KR100932120B1

KR100932120B1 - 반도체 제조설비의 로커 도어 밸브

Info

Publication number: KR100932120B1
Application number: KR1020090029000A
Authority: KR
Inventors: 최정호; 장정환
Original assignee: (주)선린
Priority date: 2009-04-03
Filing date: 2009-04-03
Publication date: 2009-12-16
Also published as: WO2010114232A3; WO2010114232A2

Abstract

본 발명은 프로세스 챔버와 트랜스퍼 챔버를 선택적으로 클로즈시킬 수 있는 로커 도어 밸브에 관한 것이다.

본 발명은 밸브 액추에이터의 메인 블럭, 실린더 가이드 블럭 등의 형상 및 구조 개선을 통해 실린더를 쉽게 교체할 수 있도록 한 새로운 형태의 밸브 액추에이터 어셈블리를 구현함으로써, 밸브 페일시 설비 전체를 분해할 필요없이 부속품만 개별 분리할 수 있는 등 밸브 교체시 설비의 가동중단 시간을 대폭 줄일 수 있는 한편, 밸브 액추에이터의 실린더류에 듀얼 PSD 실 방식을 적용하여 실의 식각을 최소화할 수 있고, 내부 샤프트 고정부분에 부싱을 사용하여 구동 업다운시 정확한 수직 운동이 이루어질 수 있도록 할 수 있으며, 또 밸브 액추에이터의 실린더류와 블럭류 간의 연계적인 운동 메카니즘을 개선하여 업다운 및 좌우 챔버의 개별 실을 가능하게 함으로써, 밸브의 전체적인 오픈/클로즈 작동 성능을 향상시킬 수 있음은 물론, 버큠 유지 및 설비 구동 대기 시간을 단축할 수 있는 반도체 제조설비의 로커 도어 밸브를 제공한다.

반도체, 챔버, 슬릿, 로커 도어 밸브, 밸브 액추에이터, 실린더, 메인 블럭

Description

반도체 제조설비의 로커 도어 밸브{Rocker door valve of semiconductor manufacturing equipment}

본 발명은 반도체 제조설비의 로커 도어 밸브에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 프로세스 챔버와 트랜스퍼 챔버를 선택적으로 클로즈시킬 수 있는 로커 도어 밸브에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조설비는 특수한 분위기에서 공정이 수행되며, 이들 특수한 공정 분위기를 형성하기 위해서 통제나 조절이 쉬운 별도의 작은 공간을 인접하여 형성하고, 이들 공간을 외부와 격리되도록 하므로서 주된 공정이 수행되는 공간의 내부는 항상 균일한 공정 분위기가 유지되도록 하고 있다.

외부와 격리되게 하면서 공정 진행시 이 작은 공간을 드나드는 웨이퍼의 통로가 마련되며, 이 통로는 통상 공압 엑추에이터에 의해서 개폐가동되는 로커 도어에 의해 단속되도록 하고 있다.

예를 들면, 반도체 제조설비는 진공상태로 공정이 수행되는 프로세스 챔버 이외에 이것과 인접하여 설치된 기타 챔버를 구비하고 있다.

즉, 웨이퍼가공 공정이 수행되는 프로세스 챔버, 가공을 위한 웨이퍼를 로드 또는 언로드 하는 로드락 챔버, 그리고 프로세스 챔버와 로드락 챔버 사이에 설치되어 웨이퍼를 이송시키는 트랜스퍼 챔버 등으로 되어 있다.

그리고, 상술한 각각의 챔버들 사이에는 웨이퍼를 통과시키기 위한 슬릿이 형성되어 있고, 슬릿에는 슬릿을 개폐하는 로커 도어와 이 로커 도어를 작동시키는 로커 도어 밸브가 설치되어 있어서 슬릿의 개폐가 이루어지도록 되어 있다.

상기 로커 도어 밸브는 주로 공압에 의해 작동되며, 승강 및 경사 이동방식(L-Motion 방식)에 의하여 챔버의 슬릿 주변의 외벽에 밀착되면서 슬릿을 클로즈시키는 밸브 본체, 상기 밸브 본체를 승강 및 경사 이동시키는 밸브 액추에이터 등을 포함하는 형태로 이루어져 있다.

그러나, 종래의 로커 도어 밸브는 다음과 같은 문제점이 있다.

첫째, 밸브 페일시 밸브 액추에이터의 실린더가 메인 블럭의 후면쪽에 위치되도록 설계되어 있어서 분해 및 조립이 불가능한 문제점이 있다.

즉, 현재의 도킹된 상태에서는 프로세스 챔버를 분해하지 않으면 밸브 페일시 부속품 분리가 불가능하여 챔버 등 설비 전체를 분해해야 하고, 파트 페일시 개별 교체가 불가능하며, 결국 밸브 교체시 설비의 가동을 중단시키는 시간이 증가하여 생산성이 떨어지는 문제점이 있다.

둘째, 밸브 액추에이터의 실린더류의 경우 단일 O-링으로 실링하는 방식으로 되어 있어서 구동시 O-링의 식각이 심하고, 내부 샤프트 고정 부분이 O-링으로 되 어 있어서 구동 업/다운시 편마모 및 정확한 수직운동이 이루어지지 못하는 문제점이 있다.

즉, 구동부위 실링이 얇은 O-링 1개로 되어 있는 구조인 관계로 약간만 마모가 되어도 에어가 역류하여 구동불량을 유발하게 되고, 제품 구조상 재수리 후에도 장기 사용이 곤란한 문제점이 있다.

따라서, 본 발명은 이와 같은 점을 감안하여 안출한 것으로서, 밸브 액추에이터의 메인 블럭, 실린더 가이드 블럭 등의 형상 및 구조 개선을 통해 실린더를 쉽게 교체할 수 있도록 한 새로운 형태의 밸브 액추에이터 어셈블리를 구현함으로써, 밸브 페일시 설비 전체를 분해할 필요없이 부속품만 개별 분리할 수 있는 등 밸브 교체시 설비의 가동중단 시간을 대폭 줄일 수 있는 반도체 제조설비의 로커 도어 어셈블리를 제공하는데 그 목적이 있다.

또한, 본 발명은 밸브 액추에이터의 실린더류에 듀얼 PSD 실 방식을 적용하여 실의 식각을 최소화하고, 내부 샤프트 고정부분에 부싱을 사용하여 구동 업다운시 정확한 수직 운동이 이루어질 수 있도록 한 반도체 제조설비의 로커 도어 밸브를 제공하는데 다른 목적이 있다.

또한, 본 발명은 밸브 액추에이터의 실린더류와 블럭류 간의 연계적인 운동 메카니즘을 개선하여 업다운 및 좌우 챔버의 개별 실을 가능하게 함으로써, 밸브의 전체적인 오픈/클로즈 작동 성능을 향상시킬 수 있음은 물론, 버큠 유지 및 설비 구동 대기 시간을 단축할 수 있는 반도체 제조설비의 로커 도어 밸브를 제공하는데 또 다른 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에서 제공하는 반도체 제조설비의 로커 도어 밸브는 슬릿을 개폐하는 블레이드 및 벨로우즈 샤프트가 구비되며 양쪽 챔버 사이에 배치되는 밸브 본체와, 상기 밸브 본체의 고정 설치되면서 양쪽에서 수직으로 연장되는 포스트 플레이트와, 상기 각 포스트 플레이트의 내측으로 나란하게 위치되면서 상단부 뒷쪽이 제1핀에 의해 포스트 플레이트상에 지지되어 전후 회동가능한 가이드 플레이트와, 상기 가이드 플레이트의 내측에 위치되면서 상단부 앞쪽이 제2핀에 의해 가이드 플레이트상에 지지되어 전후 회동가능한 메인 블럭과, 상기 메인 블럭의 전면에 위치되면서 블럭상에 놓여지는 형태로 설치되고 그 로드가 벨로우즈 샤프트측에 연결되는 제1실린더와, 상기 가이드 플레이트상에 후단부가 회동가능하게 설치되면서 그 로드가 메인 블럭의 하단측에 핀구조로 연결되는 제2실린더와, 상기 가이드 플레이트상에 후단부가 회동가능하게 설치되면서 그 로드가 포스트 플레이트에 설치되어 있는 실린더 가이드 블럭상에 핀구조로 연결되는 제3실린더 등을 포함하는 구조로 이루어져 양쪽 챔버를 선택적으로 클로즈시킬 수 있도록 된 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 메인 블럭의 경우에는 후벽과 바닥면을 가지면서 전면이 개방된 형태로 구성하여, 설비 전체를 분해하지 않고도 앞쪽에서 부속품만, 예를 들면 제1실린더만을 손쉽게 교체할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.

그리고, 상기 실린더류의 경우에는 내부 샤프트 고정부분에 부싱과 U-패킹을 개재하여 구동 업다운시 정확한 수직 운동이 이루어질 수 있도록 하고, 에어가 누설되지 않도록 하는 것이 바람직하다.

본 발명에서 제공하는 반도체 제조설비의 로커 도어 밸브는 다음과 같은 장점이 있다.

첫째, 밸브 페일시 부속품만 개별 분리가 가능하여 설비 전체를 분해할 필요가 전혀 없으므로, 예를 들면 실린더류의 개별 교체가 가능하고 간단한 분해 및 조립이 가능하므로, 밸브 교체시 설비의 가동중단 시간의 감소로 생산성을 향상시킬 수 있다.

둘째, 밸브 액추에이터의 실린더류에 듀얼 PSD 실 방식을 적용하고, 내부 샤프트 고정 부분에 부싱과 U-패킹 등을 적용함으로써, 실의 식각을 최소화할 수 있고, 내외부 에어 리크를 방지할 수 있으며, 구동 업다운시 정확한 수직운동이 이루어질 수 있는 등 실린더류의 전체적인 라이프 타임을 연장할 수 있다.

셋째, 업다운 및 좌우 개별 실 타입의 운동 메카니즘을 채용함으로써, 설비 구동시 프로세스 챔버 및 트랜스퍼 챔버의 페일시 반대 방향을 효과적으로 클로즈시킬 수 있고, 이에 따라 버큠 유지 및 설비 구동 대기 시간을 단축할 수 있는 등 생산성을 크게 향상시킬 수 있다.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1과 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 로커 도어 밸브를 나타내는 사시도이고, 도 3과 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 로커 도어 밸브를 나타내는 단 면도이다.

도 1 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 상기 로커 도어 밸브는 양쪽의 챔버, 예를 들면 프로세스 챔버와 트랜스퍼 챔버를 선택적으로 클로즈시킬 수 있으며, 블레이드를 승강 및 경사 이동시키는 L-Motion 방식의 작동 메카니즘으로 이루어져 있다.

이를 위하여, 챔버 간에 연결 설치되는 밸브 본체(13)에는 각 챔버측과 접하는 양쪽에 슬릿(10)이 구비되고, 상기 밸브 본체(13)의 내부에는 슬릿(10)을 개폐하는 블레이드(11)와 이 블레이드(11)에 연결되는 벨로우즈 샤프트(12)가 마련된다.

상기 밸브 본체(13)의 저면에는 후술하는 플레이트류와 블럭류를 설치하기 위한 포스트 플레이트(14a,14b)가 양쪽에서 수직으로 연장되면서 서로 나란하게 설치되고, 이렇게 설치되는 각 포스트 플레이트(14a,14b)의 내측으로는 이 포스트 플레이트(14a,14b)와 나란하게 근접 배치되는 가이드 플레이트(16a,16b)가 설치된다.

상기 가이드 플레이트(16a,16b)는 후술하는 메인 블럭(18)과 제2실린더(17) 및 제3실린더(22)를 설치하기 위한 부분이며, 플레이트 상단 뒷쪽, 즉 플레이트 상단의 앞뒤 모서리부분 중 뒷쪽의 모서리 부분이 제1핀(15)에 의해 포스트 플레이트(14a,14b)상에 결합되는 구조로 설치되어, 이때의 제1핀(15)을 중심축으로 하여 전후로 회동될 수 있도록 되어 있다.

상기 메인 블럭(18)은 제1실린더(19)가 설치될 수 있는 자리를 제공해주는 역할을 하며, 그 밖에 제2실린더(20)측과도 연결되고, 윗쪽으로는 후술하는 벨로우 즈 샤프트 가이드(34)와도 연결된다.

이를 위하여, 상기 메인 블럭(18)은 후벽과 바닥면을 가지면서 전면이 개방된 대략 사각 박스 형태로 이루어지는 동시에 양쪽의 측면에는 V형 절개부(35)가 마련되어 있어서 그 내측으로 설치되는 제1실린더(19)의 장착 및 탈거를 앞쪽에서 손쉽게 수행할 수 있는 이점을 제공한다.

예를 들면, 상기 제1실린더(19)는 메인 블럭(18)의 내측으로 위치된 후에 로드를 위로하는 수직 자세에서 블럭 바닥면상에 볼트 체결을 통해 설치되므로, 메인 블럭(18)의 형태 및 구조에 따라 조성되는 여유 공간들을 통해 주변의 간섭없이 제1실린더(19)를 앞쪽에서 간단하게 분해 및 조립할 수 있다.

이러한 메인 블럭(18)은 가이드 플레이트(16a,16b)의 내측에 위치되면서 상단부 앞쪽 모서리 부분이 제2핀(17)에 의해 가이드 플레이트(16a,16b)상에 지지되고, 이에 따라 제2핀(17)을 중심축으로 하여 전후로 회동될 수 있도록 되어 있다.

이와 같은 메인 블럭(18)의 전후 움직임과 가이드 플레이트(16a,16b)의 전후 움직임 간의 연계 동작을 통해 블레이드(11)가 슬릿(10)측으로 밀착될 수 있다.

상기 제1실린더(19)는 블레이드(11)를 상승 및 하강시켜주는 수단으로서, 메인 블럭(18) 내에 수용되는 형태로 설치되고, 그 로드는 벨로우즈 샤프트 가이드(24)를 통해 벨로우즈 샤프트(12)와 연결된다.

이에 따라, 제1실린더(19)의 상승 및 하강 동작에 의해 블레이드(11)도 함께 상하로 움직일 수 있다.

블레이드가 상승 후 앞뒤로 경사지게 동작하면서 슬릿측에 접하도록 해주는 수단으로서, 2개의 실린더, 즉 제2실린더(20)과 제3실린더(30)가 마련되고, 이들 실린더류의 연계적인 동작에 의해 플레이트류를 포함하는 블럭류가 회동되어 소정의 경사진 자세를 취하게 되므로서, 블레이드가 앞쪽 슬릿 또는 뒷쪽 슬릿 쪽으로 밀착되면서 클로즈시킬 수 있게 된다.

상기 제2실린더(20)는 주로 프로세서 챔버 클로즈시 이용되는 부분으로서, 가이드 플레이트(16a,16b)상에 후단부를 이용하여 회동가능하게 설치된다.

이때의 실린더 로드는 메인 블럭(18)의 하단측에 핀구조로 연결된다.

예를 들면, 제2실린더(20)의 실린더 몸체 후단부에는 실린더 가이드(24a)가 볼트 체결구조로 결합되는 동시에 실린더 로드에는 양쪽으로 수평 연장되는 핀 부분을 갖는 실린더 조인트 블럭(25a)이 나사 체결구조로 결합되는 한편, 상기 실린더 가이드(24a)는 제3핀(23a)에 의해 양쪽의 가이드 플레이트(16a,16b) 사이에 지지되는 동시에 상기 실린더 조인트 블럭(25a)은 양쪽 핀 부분을 이용하여 메인 블럭(18)의 하단측에 끼워지는 구조로 지지되므로서, 상기 제2실린더(20)는 앞쪽과 뒷쪽이 각각 핀 구조에 의해 지지되는 형태로 설치된다.

이렇게 설치되는 제2실린더(20)가 작동하면, 메인 블럭(18)은 제2핀(17)을 중심으로 회동되면서 자신은 물론 제1실린더(19), 벨로우즈 샤프트(12), 블레이드(11) 전체가 경사진 자세를 취할 수 있도록 해준다.

상기 제3실린더(22)는 주로 트랜스퍼 챔버 클로즈시 이용되는 부분으로서, 가이드 플레이트(16a,16b)상에 후단부를 이용하여 회동가능하게 설치된다.

이때의 실린더 로드는 포스트 플레이트(14a,14b)의 하단 전면을 바라보는 자 세로 설치되어 있는 실린더 가이드 블럭(21)상에 핀구조로 연결된다.

예를 들면, 제3실린더(22)의 실린더 몸체 후단부에는 실린더 가이드(24b)가 볼트 체결구조로 결합되는 동시에 실린더 로드에는 양쪽으로 수평 연장되는 핀 부분을 갖는 실린더 조인트 블럭(25b)이 나사 체결구조로 결합되는 한편, 상기 실린더 가이드(24b)는 제3핀(23b)에 의해 양쪽의 가이드 플레이트(16a,16b) 사이에 지지되는 동시에 상기 실린더 조인트 블럭(25b)은 양쪽 핀 부분을 이용하여 실린더 가이드 블럭(21)에 끼워지는 구조로 지지되므로서, 상기 제3실린더(22)의 경우에도 제2실린더(20)와 마찬가지로 앞쪽과 뒷쪽이 각각 핀 구조에 의해 지지되는 형태로 설치된다.

이에 따라, 제3실린더(22)가 작동하면, 가이드 플레이트(16a,16b)가 제1핀(15)을 중심으로 회동하게 되고, 계속해서 자신을 포함하여 제2실린더(20), 메인 블럭(18), 제1실린더(19), 벨로우즈 샤프트(12), 블레이드(11) 전체가 경사진 자세를 취하게 되고, 결국 블레이드가 슬릿측에 밀착되면서 챔버가 클로즈될 수 있게 된다.

특히, 상기 실린더 가이드 블럭(21)의 경우 실린더 조인트 블럭(26b)의 핀 부분을 끼우는 부위가 돌출부(36)가 되어 있으며, 이때의 돌출부(36) 주변으로 렌치 등의 공구가 들어갈 수 있는 여유공간이 조성되므로서, 제3실린더(22)의 교체시 장착 및 탈거작업을 간단하게 수행할 수 있는 이점이 있다.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 로커 도어 밸브에서 실린더의 내부 구조를 나타내는 사시도이다.

도 5에 도시한 바와 같이, 여기서는 업다운 작동을 위한 제1실린더(19)의 예를 보여주고 있으나, 그 밖의 제2실린더(20)나 제3실린더(22)에도 동일하게 적용시킬 수 있다.

상기 제1실린더(19)는 바디(31), 피스톤(30) 및 샤프트(12)를 포함하며, 상기 바디(31)의 상단부는 마감체(33)로 마감 처리된다.

이에 따라, 바디(31)의 내부로 공기압이 제공되면 피스톤(30) 및 이와 일체식으로 되어 있는 샤프트(32)가 움직이면서 실린더 업다운 작동이 이루어질 수 있다.

이러한 제1실린더(19)에서 샤프트(32)를 지지하는 마감체(33)의 내주면에는 부싱(26)이 설치되고, 이때의 부싱(26)이 샤프트 동작을 가이드하게 되므로서, 실린더 업다운 구동시 샤프트(32)가 정확하게 수직으로 운동할 수 있게 되고, 결국 전체적인 실린더의 작동 성능을 향상시킬 수 있다.

또한, 상기 부싱(26)이 설치되어 있는 위치의 내측에는 마감체(33)측에 고정되면서 샤프트(32)의 둘레와 접하는 U-패킹(27)이 마련되어 있어서 에어가 누설되는 것을 막아주는 효과적으로 막아줄 수 있다.

상기 제1실린더(19)의 피스톤(29)은 듀얼 PSD 실 방식으로 이루어져 있어서 실의 식각을 최소화시킬 수 있다.

예를 들면, 상기 피스톤(29)은 마그네틱(27)을 사이에 두고 위아래로 PSD 실(28)이 결합되는 형태로 이루어져 있어서 전체적인 실 부분의 내구성을 높일 수 있다.

이와 같이, 실린더에 듀얼 PSD 실 방식과 부싱(26) 및 U-패킹(27) 등을 적용함으로써, 실린더 작동성능 향상은 물론 실린더의 전체적인 라이프 타임을 연장할 수 있다.

이와 같이 구성되는 로커 도어 밸브의 작동 상태를 살펴보면 다음과 같다.

도 6과 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 로커 도어 밸브의 작동상태로서, 프로세스 챔버쪽과 트랜스퍼 챔버쪽을 각각 클로즈시킨 모습을 나타내는 단면도이다.

도 6에 도시한 바와 같이, 여기서는 프로세스 챔버를 클로즈시킨 상태를 보여준다.

먼저, 제2실린더(20)에 에어를 공급하면 로드의 인출에 의해 메인 밸브(18)가 제2핀(17)을 중심으로 도면의 우측으로 회전하면서 경사진 자세를 취하게 되고, 계속해서 제1실린더(19)에 에어를 공급하면 로드의 인출에 의해 밸로우즈 샤프트(12) 및 블레이드(11)가 상승하여 프로세스 챔버측 슬릿(10)과 접하게 되고, 계속해서 제3실린더(22)에 에어를 공급하면 실린더 가이드 블럭(21)에 고정되어 있는 로드에 대해 상대적으로 실린더 몸체가 당겨지면서 가이드 플레이트(16a,16b) 전체가 제1핀(15)을 중심으로 도면의 우측으로 회전하면서 경사진 자세를 취하게 되므로, 블레이드(11)가 슬릿(10)에 밀착되면서 프로세스 챔버를 클로즈시키게 된다.

오픈시의 경우에는 제2실린더(20), 제3실린더(22), 제1실린더(19)의 순서로 에어를 공급하여 각 실린더를 초기상태로 복귀시키면 프로세스 챔버를 오픈시킬 수 있다.

도 7에 도시한 바와 같이, 여기서는 트랜스퍼 챔버를 클로즈시킨 상태를 보여준다.

먼저, 제3실린더(22)에 에어를 공급하면 실린더 가이드 블럭(21)에 고정되어 있는 로드에 대해 상대적으로 실린더 몸체가 밀려나면서 가이드 플레이트(16a,16b) 전체가 제1핀(15)을 중심으로 도면의 좌측으로 회전하면서 경사진 자세를 취하게 되고, 계속해서 제1실린더(19)에 에어를 공급하면 로드의 인출에 의해 밸로우즈 샤프트(12) 및 블레이드(11)가 상승하여 트랜스퍼 챔버측 슬릿(10)과 접하게 되고, 계속해서 제2실린더(20)에 에어를 공급하면 로드의 수납에 의해 메인 밸브(18)가 제2핀(17)을 중심으로 도면의 좌측으로 회전하면서 경사진 자세를 취하게 되므로, 블레이드(11)가 슬릿(10)에 밀착되면서 트랜스퍼 챔버를 클로즈시키게 된다.

오픈시의 경우에는 제3실린더(22), 제1실린더(19), 제2실린더(20)의 순서로 에어를 공급하여 각 실린더를 초기상태로 복귀시키면 프로세스 챔버를 오픈시킬 수 있다.

한편, 본 발명에서는 밸브 점검이나 수리, 밸브 페일시 설비 전체를 분해하지 않고도 해당 부속품, 예를 들면 페일 빈도가 높은 실린더류만을 간단하게 개별 분리할 수 있는, 부속품을 개별적으로 교체할 수 있는 이점을 제공하며, 이와 관련한 부속품 분해작업의 순서를 살펴보면 다음과 같다.

먼저, 제1실린더(19)의 로드와 연결된 벨로우즈 샤프트 가이드(34)를 체결하고 있는 2개의 볼트를 푼다.

다음, 제1실린더(19)의 실린더 몸체와 메인 블럭(18)을 체결하고 있는 2개의 볼트를 푼 다음, 제1실린더(19)를 전방으로 빼낸다.

다음, 제2실린더(20)의 실린더 몸체와 실린더 가이드(24a)를 체결하고 있는 4개의 볼트를 풀고, 계속해서 실린더 로드와 실린더 조인트 블럭(25a)을 체결하고 있는 1개의 볼트를 푼 다음, 제2실린더(20)를 아래로 빼낸다.

다음, 제3실린더(22)의 실린더 몸체와 실린더 가이드(24b)를 체결하고 있는 4개의 볼트를 풀고, 계속해서 실린더 로드와 실린더 조인트 블럭(25b)을 체결하고 있는 1개의 볼트를 푼 다음, 제3실린더(22)를 아래로 빼낸다.

이와 같이, 밸브 페일시 작업공간이 확보되는 트랜스퍼 챔버의 아래쪽에서 부속품, 예를 들면 실린더류를 전방으로 간단하게 탈거할 수 있고, 또 손쉽게 재장착할 수 있으므로, 설비 전체를 분해할 필요가 없고, 결국 밸브 페일과 관련한 부속품 교체 작업을 빠르고 간편하게 효율적으로 수행할 수 있어 설비의 가동중지 시간을 줄일 수 있다.

이상으로 본 발명에 따른 특정의 바람직한 실시예에 대해서 도시하고 설명하였다. 그러나, 본 발명이 상술한 실시예로 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상의 요지를 벗어남이 없이 얼마든지 다양하게 변경 실시할 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 로커 도어 밸브를 나타내는 일부 분해 사시도

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 로커 도어 밸브를 나타내는 전체 조립 사시도

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 로커 도어 밸브를 나타내는 정면 단면도

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 로커 도어 밸브를 나타내는 측면 단면도

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 로커 도어 밸브에서 실린더의 내부 구조를 나타내는 단면 사시도

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 로커 도어 밸브의 작동상태로서, 프로세스 챔버쪽을 클로즈시킨 모습을 나타내는 측면 단면도

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 로커 도어 밸브의 작동상태로서, 트랜스퍼 챔버쪽을 클로즈시킨 모습을 나타내는 측면 단면도

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

10 : 슬릿 11 : 블레이드

12 : 벨로우즈 샤프트 13 : 밸브 본체

14a,14b : 포스트 플레이트 15 : 제1핀

16a,16b : 가이드 플레이트 17 : 제2핀

18 : 메인 블럭 19 : 제1실린더

20 : 제2실린더 21 : 실린더 가이드 블럭

22 : 제3실린더 23a,23b : 제3핀

24a,24b : 실린더 가이드 25a,25b : 실린더 조인트 블럭

26 : 부싱 27 : U-패킹

28 : 마그네틱 29 : PSD 실

30 : 피스톤 31 : 바디

32 : 샤프트 33 : 마감체

34 : 벨로우즈 샤프트 가이드 35 : V형 절개부

36 : 돌출부

Claims

슬릿(10)을 개폐하는 블레이드(11) 및 벨로우즈 샤프트(12)가 구비되며 양쪽 챔버 사이에 배치되는 밸브 본체(13);

상기 밸브 본체(13)의 고정 설치되면서 양쪽에서 수직으로 연장되는 포스트 플레이트(14a,14b);

상기 각 포스트 플레이트(14a,14b)의 내측으로 나란하게 위치되면서 상단부 뒷쪽이 제1핀(15)에 의해 포스트 플레이트(14a,14b)상에 지지되어 전후 회동가능한 가이드 플레이트(16a,16b);

상기 가이드 플레이트(16a,16b)의 내측에 위치되면서 상단부 앞쪽이 제2핀(17)에 의해 가이드 플레이트(16a,16b)상에 지지되어 전후 회동가능한 메인 블럭(18);

상기 가이드 플레이트(16a,16b)의 내측에 위치되면서 승강 및 경사 이동방식으로 블레이드(11)를 움직여주는 실린더류를 포함하되,

상기 실린더류는 메인 블럭(18)의 전면에 위치되면서 블럭상에 놓여지는 형태로 설치되고 그 로드가 벨로우즈 샤프트(12)측에 연결되는 제1실린더(19)와, 상기 가이드 플레이트(16a,16b)상에 후단부가 회동가능하게 설치되면서 그 로드가 메인 블럭(18)의 하단측에 핀구조로 연결되는 제2실린더(20)와, 상기 가이드 플레이트(16a,16b)상에 후단부가 회동가능하게 설치되면서 그 로드가 포스트 플레이트(14a,14b)에 설치되어 있는 실린더 가이드 블럭(21)상에 핀구조로 연결되는 제3실린더(22)를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 로커 도어 밸브.
삭제
청구항 1에 있어서, 상기 메인 블럭(18)은 후벽과 바닥면을 가지면서 전면이 개방된 형태로 이루어져 설비 전체를 분해하지 않고도 앞쪽에서 제1실린더(19)만을 손쉽게 교체할 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 로커 도어 밸브.
청구항 1에 있어서, 상기 제2실린더(20)는 제3핀(23a)에 의해 가이드 플레이트(16a,16b)측에 지지되는 실린더 가이드(24a)와 양쪽 핀 부분을 통해 메인 블럭(18)의 하단측에 지지되는 실린더 조인트 블럭(25a)에 각각 실린더 몸체와 실린더 로드가 결합되어 지지되는 구조로 설치되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 로커 도어 밸브.
청구항 1에 있어서, 상기 제3실린더(22)는 제3핀(23b)에 의해 가이드 플레이트(16a,16b)측에 지지되는 실린더 가이드(24b)와 양쪽 핀 부분을 통해 실린더 가이드 블럭(21)측에 지지되는 실린더 조인트 블럭(25b)에 각각 실린더 몸체와 실린더 로드가 결합되어 지지되는 구조로 설치되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 로커 도어 밸브.
청구항 1에 있어서, 상기 실린더류는 내부 샤프트 고정부분에 개재되는 부싱(26)을 포함하며 구동 업다운시 정확한 수직 운동을 할 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 로커 도어 밸브.
청구항 1에 있어서, 상기 실린더류는 부싱(26)이 설치되어 있는 위치의 안쪽으로 설치되어 에어가 누설되는 것을 막아주는 U-패킹(27)을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 로커 도어 밸브.
청구항 1에 있어서, 상기 실린더류는 마그네틱(28)을 사이에 두고 위아래로 결합되는 실(29)의 조합형태로 이루어진 듀얼 실 방식의 피스톤(30)을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 로커 도어 밸브.