KR101252665B1

KR101252665B1 - 반도체 생산장비의 게이트밸브

Info

Publication number: KR101252665B1
Application number: KR1020110075532A
Authority: KR
Inventors: 송재활
Original assignee: (주)에스더블유피
Priority date: 2011-07-29
Filing date: 2011-07-29
Publication date: 2013-04-09
Also published as: KR20130013748A

Abstract

본 발명은 한 쌍의 게이트플레이트를 밸브플레이트 어셈블리로 구성하여 상기 밸브플레이트 어셈블리가 구동력에 의해서 밸브몸체의 양측 게이트를 선택적으로 개폐할 수 있도록 하고, 일측 게이트플레이트가 밸브몸체의 일측 게이트를 폐쇄한 상태에서 타측 게이트플레이트를 교체 및 유지 보수할 수 있도록 함으로써 반도체 생산장비의 가동을 중지하지 않고서도 계속적인 작업이 이루어질 수 있도록 한 반도체 생산장비의 게이트밸브에 관한 것으로서, 그 구성은 박스 형태로 되어 양측에 제1,2 게이트가 형성되고, 상측에 커버가 볼트 체결된 밸브몸체를 갖는 반도체 생산장비의 게이트밸브에 있어서, 상기 밸브몸체의 내부에 한 쌍의 제1,2 게이트플레이트로 구비되어 제1,2 게이트플레이트를 함께 좌측 또는 우측으로 이동시켜 밸브몸체의 제1 게이트 또는 제2 게이트를 선택적으로 개폐하는 밸브플레이트 어셈블리와; 상기 밸브플레이트 어셈블리를 밸브몸체의 내부에서 상측 또는 하측으로 이동시키는 구동유니트;로 구성된 것이다.

Description

반도체 생산장비의 게이트밸브{The gate valve of semiconductor production equipment}

본 발명은 반도체 생산장비의 게이트밸브에 관한 것으로, 보다 상세하게는 한 쌍의 게이트플레이트를 밸브플레이트 어셈블리로 구성하여 상기 밸브플레이트 어셈블리가 구동력에 의해서 밸브몸체의 양측 게이트를 선택적으로 개폐할 수 있도록 하고, 일측 게이트플레이트가 밸브몸체의 일측 게이트를 폐쇄한 상태에서 타측 게이트플레이트를 교체 및 유지 보수할 수 있도록 함으로써 반도체 생산장비의 가동을 중지하지 않고서도 계속적인 작업이 이루어질 수 있도록 한 반도체 생산장비의 게이트밸브에 관한 것이다.

도 1은 반도체 생산장비 중에 클러스터형 기판처리장치를 나타낸 것으로서, 이에 도시된 바와 같이 반도체 생산장비는 이송챔버(110)의 주위에 다수의 공정챔버(120)와, 제1,2 로드락(loadlock)챔버(130)(130a)가 방사형으로 결합된 형태를 가진다. 공정챔버(120)는 고진공 상태를 유지하면서 기판에 대한 박막증착, 식각 등의 공정을 수행하는 공간이고, 이송챔버(110)는 내부에 위치하는 이송챔버로봇(140)에 의해 공정챔버(120)와 공정챔버(120) 사이 또는 공정챔버(120)와 로드락챔버(130)(130a) 사이에서 기판을 이송하는 공간으로서 역시 진공 상태를 유지한다. 그리고, 이송챔버(110)와 공정챔버(120)의 사이와, 이송챔버(110)와 제1,2 로드락챔버(130)(130a)의 사이에는 기판출입과정에서 개폐되는 게이트밸브(150)가 각각 설치된다.

상기 게이트밸브(150)는 통상적으로 도 2에 도시된 바와 같이 양측에 제1 게이트(151a) 및 제2 게이트(151b)를 가지며 상부측에 커버(151c)가 볼트 체결된 박스 형태의 밸브몸체(151)가 구비되고, 상기 밸브몸체(151)의 내부에는 제2 게이트(151b)를 실질적으로 개폐하는 밸브플레이트(153)가 구비되며, 상기 밸브플레이트(153)는 하부측 액튜에이터(155)와 축(154)으로 연결되어 도 2a 내지 도 2c에 순차적으로 도시된 바와 같이 액튜에이터(155)의 작동에 의해서 상부측으로 이동하여 밸브몸체(151)의 제2 게이트(151b)를 폐쇄하고, 다시 상기 액튜에이터(155)의 작동에 의해서 하부측으로 이동하여 밸브몸체(151)의 제2 게이트(151b)를 개방하도록 구성되어 있다. 그리고, 상기 밸브플레이트(153)의 교체 및 유지 보수는 밸브몸체(151)의 상측에 조립된 커버(151c)의 볼트를 풀어 밸브몸체(151)로부터 커버(151c)를 분리함으로써 이루어진다. 여기서, 미설명 부호 156은 밸브몸체(151)의 제2 게이트(151b)와 밸브플레이트(153) 사이의 기밀을 요할 수 있도록 밸브플레이트(153)의 일측면에 설치된 게이트 실링이다.

그러나, 이러한 종래 클러스터형 기판처리장치, 즉 반도체 생산장비의 게이트밸브는, 밸브플레이트 하나로 밸브몸체의 양측에 형성된 제1 게이트 및 제2 게이트 중에 일측, 제2 게이트에 대하여만 개폐하도록 구성되어 있어, 밸브플레이트의 교체 및 유지보수시에는 반도체 생산장비의 전체를 가동중지시켜야만 되므로 작업중단에 따른 막대한 경제적인 손실을 초래하는 문제점이 있었다.

이에 본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 제반 문제점을 해소하기 위해 창안된 것으로, 그 목적은 한 쌍의 게이트플레이트를 밸브플레이트 어셈블리로 구성하여 상기 밸브플레이트 어셈블리가 구동력에 의해서 밸브몸체의 양측 게이트를 선택적으로 개폐할 수 있도록 하고, 일측 게이트플레이트가 밸브몸체의 일측 게이트를 폐쇄한 상태에서 타측 게이트플레이트를 교체 및 유지 보수할 수 있도록 함으로써 반도체 생산장비의 가동을 중지하지 않고서도 계속적인 작업이 이루어질 수 있도록 한 반도체 생산장비의 게이트밸브를 제공함에 있다.

이러한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 반도체 생산장비의 게이트밸브의 한 형태는, 박스 형태로 되어 양측에 제1,2 게이트가 형성되고, 상측에 커버가 볼트 체결된 밸브몸체를 갖는 반도체 생산장비의 게이트밸브에 있어서, 상기 밸브몸체의 내부에 한 쌍의 제1,2 게이트플레이트로 구비되어 제1,2 게이트플레이트를 함께 좌측 또는 우측으로 이동시켜 밸브몸체의 제1 게이트 또는 제2 게이트를 선택적으로 개폐하는 밸브플레이트 어셈블리와; 상기 밸브플레이트 어셈블리를 밸브몸체의 내부에서 상측 또는 하측으로 이동시키는 구동유니트로 구성된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 밸브플레이트 어셈블리는, 제1,2 게이트플레이트의 하부를 지지하고, 상기 제1,2 게이트플레이트가 각각 개별적으로 수직방향으로 볼트 체결되는 베이스와, 상기 베이스 상에 수직 방향으로 조립된 제1,2 게이트플레이트를 수직방향으로 작동하는 구동유니트에 의해 좌측 또는 우측으로 이동할 수 있게 하는 작동블록으로 구성되고; 상기 베이스와 작동블록은 베이스의 하측에 결합된 가동블록이 작동블록의 내부에 횡방향으로 설치된 가이드봉에 이동가능하게 결합되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제1,2 게이트플레이트 사이의 베이스 상에는 게이트플레이트 지지블록이 구비되어 제1,2 게이트플레이트의 상부 내측이 제1 지지턱부에 의해 상기 게이트플레이트 지지블록의 상측에 각각 걸려 고정되도록 구성하고; 상기 베이스에 제1,2 게이트플레이트의 하부 내측이 제2 지지턱부에 의해 베이스의 상측에 걸려 고정되도록 구성한 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 구동유니트는, 상측에 밸브몸체의 하부를 지지하는 밸브몸체 하부지지판이 구비되고, 내부 중간에는 작동블록의 하측에 연결되어 작동블록을 포함한 밸브플레이트 유니트의 전체를 상측 또는 하측으로 이동시키는 승강실린더와, 상기 승강실린더의 양측에 각각 구비되어 작동블록에 의해 베이스를 포함한 제1,2 게이트플레이트를 좌.우측으로 이동시키기 위한 작동실린더로 구성되고; 상기 작동블록은 작동실린더의 승강구동에 의해서 베이스 및 제1,2 게이트플레이트를 좌측 또는 우측방향으로 가압하여 이동시키는 제1 가동부 및 제2 가동부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제1,2 가동부는, 일정한 길이를 갖는 공이 하측에 작동실린더의 작동실린더 로드의 상측에 회전 가능하게 결합되는 힌지축과 회전중심축을 일체로 한 링크 구조에 의해서 공이가 회전중심축을 중심으로 좌측 또는 우측방향으로 회전되어 베이스상의 제1,2 게이트플레이트를 가압하도록 구성된 것을 특징으로 하고, 상기 공이의 회전축은, 공이가 원위치로 복귀할 수 있도록 하는 토션스프링을 더 포함하며, 상기 작동블록은, 양측에 롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

상술한 바와 같이 본 발명은 한 쌍의 게이트플레이트를 구비하여 베이스 상에 개별적으로 고정되게 하고, 상기 베이스를 포함한 한 쌍의 게이트플레이트는 하부측이 링크구조를 이루는 공이에 의해 좌측 또는 우측으로 이동되어 밸브몸체의 양측 게이트를 선택적으로 개폐할 수 있도록 함으로써 일측 게이트플레이트가 밸브몸체의 일측 게이트를 폐쇄한 상태에서 타측 게이트플레이트에 대한 교체 및 유지 보수가 가능하고, 이로 인하여 반도체 생산장비의 가동 중단없이 작업이 계속적으로 이루어질 수 있게 되어 기존에 밸브플레이트의 교체 및 유지 보수에 따른 작업중단으로 인한 막대한 경제적인 손실을 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 일반적인 반도체 생산장비 중에 클러스터형 기판처리장치를 나타낸 개략 구성도.
도 2a 내지 도 2b는 종래 반도체 생산장비의 게이트밸브 구성 및 작동상태를 나타낸 단면도.
도 3은 본 발명에 의한 반도체 생산장비의 게이트밸브를 나타낸 전체사시도.
도 4는 도 3의 A-A선 종단면도.
도 5는 본 발명에 의한 게이트밸브에서 밸브몸체를 분리한 상태를 나타낸 사시도.
도 6a 및 6b는 본 발명의 작동블록을 나타낸 것으로서,
도 6a는 작동블록의 전체사시도.
도 6b는 작동블록의 공이 구조를 나타낸 사시도.
도 7은 본 발명에 의한 밸브플레이트 어셈블리를 나타낸 부분절개 사시도.
도 8은 도 7의 절개 부분을 나타낸 측단면도.
도 9a 및 도 9b는 도 7의 "A"부분을 확대 도시한 작동상태도.

이하, 첨부된 도면을 참조로 하여 본 발명의 구성을 실시예에 따라 상세히 설명하기로 한다.

도 3은 본 발명에 의한 반도체 생산장비의 게이트밸브를 나타낸 전체사시도로서, 이에 도시된 바와 같이 본 발명은 대략 직사각형의 박스 형태로 형성된 밸브몸체(1)가 구동유니트(3)의 상측에 구비되고, 상기 밸브몸체(1)는 양측에 제1 게이트(1a) 및 제2 게이트(미도시됨)가 형성되며, 상측에는 커버(1c)가 볼트 체결에 의해서 결합된다.

도 4는 도 3의 A-A선 종단면도로서, 밸브몸체(1)의 내부에는 구동유니트(3)의 작동에 의해서 상측 또는 하측으로 이동하면서 밸브몸체(1)의 양측 제1 게이트(1a) 또는 제2 게이트(1b)를 개폐하는 밸브플레이트 어셈블리(2)가 구비되는 것으로서, 상기 밸브플레이트 어셈블리(2)는 한 쌍의 제1,2 게이트플레이트(21)(22)로 구성되는 것으로서, 상기 제1,2 게이트플레이트(21)(22)는 베이스(23)에 의해서 하부 지지됨은 물론 수직방향의 볼트 체결에 의해서 베이스(23)에 개별적으로 고정된다.

상기 제1,2 게이트플레이트(21)(22)의 사이에는 게이트플레이트 지지블록(4)이 구비되고, 상기 게이트플레이트 지지블록(4)을 포함한 제1,2 게이트플레이트(21)(22)는 베이스(23)에 의해서 하부가 지지되는 것이며, 상기 베이스(23)의 하부에는 구동유니트(3)의 승강실린더 로드(32a)와 연결된 작동블록(24)이 구비되어 베이스(23)의 하부를 지지해줄 수 있도록 구성됨은 물론 제1,2 게이트플레이트(21)(22)가 결합된 베이스(23)가 좌.우측으로 이동할 수 있게 작동블록(24)의 내측에는 횡방향의 가이드봉(242)이 설치되고, 베이스(23)의 하부측에는 가이드봉(242)을 따라 이동가능하게 가동블록(243)이 결합되는 것이며, 상기 구동유니트(3)의 상측에는 밸브몸체(1)가 안착되는 밸브몸체 하부지지판(31)이 구비된다. 여기서, 미설명 부호 5는, 게이트 실링이다.

도 5는 본 발명에 의한 게이트밸브에서 밸브몸체를 분리한 상태를 나타낸 사시도로서, 이에 도시된 바와 같이 구동유니트(3)의 상측에 밸브몸체가 안착되는 밸브몸체 하부지지판(31)이 구비되고, 구동유니트(3)의 상측에는 밸브플레이트 어셈블리(2)가 구비되며, 상기 구동유니트(3)는 승강실린더(32)가 구비되고, 상기 승강실린더(32)의 좌.우측에는 복수개의 작동실린더(33)가 구비된다.

상기 승강실린더(32)는 승강실린더 로드(32a)가 밸브플레이트 어셈블리(2)의 작동블록(24) 하측에 연결되어 작동블록(24)을 포함한 밸브플레이트 어셈블리(2) 전체를 상측 또는 하측으로 이동시키게 되고, 상기 작동실린더(33)는 후술되어질 작동블록(24) 내부의 공이에 작동실린더 로드(33a)가 연결되어 상기 공이를 작동실린더 로드(33a)의 전후진에 의해 좌측 또는 우측으로 회전시켜 제1,2 게이트플레이트(21)(22)의 내측에서 상기 제1,2 게이트플레이트(21)(22)를 좌측 또는 우측으로 가압하여 이동되도록 구성한 것이다. 여기서, 미설명 부호 21a,22a는 제1,2 볼트체결공이고, 5는 게이트 실링이며, 23은 제1,2 게이트플레이트(21)(22)의 하부를 지지하면서 상기 제1,2 볼트체결공(21a)(22a)을 통하여 체결된 볼트에 의해 제1,2 게이트플레이트(21)(22)가 고정되도록 하는 베이스(23)이며, 244는 밸브몸체(1)를 구동유니트(3)의 상측에 씌우거나 벗겨낼 때 밸브플레이트 어셈블리(2)로부터 보다 용이하게 착탈시킬 수 있도록 하기 위한 롤러이다.

도 6a 및 6b는 본 발명의 작동블록을 나타낸 것으로서, 도 6a에 도시된 바와 같이 본 발명의 작동블록(24)은 양측에 롤러(244)가 구비되고, 중간에는 가이드봉(242)이 설치되어 상기 가이드봉(242)을 따라 가이드블록(243)이 이동가능하게 결합되는 것으로서, 상기 가이드블록(243)은 전술한 바와 같이 베이스(미도시됨)의 중간 하측에 볼트 체결된다. 그리고, 상기 가이드블록(243)의 양측에는 서로 대칭을 이루는 복수개의 제1 가동부(24a) 및 제2 가동부(24b)가 구비되는 것으로서, 상기 제1 가동부(24a)는 좌측으로 회전되어 밸브플레이트 어셈블리(2)의 제1 게이트플레이트(21)를 가압하고, 제2 가동부(24b)는 우측으로 회전되어 밸브플레이트 어셈블리(2)의 제2 게이트플레이트(22)를 가압하도록 구성된다.

상기 제1 가동부(24a) 및 제2 가동부(24b)는 일정한 길이를 갖는 공이(241)로 구성되어 서로 대칭되게 배치 및 설치한 것으로서, 상기 공이(241)는 도 6b에 도시된 바와 같이 하부측에 작동실린더 로드(33a)와 회전 가능하게 연결되는 힌지축(241b)과 회전중심축(241a)을 일체로 한 링크 구조로 형성된다. 이에 따라 작동실린더 로드(33a)가 상측으로 전진하면 공이(241)는 회전중심축(241a)을 중심으로 시계방향, 즉 우측으로 회전하여 제1,2 게이트플레이트(21)(22)의 내측에서 도 9a에 도시된 바와 같이 밸브플레이트 어셈블리(2)의 우측에 위치한 제2 게이트플레이트(22)를 가압하게 되고, 작동실린더 로드(33a)가 하측으로 후진하면 공이(241)는 회전중심축(241a)을 중심으로 반시계방향, 즉 좌측으로 회전하여 제1,2 게이트플레이트(21)(22)의 내측에서 도 9b에 도시된 바와 같이 밸브플레이트 어셈블리(2)의 좌측에 위치한 제1 게이트플레이트(21)를 가압하게 됨으로써 베이스(23)를 포함한 제1,2 게이트플레이트(21)(22)를 좌측 또는 우측으로 이동시켜 밸브몸체(1)의 제1 게이트(1a) 및 제2 게이트(1b)를 선택적으로 개폐할 수 있게 되는 것이다. 여기서, 미설명 부호 241c는 일단은 회전중심축(24a)에 고정되고 타측은 작동블록(24)에 고정되어 탄성력에 의해서 공이(241)를 원위치로 복귀시키는 토션스프링으로서, 상기 토션스프링(241c)이 없어도 작동실린더 로드(33a)의 후진에 의해서 공이(241)가 원위치로 복귀할 수 있으나, 보다 확실한 원상복귀를 설치하는 것이 보다 바람직할 것이다.

도 7은 본 발명에 의한 밸브플레이트 어셈블리를 나타낸 부분절개 사시도이고, 도 8은 도 7의 절개 부분을 나타낸 구동유니트를 포함한 밸브플레이트 어셈블리의 측단면도로서, 이에 도시된 바와 같이 구동유니트(3)의 상측에 밸브몸체가 안착되는 밸브몸체 하부지지판(31)이 구비되고, 구동유니트(3)의 상측에는 밸브플레이트 어셈블리(2)가 구비되며, 구동유니트(3)의 작동실린더 로드(33a)는 전후진에 의해서 밸브플레이트 어셈블리(2)를 밸브몸체(1)의 내부에서 상측 또는 우측으로 이동시킬 수 있도록 구성된다.

그리고, 밸브플레이트 어셈블리(2)를 구성하는 제1,2 게이트플레이트(21)(22)는 제1,2 볼트체결공(21a)(22a)을 통해 볼트를 수직방향으로 베이스(23)에 체결함으로써 베이스(23) 상에 개별적으로 고정되고, 제1,2 게이트플레이트(21)(22)는 외측면에 각각 게이트 실링(5)이 구비되어 밸브몸체(1)의 제1,2 게이트(1a)(1b) 간의 기밀을 요할 수 있도록 구성되며, 작동블록(24)의 양측에 롤러(244)가 구비되어 상기 롤러(244)에 의해서 밸브몸체(1)를 밸브플레이트 어셈블리(2)에 씌우거나 벗겨내어 분리하는 것이 보다 용이하게 이루어질 수 있도록 구성한 것이다.

이와함께 제1,2 게이트플레이트(21)(22)의 사이에는 작동블록(24)의 공이(241)가 회전할 때 간섭받지 않도록 공이의 위치에 슬릿 형태의 공간부를 갖는 게이트플레이트 지지블록(4)이 구비되어 상기 제1,2 게이트플레이트(21)(22)의 상부 내측이 제1 지지턱부(4a)에 의해서 상기 게이트플레이트 지지블록(4)에 걸려 서로 벌어지지 않게 고정할 수 있도록 구성되고, 제1,2 게이트플레이트(21)(22)의 하부 내측 역시 제2 지지턱부(23a)에 의해서 베이스(23)의 상측에 걸려 고정할 수 있도록 구성된 것으로, 상기 제1,2 게이트플레이트(21)(22)와 게이트플레이트 지지블록(4) 및 베이스(23)는 서로 대응되는 단턱 형태로 형성된다.

또한, 상기 게이트플레이트 지지블록(4)의 하부측 제1,2 게이트플레이트(21)(22)의 내측에는 작동블록(24)으로부터 상측으로 돌출된 제1 가동부(미도시됨) 및 제2 가동부(24b)의 공이(241)가 위치하고, 상기 공이(241)는 구동유니트(3)의 작동실린더 로드(33a)와 힌지축(241b)으로 연결되어 작동실린더 로드(33a)의 상측 또는 하측의 전후진 작동에 의해서 회전중심축(241a)을 중심으로 좌측 또는 우측으로 회전하면서 제1,2 게이트플레이트(21)(22)를 가압하여 상기 제1,2 게이트플레이트(21)(22)를 좌측 또는 우측으로 이동시킬 수 있도록 구성된 것이다.

즉, 본 발명은 9a에 도시된 바와 같이 제2 가동부(24b)를 구성하는 공이(241)가 좌측으로 회전하면서 제2 게이트플레이트(22)를 가압함으로써 밸브플레이트 어셈블리(2) 전체가 우측방향으로 이동하여 밸브몸체(1)의 제2 게이트(1b)를 폐쇄시킬 수 있게 되는 것이며, 도 9b에 도시된 바와 같이 제1 가동부(24a)를 구성하는 공이, 즉 제2 가동부(24b)와 대칭을 이루는 공이(241)가 우측으로 회전하면서 제1 게이트플레이트(21)를 가압함으로써 밸브플레이트 어셈블리(2) 전체가 좌측방향으로 이동하여 밸브몸체(1)의 제1 게이트(1a)를 폐쇄시킬 수 있게 되는 것이다.

따라서, 본 발명은 밸브플레이트 어셈블리(2)가 밸브몸체(1)의 제2 게이트(1b)를 제2 게이트플레이트(22)가 차단한 상태에서 밸브몸체(1)의 커버(1c)를 통한 제1 게이트플레이트(21)의 교체 및 유지 보수가 이루어질 수 있게 되고, 밸브플레이트 어셈블리(2)가 밸브몸체(1)의 제1 게이트(1a)를 제1 게이트플레이트(21)가 차단한 상태에서 밸브몸체(1)의 커버(1c)를 통한 제2 게이트플레이트(22)의 교체 및 유지 보수가 이루어질 수 있게 된다.

이같이 본 발명은 한 쌍의 게이트플레이트를 구비하여 베이스 상에 개별적으로 고정되게 하고, 상기 베이스를 포함한 한 쌍의 게이트플레이트는 하부측이 링크구조를 이루는 공이에 의해 좌측 또는 우측으로 이동되어 밸브몸체의 양측 게이트를 선택적으로 개폐할 수 있도록 함으로써 일측 게이트플레이트가 밸브몸체의 일측 게이트를 폐쇄한 상태에서 타측 게이트플레이트에 대한 교체 및 유지 보수가 가능하고, 이로 인하여 반도체 생산장비의 가동 중단없이 작업이 계속적으로 이루어질 수 있게 되어 기존에 밸브플레이트의 교체 및 유지 보수에 따른 작업중단으로 인한 막대한 경제적인 손실을 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.

이상에서 본 발명에 의한 반도체 생산장비의 게이트밸브를 구체적으로 설명하였으나, 이는 본 발명의 가장 바람직한 실시양태를 기재한 것일 뿐, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 첨부된 특허청구범위에 의해서 그 범위가 결정되어지고 한정되어진다. 또한, 이 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구나 본 발명의 명세서의 기재내용에 의한 다양한 변형 및 모방을 행할 수 있을 것이나, 이 역시 본 발명의 범위를 벗어난 것이 아님은 명백하다고 할 것이다.

1: 밸브몸체 1a,1b: 제1,2 게이트
1c: 커버
2: 밸브플레이트 어셈블리
21,22: 제1,2 게이트플레이트 21a,22a: 제1,2 볼트체결공
23: 베이스 23a: 제2 지지턱부
24: 작동블록 24a,24b: 제1,2 가동부
241: 공이 241a: 회전중심축
241b: 힌지축 241c: 토션스프링
242: 가이드봉 243: 가이드블록
244: 롤러
3: 구동유니트
31: 밸브몸체 하부지지판 32: 승강실린더
32a: 승강실린더 로드 33: 작동실린더
33a: 작동실린더 로드
4: 게이트플레이트 지지블록 4a: 제1 지지턱부

Claims

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박스 형태로 되어 양측에 제1,2 게이트(1a)(1b)가 형성되고, 상측에 커버(1c)가 볼트 체결된 밸브몸체(1)와, 상기 밸브몸체(1)의 내부에 한 쌍의 제1,2 게이트플레이트(21)(22)로 구비되어 제1,2 게이트플레이트(21)(22)를 함께 좌측 또는 우측으로 이동시켜 밸브몸체(1)의 제1 게이트(1a) 또는 제2 게이트(1b)를 선택적으로 개폐하는 밸브플레이트 어셈블리(2)와 상기 밸브플레이트 어셈블리(2)를 밸브몸체(1)의 내부에서 상측 또는 하측으로 이동시키는 구동유니트(3)로 구성된 반도체 생산장비의 게이트밸브에 있어서,
상기 밸브플레이트 어셈블리(2)는, 제1,2 게이트플레이트(21)(22)의 하부를 지지하고, 상기 제1,2 게이트플레이트(21)(22)가 각각 개별적으로 수직방향으로 볼트 체결되는 베이스(23)와, 상기 베이스(23) 상에 수직 방향으로 조립된 제1,2 게이트플레이트(21)(22)를 수직방향으로 작동하는 구동유니트(3)에 의해 좌측 또는 우측으로 이동할 수 있게 하는 작동블록(24)으로 구성되고;
상기 베이스(23)와 작동블록(24)은 베이스(23)의 하측에 결합된 가동블록(243)이 작동블록(24)의 내부에 횡방향으로 설치된 가이드봉(242)에 이동가능하게 결합되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 한 반도체 생산장비의 게이트밸브.
제2항에 있어서,
상기 제1,2 게이트플레이트(21)(22) 사이의 베이스(23) 상에는 게이트플레이트 지지블록(4)이 구비되어 제1,2 게이트플레이트(21)(22)의 상부 내측이 제1 지지턱부(4a)에 의해 상기 게이트플레이트 지지블록(4)의 상측에 각각 걸려 고정되도록 구성하고;
상기 베이스(23)에 제1,2 게이트플레이트(21)(22)의 하부 내측이 제2 지지턱부(23a)에 의해 베이스(23)의 상측에 걸려 고정되도록 구성한 것을 특징으로 한 반도체 생산장비의 게이트밸브.
제2항에 있어서,
상기 구동유니트(3)는, 상측에 밸브몸체(1)의 하부를 지지하는 밸브몸체 하부지지판(31)이 구비되고, 내부 중간에는 작동블록(24)의 하측에 연결되어 작동블록(24)을 포함한 밸브플레이트 유니트(2)의 전체를 상측 또는 하측으로 이동시키는 승강실린더(32)와, 상기 승강실린더(32)의 양측에 각각 구비되어 작동블록(24)에 의해 베이스(23)를 포함한 제1,2 게이트플레이트(21)(22)를 좌.우측으로 이동시키기 위한 작동실린더(33)로 구성되고;
상기 작동블록(24)은 작동실린더(33)의 승강구동에 의해서 베이스(23) 및 제1,2 게이트플레이트(21)(22)를 좌측 또는 우측방향으로 가압하여 이동시키는 제1 가동부(24a) 및 제2 가동부(24b)를 포함하는 것을 특징으로 한 반도체 생산장비의 게이트밸브.
제4항에 있어서,
상기 제1,2 가동부(24a)(24b)는, 일정한 길이를 갖는 공이(241) 하측에 작동실린더(33)의 작동실린더 로드(33a)의 상측에 회전 가능하게 결합되는 힌지축(241b)과 회전중심축(241a)을 일체로 한 링크 구조에 의해서 공이(241)가 회전중심축(241a)을 중심으로 좌측 또는 우측방향으로 회전되어 베이스(23)상의 제1,2 게이트플레이트(21)(22)를 가압하도록 구성된 것을 특징으로 한 반도체 생산장비의 게이트밸브.
제5항에 있어서,
상기 공이(241)의 회전중심축(241a)은, 공이(241)가 원위치로 복귀할 수 있도록 하는 토션스프링(241c)을 더 포함하는 것을 특징으로 한 반도체 생산장비의 게이트밸브.
제4항에 있어서,
상기 작동블록(24)은, 양측에 롤러(244)를 더 포함하는 것을 특징으로 한 반도체 생산장비의 게이트밸브.