KR101806331B1 - 밀폐력 증가 구조의 게이트밸브 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 일측에 세정모듈(미도시)과 연결되는 유입관부(110)와, 상기 유입관부(110)로부터 수평방향으로 연장형성되는 유체이동부(120)와, 상기 유체이동부(120)로부터 수직방향으로 연장형성되어 챔버(미도시)와 연결되는 유출관부(130) 및 상기 유체이동부(120)로부터 수평방향으로 연장형성되는 중공관부(140)를 포함하는 밸브하우징(100);과, 상기 중공관부(140)에 구비되되, 중앙에 통과공(210)이 형성되는 실링플레이트(200);와, 상기 밸브하우징(100)의 타측에 결합되는 실린더(300);와, 상기 실린더(300)의 내부로부터 기밀을 유지하면서 결합되어 상기 통과공(210)을 통과하되, 상기 실린더(300)의 구동에 따라 수평이동하는 피스톤(400);과, 상기 중공관부(140)에 구비되되, 상기 피스톤(400)과 연결되어 상기 실린더(300)의 구동에 따라 상기 유체이동부(120)로 이동하여 상기 유입관부(110)를 개폐하는 밸브블레이드(500);로 구성되되, 상기 유체이동부(120)와 중공관부(140)의 경계둘레에는 내측방향으로 단턱부(150)가 돌출형성되고, 상기 밸브블레이드(500)의 타측둘레에는 외측방향으로 폐쇄돌기부(510)가 돌출형성되어, 상기 밸브블레이드(500)가 상기 유입관부(110)를 폐쇄한 상태에서 상기 폐쇄돌기부(510)와 단턱부(150)가 맞닿게 되어 상기 유출관부(130)와 중공관부(140) 사이를 밀폐시키는 것을 특징으로 한다.

Description

밀폐력 증가 구조의 게이트밸브{Gate valves of sealing force increased structure}
본 발명은 밀폐력 증가 구조의 게이트밸브에 관한 것으로서, 일측에 세정모듈(미도시)과 연결되는 유입관부(110)와, 상기 유입관부(110)로부터 수평방향으로 연장형성되는 유체이동부(120)와, 상기 유체이동부(120)로부터 수직방향으로 연장형성되어 챔버(미도시)와 연결되는 유출관부(130) 및 상기 유체이동부(120)로부터 수평방향으로 연장형성되는 중공관부(140)를 포함하는 밸브하우징(100);과, 상기 중공관부(140)에 구비되되, 중앙에 통과공(210)이 형성되는 실링플레이트(200);와, 상기 밸브하우징(100)의 타측에 결합되는 실린더(300);와, 상기 실린더(300)의 내부로부터 기밀을 유지하면서 결합되어 상기 통과공(210)을 통과하되, 상기 실린더(300)의 구동에 따라 수평이동하는 피스톤(400);과, 상기 중공관부(140)에 구비되되, 상기 피스톤(400)과 연결되어 상기 실린더(300)의 구동에 따라 상기 유체이동부(120)로 이동하여 상기 유입관부(110)를 개폐하는 밸브블레이드(500);로 구성되되, 상기 유체이동부(120)와 중공관부(140)의 경계둘레에는 내측방향으로 단턱부(150)가 돌출형성되고, 상기 밸브블레이드(500)의 타측둘레에는 외측방향으로 폐쇄돌기부(510)가 돌출형성되어, 상기 밸브블레이드(500)가 상기 유입관부(110)를 폐쇄한 상태에서 상기 폐쇄돌기부(510)와 단턱부(150)가 맞닿게 되어 상기 유출관부(130)와 중공관부(140) 사이를 밀폐시키는 것을 특징으로 하는 밀폐력 증가 구조의 게이트밸브에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체는 공정밀도를 요구함으로 높은 청결도와 특수한 제조기술이 요구되고 있다.
이러한 이유로 반도체 소자는 공기 중에 포함된 이물질의 접촉을 가장 완벽하게 차단할 수 있는 진공상태에서 제조되며, 반도체 제조장치의 진공 작업구역과 대기와의 밀폐기술도 반도체 제품의 품질에 많은 영향을 준다.
상기와 같은 반도체를 제조하기 위한 공정구간에는 다양한 형상의 게이트밸브가 설치됨으로써 세정모듈을 통과한 크리닝가스를 챔버간 전달하거나 차단하는 기능을 수행하게 된다.
이러한 게이트밸브는 공정챔버와 공정챔버 또는 진동펌프사이의 유입부, 유출부에 각각 결합된 상태에서 유출부 또는 유입부가 상호간 결합되어 실린더의 구동에 따라 밀폐부재가 해당 유입부를 개폐함으로써, 유출부로 가스가 전달되거나 차단되도록 작동된다.
상기와 같은 게이트밸브의 일실시예로 하기 특허문헌 1의 “게이트 밸브를 포함하는 반도체 제조장치(대한민국 공개특허공보 특1998-083833호)”가 게시되어 있다.
상기 특허문헌 1의 “게이트 밸브를 포함하는 반도체 제조장치”는 챔버에 일단부가 연결되는 제1도송관과, 제1도송관의 타단부에 연결되고, 그 인근에 위치하는 실링부를 가지는 게이트밸브와, 실링부의 후측 인근에서 게이트밸브에 연결되는 일단부를 가지는 제2도송관 및 제2도송관의 타단부에 연결되는 진공펌프로 구성되는 것이 특징으로서, 게이트 밸브의 개폐 작동시 백 스트림에 의한 파우더가 챔버 내부로 인입되는 침해를 방지할 수 있다는 장점이 있었다.
그러나, 상기 특허문헌 1의 “게이트 밸브를 포함하는 반도체 제조장치”는 진공펌프의 제2도송관이 밀폐된 상태에서 챔버 내부의 가스압 변화방지, 챔버로의 파우더 유입방지을 위하여 챔버를 개폐하는 헤드의 후측에 벨로우즈를 구성하였으나, 이러한 벨로우즈는 보통 STS(stainless steel) 계열의 소재로 제작됨으로써, 크리닝가스 또는 플라즈마 접촉으로 인해 접촉부위에 파우더가 발생되어 제2도송관이 밀폐된 상태에서 공정진행 시 게이트 밸브 내에 존재하는 파우더가 챔버측으로 유입되어 게이트 밸브의 오작동을 유발시키고, 제품의 불량률을 증가시킨다는 문제점이 있었다.
특허문헌 1 : 대한민국 공개특허공보 특1998-083833호
본 발명은 상술한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 밸브하우징 내의 유체이동부와 중공관부의 경계둘레에 내측방향으로 단턱부가 돌출형성되고, 세정모듈과 연결된 유입관부를 개폐하는 밸브블레이드의 타측둘레에 외측방향으로 폐쇄돌기부를 돌출형성함으로써, 밸브블레이드가 유입관부를 폐쇄한 상태에서 폐쇄돌기부와 단턱부가 맞닿게 되어 챔버와 연결된 유출관부와 중공관부 사이를 밀폐시킴과 동시에 밸브블레이드가 유체이동부 전체를 밀폐함으로써, 단순한 구성을 통해 유입관부의 개폐가 가능하고, 밸로우즈 사용으로 인한 파티클 발생이 없고, 공정 진행시, 공기, 크리닝가스, 기타 화학물질 등의 복합적인 화학작용 등의 이유로 중공관부에 존재가능한 파티클이 유출관부로 유입되는 것을 원천적으로 방지할 수 있는 밀폐력 증가 구조의 게이트밸브를 제공하는 것이다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 밀폐력 증가 구조의 게이트밸브는, 일측에 세정모듈(미도시)과 연결되는 유입관부(110)와, 상기 유입관부(110)로부터 수평방향으로 연장형성되는 유체이동부(120)와, 상기 유체이동부(120)로부터 수직방향으로 연장형성되어 챔버(미도시)와 연결되는 유출관부(130) 및 상기 유체이동부(120)로부터 수평방향으로 연장형성되는 중공관부(140)를 포함하는 밸브하우징(100);과, 상기 중공관부(140)에 구비되되, 중앙에 통과공(210)이 형성되는 실링플레이트(200);와,상기 밸브하우징(100)의 타측에 결합되는 실린더(300);와, 상기 실린더(300)의 내부로부터 기밀을 유지하면서 결합되어 상기 통과공(210)을 통과하되, 상기 실린더(300)의 구동에 따라 수평이동하는 피스톤(400);과, 상기 중공관부(140)에 구비되되, 상기 피스톤(400)과 연결되어 상기 실린더(300)의 구동에 따라 상기 유체이동부(120)로 이동하여 상기 유입관부(110)를 개폐하는 밸브블레이드(500);로 구성되되, 상기 유체이동부(120)와 중공관부(140)의 경계둘레에는 내측방향으로 단턱부(150)가 돌출형성되고, 상기 밸브블레이드(500)의 타측둘레에는 외측방향으로 폐쇄돌기부(510)가 돌출형성되어, 상기 밸브블레이드(500)가 상기 유입관부(110)를 폐쇄한 상태에서 상기 폐쇄돌기부(510)와 단턱부(150)가 맞닿게 되어 상기 유출관부(130)와 중공관부(140) 사이를 밀폐시키는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 유입관부(110)의 내측 하면에는 상기 세정모듈(미도시)을 통해 유입되는 가스가 상기 유출관부(130)로 이동하는 것을 안내하도록 소정의 각도로 경사진 가스이동안내부(111)가 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 밸브블레이드(500)가 상기 중공관부(140)에 위치한 상태에서 상기 단턱부(150)와 상기 밸브블레이드(500)의 외측사이에 이격거리(t)가 형성되도록 상기 밸브블레이드(500)의 지름(d)을 상기 단턱부(150)와 맞닿지 않는 크기로 형성하는 것을 특징으로 한다.
이상, 상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 밸브하우징 내의 유체이동부와 중공관부의 경계둘레에 내측방향으로 단턱부가 돌출형성되고, 세정모듈과 연결된 유입관부를 개폐하는 밸브블레이드의 타측둘레에 외측방향으로 폐쇄돌기부를 돌출형성함으로써, 밸브블레이드가 유입관부를 폐쇄한 상태에서 폐쇄돌기부와 단턱부가 맞닿게 되어 챔버와 연결된 유출관부와 중공관부 사이를 밀폐시킴과 동시에 밸브블레이드가 유체이동부 전체를 밀폐함으로써, 단순한 구성을 통해 유입관부의 개폐가 가능하고, 밸로우즈 사용으로 인한 파티클 발생이 없고, 공정 진행시, 공기, 크리닝가스, 기타 화학물질 등의 복합적인 화학작용 등의 이유로 중공관부에 존재가능한 파티클이 유출관부로 유입되는 것을 원천적으로 방지할 수 있다는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 밀폐력 증가 구조의 게이트밸브의 전체 모습을 보인 사시도
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 밀폐력 증가 구조의 게이트밸브의 구성 중 유입관부가 개방되었을 때의 단면의 모습을 보인 단면도
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 밀폐력 증가 구조의 게이트밸브의 구성 중 유입관부가 폐쇄되었을 때의 단면의 모습을 보인 단면도
이하에서는 첨부된 도면을 참조로 하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 밀폐력 증가 구조의 게이트밸브(1)를 상세히 설명한다. 우선, 도면들 중, 동일한 구성요소 또는 부품들은 가능한 한 동일한 참조부호로 나타내고 있음에 유의하여야 한다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 관한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 모호하지 않게 하기 위하여 생략한다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 밀폐력 증가 구조의 게이트밸브(1)는 크게 밸브하우징(100), 실링플레이트(200), 실린더(300), 피스톤(400), 밸브블레이드(500)으로 구성된다.
설명에 앞서, 본 발명의 밀폐력 증가 구조의 게이트밸브(1)는 세정모듈(미도시)부터 발생되는 크리닝가스의 접촉에 의한 부식 또는 플라즈마 접촉으로 발생될 수 있는 아크(ARC)를 방지하기 위하여 알루미늄 재질(Aluminum bare)로 형성되는 것이 바람직하다.
먼저, 밸브하우징(100)에 대하여 설명한다. 상기 밸브하우징(100)은 도 1 또는 도 2, 3에 나타낸 것과 같이, 일측에 플라즈마 세정모듈(미도시) 또는 진공펌프, 다른 게이트밸브 등과 연결되는 유입관부(110)가 형성된다.
한편, 본 발명에 있어서, 상기 유입관부(110)의 내측 하면에는 도 2 또는 도 3에 나타낸 것과 같이 소정의 각도로 경사진 가스이동안내부(111)가 형성되는 것이 특징으로서, 상기 가스이동안내부(111)는 상기 세정모듈(미도시)을 통해 유입되는 크리닝가스가 챔버(미도시)와 연결된 후술할 상기 유출관부(130)로 이동하는 것을 안내함으로써, 상기 챔버(미도시)에 크리닝가스의 유입을 더욱 원활하게 하는 것을 가능하게 한다.
한편, 상기 밸브하우징(100)의 내측에는 상기 유입관부(110)로부터 수평방향으로 연장형성되어 후술할 밸브블레이드(500)가 이동하는 유체이동부(120)가 형성된다.
이때, 상기 유체이동부(120)는 상기 밸브블레이드(500)가 상기 유입관부(110)를 폐쇄한 상태에서 상기 밸브블레이드(500)에 의해 전체가 밀폐되도록 설계되는 것이 바람직하다.
한편, 본 발명에 있어서, 도 2에 나타낸 것과 같이, 상기 밸브블레이드(500)가 상기 유입관부(110)를 개방한 상태에서 상기 밸브블레이드(500)는 후술할 중공관부(140)로 완전하게 이동되어 상기 유체이동부(120) 전체가 오픈되는 소위, 풀오픈(Full-open) 상태가 되도록 구성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 유체이동부(120)로부터 수직방향으로 직각 또는 소정의 각도를 가지며 연장형성되어 챔버(미도시)와 연결되는 유출관부(130)와, 상기 유체이동부(120)로부터 수평방향으로 연장형성되어 상기 밸브블레이드(500) 및 후술할 실링플레이트(200), 피스톤(400)이 위치되는 중공관부(140)가 각각 형성된다.
한편, 본 발명에 있어서, 상기 유체이동부(120)와 중공관부(140)의 경계둘레에는 도 2 또는 도 3에 나타낸 것과 같이, 상기 밸브하우징(100)의 내측방향으로 단턱부(150)가 돌출형성되는 것이 특징으로서, 상기 단턱부(150)는 후술할 밸브블레이드(500)의 폐쇄돌기부(510)와 접촉됨으로써, 상기 밸브블레이드(500)가 상기 유입관부(110)를 폐쇄한 상태에서 상기 폐쇄돌기부(510)와 단턱부(150)가 맞닿게 되어 상기 유출관부(130)와 중공관부(140) 사이를 보다 정교하게 밀폐시키는 것을 가능하게 한다.
이로 인하여, 상기 밸브블레이드(500)가 상기 유입관부(110)를 폐쇄한 상태에서 공정 진행시, 공기, 크리닝가스, 기타 화학물질 등의 복합적인 화학작용 등의 이유로 상기 중공관부(140)에 존재가능한 파티클이 상기 유출관부(130)로 유입되는 것을 원천적으로 방지함으로써, 게이트밸브의 안정성이 확보된 상태에서 공정이 진행되고, 제품의 불량률을 저하되어 제품의 신뢰도를 확보할 수 있는 것이 가능해 진다.
다음으로, 실링플레이트(200)에 대하여 설명한다. 상기 실링플레이트(200)는 도 2 또는 도 3에 나타낸 것과 같이, 상기 중공관부(140)에 구비되어 후술할 실린더(300)에 압축공기가 유입으로 인한 후술할 피스톤(400)이 구동될 때에 상기 피스톤(400)의 이동범위를 조절하는 구성요소로서, 중앙에 상기 피스톤(400)이 유동되는 공간인 통과공(210)이 통공형성된다.
다음으로, 실린더(300)에 대하여 설명한다. 상기 실린더(300)는 도 2 또는 도 3에 나타낸 것과 같이, 상기 밸브하우징(100)의 타측에 결합되어 상기 피스톤(400)과 연결되고, 상기 피스톤(400)과 연결된 상기 밸브블레이드(500)를 수평이동시킬 수 있도록 공압을 제공하는 구성요소로서, 상기 실린더(300)의 구성은 본 발명이 속하는 분야에서 널리 알려진 수준의 기술수준에 해당하므로, 상세한 설명은 생략한다.
다음으로, 피스톤(400)에 대하여 설명한다. 상기 피스톤(400)은 도 2 또는 도 3에 나타낸 것과 같이, 상기 실린더(300)의 내부로부터 기밀을 유지하면서 결합되어 상기 통과공(210)을 통과하여 상기 밸브블레이드(500)와 결합되는 일종의 샤프트 역할의 구성요소로서, 상기 실린더(300)의 구동에 따라 구동력을 상기 밸브블레이드(500)에 전달하여 상기 밸브블레이드(500)가 수평이동하는 것을 가능하게 한다.
다음으로, 밸브블레이드(500)에 대하여 설명한다. 상기 밸브블레이드(500)는 도 2 또는 도 3에 나타낸 것과 같이, 상기 중공관부(140)에 위치한 상태에서 상기 피스톤(400)과 연결되어 상기 실린더(300)의 구동에 따라 상기 유체이동부(120)로 이동하여 상기 유입관부(110)를 개폐하는 구성요소로서, 상기 밸브블레이드(500)의 타측둘레에는 외측방향으로 폐쇄돌기부(510)가 돌출형성된다.
이로 인하여, 상기 밸브블레이드(500)가 상기 유입관부(110)를 폐쇄한 상태에서, 상기 폐쇄돌기부(510)와 단턱부(150)가 맞닿게 되어 상기 유출관부(130)와 중공관부(140) 사이를 보다 정교하게 밀폐시키는 것을 가능하게 한다.
한편, 상기 밸브블레이드(500)의 일측에는 제1 탄성부재(600)가 안착되도록 제1 안착홈(520)이 함몰형성됨으로써, 상기 밸브블레이드(500)가 상기 유입관부(110)를 폐쇄시, 상기 제1 탄성부재(600)로 인해 상기 유입관부(110)의 타측과 상기 밸브블레이드(500)의 일측 사이의 밀폐력이 증가되는 것을 가능하게 한다.
또한, 상기 폐쇄돌기부(510)의 일측에는 제2 탄성부재(700)가 안착되도록 제2 안착홈(530)이 함몰형성됨으로써, 상기 밸브블레이드(500)가 상기 유입관부(110)를 폐쇄시, 상기 제2 탄성부재(700)로 인해 상기 단턱부(150)의 타측과 상기 폐쇄돌기부(510)의 일측 사이의 밀폐력이 증가되는 것을 가능하게 한다.
또한, 상기 밸브블레이드(500)의 타측에는 제3 탄성부재(800)가 안착되도록 제3 안착홈(540)이 함몰형성됨으로써, 상기 밸브블레이드(500)가 상기 유입관부(110)를 개방시, 상기 제3 탄성부재(800)로 인해 상기 밸브블레이드(500)의 타측과 상기 실링플레이트(200)의 일측 사이를 간섭하여 부재간 충돌을 방지하는 것을 가능하게 한다.
한편, 본 발명에 있어서, 도 2에 나타낸 것과 같이, 상기 밸브블레이드(500)가 상기 중공관부(140)에 위치한 상태에서 상기 단턱부(150)와 상기 밸브블레이드(500)의 외측사이에 이격거리(t)가 형성되도록 상기 밸브블레이드(500)의 지름(d)을 상기 단턱부(150)와 맞닿지 않는 크기로 형성함으로써, 상기 밸브블레이드(500)가 상기 유입관부(110)을 개방한 상태에서 상기 중공관부(140)에 존재가능한 파티클이 상기 이격거리(t) 사이로 방출되어 상기 유입관부(110)로 인입되는 크리어가스와 함께 상기 챔버(미도시)로 이동하여 상기 챔버(미도시)의 세정작업시 상기 챔버(미도시) 내부의 다른 이물질 등과 함께 상기 챔버(미도시) 외부로 씻겨 나가는 것을 가능하게 한다.
도면과 명세서에서 최적 실시 예들이 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
1: 밀폐력 증가 구조의 게이트밸브
100: 밸브하우징 110: 유입관부
111: 가스이동안내부 120: 유체이동부
130: 유출관부 140: 중공관부
150: 단턱부
200: 실링플레이트 210: 통과공
300: 실린더
400: 피스톤
500: 밸브블레이드 510: 폐쇄돌기부
520: 제1 안착홈 530: 제2 안착홈
540: 제3 안착홈
600: 제1 탄성부재
700: 제2 탄성부재
800: 제3 탄성부재
d: 밸브블레이드의 지름
t: 밸브블레이드의 외측과 단턱부 사이의 거리

Claims (3)

  1. 일측에 세정모듈(미도시)과 연결되는 유입관부(110)와, 상기 유입관부(110)로부터 수평방향으로 연장형성되는 유체이동부(120)와, 상기 유체이동부(120)로부터 수직방향으로 연장형성되어 챔버(미도시)와 연결되는 유출관부(130) 및 상기 유체이동부(120)로부터 수평방향으로 연장형성되는 중공관부(140)를 포함하는 밸브하우징(100);
    상기 중공관부(140)에 구비되되, 중앙에 통과공(210)이 형성되는 실링플레이트(200);
    상기 밸브하우징(100)의 타측에 결합되는 실린더(300);
    상기 실린더(300)의 내부로부터 기밀을 유지하면서 결합되어 상기 통과공(210)을 통과하되, 상기 실린더(300)의 구동에 따라 수평이동하는 피스톤(400);
    상기 중공관부(140)에 구비되되, 일측에 제1 탄성부재(600)가 안착되도록 제1 안착홈(520)이 함몰형성되고, 상기 피스톤(400)과 연결되어 상기 실린더(300)의 구동에 따라 상기 유체이동부(120)로 이동하여 상기 유입관부(110)를 개폐하는 밸브블레이드(500);로 구성되되,
    상기 유체이동부(120)와 중공관부(140)의 경계둘레에는 내측방향으로 단턱부(150)가 돌출형성되고,
    상기 밸브블레이드(500)의 타측둘레에는 외측방향으로 폐쇄돌기부(510)가 돌출형성되며,
    상기 폐쇄돌기부(510)의 일측에는 제2 탄성부재(700)가 안착되도록 제2 안착홈(530)이 함몰형성되어,
    상기 밸브블레이드(500)가 상기 유입관부(110)를 폐쇄시 상기 유입관부(110)의 타측둘레면에 상기 제1 탄성부재(600)가 맞닿게 되고, 상기 단턱부(150)의 타측면에 상기 제2 탄성부재(700)가 맞닿게 되어 상기 유출관부(130)와 중공관부(140) 사이를 이중으로 밀폐시키는 것을 특징으로 하는 밀폐력 증가 구조의 게이트밸브(1).
  2. 청구항 제1항에 있어서,
    상기 유입관부(110)의 내측 하면에는 상기 세정모듈(미도시)을 통해 유입되는 가스가 상기 유출관부(130)로 이동하는 것을 안내하도록 소정의 각도로 경사진 가스이동안내부(111)가 형성되는 것을 특징으로 하는 밀폐력 증가 구조의 게이트밸브(1).
  3. 청구항 제2항에 있어서,
    상기 밸브블레이드(500)가 상기 중공관부(140)에 위치한 상태에서 상기 단턱부(150)와 상기 밸브블레이드(500)의 외측사이에 이격거리(t)가 형성되도록 상기 밸브블레이드(500)의 지름(d)을 상기 단턱부(150)와 맞닿지 않는 크기로 형성하는 것을 특징으로 하는 밀폐력 증가 구조의 게이트밸브(1).
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