JP2001324051A - Ｌ型真空バルブ - Google Patents
Ｌ型真空バルブInfo
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- JP2001324051A JP2001324051A JP2000144849A JP2000144849A JP2001324051A JP 2001324051 A JP2001324051 A JP 2001324051A JP 2000144849 A JP2000144849 A JP 2000144849A JP 2000144849 A JP2000144849 A JP 2000144849A JP 2001324051 A JP2001324051 A JP 2001324051A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】縦方向の排気口３と横方向の排気口４とを開閉
するＬ型真空弁において、バイパス配管やそれに属する
開閉バルブを不要にし複数の機能動作が一つのバルブで
行う。 【解決手段】真空排気の排気口３，４を開閉する機能と
は別に排気口経路をバイパスする排気抵抗の大きく小さ
な連通穴６をバルブ本体に内蔵させることによって、従
来のようにバイパス配管や開閉バルブが不要となり、真
空排気装置がより小型化を図る。
するＬ型真空弁において、バイパス配管やそれに属する
開閉バルブを不要にし複数の機能動作が一つのバルブで
行う。 【解決手段】真空排気の排気口３，４を開閉する機能と
は別に排気口経路をバイパスする排気抵抗の大きく小さ
な連通穴６をバルブ本体に内蔵させることによって、従
来のようにバイパス配管や開閉バルブが不要となり、真
空排気装置がより小型化を図る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空容器を真空ポ
ンプで真空排気する際に、排気系統を切り換える真空バ
ルブに関し、特に、縦方向と横方向に排気口の排気経路
を遮断したり開通したりするＬ型真空バルブに関する。
ンプで真空排気する際に、排気系統を切り換える真空バ
ルブに関し、特に、縦方向と横方向に排気口の排気経路
を遮断したり開通したりするＬ型真空バルブに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の製造においては、真空中で
処理する工程が多々ある。例えば、半導体基板であるウ
ェハに薄膜を形成する工程では、減圧された真空容器内
にウェハを収納し化学気相成長法により窒化膜を形成し
ていた。
処理する工程が多々ある。例えば、半導体基板であるウ
ェハに薄膜を形成する工程では、減圧された真空容器内
にウェハを収納し化学気相成長法により窒化膜を形成し
ていた。
【０００３】また、ウェハを真空室に収納し、真空室を
真空排気する場合、真空室内に残留する塵が舞い上がり
ウェハに塵が付着しないように、最初の排気を除徐に行
うスロ−排気を行い塵を舞い上がらせない方法で対処し
ていた。
真空排気する場合、真空室内に残留する塵が舞い上がり
ウェハに塵が付着しないように、最初の排気を除徐に行
うスロ−排気を行い塵を舞い上がらせない方法で対処し
ていた。
【０００４】図５は従来の一例における真空排気系統を
示す図である。塵の舞い上がりを抑制する真空排気系統
は、例えば、図５に示すように、真空排気用のポンプと
直結する主配管から分岐するバイパス配管３０にスロ−
排気ユニットを設けている。そして、このスロ−排気ユ
ニットはスロ−排気用バルブ２８と排気口を絞るニ−ド
ル弁２９とを備えている。
示す図である。塵の舞い上がりを抑制する真空排気系統
は、例えば、図５に示すように、真空排気用のポンプと
直結する主配管から分岐するバイパス配管３０にスロ−
排気ユニットを設けている。そして、このスロ−排気ユ
ニットはスロ−排気用バルブ２８と排気口を絞るニ−ド
ル弁２９とを備えている。
【０００５】この真空排気系統によって真空室を真空排
気するには、まず、主配管に連結される本排気用バルブ
２７を閉じ、バイパス配管３０のスロ−排気用バルブを
開き、ニ−ドル弁２９を介してポンプで真空室を真空排
気する。このとき、バイパス配管には、ニ−ドル弁２９
があるので、ポンプの排気容量は抑えられ、真空室はゆ
っくりと減圧される。そして、ある程度減圧されると、
スロ−排気用バルブ２８は閉じ、本排気用バルブ２７が
開きポンプで直接真空室を真空排気し、真空室は所定の
真空度になるこのように、真空室を大気から徐々に減圧
し真空室内の塵が舞い上がらないようにスロ−排気を行
っていた。
気するには、まず、主配管に連結される本排気用バルブ
２７を閉じ、バイパス配管３０のスロ−排気用バルブを
開き、ニ−ドル弁２９を介してポンプで真空室を真空排
気する。このとき、バイパス配管には、ニ−ドル弁２９
があるので、ポンプの排気容量は抑えられ、真空室はゆ
っくりと減圧される。そして、ある程度減圧されると、
スロ−排気用バルブ２８は閉じ、本排気用バルブ２７が
開きポンプで直接真空室を真空排気し、真空室は所定の
真空度になるこのように、真空室を大気から徐々に減圧
し真空室内の塵が舞い上がらないようにスロ−排気を行
っていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述した真空排気系統
では、主配管とは別にバイパス配管を設けなければなら
ないことと、さらに、バイパス配管に開閉弁と絞り弁と
をバイパス配管途中に配設しなければならず、真空排気
装置が大掛かりなるという欠点がある。
では、主配管とは別にバイパス配管を設けなければなら
ないことと、さらに、バイパス配管に開閉弁と絞り弁と
をバイパス配管途中に配設しなければならず、真空排気
装置が大掛かりなるという欠点がある。
【０００７】特に、半導体装置の製造においては、連続
自動化が進み、この種の装置を並べて配置して装置間の
ウェハの搬送を簡略化するといった方法が採られてい
る。しかしながら、種々の配管や開閉バルブを具備する
真空排気装置の床面積が大きく、装置間を有効に配置す
ることができなくなるという問題がある。
自動化が進み、この種の装置を並べて配置して装置間の
ウェハの搬送を簡略化するといった方法が採られてい
る。しかしながら、種々の配管や開閉バルブを具備する
真空排気装置の床面積が大きく、装置間を有効に配置す
ることができなくなるという問題がある。
【０００８】また、各配管に配設される開閉バルブの数
が多くなり、バルブシ−ケンス動作が複雑になる。そし
て、これらバルブシ−ケンスにおいては、バルブが完全
に開いたかあるいは完全に閉じたかの確認のためのイン
タ−ロックが必要になる。このため、例えば、空圧作動
のバルブにおいては、エアシリンダのピストンロッドを
エアシリンダの外に伸ばし、伸ばされたピストンロッド
の移動位置を確認するセンサを設けて、開閉バルブの開
閉を確認していた。
が多くなり、バルブシ−ケンス動作が複雑になる。そし
て、これらバルブシ−ケンスにおいては、バルブが完全
に開いたかあるいは完全に閉じたかの確認のためのイン
タ−ロックが必要になる。このため、例えば、空圧作動
のバルブにおいては、エアシリンダのピストンロッドを
エアシリンダの外に伸ばし、伸ばされたピストンロッド
の移動位置を確認するセンサを設けて、開閉バルブの開
閉を確認していた。
【０００９】このように、各開閉バルブに開閉確認のセ
ンサを取り付けることと開閉バルブの数が多いことが起
因しバルブシ−ケンスの動作不具合がしばしば起きる。
このバルブ動作の不具合により、真空室内に汚染分質を
逆流させ、ウェハを汚染させ多量の不良品を発生させる
という問題がある。
ンサを取り付けることと開閉バルブの数が多いことが起
因しバルブシ−ケンスの動作不具合がしばしば起きる。
このバルブ動作の不具合により、真空室内に汚染分質を
逆流させ、ウェハを汚染させ多量の不良品を発生させる
という問題がある。
【００１０】従って、本発明の目的は、バイパス配管や
それに属する開閉バルブを不要にし複数の機能動作が一
つのバルブで行い得るとともにバルブ開閉シ−ケンスに
よる不具合が生じないＬ型真空バルブを提供することに
ある。
それに属する開閉バルブを不要にし複数の機能動作が一
つのバルブで行い得るとともにバルブ開閉シ−ケンスに
よる不具合が生じないＬ型真空バルブを提供することに
ある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、縦方向
と横方向に排気口を有するとともに前記縦方向の排気口
の内側に形成される平坦な面の弁座と該弁座の周囲から
前記縦方向に垂直に伸びる内壁部とが形成されかつ前記
縦方向の排気口と前記横方向の排気口とを連通する連通
穴が前記内壁部に形成されるバルブハウジングと、前記
弁座の開口を気密に塞ぐバルブディスクを先端にもつと
ともに前記ハウジング内を縦方向に移動するピストンロ
ッドと、前記内壁部に気密に摺動する前記バルブディス
クの側面に配設されるシ−ル部材と、前記バルブディス
クにより前記弁座の開口を塞いだりまたは前記バルブデ
ィスクを前記連通穴より縦方向に離間させたりあるいは
前記内壁部から前記バルブディスクを離脱させ前記バル
ブハウジング内に停留させたりするバルブディスクの位
置制御手段とを備えるＬ型真空バルブである。
と横方向に排気口を有するとともに前記縦方向の排気口
の内側に形成される平坦な面の弁座と該弁座の周囲から
前記縦方向に垂直に伸びる内壁部とが形成されかつ前記
縦方向の排気口と前記横方向の排気口とを連通する連通
穴が前記内壁部に形成されるバルブハウジングと、前記
弁座の開口を気密に塞ぐバルブディスクを先端にもつと
ともに前記ハウジング内を縦方向に移動するピストンロ
ッドと、前記内壁部に気密に摺動する前記バルブディス
クの側面に配設されるシ−ル部材と、前記バルブディス
クにより前記弁座の開口を塞いだりまたは前記バルブデ
ィスクを前記連通穴より縦方向に離間させたりあるいは
前記内壁部から前記バルブディスクを離脱させ前記バル
ブハウジング内に停留させたりするバルブディスクの位
置制御手段とを備えるＬ型真空バルブである。
【００１２】また、前記連通穴を絞るニ−ドル弁を備え
ることが望ましい。一方、前記位置制御手段は、前記縦
方向の前後に接続される二つのシリンダ室と前段の前記
シリンダ室内を気密に前後に移動し得るとともに前記ピ
ストンロッドと一体化された前段のピストンロッドと後
段のシリンダ室の後段のピストンロッドを具備する空圧
シリンダを備えている。
ることが望ましい。一方、前記位置制御手段は、前記縦
方向の前後に接続される二つのシリンダ室と前段の前記
シリンダ室内を気密に前後に移動し得るとともに前記ピ
ストンロッドと一体化された前段のピストンロッドと後
段のシリンダ室の後段のピストンロッドを具備する空圧
シリンダを備えている。
【００１３】一方、他の前記バルブディスクの位置制御
手段は、モ−タの回転運動を直線運動に変換される運動
変換機構を備え、前記三つのバルブディスク位置制御を
前記モ−タの回転および停止で行うことを特徴としてい
る。そして、この場合の前記運動変換機構は、前記モ−
タにより回転するピニオンと、該ピニオンと噛み合うラ
ックが形成され前記ピストンロッドと一体化される駆動
軸とを備えることが望ましい。また、前記縦方向に移動
する前記駆動軸の位置を検出するセンサを備えることが
望ましい。
手段は、モ−タの回転運動を直線運動に変換される運動
変換機構を備え、前記三つのバルブディスク位置制御を
前記モ−タの回転および停止で行うことを特徴としてい
る。そして、この場合の前記運動変換機構は、前記モ−
タにより回転するピニオンと、該ピニオンと噛み合うラ
ックが形成され前記ピストンロッドと一体化される駆動
軸とを備えることが望ましい。また、前記縦方向に移動
する前記駆動軸の位置を検出するセンサを備えることが
望ましい。
【００１４】
【発明の実施の形態】次に、本発明について図面を参照
して説明する。
して説明する。
【００１５】図１は本発明の一実施の形態におけるＬ型
真空バルブを示す断面図である。
真空バルブを示す断面図である。
【００１６】このＬ型真空バルブは、図１に示すよう
に、縦方向と横方向に排気口３および４を有するととも
に縦方向の排気口３の内側に形成される平坦な面の弁座
９とこの弁座９の周囲から縦方向に垂直に伸びる内壁部
８とが形成されかつ縦方向の排気口３と横方向の排気口
４とを連通する連通穴６が内壁部８に形成されるバルブ
ハウジング１と、弁座９の開口１９を気密に塞ぐバルブ
ディスク２を先端にもつとともにバルブハウジング１内
を縦方向に移動するピストンロッド１１と、内壁部８に
気密に摺動するバルブディスクの側面に配設されるシ−
ル１２と、バルブディスク２により前記弁座９の開口１
９を塞いたりまたはバルブディスク２を連通穴６より縦
方向に離間させたりあるいは内壁部８から離脱させバル
ブディスク２をバルブハウジング１内に停留させたりす
るバルブディスクの位置制御機構１０とを備えている。
に、縦方向と横方向に排気口３および４を有するととも
に縦方向の排気口３の内側に形成される平坦な面の弁座
９とこの弁座９の周囲から縦方向に垂直に伸びる内壁部
８とが形成されかつ縦方向の排気口３と横方向の排気口
４とを連通する連通穴６が内壁部８に形成されるバルブ
ハウジング１と、弁座９の開口１９を気密に塞ぐバルブ
ディスク２を先端にもつとともにバルブハウジング１内
を縦方向に移動するピストンロッド１１と、内壁部８に
気密に摺動するバルブディスクの側面に配設されるシ−
ル１２と、バルブディスク２により前記弁座９の開口１
９を塞いたりまたはバルブディスク２を連通穴６より縦
方向に離間させたりあるいは内壁部８から離脱させバル
ブディスク２をバルブハウジング１内に停留させたりす
るバルブディスクの位置制御機構１０とを備えている。
【００１７】また、縦方向の排気口３と横方向の排気口
４と通ずるバイパスラインを形成する連通穴６は、穴自
体が小さく大きな流量抵抗をもっているので、除除に排
気するスロ−排気させる機能をもっている。しかし、真
空室の容積の大小や真空ポンプの排気能力を考慮し最適
に開口２０の開度を調節する必要があるので、開口２０
の開度を絞るニ−ドル弁５を設けることが望ましい。
４と通ずるバイパスラインを形成する連通穴６は、穴自
体が小さく大きな流量抵抗をもっているので、除除に排
気するスロ−排気させる機能をもっている。しかし、真
空室の容積の大小や真空ポンプの排気能力を考慮し最適
に開口２０の開度を調節する必要があるので、開口２０
の開度を絞るニ−ドル弁５を設けることが望ましい。
【００１８】一方、バルブディスク２の位置制御機構１
０は、第１のエアシリンダ９ａと第２のエアシリンダと
組合せた複合エアシリンダである。これらエアシリンダ
９ａおよび９ｂには、シリンダ内を空圧により上下に移
動するシリンダディスク１４ａおよび１４ｂが備えられ
ている。
０は、第１のエアシリンダ９ａと第２のエアシリンダと
組合せた複合エアシリンダである。これらエアシリンダ
９ａおよび９ｂには、シリンダ内を空圧により上下に移
動するシリンダディスク１４ａおよび１４ｂが備えられ
ている。
【００１９】また、シリンダディスク１４ａの両面から
ピストンロッド１１が突出している。さらに、第２のエ
アシリンダ９ｂのシリンダディスク１４ｂから突出する
ピストンロッド１３は、片面のみである。このシリンダ
ディスク１４ａ，１４ｂの上下移動は、ポ−ト１５，１
６および１７，１８への圧縮空気の供給あるいは排気す
る電磁弁の動作によって行われる。
ピストンロッド１１が突出している。さらに、第２のエ
アシリンダ９ｂのシリンダディスク１４ｂから突出する
ピストンロッド１３は、片面のみである。このシリンダ
ディスク１４ａ，１４ｂの上下移動は、ポ−ト１５，１
６および１７，１８への圧縮空気の供給あるいは排気す
る電磁弁の動作によって行われる。
【００２０】なお、このバルブディスク２の位置制御機
構の動作については後述するが、簡単に述べると、第１
のエアシリンダ９ａを動作させ、弁座９にバルブディス
ク２を当接させ縦方向の排気口３と通ずる開口１９を塞
ぐ動作と、図１に示すように、第１のエアシリンダ９ａ
を動作させ、ピストンロッド１１に連結されるバルブデ
ィスク２を弁座９から離間するようにピストンロッド１
１を上げ、排気口３と排気口４を連通する大きな穴を遮
断し、バイパス通気経路である連通穴６を介して排気口
３と排気口４と通ずる動作とを含んでいる。
構の動作については後述するが、簡単に述べると、第１
のエアシリンダ９ａを動作させ、弁座９にバルブディス
ク２を当接させ縦方向の排気口３と通ずる開口１９を塞
ぐ動作と、図１に示すように、第１のエアシリンダ９ａ
を動作させ、ピストンロッド１１に連結されるバルブデ
ィスク２を弁座９から離間するようにピストンロッド１
１を上げ、排気口３と排気口４を連通する大きな穴を遮
断し、バイパス通気経路である連通穴６を介して排気口
３と排気口４と通ずる動作とを含んでいる。
【００２１】この動作は、バルブディスク２の位置が、
連通穴６より稍上になるように確実にしなければならな
いので、第２のエアシリンダ９ｂのピストンロッド１３
の先端が第１のエアシリンダ９ａのピストンロッド１１
の後端が当接するように第２のエアシリンダ９ｂを動作
させることが必要である。
連通穴６より稍上になるように確実にしなければならな
いので、第２のエアシリンダ９ｂのピストンロッド１３
の先端が第１のエアシリンダ９ａのピストンロッド１１
の後端が当接するように第２のエアシリンダ９ｂを動作
させることが必要である。
【００２２】この位置制御機構１０には、上述した二つ
の動作とは別にもう一つ動作がある。この動作は、排気
口３と排気口４と通ずるようにすることである。この動
作は、二つのエアシリンダ９ａ，９ｂのシリンダディス
ク１４ａ，１４ｂが突き当て面７ａ，７ｂに当接するよ
うにエアシリンダ９ａと９ｂを動作させることである。
の動作とは別にもう一つ動作がある。この動作は、排気
口３と排気口４と通ずるようにすることである。この動
作は、二つのエアシリンダ９ａ，９ｂのシリンダディス
ク１４ａ，１４ｂが突き当て面７ａ，７ｂに当接するよ
うにエアシリンダ９ａと９ｂを動作させることである。
【００２３】図２は図１のＬ型真空バルブが閉じた状態
を示す断面図、図３は 図１のＬ型真空バルブが開いた
状態を示す断面図である。次にＬ型真空バルブの動作に
ついて説明する。まず、排気口４と接続する真空室を真
空排気しない状態から開始する。例えば、真空室にウェ
ハを収納する場合がある。
を示す断面図、図３は 図１のＬ型真空バルブが開いた
状態を示す断面図である。次にＬ型真空バルブの動作に
ついて説明する。まず、排気口４と接続する真空室を真
空排気しない状態から開始する。例えば、真空室にウェ
ハを収納する場合がある。
【００２４】この真空排気しない状態は、図２に示すよ
うに、第１のエアシリンダ９ａのシリンダディスク１４
ａは、ポ−ト１６から供給される空気圧力により下方に
移動する。このシリンダディスク１４ａの下降に伴って
バルブディスク２が下降し、バルブディスク２は内壁部
８に挿入される。そして、シ−ル１２によって気密を保
ちながら内壁部８を摺動し、バルブディスク２は弁座９
に当接し排気口３の開口１９を閉じる。
うに、第１のエアシリンダ９ａのシリンダディスク１４
ａは、ポ−ト１６から供給される空気圧力により下方に
移動する。このシリンダディスク１４ａの下降に伴って
バルブディスク２が下降し、バルブディスク２は内壁部
８に挿入される。そして、シ−ル１２によって気密を保
ちながら内壁部８を摺動し、バルブディスク２は弁座９
に当接し排気口３の開口１９を閉じる。
【００２５】なお、この状態では、排気口３と接続する
真空ポンプが作動しても、排気口４と接続する真空室は
排気されない。また、バイパスラインである連通穴６も
バルブディスク２の上の位置にあるので、排気口３と排
気口４とは連通しないので、この連通穴６からは、真空
室は排気されない。
真空ポンプが作動しても、排気口４と接続する真空室は
排気されない。また、バイパスラインである連通穴６も
バルブディスク２の上の位置にあるので、排気口３と排
気口４とは連通しないので、この連通穴６からは、真空
室は排気されない。
【００２６】次に、真空室を除除に真空排気するスロ−
排気について説明する。このスロ−排気状態は、図１に
示すように、図２に示したバルブディスク２を上昇さ
せ、連通穴６が排気口３側に露呈させる。このことによ
り排気口４に接続された真空室は、連通穴６を通して排
気される。
排気について説明する。このスロ−排気状態は、図１に
示すように、図２に示したバルブディスク２を上昇さ
せ、連通穴６が排気口３側に露呈させる。このことによ
り排気口４に接続された真空室は、連通穴６を通して排
気される。
【００２７】なお、真空室内の塵が舞い上がらないよう
に、真空室の容積および真空ポンプの排気能力を考慮
し、連通穴６の開口２０の開度をニ−ドル弁５で前もっ
て調節することが望ましい。また、バルブディスク２の
位置を確実にするために、第２のシリンダ９ｂのシリン
ダディスク１４ｂをポ−ト１８から供給される空気圧に
より下降させ、ピストンロッド１３の先端を第１のエア
シリンダ９ａのピストンロッド１１の後端に当接する必
要がある。
に、真空室の容積および真空ポンプの排気能力を考慮
し、連通穴６の開口２０の開度をニ−ドル弁５で前もっ
て調節することが望ましい。また、バルブディスク２の
位置を確実にするために、第２のシリンダ９ｂのシリン
ダディスク１４ｂをポ−ト１８から供給される空気圧に
より下降させ、ピストンロッド１３の先端を第１のエア
シリンダ９ａのピストンロッド１１の後端に当接する必
要がある。
【００２８】真空室と排気口３側との圧力差が無くなっ
たとき、図３に示すように、第１のエアシリンダ９ａの
ポ−ト１５および第２のエアシリンダ９ｂのポ−ト１７
に圧縮空気を供給し、シリンダ ディスク１４ａおよび
シリンダディスク１４ｂを突き当て面７ａおよび７ｂに
当接させる。このことにより、バルブディスク２は内壁
部８から離脱し、排気口３と排気口４との間にあるバル
ブハウジング１の空間部にバルブディスク２は停留す
る。排気口３と排気口４とは連通する。そして、真空室
は直接真空ポンプで排気される 。
たとき、図３に示すように、第１のエアシリンダ９ａの
ポ−ト１５および第２のエアシリンダ９ｂのポ−ト１７
に圧縮空気を供給し、シリンダ ディスク１４ａおよび
シリンダディスク１４ｂを突き当て面７ａおよび７ｂに
当接させる。このことにより、バルブディスク２は内壁
部８から離脱し、排気口３と排気口４との間にあるバル
ブハウジング１の空間部にバルブディスク２は停留す
る。排気口３と排気口４とは連通する。そして、真空室
は直接真空ポンプで排気される 。
【００２９】図４は本発明の他の実施の形態におけるＬ
型真空バルブを示す断面図である。このＬ型真空バルブ
は、バルブディスク２の位置制御機構を、前述の複合エ
アシリンダの代わりに、図４に示すように、駆動モ−タ
２２の回転運動を直線運動に変換するラックピニオン変
換機構を備え、三つのバルブディスク２位置制御を駆動
モ−タ２２の回転および停止で行うことことである。
型真空バルブを示す断面図である。このＬ型真空バルブ
は、バルブディスク２の位置制御機構を、前述の複合エ
アシリンダの代わりに、図４に示すように、駆動モ−タ
２２の回転運動を直線運動に変換するラックピニオン変
換機構を備え、三つのバルブディスク２位置制御を駆動
モ−タ２２の回転および停止で行うことことである。
【００３０】このラックピニオン変換機構は、駆動モ−
タ２２により回転するピニオンギヤ２３と、ピニオンギ
ヤ２３と噛み合うピストンロッド１１と一体化された駆
動軸２１のラックギヤ部２６とを備えるている。駆動軸
２１は、バルブハウジング１内に駆動シ−ル２４により
気密に移動できる構造になっている。
タ２２により回転するピニオンギヤ２３と、ピニオンギ
ヤ２３と噛み合うピストンロッド１１と一体化された駆
動軸２１のラックギヤ部２６とを備えるている。駆動軸
２１は、バルブハウジング１内に駆動シ−ル２４により
気密に移動できる構造になっている。
【００３１】一方、駆動軸２１のラックギヤ部の背面に
あるタ−ゲット（図示せず）を検出する上限センサ２５
ａおよび中間センサ２５ｂ並びに下限センサ２５ｃがポ
−ルに取り付けられ、バルブディスク２２の位置を検出
し、駆動モ−タの回転・停止を制御を行っている。例え
ば、下限センサ２５ｃがタ−ゲットを検出したら、この
位置で駆動軸２１の移動を停止させ、バルブディスク２
を弁座９に当接させ排気口３の開口１９を閉じる。
あるタ−ゲット（図示せず）を検出する上限センサ２５
ａおよび中間センサ２５ｂ並びに下限センサ２５ｃがポ
−ルに取り付けられ、バルブディスク２２の位置を検出
し、駆動モ−タの回転・停止を制御を行っている。例え
ば、下限センサ２５ｃがタ−ゲットを検出したら、この
位置で駆動軸２１の移動を停止させ、バルブディスク２
を弁座９に当接させ排気口３の開口１９を閉じる。
【００３２】また、バルブディスク２が連通穴６より稍
上の位置、すなわち、スロ−排気のときは、中間センサ
２５ｂがタ−ゲットを検知する。さらに、排気口３と排
気口４とが連通するとき、すなわち、バルブが開いたと
き、上限センサ２５ａがタ−ゲットを検知する。
上の位置、すなわち、スロ−排気のときは、中間センサ
２５ｂがタ−ゲットを検知する。さらに、排気口３と排
気口４とが連通するとき、すなわち、バルブが開いたと
き、上限センサ２５ａがタ−ゲットを検知する。
【００３３】このモ−タを利用したバルブディスク２の
位置制御機構は、前述の複合エアシリンダを利用したバ
ルブディスクの位置制御機構に比べ、エアシリンダへの
圧縮空気への供給切り替えに必要な電磁弁やエアシリン
ダへの空気配管が不要となり、バルブの周囲が簡素化さ
れ、よりコンパックとになるという利点がある。
位置制御機構は、前述の複合エアシリンダを利用したバ
ルブディスクの位置制御機構に比べ、エアシリンダへの
圧縮空気への供給切り替えに必要な電磁弁やエアシリン
ダへの空気配管が不要となり、バルブの周囲が簡素化さ
れ、よりコンパックとになるという利点がある。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、真空排気
の排気口を開閉する機能とは別に排気口経路をバイパス
する排気抵抗の大きく小さな連通穴をバルブ本体に内蔵
させることによって、従来のようにバイパス配管や開閉
バルブが不要となり、真空排気装置がより小型化し設備
コストが低減できるという効果がある。
の排気口を開閉する機能とは別に排気口経路をバイパス
する排気抵抗の大きく小さな連通穴をバルブ本体に内蔵
させることによって、従来のようにバイパス配管や開閉
バルブが不要となり、真空排気装置がより小型化し設備
コストが低減できるという効果がある。
【００３５】また、連通穴や排気口の開閉を一つバルブ
ディスクの三つの位置を変えることによって行えるの
で、複数の開閉バルブでシ−ケンス制御で行っていたバ
ルブ制御による不具合が無くなり、設備稼働率が向上す
るという効果もある。
ディスクの三つの位置を変えることによって行えるの
で、複数の開閉バルブでシ−ケンス制御で行っていたバ
ルブ制御による不具合が無くなり、設備稼働率が向上す
るという効果もある。
【図１】本発明の一実施の形態におけるＬ型真空バルブ
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図２】図１のＬ型真空バルブが閉じた状態を示す断面
図である。
図である。
【図３】図１のＬ型真空バルブが開いた状態を示す断面
図である。
図である。
【図４】本発明の他の実施の形態におけるＬ型真空バル
ブを示す断面図である。
ブを示す断面図である。
【図５】従来の一例における真空排気系統を示す図であ
る。
る。
１ バルブハウジング ２ バルブディスク ３，４ 排気口 ５ ニ−ドル弁 ６ 連通穴 ７ａ，７ｂ 突き当て面 ８ 内壁部 ９ａ 第１のエアシリンダ ９ｂ 第２のエアシリンダ １０ 位置制御機構 １１ ピストンロッド １２ シ−ル １４ａ，１４ｂ シリンダディスク １９，２０ 開口 ２１ 駆動軸 ２２ 駆動モ−タ ２３ ピニオンギヤ ２５ａ 上限センサ ２５ｂ 中間センサ ２５ｃ 下限センサ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3H056 AA01 AA02 AA05 BB32 CA01 CB02 CD04 GG02 GG14 3H062 AA02 AA05 AA13 BB30 CC01 DD03 EE06 FF07 HH06 3H065 AA01 AA04 BA01 BA05 BA07 BB11 BC13 3H066 AA01 AA04 BA17 BA38
Claims (6)
- 【請求項１】 縦方向と横方向に排気口を有するととも
に前記縦方向の排気口の内側に形成される平坦な面の弁
座と該弁座の周囲から前記縦方向に垂直に伸びる内壁部
とが形成されかつ前記縦方向の排気口と前記横方向の排
気口とを連通する連通穴が前記内壁部に形成されるバル
ブハウジングと、前記弁座の開口を気密に塞ぐバルブデ
ィスクを先端にもつとともに前記ハウジング内を縦方向
に移動するピストンロッドと、前記内壁部に気密に摺動
する前記バルブディスクの側面に配設されるシ−ル部材
と、前記バルブディスクにより前記弁座の開口を塞いだ
りまたは前記バルブディスクを前記連通穴より縦方向に
離間させたりあるいは前記内壁部から前記バルブディス
クを離脱させ前記バルブハウジング内に停留させたりす
るバルブディスクの位置制御手段とを備えることを特徴
とするＬ型真空バルブ。 - 【請求項２】 前記連通穴を絞るニ−ドル弁を備えるこ
とを特徴とする請求項１記載のＬ型真空バルブ。 - 【請求項３】 前記位置制御手段は、前記縦方向の前後
に接続される二つのシリンダ室と前段の前記シリンダ室
内を気密に前後に移動し得るとともに前記ピストンロッ
ドと一体化された前段のピストンロッドと後段のシリン
ダ室の後段のピストンロッドを具備する空圧シリンダを
備えることを特徴とする請求項１または請求項２記載の
Ｌ型真空バルブ。 - 【請求項４】 前記位置制御手段は、モ−タの回転運動
を直線運動に変換される運動変換機構を備え、前記三つ
のバルブディスク位置制御を前記モ−タの回転および停
止で行うことを特徴とする請求項１記載のＬ型真空バル
ブ。 - 【請求項５】 前記運動変換機構は、前記モ−タにより
回転するピニオンと、該ピニオンと噛み合うラックが形
成され前記ピストンロッドと一体化される駆動軸とを備
えることを特徴とする請求項４記載のＬ型真空バルブ。 - 【請求項６】 前記縦方向に移動する前記駆動軸の位置
を検出するセンサを備えることを特徴とする請求項４ま
たは請求項５記載のＬ型真空バルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000144849A JP2001324051A (ja) | 2000-05-17 | 2000-05-17 | Ｌ型真空バルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000144849A JP2001324051A (ja) | 2000-05-17 | 2000-05-17 | Ｌ型真空バルブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001324051A true JP2001324051A (ja) | 2001-11-22 |
Family
ID=18651438
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000144849A Pending JP2001324051A (ja) | 2000-05-17 | 2000-05-17 | Ｌ型真空バルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001324051A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012525962A (ja) * | 2009-05-06 | 2012-10-25 | デュール システムズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 流体バルブ、具体的には塗装システム用の戻りバルブ |
| KR101524635B1 (ko) * | 2015-03-20 | 2015-06-03 | 주식회사 켄텍 | 리크 저감용 패킹을 사용한 축열식 소각로 포핏 밸브 및 그것을 사용한 축열식 소각로 |
| KR20200002304U (ko) * | 2019-04-10 | 2020-10-21 | 주식회사 테라텍 | 진공 게이트 밸브에 적용되는 압력변동 충격방지장치 |
| KR102211686B1 (ko) * | 2019-11-06 | 2021-02-03 | 주식회사 오토마 | 모듈식 위생용 유량 조절 글로브 밸브 |
-
2000
- 2000-05-17 JP JP2000144849A patent/JP2001324051A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012525962A (ja) * | 2009-05-06 | 2012-10-25 | デュール システムズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 流体バルブ、具体的には塗装システム用の戻りバルブ |
| US9782786B2 (en) | 2009-05-06 | 2017-10-10 | Durr Systems Gmbh | Fluid valve, in particular a return valve for a painting system |
| US10302215B2 (en) | 2009-05-06 | 2019-05-28 | Dürr Systems GmbH | Fluid valve, in particular a return valve for a painting system |
| KR101524635B1 (ko) * | 2015-03-20 | 2015-06-03 | 주식회사 켄텍 | 리크 저감용 패킹을 사용한 축열식 소각로 포핏 밸브 및 그것을 사용한 축열식 소각로 |
| KR20200002304U (ko) * | 2019-04-10 | 2020-10-21 | 주식회사 테라텍 | 진공 게이트 밸브에 적용되는 압력변동 충격방지장치 |
| KR200492543Y1 (ko) | 2019-04-10 | 2020-11-04 | 주식회사 테라텍 | 진공 게이트 밸브에 적용되는 압력변동 충격방지장치 |
| KR102211686B1 (ko) * | 2019-11-06 | 2021-02-03 | 주식회사 오토마 | 모듈식 위생용 유량 조절 글로브 밸브 |
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|---|---|---|---|
| RD01 | Notification of change of attorney |
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