KR200492543Y1

KR200492543Y1 - 진공 게이트 밸브에 적용되는 압력변동 충격방지장치

Info

Publication number: KR200492543Y1
Application number: KR2020190001472U
Authority: KR
Inventors: 서정혁; 성기철; 김현철; 최규호; 우정현
Original assignee: 주식회사 테라텍
Priority date: 2019-04-10
Filing date: 2019-04-10
Publication date: 2020-11-04
Also published as: KR20200002304U

Abstract

본 개시내용에 따른 슬라이드 방식의 진공 게이트 밸브는 유입구와 유출구가 형성되는 밸브 몸체와, 상기 유입구와 상기 유출구 사이의 유로와 수직방향으로 전·후진 이동하며 상기 유로를 개폐하는 차단판과, 상기 밸브 몸체의 내부에 위치하여 상기 차단판을 구동시키는 실린더와, 상기 밸브 몸체의 상하로 배치되는 플랜지에 구비되어 유로 및 이물질을 차단하는 더블씰 및 상기 밸브 몸체의 일측에 배치되고 상기 유입구와 유출구 사이의 기압을 맞춰주는 압력변동 충격방지장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 따르면, 진공 게이트 밸브의 유입구와 유출구 간의 압력 차이를 미리 해소함으로써 차단판의 개방시 급격한 압력 변동으로 인한 충격을 방지할 수 있어 기기의 수명이 연장되고 작업의 안정성이 유지될 수 있는 효과가 있다.

Description

진공 게이트 밸브에 적용되는 압력변동 충격방지장치{Pressure fluctuation preventing device applied to vacuum gate valve}

본 개시내용은 게이트 밸브에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체를 제조하는 시설에서 사용되는 진공 게이트 밸브의 개폐 작동시 급격한 압력 변동으로 인한 충격을 방지하기 위한 것이다.

진공 게이트밸브는 반도체 제조용 공정챔버와 진공펌프 사이의 진공배관에 설치되는 것으로 진공배관이나 진공펌프 등 부대설비의 보수, 유지를 위해 진공배관 내의 유로(유체통로)를 차단하기 위해 사용되는 밸브를 말한다.

반도체 제조공정은 크게 노광공정, 현상공정, 증착공정 및 에칭공정으로 분류되는데, 이 중 증착공정은 많은 유해가스가 사용되므로 '가루형태의 부산물'(이하 '파우더'라 함)이 발생하게 된다. 이러한 파우더는 진공배관이나 진공게이트 내부에 축적되는데 특히, 게이트 밸브 개폐시 그 진동으로 인하여 디스크 상면에 쌓여 밸브 개방시 디스크와 함께 밸브 몸체 내부로 인입되어 진공 게이트밸브의 수명을 단축시키는 문제점을 발생시킨다.

이러한 문제점을 해결하기 위한 종래기술로는 대한민국 등록특허공보 제10-0539691호에 개시된 진공 게이트밸브가 있다.

종래기술에 따른 진공 게이트밸브는 밸브내에 형성된 유로의 내측벽에 링을 설치함으로써 밸브가 개방된 상태에 있는 경우 유로를 통한 유체흐름은 그대로 유지한 채 진공배관 내의 파우더가 밸브 몸체 내부로 인입되는 것을 차단하게 된다.

그러나 종래기술은 밸브 개방시 디스크 상면에 쌓인 파우더가 디스크와 함께 밸브 몸체 내부로 인입되는 문제점이 있다.

특히 최초 밸브 유로가 닫힌 상태에서, 디스크의 상, 하부 사이의 유입구와 유출구 간의 압력차가 발생한 상태에서 유로를 즉각적으로 열면 디스크의 상, 하부 압력차로 인하여 진공펌프에 손상을 줄 수 있는 문제점이 있었다.

한국등록특허 제 10-0539691호

개시되는 내용은 디스크 개폐시 급격한 압력 변동으로 인해 발생될 수 있는 압력변동 충격을 감소시킴으로써 진공밸브, 컨트롤러, 배관, 펌프의 손상을 방지할 수 있도록 하여 기기 수명을 연장시킬 수 있도록 하는 압력변동 충격방지장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

전술한 실시예의 목적은, 상부에 유입구가 형성되고, 하부에 유출구가 형성되며 측면이 개구되어 슬라이드 통로가 형성되고, 슬라이드 통로의 상부측에 제1유로공이 형성되고, 하부측에 제2유로공이 형성된 밸브 몸체; 유입구와 상기 유출구 사이의 유로와 수직방향으로 전·후진 이동하며 상기 유로를 개폐하는 차단판; 밸브 몸체의 내부에 위치하여 상기 차단판을 구동시키는 제 1 실린더; 밸브 몸체의 일측에 배치되고 상기 유입구의 압력 가스를 유출구로 이동하도록 우회시키는 바이패스 부재를 구비하여 유입구와 유출구의 압력 차이를 조절하여 차단판의 개방시 급격한 압력 변동을 방지하도록 하는 압력변동 충격방지장치;를 포함하는 진공 게이트 밸브에 적용되는 압력변동 충격방지장치에 의해 달성될 수 있다.

상기 압력변동 충격방지장치는, 밸브 몸체에 결합되는 플랜지가 형성되고 내부에는 차단판이 삽입되는 슬릿홈이 형성되며, 상기 플랜지의 상부에는 밸브 몸체의 제1유로공과 통하는 제1바이패스공이 슬릿홈의 상부에 형성되고, 하부에는 제2유로공과 통하는 제2바이패스공이 형성된 본체; 본체에 형성되고, 상면에 제 3 관통홀이 형성되고, 내부에 가스가 이동하도록 실린더챔버가 형성되며, 상기 실린더챔버와 통하도록 상면에 형성된 제1,2통공이 형성된 바디; 바디의 제1,2통공에 각기 연결되며 공압이 주입되는 제1,2피팅구; 바디의 내부 실린더챔버에 삽입되어 제1,2피팅구로부터 유입되는 공압에 의해 개폐 작동하는 제 2 실린더; 제3관통홀에 통하며, 밸브 몸체의 유입구에 통하도록 형성된 제1유로공과 연결되어 가스가 이동하는 제1바이패스관; 바디의 실린더챔버와 통하도록 연결되며 본체의 플랜지에 연결되어 플랜지의 내부 유로와 통하는 제2바이패스관;을 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 바디의 상부에 결합되는 조절판과, 상기 조절판을 관통하여 제 3 관통홀에 삽입되며 제1바이패스관과 통하는 제4관통홀이 형성된 결합부로 구성된 가스유량조절부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 조절판에 요홈이 형성되고, 요홈의 저면에 눈금을 갖는 표시부가 형성되며, 결합부의 상부에 결합되며 상기 조절판의 눈금을 지시하는 조절핀;을 포함하는 것을 특징으로 한다.

실시예에 따르면, 진공 게이트 밸브의 유입구와 유출구 간의 압력 차이를 미리 해소함으로써 차단판의 개방시 급격한 압력 변동으로 인한 충격을 방지할 수 있어 기기의 수명이 연장되고 작업의 안정성이 유지될 수 있는 효과가 있다.

도 1은 실시예에 따른 슬라이드 방식의 진공 게이트 밸브의 전체적인 사시도
도 2는 실시예에 따른 게이트 밸브의 단면도이며, 차단판이 개방된 상태를 나타낸 단면도,
도 3은 압력변동 충격방지장치의 분해사시도,
도 4는 밸브 몸체와 압력변동 충격방지장치를 분리한 분해 단면도,
도 5는 밸브 몸체와 압력변동 충격방지장치를 분리하여 다른 방향에서 본 분해사시도,
도 6은 압력변동 충격방지장치의 폐쇄 작동을 나타낸 단면도,
도 7은 압력변동 충격방지장치의 개방 작동을 나타낸 단면도.

본 개시내용의 실시예들은 본 개시내용의 기술적 사상을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것이며, 본 개시내용에 따른 권리 범위가 이하에서 개시되는 실시예들이나 이들 실시예들에 대한 구체적 설명으로 한정되는 것은 아니다.

본 개시내용에 사용되는 모든 기술적 용어들 및 과학적 용어들은, 달리 정의되지 않는 한, 본 개시내용이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해되는 의미를 가진다. 본 개시내용에 사용되는 모든 용어들은 본 개시내용을 더욱 명확히 설명하기 위한 목적으로 선택된 것이며, 본 개시에 따른 권리범위를 제한하기 위해 선택된 것이 아니다.

본 개시내용에서 사용되는 "포함하는", "구성되는", "형성되는", "갖는" 등과 같은 표현은, 해당 표현이 포함되는 어구 또는 문장에서 달리 언급되지 않는 한, 다른 실시예를 포함할 가능성을 내포하는 개방형 용어(Open-ended terms)로 이해되어야 한다.

본 개시내용에서 사용되는 "제1", "제2" 등의 표현들은 복수의 구성요소들을 상호 구분하기 위해 사용되며, 해당 구성요소들의 순서 또는 중요도를 한정하는 것은 아니다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여, 본 개시내용의 바람직한 실시예에 따른 슬라이드 방식의 진공 게이트 밸브의 구성, 동작, 및 작용효과에 대해 살펴본다. 첨부된 도면에서, 동일하거나 대응되는 구성요소는 편의상 생략되거나 개략적으로 도시될 수 있다. 그러나 구성요소에 관한 기술이 생략되어도 그러한 구성요소가 어떤 실시예에 포함되지 않는 것으로 의도되지는 않는다.

첨부된 도면 중에서, 도 1은 실시예에 따른 슬라이드 방식의 진공 게이트 밸브의 전체적인 사시도, 도 2는 실시예에 따른 게이트 밸브의 단면도이며, 차단판이 개방된 상태를 나타낸 단면도, 도 3은 압력변동 충격방지장치의 분해사시도, 도 4는 밸브 몸체와 압력변동 충격방지장치를 분리한 분해 단면도, 도 5는 밸브 몸체와 압력변동 충격방지장치를 분리하여 다른 방향에서 본 분해사시도, 도 6은 압력변동 충격방지장치의 폐쇄 작동을 나타낸 단면도, 도 7은 압력변동 충격방지장치의 개방 작동을 나타낸 단면도이다.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 게이트 밸브(100)는 반도체를 제조하는 시설에서 사용되는 장치로서, 유입구(20)와 유출구(30)가 형성되는 밸브 몸체(10)와, 유입구(20)와 유출구(30) 사이의 유로와 수직방향으로 전·후진 이동하며 상기 유로를 개폐하는 차단판(40)과, 밸브 몸체(10)의 내부에 위치하여 상기 차단판을 구동시키는 제 1 실린더(50)와, 밸브 몸체(10)의 상하로 배치되는 플랜지(60)에 구비되어 유로 및 이물질을 차단하는 더블씰(70)을 포함한다.

또한 실시예의 주된 구성은, 밸브 몸체(10)의 일측에 배치되고 유입구(20)와 유출구(30) 사이의 기압을 맞춰주는 압력변동 충격방지장치(A);를 포함한다.

도 1에 도시된 바와 같이, 밸브 몸체(10)는 반도체 제조 반응기와 연결된 유입구(20)와, 배기펌프와 연결된 유출구(30)가 각기 형성된다.

유입구(20)와 유출구(30)는 밸브 몸체(10)의 다양한 위치에 설치될 수 있지만 차단판(40)의 이동을 원활하게 하기 위해 밸브 몸체(10)의 상부와 하부에 대칭적으로 설치하는 것이 바람직하다.

한편, 유입구(20)와 유출구(30) 사이에는 밸브 몸체(10)의 상, 하부를 관통하는 통로가 형성되어 가스가 통과하게 된다.

통로의 수직방향으로는 차단판(40)이 제 1 실린더(50)에 의해 전, 후진 직선 이동하며 통로를 개폐하게 된다.

제 1 실린더(50)는 밸브 몸체(10) 내부에 위치하여 차단판(40)을 구동하는 부분으로 공압 내지 유압에 의해 전, 후진이 가능하도록 피스톤이 밸브 몸체(10)의 외부 일측에 장착된다.

밸브 몸체(10)의 내부에는 차단판의 상,하면에 접촉하는 더블씰(70)이 구비된다.

더블씰은 차단판(40)이 전, 후진하여 마찰력 등을 받을 경우 내측으로 휘어지거나, 원래의 위치로 복원될 수 있다.

이를 위해 유연한 재질, 예를 들어 NBR 고무(acrylonitrile-butadiene rubber), 실리콘(Silicon), 불소고무(FKM), 퍼블루오로카본 고무(FFKM), 테프론(teflon) 등으로 이루어짐이 바람직하다. 또한 도시되지는 않았으나 스테인레스 주름관으로 구성될 수 있다.

밸브 유로를 여는 동작을 할 때, 압력변동 충격방지장치(A)를 열어 밸브의 유입구(20)와 유출구(30)의 압력을 어느 정도 비슷한 정도로 맞추는 작업을 한다.

유입구(20)와 유출구(30) 간의 압력 차가 크게 되면 압력변동 충격방지장치(A) 개방시 강력한 난기류가 밸브 몸체(10) 상 하부에 형성되어 난기류에 의해 밸브 상부에 쌓여있던 가루형태의 부산물들이 차단판(40) 위로 떨어지게 된다.

이때, 상기 언급한 바와 같이 더블씰(70)은 차단판(40)이 개폐작동하는 과정에서 위에 쌓인 부산물이 밸브 몸체 내에 유입되지 않도록 차단하게 된다.

압력변동 충격방지장치(A)는 밸브 몸체(10)의 일측에 배치되고 유입구(20)와 유출구(30) 사이의 기압을 맞춰주게 된다.

차단판(40)이 밸브 통로를 닫는 동작을 할 때 밸브 몸체(10)의 동작속도에 따른 진동발생으로 인하여 밸브 상부 진공배관에 쌓여있던 가루형태의 부산물들이 차단판(40) 위로 쌓이게 된다.

이후 다시 밸브 통로를 여는 동작을 할 때, 차단판(40)과 더블씰(70) 사이의 간격에 비례하여 부산물이 밸브 몸체(10) 내부로 인입될 수 있다

압력변동 충격방지장치(A)는 밸브 유로 개방 전 차단판(40) 상, 하부의 압력차를 조절하기 위해 밸브 몸체(10)의 일측에 배치된다.

일반적으로 진공으로 된 게이트 밸브(100)를 열기 전 차단판(40) 상부의 유입구(20) 측은 대기압인 760 torr이고, 차단판(40) 하부의 유출구(30) 측은 진공상태에 있다.

따라서 이 상태에서 게이트 밸브(100)를 열게 되면 차단판(40) 상, 하부 압력 차이로 인하여 진공 펌프 등에 손상을 가져올 수 있다.

따라서, 압력변동 충격방지장치(A)는 상기와 같은 문제점을 방지하기 위해 유입구(20)와 유출구(30) 사이의 기압을 맞춰주는 기능을 하게 된다.

압력변동 충격방지장치(A)는 밸브 몸체(10)에 결합되는 본체(100), 본체(100)에 형성된 바디(200), 상기 바디(200)에 공압을 선택적으로 주입하는 제1,2피팅구(210)(220), 상기 바디(200)의 내부에서 작동하는 제 2 실린더(250), 상기 밸브 몸체(10)와 바디(200)에 연결되는 제1,2바이패스관(270)(280)을 포함한다.

본체(100)는 밸브 몸체(10)에 결합되는 플랜지(180)가 형성되고 내부에는 차단판(40)이 삽입되는 슬릿홈(190)이 형성되며, 상기 플랜지(180)의 상부에는 밸브 몸체(10)의 제1유로공(11)과 통하는 제1바이패스공(170)이 슬릿홈(190)의 상부에 형성되고, 하부에는 제2유로공(12)과 통하는 제2바이패스공(160)이 형성된다.

바디(200)는 본체(100)에 형성되고, 상면에 제 3 관통홀(103)이 형성되고, 내부에 가스가 이동하도록 실린더챔버(290)가 형성되며, 상기 실린더챔버(290)와 통하도록 제1,2통공(117)(118)이 형성된다.

제1,2피팅구(210)(220)는 상기 바디(200)의 상면에 형성된 통공에 각기 연결되며 공압이 선택적으로 주입될 수 있다.

제 2 실린더(250)는 상기 바디(200)의 내부 실린더챔버(290)에 삽입되어 제1,2피팅구(210)(220)로부터 유입되는 공압에 의해 개폐 작동한다.

제1바이패스관(270)은 상기 제3관통홀(103)에 통하며, 밸브 몸체(10)의 유입구(20)에 통하도록 형성된 제1유로공(11)과 연결되어 가스가 이동하게 된다.

제2바이패스관(280)은 상기 바디(200)의 실린더챔버(290)와 통하도록 연결되며 본체(100)의 플랜지(180)에 연결되어 플랜지(180)의 내부 유로(183)와 통한다.

도 7을 참조하면, 제1피팅구(210)에 공압이 주입되면 제2실린더(250)가 좌측으로 이동하게 되어 실린더챔버(290)의 제1격실(291)이 개방상태가 된다.

도 6을 참조하면, 제2피팅구(220)로 공압이 주입되면 제2실린더(250)가 우측으로 이동하게 되어 실린더챔버(290)의 제1격실(291)이 폐쇄상태가 된다.

상기 바디(200)의 상부에 결합되는 조절판(410)과, 상기 조절판(410)을 관통하여 제 3 관통홀(103)에 삽입되며 제1바이패스관(270)과 통하는 제4관통홀(422)이 형성된 결합부(420)로 구성된 가스유량조절부(400);를 포함한다.

상기 조절판(410)에 요홈(412)이 형성되고, 요홈(412)의 저면에 눈금을 갖는 표시부(413)가 형성되며, 결합부(420)의 상부에 결합되며 상기 조절판(410)의 눈금을 지시하는 조절핀(414);을 포함한다(도 3 참조).

조절핀(414)을 회전시켜서 표시부(413)의 원하는 눈금을 지시하도록 하면, 결합부(420)가 조절핀(414)에 동반하여 회전되므로 제4관통홀(422)이 제1바이패스관(270)과 통하는 단면적의 크기를 조절할 수 있게 됨으로써 제1바이패스관(270)으로부터의 가스 유입량을 조절할 수 있게 된다.

상기 바디(200)의 실린더챔버(290)는 제3관통홀(103)에 통하는 제1통공(117)이 내부 격벽에 형성되고, 바디(200)의 양측에는 제2바이패스관(280)과 통하는 제2통공(118)이 형성된다(도 5 및 도 6 참조).

상기 실린더챔버(290)는 상기 제1통공(117)과 제2통공(118)이 형성된 제1격실(291)과, 제2피팅구(220)와 통하는 제1통로(292)에 형성된 제2격실(293)과, 제1격실(291)과 제2격실(293)에 통하며 제1,2격실(291)(293)보다 작은 직경으로 형성되는 로드홀(294)이 형성되고, 상기 로드홀(294)에 통하며 제1피팅구(210)와 통하도록 하는 제2통로(295)가 형성되어 이루어진다.

상기 제2실린더(250)는 제1격실(291)에 결합되는 제1실린더 디스크(251)와, 제2격실(293)에 결합되는 제2실린더 디스크(252) 및 제1실린더 디스크(251)와 제2실린더 디스크(252)를 연결하며 로드홀(294)에 결합되는 실린더로드(255)를 포함하여 이루어진다.

상기 플랜지(180)는 제2바이패스관(280)과 통하는 유로(183)가 내부에 형성되고, 유로(183)에 통하는 제2바이패스공(160)이 슬릿홈(190)의 하부 외면에 통하도록 형성된다.

이하, 도 6 및 도 7에 따라 본 개시내용에 따른 게이트 밸브가 열리는 과정에 대해 살펴본다.

최초 밸브 유로가 닫힌 상태에서, 상술한 바와 같이 차단판(40)의 상, 하부 사이의 유입구(20)와 유출구(30) 간의 압력차가 발생하고, 이 때 통로를 즉각적으로 열면 차단판(40) 상, 하부 압력차로 인하여 진공펌프에 손상을 줄 수 있다.

따라서, 도 7에 도시된 바와 같이, 압력변동 충격방지장치(A)를 개방하여 제1,2바이패스 관(270,280)를 통하여 차단판(40) 상, 하부 압력을 조절한다.

제1피팅구를 통해 공압이 유입되면 제2실린더가 도 7과 같이 좌측으로 이동하게 되고, 제1실린더 디스크가 이동하므로 제2통공이 개방된다.

아울러 제2실린더 디스크가 이동하여 제1통로를 막는다.

이후 제1바이패스 관으로 차단판의 상부측 가스가 유입되고, 제1통공을 경유하여 실린더챔버로 유입된 후 제2통공을 통해 이동하여 제2바이패스 관을 통해 플랜지의 유로를 경유하여 제2바이패스공을 배출된다.

제2바이패스공을 통해 밸브 몸체의 제2유로공으로 유입된 가스는 차단판의 하부측 통로로 공급됨으로써 차단판의 상,하부 가스압이 균일하게 조절될 수 있다.

비록 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 고안의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정 및 변형이 가능한 것은 당업자라면 용이하게 인식할 수 있을 것이며, 이러한 변경 및 수정은 모두 첨부된 청구의 범위에 속함은 자명하다.

100 : 게이트 밸브 10 : 밸브 몸체
20 : 유입구 30 : 유출구
40 : 차단판 50 : 제 1 실린더
103 : 제 3 관통홀 117 : 제1통공
118 : 제2통공 180 : 플랜지
200 : 바디 210 : 제1피팅구
220 : 제2피팅구 250 : 제 2 실린더
270 : 제1바이패스관 280 : 제2바이패스관
190 ; 슬릿홈 290 : 실린더챔버
400 : 가스유량조절부 410 : 조절판
420 : 결합부 413 : 표시부
414 : 조절핀

Claims

상부에 유입구가 형성되고, 하부에 유출구가 형성되며 측면이 개구되어 슬라이드 통로가 형성되고, 슬라이드 통로의 상부측에 제1유로공이 형성되고, 하부측에 제2유로공이 형성된 밸브 몸체;
상기 유입구와 상기 유출구 사이의 유로와 수직방향으로 전·후진 이동하며 상기 유로를 개폐하는 차단판;
상기 밸브 몸체의 내부에 위치하여 상기 차단판을 구동시키는 제 1 실린더;
상기 밸브 몸체의 일측에 배치되고 상기 유입구의 압력 가스를 유출구로 이동하도록 우회시키는 바이패스 부재를 구비하여 유입구와 유출구의 압력 차이를 조절하여 차단판의 개방시 급격한 압력 변동을 방지하도록 하는 압력변동 충격방지장치;를 포함하고,
상기 압력변동 충격방지장치는,
상기 밸브 몸체에 결합되는 플랜지가 형성되고 내부에는 차단판이 삽입되는 슬릿홈이 형성되며, 상기 플랜지의 상부에는 밸브 몸체의 제1유로공과 통하는 제1바이패스공이 슬릿홈의 상부에 형성되고, 하부에는 제2유로공과 통하는 제2바이패스공이 형성된 본체;
상기 본체에 형성되고, 상면에 제 3 관통홀이 형성되고, 내부에 가스가 이동하도록 실린더챔버가 형성되며, 상기 실린더챔버와 통하도록 상면에 통공이 형성된 바디;
상기 바디의 상면에 형성된 통공에 각기 연결되며 공압이 주입되는 제1,2피팅구;
상기 바디의 내부 실린더챔버에 삽입되어 제1,2피팅구로부터 유입되는 공압에 의해 개폐 작동하는 제 2 실린더;
상기 제3관통홀에 통하며, 밸브 몸체의 유입구에 통하도록 형성된 제1유로공과 연결되어 가스가 이동하는 제1바이패스관;
상기 바디의 실린더챔버와 통하도록 연결되며 본체의 플랜지에 연결되어 플랜지의 내부 유로와 통하는 제2바이패스관;
을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브에 적용되는 압력변동 충격방지장치.
삭제
제 1항에 있어서,
상기 바디의 상부에 결합되는 조절판과, 상기 조절판을 관통하여 제 3 관통홀에 삽입되며 제1바이패스관과 통하는 제4관통홀이 형성된 결합부로 구성된 가스유량조절부;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브에 적용되는 압력변동 충격방지장치.
제 3항에 있어서,
상기 조절판에 요홈이 형성되고, 요홈의 저면에 눈금을 갖는 표시부가 형성되며,
상기 결합부의 상부에 결합되며 상기 조절판의 눈금을 지시하는 조절핀;
을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브에 적용되는 압력변동 충격방지장치.
제 1항에 있어서,
상기 바디의 실린더챔버는 제3관통홀에 통하는 제1통공이 내부 격벽에 형성되고, 양측에는 제2바이패스관과 통하는 제2통공이 형성된 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브에 적용되는 압력변동 충격방지장치.
제 5항에 있어서,
상기 실린더챔버는
상기 제1통공과 제2통공이 형성된 제1격실과, 제2피팅구와 통하는 제1통로에 형성된 제2격실과, 제1격실과 제2격실에 통하며 제1,2격실보다 작은 직경으로 형성되는 로드홀이 형성되고, 상기 로드홀에 통하며 제1피팅구와 통하도록 하는 제2통로가 형성되어 이루어진 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브에 적용되는 압력변동 충격방지장치.
제 6항에 있어서,
상기 제2실린더는
제1격실에 결합되는 제1실린더 디스크와, 제2격실에 결합되는 제2실린더 디스크 및 제1실린더 디스크와 제2실린더 디스크를 연결하며 로드홀에 결합되는 실린더로드를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브에 적용되는 압력변동 충격방지장치.
제 1항에 있어서,
상기 플랜지는
제2바이패스관과 통하는 유로가 내부에 형성되고, 유로에 통하는 제2바이패스공이 슬릿홈의 하부 외면에 통하도록 형성된 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브에 적용되는 압력변동 충격방지장치.