KR100715919B1

KR100715919B1 - 단일 샤프트, 2 중 블레이드 진공 슬롯 밸브 및 그 구현방법

Info

Publication number: KR100715919B1
Application number: KR1020010015704A
Authority: KR
Inventors: 토니알. 크뢰커; 그레고리에이. 토마시
Original assignee: 램 리써치 코포레이션
Priority date: 2000-03-30
Filing date: 2001-03-26
Publication date: 2007-05-08
Also published as: JP4871452B2; US6601824B2; TW486554B; US20020096656A1; US6564818B2; KR20010095017A; JP2002009125A; US20020070371A1; US6390448B1

Abstract

프로세스 모듈 및 전송 모듈과 같은 인접한 진공 챔버 사이의 진공 바디에 단일 슬롯 밸브 샤프트가 있다. 개별 밸브는 2 개의 밸브 바디 슬롯의 각각에 대해 단일 샤프트 액추에이터 상에 제공되고, 각 바디 슬롯은 단일 샤프트의 위치에 따라 폐쇄되거나 개방된다. 개별 밸브는 인접한 프로세스 모듈이 대기중에 개방되어 서비스하는 동안에 전송 모듈에 진공 상태가 유지되도록 한다. 단일 샤프트는 개방 밸브를 서비스하기 위해 드라이브 운동을 제한하고 밸브를 개방 위치로 유지하는 정지의 방법으로 개방 밸브에 액세스하도록 하지만, 수직으로 이격되지 않게 하여 각 밸브에 대해 위치하도록 한다. 개방 밸브는 서비스 제공자가 장갑을 끼고 용이하게 접근할 수 있다. 단일 샤프트는 제 1 크래들에 탑재되고, 제 1 크래들은 제 2 크래들에 탑재된다. 2 개의 개별 샤프트 드라이브는 2 개의 크래들을 이동시켜 하나의 슬롯을 개방하고 다른 하나의 슬롯을 폐쇄하도록 슬롯들 사이에 밸브를 위치시키도록 단일 샤프트를 위치시킨다. 또 다른 개별 샤프트 드라이브는 단일 샤프트를 개방 위치로부터 수직으로 하강시키고 슬롯으로부터 이격되게 하여 세정을 위해 슬롯 둘레의 봉합 면을 노출한다.

Description

단일 샤프트, 2 중 블레이드 진공 슬롯 밸브 및 그 구현방법{SINGLE SHAFT, DUAL BLADE VACUUM SLOT VALVE AND METHOD FOR IMPLEMTING THE SAME}

도1은, 1개의 반송모듈에 복수의 처리모듈이 접속된 종래의 일반적인 반도체처리용 클러스터공구장치로서, 1개의 처리모듈 또는 반송모듈에 1개의 밸브도어가 설치되어 이들 처리모듈과 반송모듈이 작용함에 있어 그들 중 어느 1개가 닫혀지도록 된 것을 나타낸 개념도,

도2는, 서로 인접하는 반송모듈과 처리모듈 사이에 각각 본 발명에 따른 1축 양날개형 슬롯밸브가 설치된 것으로, 2개의 밸브도어가 반송모듈과 처리모듈 사이에 형성된 밸브하우징의 진공부내에 배치되어 그들 중 선택된 모듈만 작용하기 위해서는 그 선택된 것만 닫혀지도록 된 것을 나타낸 도면,

도3은, 서로 마주보는 벽체에 의해 구획된 폭을 가진 밸브하우징과 웨이퍼가 반송모듈에서 처리모듈로 반송할 수 있게 각 벽체에 형성된 슬롯을 가진 본 발명에 따른 1축 양날개형 슬롯밸브의 평면도로서, 선택된 모듈이 작용을 하고 있는 동안 다른 모듈 내에서는 계속 작용이 이루어지도록 샤프트가 동작함으로써 1개의 슬롯이 2개의 밸브도어 중 하나에 의해 선택적으로 닫혀지도록 된 것을 나타낸 도면,

도4a는, 1축 양날개형 슬롯밸브의 제1밸브도어와 제2밸브도어 각각의 동작을 제어하는 콘트롤러를 나타낸 개략도로서, 콘트롤러가 1축 양날개형 슬롯밸브를 조작하는 데에 사용하는 컴퓨터워크스테이션과 연결된 상태를 나타낸 도면,

도4b는, 1축 양날개형 슬롯밸브의 제1밸브도어와 제2밸브도어 각각의 동작을 쉽게 제어할 수 있도록 콘트롤러에 설치되는 3개의 스위치를 나타낸 도면,

도5는, 샤프트가 제2크레들 위에 설치되고서 이 제2크레들이 제1크레들 위에 설치된 구조의 본 발명에 따른 1축 양날개형 슬롯밸브의 종단면도로서, 제1크레들과 제2크레들에 갖춰진 모터가 각각 밸브도어를 "열림"과 "닫힘"위치로 이동시키고 있는 상태를 나타낸 도면,

도6a는, 본 발명에 따른 1축 양날개형 슬롯밸브에서의 2개의 밸브도어가 샤프트부재에 의해 "열림"과 "위"의 위치에 위치하도록 구동되는 상태를 나타낸 개략종단면도,

도6b는, 도6a와 같은 개략종단면도로서, 1축 양날개형 슬롯밸브의 왼쪽 밸브도어가 다른 밸브도어의 작용이 쉬워지도록 "닫힘"과 "위"의 위치에 있도록 된 것을 나타낸 도면,

도6c는, 도6a 및 도6b와 같은 개략종단면도로서, 1축 양날개형 슬롯밸브의 양 밸브도어가 슬롯밸브의 작용이 쉬워지도록 "아래"와 "열림"위치에 있도록 된 것을 나타낸 도면,

도6d는, 1축 양날개형 슬롯밸브의 오른쪽 밸브도어가 다른 밸브도어의 작용이 쉬워지도록 "닫힘"과 "위"의 위치에 있도록 된 것을 나타낸 도면이다.

본 발명은 일반적으로 반도체 프로세싱 장치의 모듈용 밸브에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 2 개의 크래들판 상에 탑재되고 양 슬롯 밸브를 지지하는 액추에이터 및 그러한 밸브를 반도체 프로세싱 설비의 개별 챔버들 사이에 설치하는 방법에 관한 것으로, 슬롯의 봉합 면에 대한 특정 밸브의 폐쇄에 있어, 봉합 면에 대해 특정 밸브에 연직적 이동을 제공하도록 하나의 크래들의 하나 이상의 피봇이 특정 밸브의 탑재 면과 수직으로 배열되고, 다른 챔버의 서비스 동안 하나의 챔버에서 동작이 계속될 수도 있고, 반도체 프로세싱 장치가 다중 챔버 진공 시스템일 수도 있다.
반도체 디바이스의 제조에 있어, 기판 또는 웨이퍼가 예를 들어, 인터페이싱된 챔버들 사이에서 반송되도록 다중 프로세스 챔버는 인터페이싱 된다. 그런 반송은 예를 들어, 인터페이싱된 챔버의 인접한 벽면에 제공되는 슬롯 또는 포트를 통하여 웨이퍼를 이동시키는 반송 모듈을 경유한다. 예를 들어, 통상적으로 반송 모듈은 반도체 에칭 시스템, 물질 증착 시스템 및 평판 디스플레이 에칭 시스템을 포함할 수도 있는 다양한 기판 프로세싱 모듈들과 연결되어 사용된다. 청결 및 고도의 프로세싱 정밀성의 증가하는 수요에 따라, 프로세싱 단계들 사이 및 동안 인간의 상호작용의 양을 감소시킬 필요가 증가해 왔다. 이러한 필요성은 (통상적으로 감압상태 즉, 진공 상태로 유지되는) 중개 핸들링 장치로서 동작하는 반송 모듈의 설치로써 부분적으로 충족되었다. 예를 들어, 반송 모듈은 물리적으로 기판이 저장되는 하나 이상의 클린룸저장소설비와 기판이 실제로 프로세싱 즉, 에칭되거나 또는 기판상에 증착이 수행되어지는 다중 기판 프로세싱 모듈 사이에 위치될 수도 있다. 이러한 방식으로, 기판이 프로세싱되어야 하는 경우에, 반송 모듈 내에 위치된 로봇팔이 저장소로부터 선택된 기판을 추출하도록 사용되어 선택된 기판을 다중 프로세싱 모듈중의 하나로 위치시킬 수도 있다.
당업자에게 잘 알려진 바와 같이, 다중 저장소 설비 사이에서 기판을 "반송" 하는 반송 모듈 및 프로세싱 모듈의 배열은 "클러스터 툴 구조" 시스템이라 한다. 도 1 은 반송 모듈 (106) 과 인터페이싱하는 다양한 챔버를 예시하는 통상적인 반도체 프로세스 클러스터 툴 구조 (100) 를 도시한다. 반송 모듈 (106) 은 3 개의 다양한 조립 프로세스들을 수행하도록 독립적으로 최적화되었을 프로세싱 모듈 (108a 내지 108c) 과 연결된 것으로 도시된다. 예를 들어, 프로세싱 모듈 (108a 내지 108c) 이 구현되어, 트랜스포머 결합 플라즈마 (TCP) 기판 에칭, 증착, 및/또는 스퍼터링을 수행한다.
반송 모듈 (106) 로 기판을 주입하도록 설치될 수도 있는 로드 록 (104) 이 반송 모듈 (106) 에 접속된다. 로드 록 (104) 은 기판이 저장되는 클린룸 (102) 에 연결될 수도 있다. 추출 및 제공 메커니즘에 덧붙여, 로드 록 (104) 은 반송 모듈 (106) 과 클린룸 (102) 사이의 압력변환 인터페이스로서의 역할 또한 한다. 따라서, 클린룸 (102) 이 대기압으로 유지되는 반면, 반송 모듈 (106) 은 상압력 (예를 들어, 진공) 으로 유지될 수도 있다. 압력 변환 이행 도중 모듈들 사이의 누설을 방지하기 위해, 즉 프로세싱 동안 프로세싱 모듈을 반송 모듈 (106) 으로부터 봉합하기 위해 다양한 방식의 게이트 드라이브 밸브가 다양한 모듈들을 격리시키기 위해 사용된다.

게이트 드라이브 밸브에 대한 그 외의 정보는 첨부된 미합중국 특허공보 제 4721282 호를 참조하여 얻을 수 있다. 그러한 또다른 게이트 드라이브 밸브는 미합중국 특허공보 제 5667197 에 종래 기술 밸브 하우징이 2 개의 포트 개구를 가지고 2 개의 포트 개구의 하나에 대해 오직 하나의 밸브만을 가지는 것으로 도시된다. 따라서, 조합 밸브를 가지지 않는 포트를 폐쇄하는 것은 불가능하다. 또한, 제 4721282 호의 게이트판 밸브는 인접한 반송 챔버와 프로세스 챔버 사이의 포트를 폐쇄하는 것으로 도시된다. 게이트 판용 드라이브 어셈블리는 내부 포트의 봉합 또는 폐쇄 효과를 주기 위해 하나의 연속된 동작으로 다양한 경로로 내부 포트를 향해 회전 아크로 게이트 판을 이동시킨다.
미합중국 특허공보 제 5150882 호는 감압 챔버와 에칭 챔버를 포함하는 처리 시스템의 다양한 챔버들 사이의 하나의 밸브를 도시한다. 그러한 하나의 밸브는 하나의 에어 실린더 및 토글 장치에 의한 게이트 개구와의 연계 및 비연계하도록 구동되어, 스토퍼 판이 충격으로 롤러에 부딪힌다. 피팅 플레이트의 초기 수직 이동은 반시계방향으로 회전하는 링크에 의해 횡방향 이동으로 변경되어, 게이트는 게이트 개구 방향으로 이동한다. 제 5150882 호는 종래기술의 문제점을 피하기 위해, 스토퍼 판은 더블 붕소 강화 합금으로 만들어졌다. 또한, 롤러에 스토퍼 판이 밀착한 후에, 하나의 에어 실린더의 단일 움직임이 멈추어 지지 않고, 대신에 구동 동작을 계속한다. 따라서, 특별한 물질을 요구하는 것에 덧붙여, 제 5150882 호는 인접한 프로세싱 챔버들 사이에 2 개의 밸브를 제공하지 않는다.
클러스터 툴 구조 시스템용 다른 밸브는 각 2 개의 밸브에 대한 개별 액추에이터를 포함하고, 이는 밸브 액추에이션 하우징의 너비를 증가시키기 쉽고, 또는 그러한 너비를 감소하려고 시도하는 경우, 액추에이터에 의해 힘이 인가되는 위치를 제한하게 되기 쉽다. 또한 그러한 밸브는 2 개의 개별 액추에이터의 각각에 대한 개별 벨로스 (bellows) 를 요구한다. 그러한 벨로스의 비용이 상당하기 때문에 (예를 들어, 2000년도 미화 800 달러 내지 1000 달러의 범위), 2 개의 벨로스를 요구하는 것은 무리이다. 또한, 그러한 개별 액추에이터 각각은 통상적으로 개별 기압 실린더에 의해 구동되고, 이는 2 개의 밸브의 각각에 하나의 개별 엑추에이터가 요구되는 경우 또한 비용을 증가시킨다.
클러스터 툴 구조 시스템용 또다른 밸브는 하나의 엑추에이터 탑재용 피봇을 하나 가지는 하나의 크래들을 포함하고, 하나의 피봇은 하나의 엑추에이터에 의해 지지되는 2 개의 밸브 모두의 밸브 봉합 면에 배열되도록 이동불가능하다.
상술한 바를 보면, 필요한 것은 인접한 프로세스 챔버들 또는 반송 챔버들 사이의 밸브 어셈블리이며, 밸브 어셈블리는 이중 밸브에 대해 하나의 샤프트를 가지므로, 따라서 하나의 벨로스를 제거함으로써 어셈블리의 비용을 감소하게 되고, 하나의 샤프트는 2 개의 피봇형으로 탑재된 크래들 상에 탑재되고, 하나의 크래들의 하나 이상의 피봇이 슬롯의 봉합 면에 대한 특정 밸브의 폐쇄에 있어 특정 밸브에 봉합 면을 향한 연직 움직임을 제공하도록 특정 밸브의 탑재 면과 수직으로 배열되고, 2 개의 엑추에이터 이중 밸브의 공압 드라이브의 하나는 제거되고, 그러한 하나의 챔버에서의 동작은 예를 들어 다른 챔버에서 수행되는 서비스 동안 계속될 수도 있다.

삭제

대체로, 본 발명은, 반송 챔버 및 프로세스 챔버와 같은 인접한 챔버들 또는 모듈들 사이의 하우징의 양면 슬롯 밸브를 지지하는 단일 샤프트를 제공함으로써 이러한 필요들을 충족시킨다. 개별 선택된 폐쇄 및 개방 밸브는 예를 들어, 다른 포트가 개방상태로 유지있는 동안 선택적으로 폐쇄될 수도 있는, 프로세스 챔버에 인접한 하나의 하우징 포트 또는 반송 챔버에 인접한 하나의 하우징 포트와 같은, 2 개의 밸브 하우징 포트 또는 슬롯의 각각에 대해 제공된다. 예를 들어, 선택적으로 폐쇄된 밸브는 예를 들어, 인접한 프로세스 챔버가 대기중에 개방되어 서비스가 수행되도록 하는 동안 반송 챔버내에 진공상태를 용이하게 유지한다. 따라서, 프로세스 챔버를 서비스한 후 반송 챔버를 소정의 진공으로 가져가기 위한 펌프다운 사이클이 불필요하고, 프로세스 챔버의 서비스로 인하여 반송 챔버 상에 다른 동작이 불필요하므로 상당한 주기의 다운타임을 회피하게 된다.
또한, 반송 챔버로의 밸브가 닫힌 상태로써 반송 챔버를 진공으로 하고, 개방된 프로세스 챔버로부터의 (부서진 웨이퍼와 같은) 부스러기의 통로는 프로세스 챔버로의 개방 밸브에 의해 막혀질 수도 있으므로 그러한 부스러기는 반송 챔버를 오염시키지 않는다. 따라서, 통상적으로, 부식된 후의 서비스 동안에 프로세스 챔버에 이웃한 밸브 도어만이 교체될 필요가 있고, 반송 챔버는 그러한 교체 동안 진공상태로 유지될 수도 있다.
또한, 양면 슬롯 밸브는 개방 밸브 상에 서비스를 수행하도록 처음에는 하나 또는 모든 개방 밸브로 쉽게 액세스하도록 하는 반면 이러한 장점들을 제공한다. 그러한 쉬운 액세스는 제 1 크래들 상에 탑재되는 제 1 드라이브에 의해 동작되고, 제 2 크래들 상에 탑재되는 제 2 및 제 3 드라이브에 의해 동작되는 단일 샤프트에 의해 제공된다. 하나의 밸브를 폐쇄하기 위해, 제 1 드라이브는 제 1 크래들을 회전하도록 수축되고, 제 2 드라이브는 제 1 크래들 상의 제 2 크래들을 회전하도록 신장된다. 제 1 및 제 2 드라이브는 하나의 밸브가 폐쇄되고 다른 하나의 밸브가 개방되면서 정지하지만, 측면으로부터 이격 (즉 수직으로 이격되지 않음) 되지 않고 각 포트에 대하여 위치한다. 양 밸브가 모두 서비스 되어야 하는 경우, 제 1 드라이브 및 제 2 드라이브는 양 크래들을 모두 위치시키도록 정지될 때까지 신장되어, 단일 샤프트를 개방-샤프트 위치의 중심에 유지하고 각 밸브의 개방 위치를 유지하게 된다. 이 개방-샤프트 위치에서 개방 밸브 또는 밸브들은 서비스 제공자가 장갑 낀 손으로 접근할 수도 있다.
제 3 드라이브는 단일 샤프트를 이동시키도록 기능할 수도 있고, 양 밸브 모두가 측면으로부터 (예를 들어, 아래쪽으로) 개방 위치로부터 떨어지고 각 포트로부터 떨어지게 이동하도록 한다. 아래방향으로 이동된 개방 밸브는 포트 둘레의 봉합 면을 노출하여, 예를 들어, 봉합 면을 세정하도록 한다. 아래쪽으로 이동된 밸브와 (일반적으로 덮개에 의해 폐쇄된) 액세스 개구와의 수직 거리로 인하여, 수직 이동 이후 서비스를 위한 서비스제공자의 보호 장갑이 접근하기가 통상적으로 어렵다. 그러나, 아래쪽으로 움직인 위치에서 밸브는 도어가 봉합하는 면을 포함하여, 밸브 도어 둘레를 세정하는 능력을 방해하지 않는다.
또한, 예를 들어 인접한 반송 챔버와 프로세스 챔버 사이의 밸브 하우징에 의해 점유되는 클린룸 공간을 축소하기 위해 양 슬롯 밸브 도어 모두에 대해 단 하나의 샤프트만이 제공된다. 또한, 그러한 하나의 샤프트는 슬롯 밸브 도어의 중앙 위치의 각 슬롯 밸브 도어에 힘을 인가하여, 이는 슬롯 밸브 도어가 폐쇄되도록 유지하는 데 요구되는 힘을 감소시킬수 있다. 또한, 단 하나의 샤프트에는, 2 개의 엑추에이터를 가지므로 2 개의 벨로스를 요구하는 밸브 어셈블리에 비해 단 하나의 벨로스만이 요구된다.
또한, 2 개의 크래들판 상에 탑재되고 양면 슬롯 밸브를 지지하는 단일 샤프트로써, 하나의 크래들의 하나 이상의 피봇은 특정 밸브의 탑재 면에 대해 수직으로 배열되고 슬롯의 봉합 면에 대해 특정 밸브의 폐쇄에 있어 봉합 면을 향한 특정 밸브의 연직 움직임을 제공한다.
2 개의 인접한 챔버들 중 하나의 챔버에서 정상 동작이 계속되는 동안, 2 개의 챔버들 중 다른 하나에서 다양한 방식의 서비스가 수행될 수도 있다. 그러한 서비스는 예를 들어, 웨이퍼의 부서진 조각들의 제거, 포트의 봉합 면의 세정, 챔버 내부의 세정, 및 봉합 면과 봉합에 영향을 미치는 밸브 구성요소 (예를 들어, 도어 또는 O 링) 의 교체 및 제거를 포함한다. 그러한 챔버가 반도체 프로세싱에서 정상 동작 상태를 유지하는 이러한 동작 및 다른 동작은 이하에서 "서비스" 라고 한다.
본 발명의 다른 양태 및 장점들은 첨부하는 도면과 연계되고, 본 발명의 실시예를 예시함으로써 후술하는 상세한 설명으로부터 명백해진다.
반도체 프로세스 클러스터 툴 구조의 하나의 모듈에서 다른 모듈에서 서비스가 이루어지는 동안 동작이 계속될 수도 있는 발명을 설명한다. 반도체 프로세싱 장치의 모듈용 밸브, 및 더욱 자세하게는 양면 슬롯 밸브를 가진 단일 밸브 샤프트의 표현으로 설명되고, 반도체 프로세싱 장치의 개별 모듈들 사이에 이러한 밸브들을 설치하는 방법으로 설명된다. 그러나 당업자에게는 이러한 상세한 세부사항의 일부 또는 전부를 제외하고도 본 발명이 실시될 수 있다는 것은 명백하다. 다른 실시예에서, 공지된 동작은 본 발명을 불명확하게 하지 않기 위해 상세히 설명되지 않았다.
도 2 를 참조하여, 본 발명은 반송 모듈 (202) 및 프로세스 모듈 (206) 을 가지는 반도체 프로세스 클러스터 툴 구조 (200) 을 포함하는 것으로 통상적으로 설명되고, 양면 슬롯 밸브 (204) 가 반송 모듈 (202) 및 프로세스 모듈 (206) 의 인접한 것들 사이에 위치된다. 도 2 를 평면도라고 한다면, 구조가 차지하는 공간은 반송 모듈 (202), 프로세스 모듈 (206), 및 양면 슬롯 밸브 (204) 의 결합된 바닥 영역에 의해서 규정된다. 반송 모듈 (202) 및 프로세스 모듈 (206) 의 바닥 영역이 모듈 (202, 204 및 206) 이 동작하도록 서로 밀봉되어 있는 방식이 아닌 방식으로써 앞서 지시되었을 수도 있다고 이해될 수도 있다. 독립 양면 슬롯 밸브 (204) 는 모듈 (202 및 206) 이 동작하도록 서로 밀봉되어 있는 방식을 규정하고, 각 독립 양면 슬롯 밸브 (204) 는 클러스터 툴 구조 (200) 가 차지하는 공간을 감소하는데 있어 중요하게 된다. 따라서 각 독립 양면 슬롯 밸브 (204) 가 차지하는 공간을 감소시키기 위해, 각 독립 양면 슬롯 밸브 (204) 의 너비 (W) 를 가능한 많이 감소하는 것이 중요하다.
도 3 은 클러스터 툴 구조 (200) 의 두개의 모듈들 사이에 위치된 밸브 진공 바디 (또는 하우징) 을 포함하는 본 발명의 양면 슬롯 밸브 (204) 의 하나를 도시한다. 도시된 대로, 2 개의 모듈들은 반송 모듈 (202) 및 프로세스 모듈 (206) 중의 하나이고, 밸브 진공 바디 (212) 는 클러스터 툴 구조 (200) 의 임의의 2 개의 모듈들 사이에 위치될 수도 있다. 밸브 진공 바디 (212) 는 반대쪽 벽면 (214) 에 의하여 규정된 너비 (W) 를 가진다. 반송 모듈 (202) 에 가장 인접한 각 벽면 (214) 의 면이 "TM 면" 이라고 불리울 수도 있는 반면에, 프로세스 모듈 (206) 에 가장 인접한 각 벽면 (214) 의 면은 "PM 면" 이라고 불리울 수도 있다. 밸브 진공 바디 (212) 는 반대쪽 벽면 단 (216) 에 의해 규정되는 길이 (L) 를 가지고, 너비 (W) 와 길이 (L) 의 곱은 독립 양면 슬롯 밸브 (204) 가 차지하는 공간을 규정한다.
포트 (또는 슬롯 또는 개구) (218) 는 예를 들어, 하나의 모듈과 다른 모듈 사이에서 웨이퍼 (도시되지 않음) 가 반송되도록 하는 각 벽면 (214) 에 제공된다. 도 3 에 도시된 바와 같이, 그러한 하나의 모듈은 반송 모듈 (202) 이고, 그러한 다른 모듈은 프로세스 모듈 (206) 이며, 슬롯 (218P) 은 프로세스 모듈 (206) 에 인접하고, 슬롯 (218T) 는 반송 모듈 (206) 에 인접하다. 각 슬롯 (218) 은 직사각형근사형태이고, 각 슬롯 (218) 를 폐쇄하는데 제공되는 도어 (또는 사이드 도어 ; 222) 의 직사각형근사형태의 각 치수보다 작다. 도어 (222) 및 슬롯 (218) 의 경우에서, 코너는 둥글고, 따라서 각 직사각형 형태는 "직사각형근사형태" 라 한다. 각 도어 (222) 는 바디 (212) 의 대면하는 벽면 (214) 의 대면하는 봉합 면 (226) 을 덮는 봉합 주변부 (224) 를 가진다. 봉합 주변부 (224) 에 도어 (222) 가 후술하는 폐쇄 위치에 있을 경우 진공-밀착 또는 가스-밀착 봉합을 제공하기 위해 봉합 면 (226) 에 대해 압착되는 O-링 (228) 과 같은 봉합 장치가 제공될 수도 있다. 대신, 봉합 장치는 도어 (222) 에 가황처리될 수도 있고, 또는 교체가능한 봉합을 가지는 다른 방식의 봉합 장치가 사용될 수도 있다. 벽면 (214) 의 도어 (222-2) 는 반송 모듈 (202) 와 프로세스 모듈 (25) 사이의 압력 봉합을 형성한다. 이 방식에서, 예를 들어, TM 면이 정상 진공 레벨 (예를 들어, 80 ~ 100 mTorr) 로 유지되는 동안, PM 면은 대기중으로 배기될 수도 있다. 또한, 밸브 (204) 는 또한 프로세스 모듈 (206) 이 진공에 있는 경우 반송 모듈 (204) 이 배기되고, 또는 반송 모듈 (204) 이 진공 레벨인 동안 프로세스 모듈 (206) 이 배기되도록 설계된다.
도 3 에서 도시된 바와 같이, 도어 (222-1) 로 설명되고, 우측에 예로서 도시된 도어 (222) 의 하나에 대해, 단일 샤프트 어셈블리 (232) 의 동작에 있어 각 슬롯 (218P) 는 선택적으로 폐쇄될 수도 있다. 단일 샤프트 어셈블리 (232) 의 사용은 프로세스 모듈 (206) 이, 예를 들어 서비스되는 동안, 예를 들어 반송 모듈 (202) 내에서 연속된 동작을 허락한다. 따라서, 선택된 하나의 반송 모듈 (202) 및 프로세스 모듈 (206) 만이 그중 선택된 하나의 서비스를 가능케 하기 위해 닫혀져야 할 필요가 있다. 단일 샤프트 어셈블리 (232) 의 발동의 하나의 결과는 도 3 에 도시된 바, 도어 (222) 를 폐쇄 위치 또는 개방 위치에 위치시키는 것이다. X 축은 도어 (222) 가 폐쇄 위치로부터 개방 위치로 이동하는 경로를 따른 다소 정확한 경로를 지정한다. 개방 위치에서, 도어 (222) 는 도어 (222) 와 벽면 (214) 사이의 공간 (234) 를 규정한다. 액추에이터 (232) 의 다른 방식의 발동은 도어 (222) 를 하향 또는 상향 위치에 위치시키는 것이고, 그 위치는 도 3 의 Z 축을 따른다.
도 4a 는 반송 모듈 (202), 프로세스 모듈 (206), 및 양면 슬롯 밸브 (204) 의 하나를 도시한다. 제어기 (402) 는 밸브 (204) 에 접속되고 도어 (222-1 및 222-2) 를 제어하도록 단일 샤프트 어셈블리 (232) 의 동작을 포함하여 밸브 (204) 의 동작을 제어한다. 제어기 (402) 는 컴퓨터 워크스테이션 또는 툴-내장 제어기에 접속된다. 제어기 (402) 는 전자 유닛 (406) 을 통하여 밸브 (204) 와 인터페이싱한다. 도 4b 는 스위치 (408, 410, 및 412) 의 시리즈가 제공된 전자 유닛 (406) 의 상부를 도시하고, 스위치 (408, 410, 및 412) 각각은 도어 (222) 의 개방 및 폐쇄 위치로의 이동을 제어하고, 도어 (222) 의 하향 및 상향 위치로의 이동을 제어하고, 모듈 (202 및 206) 의 어떤 것 (예를 들어, 프로세스 모듈 (206) 은 "PM" ; 및 반송 모듈 (202) 는 "TM") 이 서비스될지 선택한다. 제어기 (402) 와 슬롯 밸브 (204) 사이에서 반송되는 신호 (414) 의 예는 "도어 개방" 및 "도어 폐쇄" 이다.
단일 샤프트 어셈블리 (232) 는 도 5 에 도시되고, 도 6a 내지 도 6d 는 2 개의 도어 (222-1 및 222-2) 의 후술한 이동을 뒷받침한다. 도 6b 를 참조하여, 폐쇄 도어 (222-1) 의 이동은 도 6a 에 도시된 개방위치의 좌측이다. 도 6d 에 도시된 바, 폐쇄 도어 (222-2) 의 이동은 도 6a 에 도시된 개방 위치의 우측이다. 각 도어 (222) 의 봉합 주변부 (224) 가 각 슬롯 (218) 을 폐쇄하도록 바디 (212) 의 봉합 면 (226) 으로 접근함에 따라, 폐쇄된 도어 (222) 의 탑재 면 (222M) 은 봉합 면 (26) 을 향하여 실질적으로 연직으로 이동한다. 따라서, X 축은 벽면 (214) 의 평면에 대해, 그리고 봉합 면 (224) 및 탑재 면 (222M) 의 평면에 대해 연직근사하게 도시된다. 후술하는 바와 같이, 단일 샤프트 어셈블리 (232) 는 그러한 실질적으로 연직인 이동을 제공하기 위해 도어 (222) 에 대해 위치된 크래들 축 (CL 및 CR) 상에 탑재된다. 도 6a 내지 6d 도어 (222-1 및 222-2) 의 경로가 비록 크래들 축 (CL 및 CR) 에 대해 조금 정확하다고 해도, 아크의 반경은 충분히 크므로, 도어 (222) 의 개방 위치는 바디 (212) 의 사이드 벽면 (214) 로 및 로부터 연직이라고 할 수도 있다. 개방 위치에서 도어 (222) 는 각 도어 (222) 와 각 벽면 (214) 사이의 공간 (234) 을 규정한다. 도어 (222) 가 개방 위치에 있는 경우, 서비스를 위한 밸브 (204) 로의 쉬운 액세스가 상술한 바대로 제공되었다. 수직으로 하향이 아닌 (즉, 측면으로 이격되지 않은) 위치인 도 6a 에 도시된 개방 및 상향 위치에서 밸브 (204) 에 초기의 쉬운 액세스를 제공하는 것의 장점은, 바디 (212) 로부터 덮개 (236) 가 제거되는 경우 서비스하도록 개방 및 상향 위치에서 밸브 (204) 의 도어 (222)서비스 제공자의 장갑낀 손 (도시되지 않음) 에 의해 접근되어질 수도 있다는 것이다.
Z 축은 상술한 수직, 또는 측, 방향 또는 이격에 대응하고, 또한 도 5, 및 도 6a 내지 도 6d 에 도시된다. Z 축은 도어 (222) 가 슬롯 (218) 에 대해 상향 및 하향 위치로 이동하는 단일 샤프트 어셈블리 (232) 를 따른 축이다. 도 6a 를 도 6d 와 비교하면, Z 축의 이동, 상세하게는, 수직으로부터 (도 6a) 도 6b 및 도 6c 에 도시된, 예를 들어, 수직에 대해 각 (TR 및 TL) 으로 기울어진 방향 중의 하나로 크래들 축 (CL 및 CR) 상에서의 회전을 알 수도 있다. C 축 둘레의 방향의 변화, 및 C축으로부터 도어 (222) 의 중심까지의 거리 (A ; 도 6d) 는 도어 (222) 가 도 6b 에 도시된 폐쇄 위치 (O-링 (228) 이 봉합 면 (226) 에 접하는) 로부터 , 도 6a 에 도시된 개방 위치까지 X 축 방향을 따라 이동하는 결과가 되고, 도어 (222) 는 벽면 (214) 로부터 공간 (234) 에 의해 분리된다.
단일 샤프트 어셈블리 (232) 는 바닥판 (302) 의 상부에 탑재된 밸브 진공 바디 (212) 내에 수용된다. 바디 (212) 는 X 축에 배열된 슬롯 (218P 및 218T) 를 가지고, 덮개 (236) 에 의해 봉합되기에 적절한 상부 개구를 가진다. 벨로스 (306) 의 하단 (304) 은 바닥판 (302) 에 봉합하며 부착된다. 벨로스 (306) 의 상단 (308) 은 상부 벨로스판 (310) 에 봉합하며 부착된다. 벨로스 (306) 가 바닥판 (302) 및 상부 벨로스판 (310) 에 봉합되고, 덮개 (236) 가 밸브 진공 바디 (212) 의 상부에 봉합되어, 바디 (212) 는 예를 들어, 슬롯 (218P) 을 통하여 인가되는 진공력에 저항하기에 충분히 강인하다. 벨로스 (306) 는 공동(空洞) (312) 을 규정하는 공동 실린더 모양을 가진다.
도 5 는 메인 피봇 프레임 (318) 의 2 개의 이격된 프레임 구성요소 (316) 에 고정된 바닥판 (302) 을 도시한다. 프레임 구성요소 (316) 는 바닥판 (302) 으로부터 아래쪽으로 신장되고 클러스터 툴 구조 (200) 의 베이스 (도시되지 않음) 상에 탑재될 수도 있다. 프레임 구성요소 (316) 의 바닥을 향하여, 프레임 구성요소 (316) 에 제 1 모터 (320) 를 탑재하도록 브리지 (319) 가 제공된다. 모터 (320) 는 예를 들어, 제 1 크래들에 접속된 피스톤 로드 (322) 를 가지는, 단일 발동 공압 모터일 수도 있다. 제 1 크래들 (324) 은 우측 축 (CR) 상에서 회전하도록, 2 개의 이격된 프레임 구성요소 (316) 사이 및 상에 탑재된다. 우측 크래들 축 (CR) 과 동축인 마주보는 제 1 크래들 피봇 (326) 은 프레임 구성요소 (316) 로부터 제 1 크래들 (324) 에 대해 회전 지지를 제공한다. 도 5 에서, 우측 구성요소 (316) 에 대한 피봇 (326) 이 예시 목적으로 외부의 일부를 잘라낸 반면, 좌측 구성요소 (316) 에 대한 피봇 (326) 은 구성요소 (316) 및 제 1 크래들 (324) 모두를 관통하여 신장하는 것으로 도시된다. 도 6a 내지 도 6d 에서, 마주보는 제 1 크래들 피봇 (326) 은 제 1 크래들 (324) 의 상부 우측 면에 도시된다.
도 6a, 도 6c, 및 도 6d 에 도시된 바와 같이, 제 1 모터 (320) 은 피스톤 로드 (322) 가 개방 도어 동작 (도 6a 및 도 6c) 또는 좌측 도어 (222-2) 폐쇄 동작 (도 6d) 에 대해 제 1 크래들 (324) 을 위치시키는 제 1, 즉 신장 위치를 가진다. 또한, 제 1 모터 (320) 는 우측 도어 (222-1) 폐쇄 동작 (도 6b) 에 대해 피스톤 로드 (322) 가 제 1 크래들 (324) 을 위치시키는 제 2, 즉 수축 위치를 가진다.
도 6a 내지 도 6d 는 제 1 크래들 (324) 상에 위치된크래들 축 (CL) 을 도시한다. 도 5 는 제 1 크래들 (324) 로부터 제 2 크래들 (332) 의 이격된 팔 (331) 에 대해 회전 지지를 제공하며, 좌측 크래들 축 (CL) 과 동축인 마주보는 제 2 크래들 피봇 (330) 을 도시한다. 도 5 에서, 프레임 (318) 의 우측 구성요소 (316) 와 제 1 크래들 (324) 의 우측 부분 사이의 피봇 (326) 이 예시 목적으로 외부의 일부를 잘라낸 반면, 우측 팔에 대한 피봇 (330) 은 팔 (331) 및 제 1 크래들 (324) 모두를 관통하여 신장하는 것으로 도시된다.
도 6a 내지 도 6d 에서, 마주보는 제 2 크래들 피봇 (330) 은 제 2 크래들 (332) 의 상부 좌측 면에 도시된다. 따라서, 제 2 크래들 (332) 는 축 (CL) 상에서 제 1 크래들 (324) 에 대해 회전한다. 그러한 회전은 제 1 크래들 (324) 에 함께 이동하도록 탑재된 제 2 모터 (334) 에 의해 유발된다. 제 2 모터 (334) 는 예를 들어, 제 2 크래들 (332) 에 접속된 피스톤 로드 (336) 를 가지는 단일 발동 공압 모터일 수도 있다. 도 5 는 제 2 모터 (334) 가 제 1 크래들 (324) 에 고정되고, 로드 (336) 가 핀 (338) 과 결합하여 제 2 크래들 (332) 을 좌측 축 (CR) 및 피봇 (330) 상에서 회전시키도록 제 2 크래들 (332) 이 놋치 (337) 에서 잘려나간 것을 도시한다.
제 2 모터 (334) 는 제 1 모터 (320) 가 또한 제 1 (신장) 위치에 있는 경우, 개방 도어 동작 (도 6a 및 도 6c) 에 대해 피스톤 로드 (336) 가 제 2 크래들 (332) 를 위치시키는 제 1, 즉 신장 위치를 가진다. 제 2 모터 (334) 는 또한 제 1 모터 (320) 가 수축 위치에 있는 경우, 우측 도어 (222-1) 폐쇄 동작 (도 6b) 에 대해 제 1 (신장) 위치를 사용한다. 제 2 모터 (334) 는 또한 제 1 모터 (320) 가 신장 위치에 있는 경우, 좌측 도어 (222-2) 폐쇄 동작 (도 6d) 에 대해 피스톤 로드 (336) 가 제 2 크래들 (332) 를 위치시키는 제 2, 즉 수축 위치를 가진다.
피스톤 로드 (322 및 336) 의 동시 신장 위치는 개방 위치의 도어 (222) 에 대응하고, 각 피스톤 로드 (322 및 336) 가 각 정지부 (350-1 및 350-2) 를 압박하도록 유발하는 제 1 및 제 2 모터 (320 및 334) 에 의해 확실해 지며, 각각의 정지부는 각 피스톤 로드 (322 또는 336) 및 각 크래들 (324 및 332) 의 궤적을 제한한다.
제 2 크래들 (332) 는 또한 제 3, 즉 상향/하향 모터 (356) 을 지지한다. 상향/하향 모터 (356) 가 제 2 크래들 (332) 에 고정되어, 피스톤 로드 (358) 은 신장, 또는 수축될 수도 있고, 베어링 (360) 을 통하여 제 2 크래들 (332) 의 개구 (362) 에서 미끄러진다. 벨로스 (306) 는 피스톤 로드 (358) 의 도어-탑재 부분 (364) 을 수용하도록 공동 실린더 모양으로 공동 (312) 을 가진다. 도 6a 내지 도 6c 에 도시된 바, 그러한 베어링 (360) 은 제 3 (상향/하향) 모터 (356) 의 피스톤 로드 (358) 가 신장되거나 또는 수축되도록 하고, 대응하여 벨로스판 (310) 을 상향 또는 하향으로 이동시킨다. 벨로스판 (310) 은 힌지 핀 (366) 상에서 회전하도록 2 개의 도어 (222-1 및 222-2) 를 지지하는 도어-탑재 부분(364) 을 지지한다. 도어-탑재 부분 (364) 은 각 도어 (222) 의 중점에 대하여 중심 맞추어진 도어 (222) 에 부착되고, 각 도어 (222) 는 각각의 도어 (222) 의 긴 면 (또는 Y 축 길이) 에 대해 중심 맞추어진 부분 (364) 에 의하여 지지된다. 도어-탑재 부분 (364) 에 도어 (222) 의 중심 맞추어진 탑재의 결과로, 도어-탑재 부분 (364) 에 의하여 각 도어 (222) 에 인가된 X 축 방향의 폐쇄력 (F ; 도 6a) 이 각 도어 (222) 에 균일하게 인가되나, 하나의 단일 샤프트 어셈블리 (232) 는 밸브 바디에서 2 개의 분리된 액추에이터가 제공된 밸브의 너비로부터 바디 (212) 의 너비 (W) 가 실질적으로 감소될 수 있게 한다. 실제로, 예를 들어, 바디 (212) 의 너비 (W) 는 오직 약 6 과 1/2 인치이기만 하면 된다.
도 6a 및 도 6c 로부터, 상향/하향 모터 (356) 의 피스톤 로드 (358) 가 신장되는 경우, 벨로스 (306) 가 신장되면서 도어 (222) 가 상향 위치 (도 6a, 6b 및 6d) 에 있게 된다. 상향/하향 모터 (356) 의 피스톤 로드 (358) 가 수축되는 경우, 벨로스 (306) 가 접히면서 도어 (222) 는 하향 위치 (도 6c) 로 이동되므로, 모듈 (202 및 206) 사이에서 웨이퍼를 반송하도록 슬롯 (218T 및 218P) 사이에 직접적인 가시선이 제공된다. 단일 샤프트 어셈블리 (232) 가 도어 222 를 x축 방향으로 바디 (212) 의 각 제 1 및 제 2 벽면 (214-1 및 214-2) 으로 연직근사하게 동시에 이동시키도록 동작하게 된다. 도어 (222) 가 개방 위치에 있는 경우, 어셈블리 (232) 는 제 2 (측방향 또는 수직) 으로 통상적으로 바디 (212) 의 벽면 (214) 에 평행하게 도어 (222) 를 이동시킨다.
상술한 바, 단일 샤프트 어셈블리 (232) 는 2 개의 도어 (222-1 및 222-2) 를 지지하고, X 축은 도어 (222) 가 폐쇄 위치로부터 개방 위치로 이동하는 경로를 따른 약간 정확한 경로를 지정한다. 폐쇄 도어 (222-1) 의 이동은 도 6a 에 도시된 개방 위치의 좌측 방향으로 언급되었고, 도 6d 에 도시된 바 폐쇄 도어 (222-2) 의 이동은 도 6a 에 도시된 개방 위치의 우측 방향이다.
제 1 크래들 (324) 이 도 6b 에 우측 축 (CR) 상에서 시계방향으로 회전하므로, 예를 들어, 좌측 크래들 축 (CL) 은 제 1 크래들 축 (CR) 에 대해 위쪽으로 이동한다. 따라서 제 2 크래들 축 (CL) 은 우측 도어 (222-1) 가 폐쇄되는 경우 제 1 크래들 축 위에 위치되게 된다. 제 1 크래들 (324) 이 도 6b 에 도시된 우측 도어 폐쇄 위치로부터 도 6d 에 도시된 좌측 도어 폐쇄 위치로 반시계방향으로 회전하므로, 좌측 도어 (222-2) 가 폐쇄되고 축들 (CR 및 CL) 이 Z 축을 따라 동일한 레벨이 될 때까지, 크래들 축 (CL) 은 제 1 크래들 축 (CR) 에 대해 아래쪽으로 이동한다. 축들 (CR 및 CL) 의 X 축 방향으로의 이격으로 인해, 그리고 축 (CL) 의 축 (CR) 에 대한 그러한 이동으로 인해, 후술할 이익이 있다. 각 도어 (222) 의 봉합 주변부 (224) 가 바디 (212) 의 봉합 면 (226) 에 각 슬롯 (218) 을 폐쇄하도록 접근하므로, 그러한 폐쇄의 시점에서의 각 크래들 축 (CL 및 CR) 의 위치는 폐쇄된 도어 (222) 의 탑재 면 (222M) 의 소정의 이동을 달성하는 위치가 된다. 크래들 축 (CL 및 CR) 의 이격 및 위치, 및 2 개의 크래들 (324 및 332) 상에 탑재되고 양면 슬롯 밸브 (204) 를 지지하는 단일 샤프트 어셈블리 (232) 는 특정 도어 (222) 의 각 슬롯 (218) 의 각 봉합 면 (226) 에 대한 폐쇄에 있어 하나의 크래들 (324 또는 332) 의 하나 이상의 피봇 (또는 축 ; CL 또는 CR) 이 특정 도어 (222) 의 탑재 면 (222M) 에 수직으로 배열되어, 특정 도어 (222) 의 봉합 면 (226) 을 향한 연직적인 이동을 제공하는 결과가 된다 (예를 들어, 도 6b 및 도 6d 의 화살표 (C) 참조). 그러한 탑재 면 (222M) 의 본 소정의 이동은 봉합 면 (226) 에 실질적으로 연직이다. 그러한 연직적 이동은 O-링 (228) 의 봉합 면 (226) 상으로의 올바른 안착을 더욱 확실히 한다.
비록 상술한 발명이 명확한 이해의 목적으로 자세하게 설명되었지만, 명백한 변경 및 변형이 첨부된 청구항의 범위 내에서 실행될 수도 있다. 따라서, 본 발명의 실시형태는 예시적이고 한정적이 아닌 것으로 생각되어야 하며, 본 발명은 이상에 제시된 세부사항에 한정되어서는 안되며, 첨부된 청구항의 범위 및 균등물 내에서 변형될 수도 있다.

삭제

종래인 기술 클러스터 툴 구조 (100) 의 문제점은 상술한 반송 모듈 (202) 및 프로세스 모듈 (206) 과 같은 모듈들 (206 및 202) 사이의 진공 바디 (212)의 양면 슬롯 밸브 (204) 에 의해 해결되었다. 분리 도어 (222) 의 하나는 각 2 개의 밸브 하우징 포트 (218) 에 대해 단일 샤프트 어셈블리 (232) 상에 제공되고, 프로세스 모듈 (206) 에 인접한 하나의 하우징 포트 (218P) 및 반송 모듈 (202) 에 인접한 하나의 하우징 포트 (218T) 는, 예를 들어, 다른 포트가 개방 상태로 유지되는 동안 선택적으로 폐쇄될 수도 있다. 예를 들어, 선택적인 폐쇄는 인접한 프로세스 모듈 (206) 은 대기중에 개방되어 서비스가 수행되도록 하는 반면, 반송 모듈 (202) 의 진공을 용이하게 유지하게 한다. 따라서, 프로세스 모듈 (206) 을 서비스하고 나서 반송 모듈 (202) 을 소정의 진공상태로 가져가기 위한 어떠한 펌프다운 사이클도 필요하지 않고, 프로세스 모듈 (206) 의 서비스로 인하여 반송 모듈 (202) 에 어떠한 동작도 수행될 필요가 없으므로, 상당한 다운타임 주기가 회피된다. 또한, 반송 모듈 (202) 가 진공상태로 유지되어, 하나의 프로세스 모듈 (206) 의 서비스가 수행되는 동안 반송 모듈 (202) 를 사용하여 생산이 계속되도록 하기 때문에, 클러스터 툴 구조 (200) 의 전체 생산성은 강화된다.
또한, 반송 모듈 (202) 로의 도어 밸브 (222-2) 가 폐쇄되어 반송 모듈은 진공 상태일 수 있고, 프로세스 모듈 (206) 과 연관된 개방 도어 밸브 (222-1) 에 의하여 개방 프로세스 모듈 (206) 로부터의 (부서진 웨이퍼와 같은, 도시되지 않음)부스러기의 배출이 막힐 수도 있어, 그러한 부스러기는 반송 모듈 (202) 를 오염시키지 않는다. 따라서, 통상적으로, 프로세스 모듈 (206) 옆의 밸브 도어 (222-1) 만이 부식된 후에 서비스 동안 교체될 필요가 있고, 반송 모듈 (202) 은 그러한 교체 동안 진공 상태로 유지될 수도 있다.
또한, 양면 슬롯 밸브 (204) 는 이러한 장점들을 가지고 제공되어 개방 도어 밸브 (222) 상에 서비스를 수행하도록 초기에 개방 도어 밸브 (222) 의 하나 또는 양자 모두에 대해 쉽게 액세스하도록 한다. 그러한 쉬운 액세스는 제 1, 제 2, 제 3 드라이브 (320, 334 및 356) 에 의해 동작되는 단일 샤프트 어셈블리 (232) 에 의해 제공된다.
도 5 에 도시된 바, 하나의 도어 밸브 (222 ; 좌측 도어 (222-2) 와 같은) 를 폐쇄하도록, 제 3 모터 (356) 는 정지부 (350-3) 에 대하여 신장된다. 제 1 모터 (320) 는 각 정지부 (350-1) 에 대하여 발동 (신장) 되고, 따라서 정지상태로 유지된다. 따라서, 제 1 모터 (324) 는 제 1 크래들 (324) 를 수직 위치에 유지하고 (도 6a), 제 2 모터 (334) 는 도 6d 에 도시된 도어 폐쇄 위치로 제 2 크래들 (332) 을 건드리도록 발동 (수축) 되고, 우측 도어 (222-1) 는 개방 위치에 있고, 그리고 도어 밸브 (222) 양자 모두 상향 위치에 있으면서, 좌측 도어 밸브 (222-2) 가 폐쇄 위치에 있도록 유발한다.
밸브 (222) 의 양자 모두가 서비스 되도록 하려면, 제 1 모터 (320) 및 제 2 모터 (334) 가 발동 (신장) 되어야 하고 각 정지부 (350-1 및 350-2) 에 대하여 몰아져야 한다. 따라서, 도어 (222) 가 개방, 중심 위치면서, 크래들 (324 및 332) 은 수직 (도 6a) 을 유지한다. 본 개방 위치에서 개방 도어 밸브 (222) 또는 도어 밸브 (222) 는 서비스를 위해 작업자의 장갑 낀 손에 의해 접근될 수도 있다. 제 3 모터 (356) 는 단일 샤프트 어셈블리 (232) 의 도어-탑재 (364) 를 이동시킬 수도 있고 도어 밸브 (222) 의 양자 모두가 측방향으로 (즉, 아래쪽으로) 개방 위치로부터 및 각 포트 (218) 로부터 도 6d 에 도시된 하향 위치로 이동하도록 하여 포트 (218) 둘레의 봉합 면 (226) 을 노출하도록 한다. 그러한 노출로 인해 예를 들어, 봉합 면 (226) 이 세정된다.
측방향-이동 도어 밸브 (222) 와 (일반적으로 덮개 (236) 에 의해 폐쇄된) 액세스 개구 (262) 사이의 수직 거리로 인해, 작업자의 보호 장갑이 수직 하향 이동 이후의 서비스를 위해 도어 밸브 (222) 에 접근하기가 통상적으로 어렵다. 그러나, 수직 하향 이동 위치에서, 포트 (218T 와 218P) 사이에 명확한 가시선이 있어, 도어 밸브 (222) 가 작업자의 도어 밸브 (222) 가 봉합하는 면 (226) 을 포함한 도어 밸브 (222) 둘레를 세정하는 능력을 방해하지 않고, 웨이퍼 (도시되지 않음) 가 하나의 모듈에서 옆의 모듈로 반송될 수도 있다.
또한, 슬롯 밸브 도어 (222) 양자 모두에 대해 하나의 단일 도어-탑재 (364) 만이 제공되어, 너비 (W) 를 감소할 수 있고, 따라서, 예를 들어 인접한 반송 모듈 (202) 과 프로세스 모듈 (206) 사이의 밸브 하우징 (212) 에 의해 점유된 클린룸 공간을 감소할 수 있다. 또한, 그러한 단일 도어 탑재 (364) 는 슬롯 밸브 도어 (222) 의 중심 위치에서 각 슬롯 밸브 도어 (222) 에 힘 (F) 을 인가하고, 이는 슬롯 밸브 도어 (222) 의 폐쇄를 유지하는 데 요구되는 힘 (F) 의 값을 감소한다. 또한, 2 개의 엑추에이터를 가져서 2 개의 벨로스가 요구되는 다른 밸브 어셈블리들에 비해, 하나의 단일 도어 탑재 (364) 만을 가지므로, 하나의 벨로스 (306) 만이 필요하다.
2 개의 인접한 모듈 (202 및 206) 중 하나의 모듈 (예를 들어, 202) 에서 정상 동작이 계속되는 동안, 2 개의 모듈 중의 다른 하나 (예를 들어, 하나의 인접한 프로세스 모듈 ; 206) 에서 많은 방식의 서비스가 수행될 수도 있다. 그러한 정상 동작은, 예를 들어, 반송 모듈 (202) 에 또한 인접한 다른 프로세스 모듈 (206) 에 반송 모듈 (202) 을 사용하도록 할 수도 있어, 클러스터 툴 구조 (200) 의 전체, 또는 총 생산성을 강화하게 된다. 그러한 하나의 프로세스 모듈 (206) 의 서비스는, 예를 들어, 하나의 프로세스 모듈 (206) 또는 밸브 하우징 (212) 으로부터 웨이퍼의 부서진 조각 제거, 포트 (218) 의 봉합 면 (226) 세정, 하나의 프로세스 모듈의 내부 세정, 밸브 (204) 의 구성요소 (예를 들어, 도어 (222) 또는 O-링 (228))의 제거 및 교체를 포함한다.
이러한 이익은 탑재 면 (222M) 의 소정의 이동이 달성되는 동안 획득된다. 따라서, 각 도어 (222) 의 봉합 주변부 (224) 가 각 슬롯 (218) 을 폐쇄하도록 바디 (212) 의 봉합 면에 접근하면, 그러한 폐쇄의 시점에서 각 크래들 축들 (CL 및 CR) 은 폐쇄된 도어 (222) 의 탑재 면 (222M) 이 봉합 면 (226) 에 실질적으로 연직일 수 있다. 그러한 연직 이동은 봉합 면 (226) 상으로 O-링 (228) 의 올바른 안착을 더욱 확실히 한다.

Claims

반도체 프로세스 클러스터 툴 구조 장치에서 사용되는 양면 슬롯 밸브에 있어서,

제 1 면 및 제 2 면을 가지는 하우징으로서, 상기 하우징은 상기 제 1 면에 제 1 슬롯을, 상기 제 2 면에 제 2 슬롯을 가져 제 1 모듈과 제 2 모듈 사이에서 기판이 반송되도록 하고, 상기 제 1 모듈은 상기 하우징의 상기 제 1 면에 부착되고 상기 제 2 모듈은 상기 하우징의 상기 제 2 면에 부착되는, 하우징;

상기 하우징 내에 이동 가능하게 탑재되어 상기 제 1 슬롯을 폐쇄할 수 있는 제 1 도어;

상기 하우징 내에 이동 가능하게 탑재되어 상기 제 2 슬롯을 폐쇄할 수 있는 제 2 도어;

상기 제 1 도어 및 상기 제 2 도어의 각각에 연결되는 단일 샤프트; 및

상기 제 1 도어 및 상기 제 2 도어의 어느 하나를 선택적이고 개별적으로 폐쇄 위치로 이동시켜 각각의 슬롯을 폐쇄시키는 상기 단일 샤프트를 지지하는 이중 크래들 어셈블리를 구비하는, 양면 슬롯 밸브.
제 1 항에 있어서,

상기 단일 샤프트는 중심 위치를 가지며, 상기 단일 샤프트가 상기 중심 위치에 있는 경우에 상기 제 1 도어 및 상기 제 2 도어의 각각은 상기 제 1 슬롯 및 상기 제 2 슬롯의 각각으로부터 이격되어 각각의 사이에 있는 개방 위치에 위치되고,

상기 2 중 크래들 어셈블리는,

제 1 크래들 및 제 2 크래들; 및

상기 제 1 크래들 및 상기 제 2 크래들 각각에 대한 개별 드라이브를 구비하고, 상기 개별 드라이브는 각각 신장 위치를 가지며, 각각의 신장 위치에서의 상기 개별 드라이브는 상기 중심 위치의 상기 단일 샤프트를 지지하여, 상기 제 1 도어 및 상기 제 2 도어를 상기 개방 위치로 유지하는, 양면 슬롯 밸브.
제 2 항에 있어서,

상기 제 1 크래들은 상기 하우징에 대해 회전하고, 상기 제 2 크래들을 지지하도록 탑재되며,

상기 제 2 크래들은 상기 단일 샤프트를 지지하며, 상기 제 1 크래들에 대해 회전하도록 탑재되고,

상기 개별 드라이브의 각각은 또한 수축 위치를 가지는, 양면 슬롯 밸브.
제 3 항에 있어서,

상기 개별 드라이브를 동작시키는 제어기를 더 구비하며,

상기 제어기는 상기 개별 드라이브중의 하나를 상기 신장 위치에 있도록 하고 상기 개별 드라이브중 다른 하나는 상기 수축 위치에 있도록 하여, 상기 제 1 도어 및 상기 제 2 도어를 밸브 개방-폐쇄 경로를 따라 상기 개방 위치 및 상기 폐쇄 위치의 각각으로 및 각각으로부터 이동시키고, 상기 제 1 도어 및 상기 제 2 도어의 어느 하나를 선택적이고 개별적으로 폐쇄 위치로 이동시켜 각각의 슬롯을 폐쇄하는, 양면 슬롯 밸브.
제 2 항에 있어서,

상기 이중 크래들 어셈블리에 있어서,

상기 개별 드라이브중의 하나는 상기 크래들중의 하나 상에 탑재된 2 개의 모터를 가지고, 탑재된 상기 2 개의 모터중의 하나는 상기 단일 샤프트를 상기 슬롯들 사이로부터 상기 중심 위치로 이동시켜, 상기 제 1 모듈과 상기 제 2 모듈의 사이에서 상기 기판이 반송되도록 하는, 양면 슬롯 밸브.
제 1 항에 있어서,

상기 이중 크래들 어셈블리는,

상기 하우징을 지지하는 프레임;

상기 하우징에 대해 이동하도록 상기 프레임 상에 탑재되는 제 1 크래들; 및

상기 하우징에 대해 이동하도록 상기 제 1 크래들 상에 탑재되는 제 2 크래들을 구비하고,

상기 제 2 크래들 상에 탑재된 상기 단일 샤프트는, 상기 하우징에 대한 상기 제 1 크래들 및 상기 제 2 크래들 각각의 이동이 상기 슬롯들 중 선택된 하나를 개방 또는 폐쇄하도록 상기 단일 샤프트의 위치를 상기 하우징 내에서 변동시키는, 양면 슬롯 밸브.
제 6 항에 있어서,

상기 이중 크래들 어셈블리는,

상기 단일 샤프트를 이동시켜 상기 슬롯들 중의 하나를 폐쇄하도록 상기 크래들 각각을 제 1 공통 방향으로 이동시키는 드라이브를 더 구비하는, 양면 슬롯 밸브.
제 6 항에 있어서,

상기 이중 크래들 어셈블리는,

상기 단일 샤프트를 이동시켜 상기 슬롯들 중의 하나를 폐쇄하도록 상기 크래들 각각을 제 1 공통 방향으로 이동시키고, 상기 단일 샤프트를 이동시켜 상기 슬롯들 중의 다른 하나를 폐쇄하도록 상기 크래들 각각을 제 2 공통 방향으로 이동시키는 드라이브를 더 구비하는, 양면 슬롯 밸브.
반도체 프로세스 클러스터 툴 구조 장치에서 사용되는 양면 슬롯 밸브를 제조하는 방법에 있어서,

제 1 면 및 제 2 면을 가지는 하우징을 제공하는 단계로서, 상기 하우징은 상기 제 1 면에 제 1 슬롯을, 상기 제 2 면에 제 2 슬롯을 가져 제 1 모듈과 제 2 모듈 사이에서 기판이 반송되도록 하는 단계;

상기 하우징의 상기 제 1 면에 상기 제 1 모듈을 부착하는 단계;

상기 하우징의 상기 제 2 면에 상기 제 2 모듈을 부착하는 단계;

상기 제 1 슬롯의 폐쇄가 가능하도록 상기 하우징 내에 제 1 도어를 설치하는 단계;

상기 제 2 슬롯의 폐쇄가 가능하도록 상기 하우징 내에 제 2 도어를 설치하는 단계;

제 1 선형 경로를 따라 이동하도록, 단일 샤프트 상에 상기 제 1 도어 및 상기 제 2 도어를 탑재하는 단계; 및

상기 제 1 도어 및 상기 제 2 도어 중 어느 하나를 선택적이고 개별적으로 이동시켜 상기 제 1 슬롯의 각각을 폐쇄하도록 이격된 피봇을 가지는 이중 크래들 어셈블리 상에서 상기 단일 샤프트를 지지하는 단계를 포함하는, 양면 슬롯 밸브 제조 방법.
제 9 항에 있어서,

상기 지지하는 단계는, 상기 단일 샤프트에 대해 중심 위치를 제공하여, 상기 단일 샤프트가 상기 중심 위치에 있는 상태에서 상기 제 1 도어 및 상기 제 2 도어의 각각이 상기 제 1 슬롯 및 상기 제 2 슬롯의 각각으로부터 이격되어 각각의 사이에 있는 개방위치에 있는, 양면 슬롯 밸브 제조 방법.
제 10 항에 있어서,

상기 지지하는 단계는,

제 1 크래들 및 제 2 크래들을 가지는 상기 이중 크래들 구조를 제공하는 단계;

상기 이격된 피봇의 하나를 각 상기 폐쇄 위치에 있는 상기 도어들 중의 각각의 하나에 배열되도록 위치시키는 단계; 및

상기 슬롯 각각을 폐쇄하기 위한 상기 제 1 도어 및 상기 제 2 도어의 어느 하나의 선택적이며 개별적인 이동은 상기 슬롯 각각의 평면에 연직이도록, 상기 이격된 피봇 각각 상에 상기 크래들 각각을 탑재하는 단계를 더 포함하는, 양면 슬롯 밸브 제조 방법.
제 10 항에 있어서,

상기 지지하는 단계는,

제 1 크래들 및 제 2 크래들을 가지는 상기 이중 크래들 구조를 제공하는 단계;

제 1 회전 위치와 제 2 회전 위치 사이에서 이동하는 상기 제 2 크래들 상에, 상기 이격된 피봇의 하나 상에 회전하는 상기 제 1 크래들을 탑재하는 단계;

상기 제 1 크래들 상에 상기 단일 샤프트를 탑재하는 단계;

상기 하우징으로부터 이격되고 제 3 회전 위치와 제 4 회전 위치 사이에서 이동하기 위해 상기 이격된 피봇의 다른 하나 상에서 회전하는 상기 제 2 크래들을 탑재하는 단계; 및

상기 단일 샤프트를 개방-도어 위치에 위치시키도록 상기 제 1 회전 위치 및 상기 제 3 회전 위치의 각각에서 상기 제 1 크래들 및 상기 제 2 크래들 각각의 회전을 제한하는 단계를 더 포함하는, 양면 슬롯 밸브 제조 방법.
제 12 항에 기재된 양면 슬롯 밸브 제조 방법에 따라 제조된 양면 슬롯 밸브를 동작하는 방법으로서,

상기 제 2 회전 위치에 상기 제 1 크래들이 있도록 하는 제 1 유발 단계;

상기 제 4 회전 위치에 상기 제 2 크래들이 있도록 하는 제 2 유발 단계;

상기 제 1 회전 위치에 상기 제 1 크래들이 있도록 하는 제 3 유발 단계; 및

상기 제 3 회전 위치에 상기 제 2 크래들이 있도록 하는 제 4 유발 단계를 포함하고,

상기 제 1 유발 단계 및 상기 제 2 유발 단계는, 상기 단일 샤프트가 이동하여 상기 제 1 슬롯을 폐쇄하도록 상기 제 1 도어 및 상기 제 2 도어중의 하나를 위치시키고,

상기 제 3 유발 단계 및 상기 제 4 유발 단계는, 상기 단일 샤프트가 이동하여 상기 제 2 슬롯을 폐쇄하도록 상기 제 1 도어 및 상기 제 2 도어중의 다른 하나를 위치시키는, 양면 슬롯 밸브 동작 방법.
반도체 프로세스 클러스터 툴 구조 장치의 양면 슬롯 밸브를 동작하는 방법에 있어서,

제 1 모듈과 제 2 모듈 사이에서 상기 양면 슬롯 밸브를 인터페이싱하는 단계;

상기 제 1 모듈과 상기 제 2 모듈 사이에서 기판을 반송하도록 하는 제 1 슬롯 및 제 2 슬롯을 상기 양면 슬롯 밸브에 제공하는 단계;

상기 제 1 슬롯 및 상기 제 2 슬롯 각각을 폐쇄할 수 있도록 상기 양면 슬롯 밸브 내에 제 1 도어 및 제 2 도어를 제공하는 단계;

단일 샤프트에 상기 제 1 도어 및 상기 제 2 도어를 탑재하는 단계; 및

상기 단일 샤프트를 상기 제 1 슬롯 및 상기 제 2 슬롯중의 하나를 향하여 이동시키고 상기 하나의 슬롯에 대응하는 도어가 상기 하나의 슬롯을 폐쇄하도록 하며, 다른 하나의 슬롯에 대응하는 도어가 다른 하나의 슬롯을 개방으로 유지하도록, 상기 단일 샤프트로 슬롯 폐쇄력을 인가하는 단계를 포함하고,

상기 슬롯 폐쇄력을 인가하는 단계는,

2 개의 드라이브를 가동하는 단계에 의해 이루어지고, 상기 2 개의 드라이브의 각각은 상기 제 1 크래들 및 상기 제 2 크래들중의 상이한 각각의 하나에 개별적으로 연결되고, 상기 단일 샤프트는 상기 크래들중의 하나 상에 탑재되는, 양면 슬롯 밸브 동작 방법.
제 14 항에 있어서,

상기 2 개의 드라이브를 가동하는 단계는, 상기 드라이브들중의 하나를 신장하고 상기 드라이브들중의 다른 하나를 수축하는 단계인, 양면 슬롯 밸브 동작 방법.
제 14 항에 있어서,

상기 슬롯 폐쇄력을 인가하는 단계는:

상기 크래들중의 다른 하나 상에 회전하도록 상기 크래들중의 하나를 탑재하는 단계;

상기 제 1 슬롯 및 상기 제 2 슬롯을 포함하는 밸브 하우징 상에 회전하도록 상기 크래들의 상기 다른 하나를 탑재하는 단계; 및

상기 2 개의 드라이브의 각각은 상기 크래들중의 하나를 회전하고, 상기 크래들의 상기 하나 상에 상기 단일 샤프트를 탑재하는 단계를 더 포함하고,

상기 양면 슬롯 밸브 동작 방법은,

상기 크래들의 상기 하나에 대해 상기 단일 샤프트를 이동하는 동작으로서, 상기 도어들이 상기 슬롯들로부터 이격되도록, 상기 제 1 모듈과 상기 제 2 모듈 사이에서 상기 기판을 반송하도록 하는 동작을 더 포함하는, 양면 슬롯 밸브 동작 방법.
프로세스 모듈 및 반송 모듈이 제공된 반도체 프로세스 클러스터 툴 구조 장치에 사용되는 양면 슬롯 밸브에 있어서,

제 1 프로세스 모듈 면 및 제 2 반송 모듈 면을 가지는 진공 바디로서, 상기 진공 바디는 상기 제 1 프로세스 모듈 면에 프로세스 모듈 슬롯을, 상기 제 2 반송 모듈 면에 반송 모듈 슬롯을 가져, 상기 프로세스 모듈과 상기 반송 모듈 사이에서 기판을 반송하도록 하고, 상기 프로세스 모듈은 상기 바디의 상기 제 1 프로세스 모듈 면에 부착되고 상기 반송 모듈은 상기 바디의 상기 제 2 반송 모듈 면에 부착되며, 상기 바디의 상기 제 1 프로세스 모듈 면은 제 1 벽면을 가지고 상기 바디의 상기 제 2 반송 모듈 면은 제 2 벽면을 가지는, 진공 바디;

상기 바디에서 상기 프로세스 모듈 슬롯 및 상기 반송 모듈 슬롯의 각각으로 및 각각으로부터 폐쇄 경로를 따라 이동 가능한 도어-탑재단을 가지는 단일 샤프트로서, 상기 도어-탑재단은 상기 프로세스 모듈 슬롯과 상기 반송 모듈 슬롯 사이에 명확한 가시선을 제공하도록 상기 폐쇄 경로에 일반적으로 연직인 액세스 경로를 따라 상기 바디로부터 떨어지도록 이동 가능한, 단일 샤프트;

상기 프로세스 모듈 슬롯을 개방 또는 폐쇄하도록 상기 폐쇄 경로를 따라 이동하는 상기 단일 샤프트의 도어-탑재단에 탑재되는 제 1 도어;

상기 반송 모듈 슬롯을 개방 또는 폐쇄하도록 상기 폐쇄 경로를 따라 이동하는 상기 단일 샤프트의 도어-탑재단에 탑재되는 제 2 도어;

상기 단일 샤프트를 지지하며, 상기 도어-탑재단이 상기 액세스 경로 및 상기 폐쇄 경로를 따라 이동하는 이중 크래들 어셈블리; 및

상기 이중 크래들 어셈블리 상의 샤프트 드라이브 메커니즘으로서, 상기 바디에서 상기 단일 샤프트의 상기 도어-탑재단을 상기 프로세스 모듈 슬롯 및 상기 반송 모듈 슬롯의 각각으로 및 각각으로부터 폐쇄 경로를 따라 이동시키기 위해 상기 이중 크래들 어셈블리 상에 탑재되는 제 1 드라이브 메커니즘, 및 상기 단일 샤프트 도어-탑재단을 상기 바디로 및 상기 바디로부터 상기 액세스 경로를 따라 이동시키는 제 2 드라이브 메커니즘을 가지는, 샤프트 드라이브 메커니즘을 구비하고,

상기 제 1 도어 및 상기 제 2 도어는, 상기 단일 샤프트에 의해 탑재되어 상향 위치와 하향 위치 사이의 상기 액세스 경로를 따라 이동하며, 상기 하향 위치는 상기 시선으로부터 이격되어 상기 슬롯들과 상기 슬롯들에 인접한 각각의 벽면과의 액세스를 허용하는, 양면 슬롯 밸브.
제 17 항에 있어서,

상기 이중 크래들 어셈블리는, 제 1 크래들 및 제 2 크래들을 가지고, 상기 제 1 크래들은 상기 제 2 크래들 상의 제 1 축 상에 회전하도록 탑재되며, 상기 제 2 크래들은 상기 진공 바디 상의 제 2 축 상에 회전하도록 탑재되고,

상기 단일 샤프트는 상기 제 1 크래들 상에 탑재되고,

상기 제 1 드라이브 메커니즘은, 상기 제 1 크래들 및 상기 제 2 크래들을 회전하도록 상기 제 1 크래들 및 상기 제 2 크래들 상에 탑재되고, 상기 바디의 액추에이터의 상기 도어-탑재단을 상기 프로세스 모듈 슬롯 및 상기 반송 모듈 슬롯의 각각으로 및 각각으로부터 폐쇄 경로를 따라 이동시키고,

상기 제 2 드라이브 메커니즘은, 상기 바디로 및 상기 바디로부터 상기 액세스 경로를 따라 상기 도어-탑재단을 이동시키도록 상기 제 1 크래들 상에 탑재되는, 양면 슬롯 밸브.
제 17 항에 있어서,

상기 제 1 드라이브 및 상기 제 2 드라이브를 개별적으로 제어하는 제어기; 및

상기 제 2 도어가 상기 폐쇄 위치에 있어 상기 반송 모듈이 서비스 모드 외의 상태로 동작하도록 하는 동시에 상기 제 1 도어가 상기 폐쇄 위치 외에 존재할 수 있어 상기 프로세스 모듈을 서비스하도록 하는, 상기 제어기에 접속된 컴퓨터 워크스테이션을 더 구비하는, 양면 슬롯 밸브.
제 19 항에 있어서,

상기 바디는 상기 도어를 용이하게 서비스하는 도어-액세스 포트를 가지고,

상기 컴퓨터 워크스테이션은, 상기 제어기가 상기 샤프트 드라이브 메커니즘을 동작시키고, 상기 제 1 도어 및 상기 제 2 도어를 상기 액세스 경로를 따라 상기 상향 위치로 이동시키고, 상기 제 1 도어를 상기 폐쇄 경로를 따라 개방 위치로 이동시키고, 상기 제 2 도어를 상기 폐쇄 경로를 따라 이동시켜 상기 제 2 슬롯을 폐쇄하도록 하는 컴퓨터 프로그램 지시를 포함하고,

상기 상향 위치에서 상기 제 1 도어가 상기 개방 위치 상태 경우 상기 제 1 도어는 상기 도어-액세스 포트를 통하여 공급되는 세정된 도어로 교체될 위치에 있는, 양면 슬롯 밸브.
다중-챔버 진공 시스템에 사용되는 양면 슬롯 밸브에 있어서,

제 1 면 및 제 2 면을 가지는 하우징으로서, 상기 제 1 면에 제 1 슬롯을, 상기 제 2 면에 제 2 슬롯을 가져 제 1 챔버와 제 2 챔버 사이에서 기판을 반송하도록 하고, 상기 제 1 챔버는 상기 하우징의 상기 제 1 면에 부착되고 상기 제 2 챔버는 상기 하우징의 상기 제 2 면에 부착되는, 하우징;

상기 제 1 슬롯의 폐쇄가 가능하도록 상기 하우징 내에 탑재되는 이동 가능한 제 1 도어;

상기 제 2 슬롯의 폐쇄가 가능하도록 상기 하우징 내에 탑재되는 이동 가능한 제 2 도어;

상기 제 1 도어 및 상기 제 2 도어의 각각에 접속되는 단일 샤프트; 및

상기 제 1 도어 및 상기 제 2 도어의 어느 하나를 선택적이고 개별적으로 폐쇄 위치로 이동시켜 상기 제 1 슬롯 및 상기 제 2 슬롯의 각각을 폐쇄하도록 상기 단일 샤프트를 지지하는 이중 크래들 어셈블리를 구비하는, 양면 슬롯 밸브.