KR200470864Y1 - 반도체 챔버용 도어 - Google Patents

반도체 챔버용 도어 Download PDF

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Abstract

본 고안은 챔버의 내측으로 로봇팔 등을 유입하기 위한 유입구를 개폐하기 위한 반도체 챔버용 도어에 관한 것이다. 본 고안에 따른 반도체 챔버용 도어는 반도체 챔버의 유입구를 개폐시키는 도어에 있어서, 도어 구동수단에 의해 상하방향 및 수평방향으로 구동됨과 더불어 가이드홀과 결합홀이 형성된 블레이드와, 블레이드에 형성된 가이드홀에 슬라이딩 삽입됨과 더불어 밀착판에 고정 결합되고, 외주면의 일부 또는 전체에 나사가 형성되는 가이드핀, 챔버의 외벽에 밀착되어 유입구를 개폐하는 밀착판, 가이드핀의 나사와 결합되어 밀착판이 블레이드로부터 이탈되는 것을 방지하는 체결수단 및, 블레이드와 밀착판 사이에 구비되어 밀착판을 블레이드에 대하여 탄성적으로 지지하는 스프링을 구비하여 구성된 것을 특징으로 한다.

Description

반도체 챔버용 도어{Chamber door}
본 고안은 예컨대 반도체 제조에 사용되는 챔버에 관한 것으로, 특히 챔버의 내측으로 로봇팔 등을 유입하기 위한 유입구를 개폐하기 위한 반도체 챔버용 도어에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 생산을 위한 챔버는 다수의 공정을 수행하기 위해서 다중 챔버로 구성된다. 반도체 제품을 생산하는 경우에는 이들 챔버 내부에 웨이퍼를 위치시키고, 여기에 각종 공정 처리를 위한 가스를 주입 및 배출시키는 동작을 실행하게 된다.
반도체 챔버에 웨이퍼를 인입하거나 인출하는 동작은 로봇팔을 통해 실행하게 된다. 따라서 반도체 챔버에는 로봇팔의 출입을 위한 유입구가 구비된다. 이 유입구는 로봇팔이 왕래하는 경우에는 개방되고, 로봇팔에 의한 웨이퍼의 인입이 종료된 후에는 폐쇄된다.
반도체 챔버는 내부가 고진공상태나 고압의 반응가스 분위기로 유지되어야 하고, 또한 챔버 내부에서는 플라즈마 처리 등이 실행되기 때문에 유입구는 최대한 완벽하게 밀폐되어야 한다. 따라서 로봇팔 등이 유입되는 유입구를 개페하기 위한 도어는 특별한 구조의 것이 요구된다.
종래의 챔버용 도어는 유입구에 밀착되는 블레이드를 구비한다. 이 블레이드의 내측면, 즉 블레이드에서 챔버와 밀착되는 부분에는 챔버 내부를 완벽하게 밀폐시키기 위한 오링(O-ring)이 마련된다. 블레이드는 공압 또는 유압으로 작동되는 실린더에 의해 구동된다. 이때 실린더로서는 블레이드를 상하방향으로 구동하여 블레이드를 챔버의 유입구에 위치시키는 것과, 블레이드를 수평방향으로 구동하여 챔버의 유입구에 위치된 블레이드를 챔버측에 밀착시키기 위한 것이 존재한다.
그런데, 종래의 챔버용 도어에 있어서는 도어의 반복적인 개폐동작시에 도어에 구비되는 오링이 탄성을 잃어버리거나 그 형상이 변형됨으로써 챔버의 유입구에 대한 밀폐력이 저하되는 문제가 발생된다. 그리고 이러한 경우에는 챔버 내부로 불순물이 유입되거나 챔버 내부로부터 반응가스나 플라즈마 등이 외부로 유출되는 등의 심각한 문제가 발생되게 된다.
또한 종래의 챔버용 도어에 있어서는 도어를 반복적으로 사용함에 의해 블레이드의 결합상태가 틀어지게 됨으로써 챔버에 대한 블레이드의 밀폐력이 저하되는 문제가 발생하게 된다.
본 고안은 상기한 사정을 감안하여 창출된 것으로서, 챔버에 대하여 로봇팔 등이 유입되는 유입구에 대한 블레이드에 밀폐력이 항상 안정적으로 유지될 수 있도록 함은 물론, 블레이드의 밀폐력을 종래에 비해 보다 향상시킬 수 있도록 된 반도체 챔버용 도어를 제공함에 그 기술적 목적이 있다.
상기 목적을 실현하기 위한 본 고안에 따른 반도체 챔버용 도어는 반도체 챔버의 유입구를 개폐시키는 도어에 있어서, 도어 구동수단에 의해 상하방향 및 수평방향으로 구동됨과 더불어 가이드홀과 결합홀이 형성된 블레이드와, 블레이드에 형성된 가이드홀에 슬라이딩 가능하게 삽입됨과 더불어 밀착판에 고정 결합되는 가이드핀, 블레이드에 형성된 결합홀에 슬라이딩 가능하게 삽입됨과 더불어 밀착판에 고정 결합되는 체결핀, 챔버의 외벽에 밀착되어 유입구를 개폐하는 밀착판, 상기 체결핀에 결합되어 밀착판이 블레이드로부터 이탈되는 것을 방지하는 체결수단 및, 블레이드와 밀착판 사이에 구비되어 밀착판을 블레이드에 대하여 탄성적으로 지지하는 스프링을 구비하여 구성된 것을 특징으로 한다.
또한 상기 블레이드의 배면에는 도어 구동수단과 블레이드를 결합하기 위한 고정바가 구비되는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 밀착판에는 챔버와의 접촉면에 홈이 형성되고, 상기 홈에 오링이 결합되는 것을 특징으로 한다.
상기한 구성으로 된 본 고안에 의하면, 가이드핀에 의해 챔버에 대한 밀착판의 위치가 항상 안정적으로 유지되고, 특히 스프링의 탄성에 의해 밀착판이 챔버의 외벽에 강하게 밀착된다. 따라서 오링에 변형이 발생되거나, 반복적인 사용에 의해 챔버에 대한 도어의 기계적인 유격 오차가 발생하는 경우에도 밀착판과 챔버의 밀착력이 항상 안정적으로 유지되게 된다.
도 1은 본 고안의 일실시예에 따른 반도체 챔버용 도어의 사시도.
도 2는 도 1에 도시된 반도체 챔버용 도어의 정면도,
도 3은 로커 도어의 전체 구성을 도시한 구성 단면도.
도 4-5는 로커 도어의 사용 상태를 도시한 사용 상태도.
이하, 도면을 참조하여 본 고안에 따른 실시예를 설명한다. 단, 이하에서 설명하는 실시예는 본 고안에 대한 하나의 바람직한 구현예를 예시적으로 나타낸 것으로서, 이러한 실시예의 예시는 본 고안의 권리범위를 제한하기 위한 것이 아니다. 본 고안은 그 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형시켜 실시할 수 있다.
도 1은 본 고안의 일실시예에 따른 반도체 챔버용 도어의 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 반도체 챔버용 도어의 정면도, 도 3은 반도체 챔버용 도어의 전체 구성을 도시한 구성 단면도이다.
도면에서 본 고안에 따른 반도체 챔버용 도어는 블레이드(10)와, 이 블레이드(10)의 앞쪽에 구비된 밀착판(20)을 구비하여 구성된다. 이때 밀착판(20)은 블레이드(10)에 탄성적으로 지지됨과 더불어 가이드 핀(30)에 의해 블레이드(10)와 수평방향을 따라 왕복 이동이 가능하도록 구성된다.
블레이드(10)의 배면에는 챔버에 대하여 도어를 상하 방향 및 수평 방향으로 이동시키기 위한 구동부를 결합하기 위한 고정바(11)가 구비된다. 고정바(11)는 블레이드(10)에 구비된 클램프(12)에 의해 고정된다. 고정바(11)에는 홀(11a)이 형성된다. 이 홀(11a)은 별도의 체결부재를 사용하여 구동부에 도어, 즉 블레이드(10)를 체결하는 것이다.
상기 블레이드(10)의 중앙 부분에는 가이드핀(30)을 슬라이딩 이동 가능하게 결합하기 위한 다수의 가이드홀(10a)이 형성된다. 또한 블레이드(10)의 양측에는 밀착판(20)을 블레이드(10)에 대하여 탄성적으로 지지하기 위한 다수의 스프링(s)이 삽입되는 다수의 결합홀(10b)이 형성된다.
밀착판(20)은 일면에 오링(o)을 끼움 결합하기 위한 홈(20a)이 형성되고, 이 홈(20a)에 오링(o)이 결합된다.
상기 밀착판(20)의 중앙 부분에는 다수의 가이드핀(30)이 구비된다. 이들 가이드핀(30)은 밀착판(20)에 고정 결합된다. 가이드핀(30)은 블레이드(10)의 가이드홀(10a)에 슬라이딩 가능하게 삽입된다. 따라서, 가이드핀(30)에 의해 밀착판(20)은 블레이드(10)와 수평방향을 따라 이동할 수 있도록 결합된다.
또한 밀착판(20)의 양측면에는 밀착판(20)을 블레이드(10)에 체결하기 위한 체결핀(40)이 결합된다. 이 체결핀(40)의 외주면에는 일부 또는 전체적으로 나사가 형성되고, 이 나사 부분에는 너트(50)가 체결된다. 체결핀(40)은 블레이드(10)의 결합홀(10b)에 슬라이딩 가능하게 삽입되고, 그 외측에 너트(50)가 체결된다.
그리고 체결핀(40)의 외측에는 스프링(s)이 구비된다. 스프링(s)은 탄성력이 매우 큰 것이 사용된다. 이 스프링(s)은 블레이드(10)에 대하여 밀착판(20)을 탄성적으로 지지하여 밀착판(20)이 챔버와 강하게 밀착될 수 있도록 하게 된다. 밀착판(20)은 스프링(s)에 의해 블레이드(10)로부터 일정 간격 이격되게 설치되고, 블레이드(10)와 밀착판(20)의 이격 거리는 체결핀(40)에 결합되는 너트(50)를 회전시켜 조절하게 된다. 이 경우 너트(50)와 블레이드(10) 사이에는 너트(50)의 회전이 용이하도록 추가적으로 와셔(washer)가 구비될 수 있다.
도 4-도 5는 챔버용 도어의 사용 상태를 도시한 사용 상태도.
본 고안에 따른 챔버용 도어는 고정바(11)에 도어 구동부(1)가 체결된다. 도면에서 참조번호 2는 반도체용 챔버이고, 2a는 로봇팔 등을 챔버(2) 내부로 인입 또는 인출하기 위한 유입구이다.
챔버(2) 내부에 웨이퍼를 배치한 후에는 구동부(1)가 구동하여 챔버(2)의 유입구(2a)에 대하여 도어를 닫게 된다. 이 때에는 상술한 바와 같이 구동부(1)가 도어를 유입구(2a)에 대응하는 위치로 상승시킨 후, 다시 도어를 유입구(2a)에 밀착시되도록 이동키게 된다.
유입구(2a)에 도어를 밀착시키는 경우에는 챔버(2)의 외벽에 밀착판(20)이 맞닿은 후 일정 거리 만큼 도어를 챔버(2)의 외벽측으로 이동시킴으로써 밀착판(20)이 스프링(s)의 탄성력에 의해 보다 강한 압력으로 챔버(2)의 외벽에 밀착되도록 하게 된다.
상기 실시예에 있어서는 가이드핀(30)에 의해 챔버(2)에 대한 밀착판(20)의 위치가 항상 안정적으로 유지되고, 특히 스프링(s)의 탄성에 의해 밀착판(20)이 챔버(2)의 외벽에 강하게 밀착된다. 따라서 오링(o)에 변형이 발생되거나, 반복적인 사용에 의해 챔버(2)에 대한 도어의 기계적인 유격 오차가 발생하는 경우에도 밀착판(20)과 챔버(2)의 밀착력이 항상 안정적으로 유지되게 된다. 즉, 챔버(2) 내부의 밀폐력이 항상 안정적으로 유지됨으로써 안정적인 반도체 공정을 실행할 수 있게 된다.
이상으로 본 고안에 따른 실시예를 설명하였다. 그러나, 본 고안은 상술한 실시에에 한정되지 않고, 본 고안의 기술적 개념을 벗어나지 않는 범위내에서 다양하게 변형시켜 실시할 수 있다.
10 : 블레이드, : 20 : 밀착판, 30 : 가이드핀, 40 : 나사, 50 : 너트,

Claims (3)

  1. 반도체 챔버의 유입구를 개폐시키는 도어에 있어서,
    도어 구동수단에 의해 상하방향 및 수평방향으로 구동됨과 더불어 가이드홀과 결합홀이 형성된 블레이드와,
    블레이드에 형성된 가이드홀에 슬라이딩 가능하게 삽입됨과 더불어 밀착판에 고정 결합되는 가이드핀,
    블레이드에 형성된 결합홀에 슬라이딩 가능하게 삽입됨과 더불어 밀착판에 고정 결합되는 체결핀,
    챔버의 외벽에 밀착되어 유입구를 개폐하는 밀착판,
    상기 체결핀에 결합되어 밀착판이 블레이드로부터 이탈되는 것을 방지하는 체결수단 및,
    블레이드와 밀착판 사이에 구비되어 밀착판을 블레이드에 대하여 탄성적으로 지지하는 스프링을 구비하여 구성된 것을 특징으로 반도체 챔버용 도어.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 블레이드의 배면에는 도어 구동수단과 블레이드를 결합하기 위한 고정바가 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체 챔버용 도어.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 밀착판에는 챔버와의 접촉면에 홈이 형성되고, 상기 홈에 오링이 결합되는 것을 특징으로 하는 반도체 챔버용 도어.
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