링
52: 접촉부 54: 경사부
60: 탄성부재 62: 오링
70: 제1 포트 72: 제1 주입구
74: 제2 포트 76: 제2 주입구

Claims (10)

  1. 공기 유로가 형성되는 밸브 몸체;
    상기 밸브 몸체의 내부에 형성된 이동 공간에 설치되고, 상기 공기 유로 상으로 이동되면서 상기 공기 유로를 개폐하는 게이트 플레이트;
    상기 게이트 플레이트를 구동시키는 액츄에이터; 및
    상기 게이트 플레이트의 이동 시 상기 게이트 플레이트에 쌓인 파우더가 걸려 상기 이동 공간으로 유입되지 않도록 상기 게이트 플레이트의 상면에 밀착되는 프로텍션 링을 포함하고,
    상기 프로텍션 링은,
    상기 밸브 몸체에 승강되게 설치되는 링 몸체;
    상기 링 몸체의 하단에 형성된 승강홈에 이동가능하게 설치되고, 상기 공기 유로의 개방 시 상기 게이트 플레이트의 상면에 밀착되는 접촉링; 및
    상기 링 몸체와 상기 접촉링의 사이에 위치하도록 상기 승강홈에 설치되고, 상기 접촉링이 상기 게이트 플레이트의 상면을 가압하도록 탄성력을 제공하는 탄성부재를 포함하는 진공 게이트 밸브.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 링 몸체는 상기 공기 유로의 폐쇄 시에는 하강되어 상기 접촉링과 함께 상기 게이트 플레이트의 상면에 밀착되는 진공 게이트 밸브.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 접촉링의 하면에는,
    상기 게이트 플레이트의 상면과 접촉하는 접촉부; 및
    상기 접촉부의 외측 단부에서 외측으로 상향 경사지게 형성되는 경사부를 포함하는 진공 게이트 밸브.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 링 몸체에는 상기 접촉링의 외면에 밀착되는 오링이 구비되고, 상기 접촉링에 의해 상기 오링은 공기 노출이 보호되는 진공 게이트 밸브.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 링 몸체의 외면에는 밸브 몸체와의 실링을 위한 오링이 밀착되는 단차면이 형성되는 진공 게이트 밸브.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 링 몸체의 내면 중 일부에는 살빼기부가 내측으로 요입되어 형성되는 진공 게이트 밸브.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 밸브 몸체에는,
    상기 링 몸체의 하강을 위해 공기가 주입되는 제1 주입구; 및
    상기 링 몸체의 상승을 위해 공기가 주입되는 제2 주입구가 형성되는 진공 게이트 밸브.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제1 주입구 및 상기 제2 주입구는 상기 링 몸체의 측면 방향에서 연장되어 형성되고, 상기 제1 주입구는 상부에 배치되며, 상기 제2 주입구는 하부에 배치되는 진공 게이트 밸브.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 게이트 플레이트의 구동축과 함께 회전되는 제1 링크; 및
    상기 제1 링크의 단부에 회전가능하게 연결되고, 상기 게이트 플레이트의 이동 시에 상기 제1 링크의 상부 또는 하부에 중첩되도록 접히는 제2 링크를 더 포함하는 진공 게이트 밸브.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 링 몸체의 상부에는 상기 밸브 몸체와의 실링을 위한 내부 오링 및 외부 오링이 내측면 및 외측면에 각각 구비되는 진공 게이트 밸브.
KR1020220122957A 2022-09-28 2022-09-28 진공 게이트 밸브 KR20240043914A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020220122957A KR20240043914A (ko) 2022-09-28 2022-09-28 진공 게이트 밸브

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020220122957A KR20240043914A (ko) 2022-09-28 2022-09-28 진공 게이트 밸브

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20240043914A true KR20240043914A (ko) 2024-04-04

Family

ID=90637982

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020220122957A KR20240043914A (ko) 2022-09-28 2022-09-28 진공 게이트 밸브

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20240043914A (ko)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101779240B1 (ko) 웨이퍼 습식 프로세싱을 위한 폐쇄형 챔버
KR101535576B1 (ko) 반도체 가공 챔버의 오염을 최소화하기 위한 방법 및 장치
JP6050521B2 (ja) スライド逆圧遮断バルブ
CN102900861B (zh) 用于基本上气密截断流动路径的阀门
JP4042507B2 (ja) 流量制御機構付きゲートバルブ
KR101784839B1 (ko) 양방향 게이트밸브
US20140157722A1 (en) Lid opening/closing system for closed container, and substrate processing method using the same
KR20090049282A (ko) 진공 게이트밸브
TW201903838A (zh) 用於晶圓容器的氣體供應裝置
KR101494307B1 (ko) 다양한 형태의 진공장치에 설치가 가능한 진공 게이트밸브
KR20240043914A (ko) 진공 게이트 밸브
KR20120019707A (ko) 게이트 밸브
KR101358801B1 (ko) 게이트 밸브
KR101357104B1 (ko) 챔버용 게이트밸브 구동장치
KR20200119607A (ko) 슬라이드 방식의 진공 게이트 밸브
KR20060108317A (ko) 오염방지 커버가 부착된 에어 실린더를 구비한 반도체 장비
JP2533459Y2 (ja) 基板表面処理室の基板搬入口／搬出口遮断装置
CN114378838A (zh) 工业用机器人
KR100574686B1 (ko) 안티-흡입 백 기능을 갖는 진공 게이트 밸브
CN110534448B (zh) 气体集成块结构、工艺腔室及半导体加工设备
KR102519677B1 (ko) 슬릿밸브
KR20240103401A (ko) 진공 게이트 밸브
KR101258240B1 (ko) 양방향 게이트 밸브
KR20200001127A (ko) 모노 타입 게이트 밸브 시스템
KR101738681B1 (ko) 파우더 흡착방지용 유체 차단 밸브