WO2010114232A3 - 반도체 제조설비의 로커 도어 밸브 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 프로세스 챔버와 트랜스퍼 챔버를 선택적으로 클로즈시킬 수 있는 로커 도어 밸브에 관한 것이다. 본 발명은 밸브 액추에이터의 메인 블럭, 실린더 가이드 블럭 등의 형상 및 구조 개선을 통해 실린더를 쉽게 교체할 수 있도록 한 새로운 형태의 밸브 액추에이터 어셈블리를 구현함으로써, 밸브 페일시 설비 전체를 분해할 필요없이 부속품만 개별 분리할 수 있는 등 밸브 교체시 설비의 가동중단 시간을 대폭 줄일 수 있는 한편, 밸브 액추에이터의 실린더류에 듀얼 실 방식을 적용하여 실의 식각을 최소화할 수 있고, 내부 샤프트 고정부분에 부싱을 사용하여 구동 업다운시 정확한 수직 운동이 이루어질 수 있도록 할 수 있으며, 또 밸브 액추에이터의 실린더류와 블럭류 간의 연계적인 운동 메카니즘을 개선하여 업다운 및 좌우 챔버의 개별 실을 가능하게 함으로써, 밸브의 전체적인 오픈/클로즈 작동 성능을 향상시킬 수 있음은 물론, 버큠 유지 및 설비 구동 대기 시간을 단축할 수 있는 반도체 제조설비의 로커 도어 밸브를 제공한다.
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