KR20210015056A - 기판 처리 장치 - Google Patents

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KR20210015056A
KR20210015056A KR1020190093332A KR20190093332A KR20210015056A KR 20210015056 A KR20210015056 A KR 20210015056A KR 1020190093332 A KR1020190093332 A KR 1020190093332A KR 20190093332 A KR20190093332 A KR 20190093332A KR 20210015056 A KR20210015056 A KR 20210015056A
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Abstract

본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 보다 효율적이고 파티클이 발생률이 낮은 챔버의 결합 구조 및 클램핑 구조로 이루어진 기판 처리 장치에 관한 것이다.
본 발명에 의한 기판 처리 장치는,
내부에 공간이 형성되고 일측에 상기 내부공간과 외부가 연통하는 개구부가 형성된 하우징과, 상기 하우징과 결합 또는 분리되며 상기 개구부를 개폐하도록 이루어진 도어와, 상기 하우징 및 상기 도어에 결합되어 상기 하우징과 상기 도어가 결합된 상태를 유지하도록 지지하는 결합부재를 포함하여 이루어진다.

Description

기판 처리 장치{Apparatus for Treating Substrate}
본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 보다 효율적이고 파티클의 발생률을 낮출 수 있는 챔버의 결합 구조 및 클램핑 구조로 이루어진 기판 처리 장치에 관한 것이다.
최근 정보 통신 분야의 급속한 발달과, 컴퓨터와 같은 정보 매체의 대중화에 따라 반도체 장치도 비약적으로 발전하고 있다. 또한, 그 기능적인 면에 있어서 반도체 장치의 소자 고집적화 경향에 따라 기판에 형성되는 개별 소자의 크기를 줄이면서 한편으로 소자 성능을 극대화시키기 위해 여러 가지 방법이 연구 개발되고 있다.
일반적으로 반도체 소자는 리소그래피(Lithography), 증착(Deposition) 및 식각(Etching), 감광제(Photoresist)의 도포(Coating), 현상(Develop), 세정 및 건조공정 등의 복수의 기판 처리를 반복적으로 진행하여 제조된다.
각 공정은 각각의 목적에 적합한 공정유체를 이용하여 이루어지며, 각 공정마다 적합한 공정 환경이 요구된다.
각 공정은 해당하는 공정 환경이 조성되는 챔버 또는 배스에 기판을 수용하여 이루어지는 것이 일반적이며, 외부 파티클의 유입을 방지하기 위해 밀폐된 챔버 내부에 기판을 수용하여 이루어질 수 있다.
각 공정을 수행하는 기판상에는 금속 불순물, 유기물 등의 파티클이 잔존하게 되는데, 이와 같은 오염물질은 기판의 공정 불량을 일으키고 제품의 수율 및 신뢰성에 악영향을 미치게 된다.
따라서 파티클을 제거하기 위해 각 공정의 완료시마다 반복적으로 수행되는 세정 및 건조공정이 매우 중요하게 다뤄지고 있다.
세정은 습식세정과 건식세정으로 분류될 수 있으며, 그 중에서도 습식세정이 반도체 제조분야에서 널리 이용되고 있다.
습식세정은 각각의 단계마다 오염물질에 맞는 화학물질을 사용하여 연속적으로 오염물질을 제거하는 방식으로, 산과 알칼리 용액 등의 공정유체를 다량 사용하여 기판에 잔류하는 오염물질을 제거하게 된다.
기판 처리 공정은 크게 두가지 방식에 의해 이루어지는데, 복수 개의 기판을 동시에 처리하는 외엽식(배치식) 방식과, 기판을 한 장씩 낱개로 처리하는 매엽식 방식이 있다.
외엽식의 경우 복수 개의 기판을 동시에 처리하여 우수한 드루풋(throughput)을 얻을 수 있다는 장점이 있고, 매엽식의 경우 기판을 한 장씩 낱개로 처리하는 바 매우 정밀한 공정구현이 가능하다는 장점이 있다.
도 1을 참조하여 밀폐된 챔버 내부에 기판을 수용하여 기판 처리 공정이 이루어지는 종래 기술에 의한 매엽식 기판 처리 장치에 대해 설명한다.
종래 기술에 의한 기판 처리 장치는, 제1하우징(11)과 제2하우징(12)의 결합으로 내부에 기판(W)이 수용되는 밀폐된 기판 처리 공간이 형성되는 챔버(10)를 포함한다.
상기 챔버(10)는 상기 기판(W)이 챔버(10) 내부로 반입되거나 상기 챔버(10) 내부로부터 외부로 반출되는 경우 개방되며, 상기 챔버(10) 내부에서 기판(W)의 처리 공정이 수행되는 동안 밀폐 상태를 유지한다.
상기 챔버(10)는, 상기 제1하우징(11)이 상기 제2하우징(12)의 상부에 결합되며, 상기 제1하우징(11)의 위치가 고정되고, 상기 제2하우징(12)이 구동부(14)의 구동에 의해 승강 이동함에 따라 상기 제1하우징(11)과 결합 또는 분리됨으로써 개폐된다.
이를 위해 상기 제2하우징(12)을 지지하여 승강 이동 시키는 구동부(14)가 구비되며, 상기 구동부(14)는 일반적으로 신축 구동하는 실린더로 이루어진다.
도 1 (a)는 상기 실린더의 신장에 의해 상기 제2하우징(12)이 상승 이동하여 상기 제1하우징(11)과 결합됨으로써 상기 챔버(10)가 밀폐된 것을 나타낸 도면으로, 밀폐된 상기 챔버(10)의 외측으로 클램핑부(40)가 결합되어 상기 제1하우징(11)과 상기 제2하우징(12)을 수직방향으로 압박하여 클램핑함으로써 상기 챔버(10)의 밀폐 상태를 유지하게 된다.
밀폐된 상기 챔버(10) 내부의 기판 처리 공간(S)에는 공정유체가 공급되어 고온 고압의 기판 처리 환경이 형성된다.
이때, 상기 기판 처리 공간(S) 내부의 압력이 상기 챔버(10)에 작용하는 힘(F1,F2)은 내부압력과 면적을 곱한 값이 된다.
이에 따라, 상기 챔버(10)의 내부로부터 수직방향으로 작용하는 힘(F1)은 내부압력과 상기 기판 처리 공간(S)의 반경(D1)의 제곱에 비례하며, 상기 챔버(10)의 내부로부터 수평방향으로 작용하는 힘(F2)은 상기 기판 처리 공간(S)의 높이(D2)에 비례하게 된다.
일반적으로 기판 처리용 챔버에 있어서 기판 처리 공간(S)의 반경(D1)이 높이(D2)보다 크고, 기판 처리 공간(S)의 수평단면적이 수직단면적보다 크므로, 상기 챔버(10)의 내부로부터 수직방향으로 작용하는 힘(F1)이 상기 챔버(10)의 내부로부터 수평방향으로 작용하는 힘(F2)보다 크게 된다.
따라서, 종래 기술에 의한 챔버 결합 구조는 상기 제1하우징(11)과 상기 제2하우징(12)이 수직방향으로 결합하는 방식으로 이루어지므로, 상기 제1하우징(11)과 상기 제2하우징(12)의 결합상태를 유지하기 위해 상기 챔버(10)의 내부로부터 수직방향으로 작용하는 힘(F1)보다 큰 힘을 수직방향으로 가하는 클램핑이 요구되었다.
이때, 상기 챔버(10)의 내부로부터 수평방향으로 작용하는 힘(F2)이 상기 챔버(10)의 내부로부터 수직방향으로 작용하는 힘(F1)보다 작으므로, 클램핑에 소요되는 에너지를 절약하기 위한 방안으로, 상기 제1하우징(11)과 상기 제2하우징(12)이 수평방향으로 결합하는 챔버 결합 구조를 연구하게 되었다.
한편, 도 1 (b)는 상기 실린더의 수축에 의해 상기 제2하우징(12)이 하강 이동하여 상기 제1하우징(11)으로부터 분리됨으로써 상기 챔버(10)가 개방된 것을 나타낸 도면으로, 상기 챔버(10)의 개방에 선행하여 상기 클램핑부(40)가 상기 챔버(10)로부터 분리된다.
이때, 상기 클램핑부(40)가 상기 챔버(10)와 결합 또는 분리되는 과정에서 마찰에 의해 파티클(p)이 다량 발생하며, 상기 파티클(p)이 상기 제1하우징(11)과 상기 제2하우징(12) 사이에 형성되는 개구부(15)를 통해 상기 챔버(10) 내부에 유입될 수 있었다.
따라서. 상기 챔버(10) 내부의 기판 처리 환경에 악영향을 미칠 수 있었고, 기판의 불량이 발생할 수 있었다.
또한, 상기 클램핑부(40)는 상기 챔버(10)의 둘레를 따라 외측을 감싸도록 구비되어, 상기 클램핑부(40)가 이동하여 상기 챔버(10)에 결합되고 분리되는 공간 및 에너지가 요구되었으며, 보다 효율적인 클램핑 방법이 연구되고 있다.
상기한 바와 같은 기판 처리 장치에 대한 선행기술의 일례로 대한민국 공개특허 제10-2015-0064494호가 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 수평방향 일측이 개폐되는 구조의 챔버를 구비하여 클램핑에 소요되는 에너지를 절약할 수 있는 기판 처리 장치를 제공하고자 한다.
또한, 클램핑 구조를 간소화 하여 소요 에너지 및 공간을 절약할 수 있는 기판 처리 장치를 제공하고자 한다.
또한, 챔버의 개폐 및 클램핑시 파티클 발생률을 낮추고 기판의 불량 발생률을 낮출 수 있는 기판 처리 장치를 제공하고자 한다.
상술한 바와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명의 기판 처리 장치는, 내부에 공간이 형성되고, 일측에 상기 내부공간과 외부가 연통하는 개구부가 형성된 하우징과, 상기 하우징과 결합 또는 분리되며 상기 개구부를 개폐하도록 이루어진 도어와, 상기 하우징 및 상기 도어에 결합되어 상기 하우징과 상기 도어가 결합된 상태를 유지하도록 지지하는 결합부재를 포함하여 이루어진다.
상기 하우징은, 상기 내부공간이 수평단면적이 수직단면적보다 크게 형성되고, 상기 개구부가 수평방향으로 긴 슬릿 형상으로 이루어진 것일 수 있다.
이때, 상기 하우징의 외측면에 적어도 하나의 제1결합부가 형성되고, 상기 도어의 외측면에 적어도 하나의 제2결합부가 형성되며, 상기 결합부재의 일측에 상기 적어도 하나의 제1결합부에 형합하는 적어도 하나의 제1연결부가 형성되어 상기 제1연결부와 상기 제1결합부가 결합되고, 타측에 상기 적어도 하나의 제2결합부에 형합하는 적어도 하나의 제2연결부가 형성되어 상기 제2연결부가 상기 제2결합부에 결합되도록 이루어질 수 있다.
상기 제1결합부 및 상기 제2결합부는 복수 개 구비될 수 있으며, 상기 하우징과 상기 도어의 결합면을 기준으로 대칭되는 위치에 형성될 수 있다.
상기 복수 개의 제1결합부 및 상기 복수 개의 제2결합부는 복수 쌍의 제1결합부 및 제2결합부를 이루고, 상기 결합부재가 복수 개 구비되어 상기 복수 쌍의 제1결합부 및 제2결합부에 각각 결합될 수 있다.
이때, 상기 복수 쌍의 제1결합부 및 제2결합부는 상기 하우징과 상기 도어의 결합면을 따라 일정 간격 이격되어 나란하게 형성될 수 있으며, 상기 개구부의 중심을 기준으로 대칭되는 위치에 형성될 수 있다.
또한, 상기 결합부재에는 상기 복수의 제1결합부 또는 상기 복수의 제2결합부에 대응하는 복수의 상기 제1연결부 또는 복수의 상기 제2연결부가 형성되어, 하나의 결합부재에 복수의 상기 제1결합부 또는 복수의 상기 제2결합부가 결합될 수 있다.
상기 제1결합부 및 상기 제2결합부는 다양한 개수와 형태로 구비될 수 있다.
상기 제1결합부 및 상기 제2결합부와 이에 형합하는 상기 제1연결부 및 상기 제2연결부는 오목한 홈 형상과 이에 삽입되는 볼록한 돌출 형상의 쌍으로 이루어질 수 있으며, 상기 결합부재에 있어서, 상기 오목한 홈 형상은 관통하는 형상으로 대체될 수 있다.
상기 도어는, 상기 하우징에 결합된 상태에서 상기 하우징의 외측방향으로 수평이동하여 상기 개구부와 마주보도록 위치한 후 수직방향으로 상승 또는 하강하여 상기 하우징으로부터 분리됨으로써 상기 개구부를 개방하고, 상기 하우징으로부터 분리된 상태에서 수직방향으로 하강 또는 상승하여 상기 개구부와 마주보도록 위치한 후 상기 하우징의 내측방향으로 수평이동하여 상기 하우징과 결합됨으로써 상기 개구부를 차단하도록 이루어질 수 있다.
또한, 상기 하우징과 상기 도어가 결합된 챔버에 있어서, 상기 결합부재는, 상기 챔버의 외측으로부터 내측방향으로 직선이동하여 상기 제1연결부 및 상기 제2연결부가 상기 제1결합부 및 상기 제2결합부와 결합 또는 분리되도록 이루어질 수 있다.
이때, 상기 제1결합부와 상기 제1연결부의 결합방향과, 상기 제2결합부와 상기 제2연결부의 결합방향은, 각각 상기 하우징과 상기 도어의 결합방향과 직각을 이루는 방향으로 형성될 수 있다.
또한, 상기 하우징은 제1하우징과 제2하우징의 결합으로 이루어질 수도 있다.
이때, 상기 제1결합부는 상기 제1하우징에 형성된 제1하우징결합부와 상기 제2하우징에 형성된 제2하우징결합부를 포함하여 이루어지며, 상기 제1연결부는 적어도 하나의 상기 제1하우징결합부에 형합하는 적어도 하나의 제1하우징연결부와 적어도 하나의 상기 제2하우징결합부에 형합하는 적어도 하나의 제2하우징연결부를 포함하여 이루어질 수 있다.
이에 따라, 상기 제1하우징연결부 및 상기 제2하우징연결부가 상기 제1하우징결합부 및 상기 제2하우징결합부에 각각 결합되고, 상기 제2연결부가 상기 제2결합부에 결합되어, 상기 결합부재가 상기 챔버에 결합되며, 상기 제1하우징과 상기 제2하우징 및 상기 도어의 결합 상태가 유지되도록 지지할 수 있다.
본 발명에 의하면, 수평방향 일측에 개방부가 구비된 하우징과 개방부를 개폐하는 도어로 이루어진 챔버를 제공하여 챔버의 내부 압력에 의해 챔버가 분리되는 방향으로 작용하는 힘을 최소화함으로써 클램핑에 소요되는 에너지를 절약할 수 있다.
또한, 챔버의 일부와 결합되어 클램핑하는 간소화된 클램핑 구조를 제공하여 클램핑에 소요되는 에너지 및 공간을 절약할 수 있다.
또한, 챔버의 개폐 및 클램핑시 파티클 발생률을 낮추고 기판의 불량 발생률을 낮출 수 있다.
도 1은 종래 기술에 의한 기판 처리 장치를 개략적으로 나타내는 도면.
도 2는 본 발명에 의한 기판 처리 장치의 제1실시예를 나타내는 분해사시도.
도 3은 본 발명에 의한 기판 처리 장치의 제1실시예를 나타내는 평단면도.
도 4는 본 발명에 의한 기판 처리 장치의 제1실시예를 나타내는 결합구조도.
도 5는 본 발명에 의한 기판 처리 장치의 제2실시예를 나타내는 분해사시도.
도 6은 본 발명에 의한 기판 처리 장치의 제3실시예를 나타내는 분해사시도.
도 7은 본 발명에 의한 기판 처리 장치의 제4실시예를 나타내는 분해사시도.
도 8은 본 발명에 의한 기판 처리 장치의 제5실시예를 나타내는 분해사시도.
도 9는 본 발명에 의한 기판 처리 장치의 제6실시예의 일실시예를 나타내는 분해사시도.
도 10은 본 발명에 의한 기판 처리 장치의 제6실시예의 다른 실시예를 나타내는 분해사시도.
도 11은 본 발명에 의한 기판 처리 장치의 제7실시예를 나타내는 분해사시도.
도 12는 본 발명에 의한 기판 처리 장치의 제8실시예를 나타내는 분해사시도.
이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 의한 기판 처리 장치의 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다.
여기서, 종래기술에서 설명된 내용 및 중복되는 내용에 대해서는 상세한 설명을 생략하고, 본 발명에 새롭게 부가된 구성요소를 중심으로 설명하기로 한다.
도 2 내지 도 4를 참조하여 본 발명의 제1실시예에 의한 기판 처리 장치(1-1)에 대해 설명한다.
도 2는 상기 기판 처리 장치(1-1)의 분해사시도이며, 도 3은 상기 기판 처리 장치(1-1)의 평단면도이다.
본 제1실시예에 따른 기판 처리 장치(1-1)는, 내부에 공간(S)이 형성되고 일측에 상기 내부공간(S)과 외부가 연통하는 개구부(120)가 형성된 하우징(100)과, 상기 하우징(100)과 결합 또는 분리되며 상기 개구부(120)를 개폐하도록 이루어진 도어(200)와, 상기 하우징(100) 및 상기 도어(200)에 결합되어 상기 하우징(100)과 상기 도어(200)가 결합된 상태를 유지하도록 지지하는 결합부재(300)를 포함한다.
이때, 상기 하우징(100)은, 상기 내부공간(S)의 수평단면적이 수직단면적보다 크게 형성된 것으로 구비된다.
또한, 상기 하우징(100)의 외측면에 적어도 하나의 제1결합부(110)가 형성되고, 상기 도어(200)의 외측면에 적어도 하나의 제2결합부(210)가 형성되며, 상기 결합부재(300)의 일측에 상기 적어도 하나의 제1결합부(110)에 형합하는 적어도 하나의 제1연결부(310)가 형성되고, 타측에 상기 적어도 하나의 제2결합부(210)에 형합하는 적어도 하나의 제2연결부(320)가 형성된다.
이에 따라, 상기 제1연결부(310)가 상기 제1결합부(110)에 결합되고 상기 제2연결부(320)가 상기 제2결합부(210)에 결합되어 상기 결합부재(300)가 상기 하우징(100) 및 상기 도어(200)에 결합됨으로써 상기 하우징(100)과 상기 도어(200)가 결합된 상태를 유지하도록 지지하게 된다.
상기 하우징(100)과 상기 도어(200)는 결합하여 밀폐된 챔버를 형성한다.
상기 챔버는 기판(미도시)을 수용하여 처리하는 기판 처리용 챔버로, 상기 챔버의 내부공간(S)은 상기 기판을 처리하는 기판 처리 공간으로 이용된다.
상기 기판은 반도체 기판이 되는 실리콘 웨이퍼일 수 있다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 기판(W)은 LCD(liquid crystal display), PDP(plasma display panel)와 같은 평판 디스플레이 장치용으로 사용하는 유리 등의 투명 기판일 수 있다. 상기 기판의 형상 및 크기는 원형 및 사각형 플레이트 등 실질적으로 다양한 형상과 크기를 가질 수 있다.
상기 기판이 수용된 상기 챔버에는, 기판의 처리 공정에 따라 상기 기판 처리 공간에 적어도 하나의 종류의 공정유체를 공급하는 유체공급부(미도시)가 구비된다.
상기 공정유체는 그 종류에 따라 상기 기판의 처리를 위한 일정 범위의 온도와 압력을 만족하는 기판 처리 환경을 요구하며, 상기 기판 처리 환경은 상기 공정유체의 종류에 따라 달라진다.
일례로, 초임계유체를 이용하는 기판 처리 공정의 경우, 유체가 초임계 상태를 유지할 수 있도록 임계온도 이상의 고온과 임계압력 이상의 고압을 만족하는 기판 처리 환경이 요구된다.
상기 초임계유체의 일례로 초임계 이산화탄소가 있다.
상기 챔버는, 상기 기판 처리 환경을 제공하기 위해 소정의 두께를 갖는 높은 강성을 가진 재질로 구성되며, 온도와 압력의 변화를 견디기 위한 높은 내열성 및 내압성과, 세정제 또는 건조제에 반응하여 변질되거나 부식이 일어나 기판 처리 공정에 영향을 끼치는 것을 방지하기 위한 내화학성 및 내식성을 가지는 재질로 이루어질 수 있다.
상기 조건들을 만족하는 재질로는 스테인리스강(SUS)이 있다. 스테인리스강은 강성이 높고 내열성, 내식성, 내화학성이 우수하며 접근성이 좋고 경제적인 장점이 있어 상기 챔버를 구성하는 데 가장 많이 이용되고 있는 재질 중 하나이다.
상기 하우징(100)은 일체(一體)로 이루어질 수 있으며, 상기 기판은 상기 개구부(120)를 통해 상기 내부공간(S)에 인입되거나 상기 내부공간(S)으로부터 인출된다.
상기 개구부(120)는 상기 챔버의 밀폐 효율을 높이기 위해 되도록 작은 면적으로 형성된다.
이때, 상기 기판은 일반적으로 얇은 판 형상으로 이루어지므로, 상기 개구부(120)는 수평방향으로 긴 슬릿 형상으로 이루어질 수 있다.
상기 하우징(100)과 상기 도어(200)의 결합면(130,230)에는 씰링부재(400)가 구비되어, 상기 하우징(100)과 상기 도어(200)의 결합면(130,230)을 씰링하고 상기 챔버를 밀폐하도록 이루어진다.
상기 씰링부재(400)는 수지재질로 이루어질 수 있으며, 상기 하우징(100)과 상기 도어(200)의 결합면(130,230)을 따라 링 형상으로 구비된다.
상기 도어(200)에는 상기 하우징(100)과 상기 도어(200)의 결합면(230)을 따라 링 형상으로 구비되어 상기 씰링부재(400)가 삽입되는 씰링 그루브(410)가 구비될 수 있다.
상기 씰링 그루브(410)는 상기 하우징(100)에 구비될 수도 있으며, 상기 개구부(120)를 둘러싸는 상기 하우징(100)과 상기 도어(200)의 결합면(130,230)을 따라 링 형상으로 구비될 수 있다.(미도시)
상기 결합부재(300)는 상기 제1연결부(310) 및 상기 제2연결부(320)에 의해 상기 제1하우징(100) 및 상기 도어(200)에 결합됨으로써 상기 챔버를 클램핑하여 상기 하우징(100)과 상기 도어(200)가 결합된 상태를 유지하도록 지지한다.
상기 제1결합부(110)와 상기 제2결합부(210) 및 상기 결합부재(300)는 간단한 구조로 이루어지며, 상기 결합부재(300)가 밀폐된 상기 챔버의 일부에 결합되는 방식으로 상기 챔버의 클램핑이 수행된다.
이에 따라, 챔버의 클램핑에 소요되는 에너지 및 공간을 절약하고 보다 효율적인 클램핑을 수행할 수 있으며, 상기 결합부재(300)와 상기 챔버가 결합하는 결합면적이 종래기술에 비해 현저히 작아 마찰에 의한 파티클 발생률을 현저히 낮출 수 있다.
상기 제1결합부(110)와 상기 제2결합부(210)는 상기 하우징(100)과 상기 도어(100)의 결합면(130,230)을 기준으로 대칭되는 위치에 형성된다.
이때, 상기 제1연결부(310) 및 상기 제2연결부(320)는, 상기 하우징(100)과 상기 도어(200)의 결합면(130,230)을 기준으로 대칭되는 위치에서 상기 제1결합부(110) 및 상기 제2결합부(210)와 결합하게 된다.
이에 따라, 상기 제1연결부(310)와 상기 제2연결부(320)를 연결하는 이음부(330)에는 상기 하우징(100)과 상기 도어(100)의 결합면(130,230)에 대해 수직방향의 장력이 발생하게 되어, 상기 챔버의 결합 상태가 유지되도록 효과적으로 지지할 수 있다.
또한, 상기 제1결합부(110) 및 상기 제2결합부(210)는 상기 하우징(100) 및 상기 도어(200)의 외측면에 오목한 홈 형상으로 형성될 수 있다.
이에 따라, 상기 제1연결부(310) 및 상기 제2연결부(320)는, 상기 제1결합부(110) 및 상기 제2결합부(210)에 각각 형합되도록 상기 결합부재(200)의 외측면에 볼록하게 돌출된 형상으로 이루어지며, 상기 제1결합부(110) 및 상기 제2결합부(210)에 각각 삽입되어 결합되게 된다.
또한, 상기 챔버에는, 복수 개의 상기 제1결합부(110)와, 복수 개의 상기 제2결합부(210)가 구비될 수 있다. 일실시예로, 하나의 상기 결합부재(200)와 결합하는 적어도 하나의 상기 제1결합부(110) 및 적어도 하나의 상기 제2결합부(210)로 이루어진 한 쌍의 제1결합부 및 제2결합부(610,620)가 복수 쌍 구비될 수 있다.
상기 결합부재(200)는 복수 개 구비되어 상기 복수 쌍의 제1결합부 및 제2결합부(610,620)에 각각 결합된다.
이때, 상기 복수 쌍의 제1결합부 및 제2결합부(610,620)는 상기 하우징(100)과 상기 도어(200)의 결합면(130,230)을 따라 일정 간격 이격되어 나란하게 형성되어, 상기 하우징(100)과 상기 도어(200)가 고르게 밀착되도록 지지할 수 있다.
또한, 상기 복수 쌍의 제1결합부 및 제2결합부(610,620)는 상기 개구부(120)의 중심을 기준으로 서로 대칭되는 위치에 형성되어, 상기 하우징(100)과 상기 도어(200)가 균형있게 밀착되도록 지지할 수 있다.
일례로, 상기 복수 쌍의 제1결합부 및 제2결합부(610,620)는, 상기 개구부(120)의 수평방향 양측의 대칭되는 위치에 형성될 수 있다.
다른 예로, 상기 복수 쌍의 제1결합부 및 제2결합부(610,620)는, 상기 개구부(120)의 수직방향 양측의 대칭되는 위치에 형성될 수도 있다.(미도시)
또한, 상기 한 쌍의 제1결합부 및 제2결합부(610,620)는, 복수의 상기 제1결합부(110) 또는 복수의 상기 제2결합부(210)를 포함하여 이루어질 수 있다.
이때, 상기 결합부재(200)에는 상기 한 쌍의 제1결합부 및 제2결합부(610,620)에 포함되는 복수의 상기 제1결합부(110) 또는 복수의 상기 제2결합부(210)에 대응하는 복수의 상기 제1연결부(310) 또는 복수의 상기 제2연결부(320)가 형성된다.
즉, 하나의 상기 결합부재(200)에 의해 상기 복수의 제1결합부(110)와 상기 복수의 제1연결부(310), 또는 상기 복수의 제2결합부(210)와 상기 복수의 제2연결부(320)가 결합되게 된다.
이에 따라, 상기 결합부재(200)와 상기 하우징(100) 또는 상기 도어(200)가 보다 안정적으로 결합될 수 있어 상기 하우징(100)과 상기 도어(200)가 결합 상태를 유지하도록 안정적으로 지지할 수 있다.
일례로, 두 개의 상기 제1결합부(110) 및 두 개의 상기 제2결합부(210)가 각각 상하로 나란히 형성될 수 있으며, 상기 결합부재(200)에 두 개의 상기 제1연결부(110)와 두 개의 상기 제2연결부(210)가 각각 상하로 나란히 형성될 수 있다.
이러한 구성에 의하면, 상기 결합부재(200)에 의해 상기 두 개의 제1결합부(110)와 상기 두 개의 제1연결부(310), 및 상기 두 개의 제2결합부(210)와 상기 두 개의 제2연결부(320)가 결합되며, 상기 하우징(100)과 상기 도어(200)의 결합면(130,230)을 따라 넓은 면적을 클램핑함으로써 상기 하우징(100)과 상기 도어(200)가 고르게 밀착되도록 지지할 수 있다.
도 4는 상기 하우징(100)과 상기 도어(200) 및 상기 결합부재(300)의 결합 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.
상기 기판 처리 장치(1-1)에는 상기 도어(200)를 이동시키는 도어 구동부(미도시)와, 상기 결합부재(300)를 이동시키는 클램핑 구동부(미도시)가 구비된다.
도 4 (a)는 상기 도어(200)가 상기 하우징(100)으로부터 분리되어 상기 개구부(120)가 개방된 상태를 나타낸 것이고, 도 4 (b)는 상기 도어(200)가 상기 하우징(100)과 결합되어 상기 개구부(120)가 차단된 상태를 나타낸 것이다.
상기 도어 구동부는 수평방향(510,520)으로 신축구동하여 상기 도어(200)를 수평방향으로 직선운동시키는 수평방향 실린더(미도시)와, 수직방향(330,340)으로 신축구동하여 상기 도어(200)를 수직방향으로 직선운동시키는 수직방향 실린더(미도시)를 포함하여 이루어질 수 있다.
상기 개구부(120)의 개방시, 상기 도어(200)는 상기 개구부(120)로부터 상기 하우징(100)의 외측방향(510)으로 일정 간격(d) 이격되어 상기 개구부(120)와 마주보는 제2도어위치(A-2)의 수직방향 하측에 위치하는 제1도어위치(A-1)에 위치한다.
상기 제1도어위치(A-1)는, 상기 도어(200)의 상단 높이(h1)가 상기 개구부(120)의 하단 높이(h2)보다 하측에 위치할 때까지 상기 도어(200)가 상기 제2도어위치(A-2)로부터 하강한 위치로, 상기 개구부(120)를 통해 상기 내부공간(S)에 출입하는 상기 기판의 이동을 방해하지 않도록 하기 위한 위치이다.
상기 제1도어위치(A-1)는 상기 도어(200)의 하단이 상기 개구부(120)의 상단보다 상측에 오는 상기 제2도어위치(A-2)의 수직방향 상측에 위치할 수도 있다.(미도시)
상기 도어(200)가 상기 하우징(100)과 결합한 상태의 위치는 제3도어위치(A-3)이다.
상기 도어(200)는 상기 도어 구동부의 구동에 의해 수직방향 상측(530)으로 상승이동하여 상기 제1도어위치(A-1)로부터 상기 제2도어위치(A-2)로 이동한 후 상기 하우징(100)의 내측방향(520)으로 수평이동하여 상기 제3도어위치(A-3)로 이동함으로써 상기 하우징(100)과 결합되어 상기 개구부(120)를 차단한다.
이때, 상기 하우징(100)의 내측방향(520)이 상기 하우징(100)과 상기 도어(200)의 결합방향(520)이 되며, 상기 결합방향(520)은 상기 하우징(100)과 상기 도어(200)의 결합면(130,230)과 직각을 이루게 된다.
또한, 상기 도어(200)는 상기 도어 구동부의 구동에 의해 상기 하우징(100)의 외측방향(510), 즉, 상기 하우징(100)과 상기 도어(200)의 결합방향(520)의 반대방향으로 수평이동하여 상기 제3도어위치(A-3)로부터 상기 제2도어위치(A-2)로 이동하며, 이후 수직방향 하측(540)으로 하강이동하여 상기 제1도어위치(A-1)로 이동함으로써 상기 하우징(100)과 분리되어 상기 개구부(120)를 개방한다.
이때, 상기 제1도어위치(A-1) 및 상기 제2도어위치(A-2)는 상기 개구부(120)로부터 수평방향으로 일정 간격(d) 이격된 위치이므로, 상기 하우징(100)과의 마찰 없이 상기 도어(200)의 승강이동이 이루어진다.
이에 따라, 상기 도어(200)가 상기 제1도어위치(A-1)와 상기 제2도어위치(A-2) 사이를 왕복하는 이동에 의해 파티클이 발생하지 않는다.
또한, 상기 도어(200)가 상기 제2도어위치(A-2)와 상기 제3도어위치(A-3) 사이를 왕복하여 상기 하우징(100)과 결합 또는 분리될 때 상기 씰링부재(40 도 3 참조)의 존재에 의해 상기 하우징(100)과 상기 도어(200) 사이의 마찰이 거의 발생하지 않게 되므로, 상기 도어(200)의 개폐시 파티클의 발생을 최소화 할 수 있다.
도 4 (c)는 상기 결합부재(300)가 상기 하우징(100) 및 상기 도어(200)가 결합된 챔버에 결합된 상태를 나타낸 도면이다.
상기 결합부재(300)가 상기 챔버로부터 분리된 상태의 위치는 제1결합부재위치(B-1, 도 4 (b),(c) 참조)라 하며, 상기 챔버와 결합된 상태의 위치는 제2결합부재위치(B-2)라 한다.
상기 결합부재(300)는 상기 챔버의 외측으로부터 내측방향(560)으로 직선이동하여 상기 제1결합부재위치(B-1)로부터 상기 제2결합부재위치(B-2)로 이동함으로써 상기 챔버와 결합된다.
이때, 상기 챔버의 내측방향(560)이 상기 챔버와 상기 결합부재(300)의 결합방향(560)이 되며, 상기 결합방향(560)은 상기 제1연결부(310) 및 상기 제2연결부(320)가 상기 제1결합부(110) 및 상기 제2결합부(210)에 수직으로 삽입되는 방향이 된다.
또한, 상기 결합부재(300)는 상기 챔버의 외측방향(550), 즉, 상기 챔버와 상기 결합부재(300)의 결합방향(560)의 반대방향으로 직선이동하여 상기 제2결합부재위치(B-2)로부터 상기 제1결합부재위치(B-1)로 이동함으로써 상기 하우징(100) 및 도어(200)로부터 분리된다.
이때, 상기 결합부재(300)와 상기 챔버의 결합방향(560)은 상기 하우징(100)과 상기 도어(200)의 결합방향(520)과 직각을 이루는 방향으로 이루어져, 상기 하우징(100)과 상기 도어(200)의 분리를 방지하는 클램핑 효과를 높일 수 있다.
이때, 상기 하우징(100)과 상기 도어(200)의 결합방향(520)은 상기 하우징(100)과 상기 도어(200)의 결합면(130,230)에 대해 수직방향으로 형성되므로, 상기 결합부재(300)와 상기 챔버의 결합방향(560)은 상기 하우징(100)과 상기 도어(200)의 결합면(130,230)에 대해 평행한 방향으로 형성된다.
일례로, 상기 제1결합부(110) 및 상기 제2결합부(210)가 상기 챔버의 수평방향 외측면에 구비된 경우, 상기 결합방향(560)은 상기 챔버의 수평방향 외부로부터 내측을 향하는 수평방향(560)이 되며, 상기 결합부재(300)가 수평방향(560,550)으로 왕복이동하여 상기 챔버와 결합 또는 분리되게 된다.
이때, 상기 클램핑 구동부는 수평방향(550,560)으로 신축구동하여 상기 결합부재(300)를 수평방향으로 직선운동시키는 수평방향 실린더를 포함하여 이루어질 수 있다.
다른 예로, 상기 제1결합부(110) 및 상기 제2결합부(210)가 상기 챔버의 수직방향 외측면에 구비된 경우(미도시), 상기 결합방향(560)은 상기 챔버의 상측 또는 하측 외부로부터 내측을 향하는 수직방향이 되며(미도시), 상기 결합부재(300)가 수직상승(530) 또는 수직하강(540)하여 상기 챔버와 결합 또는 분리되게 된다(미도시).
이때, 상기 클램핑 구동부는 수직방향(530,540)으로 신축구동하여 상기 결합부재(300)를 수직방향으로 직선운동시키는 수직방향 실린더를 포함하여 이루어질 수 있다.
또한, 밀폐된 상기 내부공간(S)에는 고온 고압의 기판 처리 환경이 형성되며, 상기 내부공간(S)의 압력에 의해 상기 도어(200)에는 상기 결합방향(520)의 반대방향으로 밀어내는 힘이 작용한다.
이때, 상기 내부공간(S)은 수평단면적이 수직단면적보다 큰 형상으로 상기 내부공간(S)의 압력이 상기 챔버의 수평방향 일측면에 위치한 상기 도어(200)에 작용하는 힘은 상기 내부공간(S)의 압력이 상기 챔버의 상부 또는 하부에 작용하는 힘보다 작다.
즉, 상기 결합부재(200)는 상기 하우징(100)과 상기 도어(200)의 수평방향 결합이 유지되도록 클램핑하여 지지하게 되므로, 종래 기술에 비해 적은 에너지를 이용하여 상기 챔버를 클램핑함으로써 클램핑 효율을 현저하게 향상시킬 수 있다.
도 5 내지 도 12를 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 의한 기판 처리 장치에 대해 설명한다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 제2실시예에 의한 기판 처리 장치(1-2)는, 상기한 제1실시예의 기판 처리 장치의 구성을 따르되, 하나의 결합부재(300)와 결합하는 한 쌍의 제1결합부와 제2결합부(610)는 하나의 제1결합부(110)와 하나의 제2결합부(210)로 이루어진 점에서 제1실시예와 구성에 차이가 있다.
본 제2실시예에 의하면, 보다 작은 사이즈의 상기 결합부재(300)를 이용하여 챔버를 클램핑할 수 있어, 상기 챔버의 클램핑시 소요되는 공간 및 에너지를 절약하고 보다 효율적인 클램핑을 제공할 수 있다.
도 6을 참조하면, 본 발명의 제3실시예에 의한 기판 처리 장치(1-3)는, 상기한 제2실시예의 기판 처리 장치의 구성을 따르되, 제1결합부(110) 및 제2결합부(210)가 상하방향으로 길게 형성된 점에서 제1실시예와 구성에 차이가 있다.
제1연결부(310) 및 제2연결부(320)는 상기 제1결합부(110) 및 상기 제2결합부(210)에 각각 형합되므로, 상기 제1결합부(110) 및 상기 제2결합부(210)와 같이 상하방향으로 길게 형성된다.
본 제3실시예에 의하면, 결합부재(300)가 상기 제1결합부(110) 및 상기 제2결합부(210)와 결합하는 수직방향 결합면적을 늘림으로써 상기 챔버의 결합 상태가 유지되도록 보다 안정적으로 지지할 수 있어 보다 효율적인 클램핑을 제공할 수 있다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 제4실시예에 의한 기판 처리 장치(1-4)는, 상기한 제1실시예의 기판 처리 장치의 구성을 따르되, 두 개의 제1결합부(110) 및 두 개의 제2결합부(210)가 각각 수평방향으로 나란히 형성된 점에서 제1실시예와 구성에 차이가 있다.
제1연결부(310) 및 제2연결부(320)는 상기 제1결합부(110) 및 상기 제2결합부(210)에 각각 형합되므로, 상기 제1결합부(110) 및 상기 제2결합부(210)와 같이 수평방향으로 나란히 두 개씩 형성된다.
본 제4실시예에 의하면, 두 개의 상기 제1결합부(110)와 두 개의 상기 제1연결부(310)가 결합되고, 두 개의 상기 제2결합부(210)와 두 개의 상기 제2연결부(320)가 결합됨에 따라 상기 하우징(100)과 도어(200)의 수평방향 결합을 이중으로 클램핑하는 효과가 있어, 상기 챔버의 결합 상태가 유지되도록 보다 안정적으로 지지할 수 있다.
도 8을 참조하면, 본 발명의 제5실시예에 의한 기판 처리 장치(1-5)는, 상기한 제1실시예의 기판 처리 장치의 구성을 따르되, 제1결합부(110) 및 제2결합부(210)가 하우징(100) 및 도어(200)의 외측면에 볼록하게 돌출된 형상으로 이루어진 점에서 제1실시예와 구성에 차이가 있다.
제1연결부(310) 및 제2연결부(320)는 상기 제1결합부(110) 및 상기 제2결합부(210)에 각각 형합되도록 상기 결합부재(200)의 외측면에 오목하게 형성된 홈 형상으로 이루어진다.
이에 따라, 상기 제1연결부(310) 및 상기 제2연결부(320)에 상기 제1결합부(110) 및 상기 제2결합부(210)가 각각 삽입됨에 따라 결합부재(300)와 챔버의 결합이 이루어지게 된다.
도 9와 도 10을 참조하면, 본 발명의 제6실시예에 의한 기판 처리 장치(1-6)는, 상기한 제1실시예의 기판 처리 장치의 구성을 따르되, 적어도 하나의 제1결합부(110) 및 적어도 하나의 제2결합부(210) 중 일부는 볼록하게 돌출되고, 나머지 일부는 오목한 홈 형상으로 이루어진 점에서 제1실시예와 구성에 차이가 있다.
일례로, 도 9를 참조하면, 상기 적어도 하나의 제1결합부(110)는 모두 볼록하게 돌출되고, 상기 적어도 하나의 제2결합부(210)는 모두 오목한 홈 형상으로 형성될 수 있다.
이때, 제1연결부(310) 및 제2연결부(320)는 상기 제1결합부(110) 및 상기 제2결합부(210)에 각각 형합되므로, 상기 제1연결부(310)는 모두 오목한 홈 형상으로 형성되고, 상기 제2연결부(320)는 모두 볼록하게 돌출된다.
다른 예로, 도 10를 참조하면, 상기 적어도 하나의 제1결합부(110)는 모두 오목한 홈 형상으로 형성되고, 상기 적어도 하나의 제2결합부(210)는 모두 볼록하게 돌출될 수 있다.
이때, 제1연결부(310) 및 제2연결부(320)는 상기 제1결합부(110) 및 상기 제2결합부(210)에 각각 형합되므로, 상기 제1연결부(310)는 모두 볼록하게 돌출되고, 상기 제2연결부(320)는 모두 오목한 홈 형상으로 형성된다.
본 제6실시예에 의하면, 하나의 결합부재(300)에 의해 결합되는 적어도 하나의 제1결합부(110) 및 적어도 하나의 상기 제2결합부(210)의 결합 양태를 다양화함으로써 상기 챔버의 결합 상태가 유지되도록 보다 안정적으로 지지할 수 있어 보다 효율적인 클램핑을 제공할 수 있다.
도 11을 참조하면, 본 발명의 제7실시예에 의한 기판 처리 장치(1-7)는, 상기한 제5실시예의 기판 처리 장치의 구성을 따르되, 제1연결부(310) 및 제2연결부(320)는 제1결합부(110) 및 제2결합부(210)에 각각 형합되도록 상기 결합부재(200)를 관통하는 홀 형상으로 이루어진 점에서 제1실시예와 구성에 차이가 있다.
본 제7실시예에 의하면, 상기 제1연결부(310) 및 상기 제2연결부(320)의 내부가 막혀있지 않아 이에 형합하는 상기 제1결합부(110) 및 상기 제2결합부(210)가 보다 적은 힘을 이용하여 상기 제1연결부(310) 및 상기 제2연결부(320)에 삽입되고 배출될 수 있다.
이에 따라, 상기 결합부재(300)가 상기 챔버와 결합하는데 소요되는 에너지를 절약하고 보다 효율적인 클램핑을 제공할 수 있다.
또한, 상기 결합부재(300)를 관통하는 홀 형상의 상기 제1연결부(310) 또는 상기 제1연결부(320)는 상기한 제6실시예에서 서술한 오목한 홈 형상으로 형성된 제1연결부(310, 도 9 참조) 또는 제2연결부(320, 도 10 참조)에 적용될 수 있다.
도 12를 참조하면, 본 발명의 제8실시예에 의한 기판 처리 장치(1-8)는, 상기한 제1실시예의 기판 처리 장치의 구성을 따르되, 하우징(100)이 상하로 결합하는 제1하우징(140)과 제2하우징(150)의 결합으로 이루어져, 상기 제1하우징(140)과 상기 제2하우징(150) 및 도어(200)의 결합에 의해 밀폐된 챔버가 형성되는 점에서 제1실시예와 구성에 차이가 있다.
이에 따라, 상기 제1결합부(110)는, 상기 제1하우징(140)에 형성된 적어도 하나의 제1하우징결합부(111)와 상기 제2하우징(150)에 형성된 적어도 하나의 제2하우징결합부(112)를 포함하여 이루어진다.
또한, 상기 제1연결부(310)는, 상기 적어도 하나의 제1하우징결합부(111)에 형합하는 적어도 하나의 제1하우징연결부(311)와 상기 적어도 하나의 제2하우징결합부(112)에 형합하는 적어도 하나의 제2하우징연결부(312)를 포함하여 이루어진다.
본 제8실시예에 의하면, 상기 제1하우징연결부(311) 및 상기 제2하우징연결부(312)가 상기 제1하우징결합부(111) 및 상기 제2하우징결합부(112)에 각각 결합되고, 상기 제2연결부(210)가 상기 제2결합부(210)에 결합됨에 따라 상기 챔버와 결합부재(300)가 결합된다.
이에 따라, 상기 결합부재(300)는 상기 제1하우징(140)과 상기 제2하우징(150) 및 상기 도어(200)의 결합 상태가 유지되도록 지지하게 된다.
이때, 상기 제1하우징(140)과 상기 제2하우징(150)은 구동부의 구동에 의해 결합 또는 분리되도록 이루어질 수 있으며, 분리되지 않도록 견고하게 고정된 상태로 구비될 수도 있다.
상기한 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 처리 장치에 의하면, 수평방향 일측에 개방부(120)가 구비된 하우징(100)과 상기 개방부(120)를 개폐하는 도어(200)로 이루어진 챔버를 제공하여, 상기 챔버의 내부 압력에 의해 상기 챔버가 분리되는 방향으로 작용하는 힘을 최소화함으로써 클램핑에 소요되는 에너지를 절약할 수 있다.
또한, 상기 챔버의 일부와 결합되어 클램핑하는 간소화된 클램핑 구조를 제공하여 클램핑에 소요되는 에너지 및 공간을 절약할 수 있다.
또한, 상기 챔버의 개폐 및 클램핑시 파티클 발생률을 낮추고 기판의 불량 발생률을 낮출 수 있다.
본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구되는 본 발명의 기술적 사상에 벗어남 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 자명한 변형실시가 가능하고, 이러한 변형실시는 본 발명의 범위에 속한다.
A-1: 제1도어위치 A-2: 제2도어위치
A-3: 제3도어위치 B-1: 제1결합부재위치
B-2: 제2결합부재위치 S: 내부공간
100: 하우징 110: 제1결합부
111: 제1하우징결합부 112: 제2하우징결합부
200: 도어 210: 제2결합부
300: 결합부재 310: 제1연결부
311: 제1하우징연결부 312: 제2하우징연결부
320: 제2연결부 330: 이음부
400: 씰링부재 410: 씰링 그루브
510,520: 수평방향 530,540: 수직방향
550,560: 수평방향
610,620: 한 쌍의 제1결합부 및 제2결합부

Claims (35)

  1. 내부에 공간이 형성되고, 일측에 상기 내부공간과 외부가 연통하는 개구부가 형성된 하우징;
    상기 하우징과 결합 또는 분리되며 상기 개구부를 개폐하도록 이루어진 도어;
    상기 하우징 및 상기 도어에 결합되어 상기 하우징과 상기 도어가 결합된 상태를 유지하도록 지지하는 결합부재;
    를 포함하는 기판 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 내부공간은 수평단면적이 수직단면적보다 크게 형성된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 하우징의 외측면에 적어도 하나의 제1결합부가 형성되고;
    상기 도어의 외측면에 적어도 하나의 제2결합부가 형성되며;
    상기 결합부재의 일측에 상기 적어도 하나의 제1결합부에 형합하는 적어도 하나의 제1연결부가 형성되고, 타측에 상기 적어도 하나의 제2결합부에 형합하는 적어도 하나의 제2연결부가 형성되어;
    상기 제1연결부가 상기 제1결합부에 결합되고 상기 제2연결부가 상기 제2결합부에 결합됨에 따라 상기 결합부재가 상기 하우징 및 상기 도어와 결합되도록 이루어진 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1결합부와 상기 제2결합부는 상기 하우징과 상기 도어의 결합면을 기준으로 대칭되는 위치에 형성된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 제1결합부 및 상기 제2결합부는 복수 개 구비되고;
    하나의 상기 결합부재와 결합하는 상기 적어도 하나의 제1결합부 및 상기 적어도 하나의 제2결합부로 이루어진 한 쌍의 제1결합부 및 제2결합부가 복수 쌍 구비되어;
    복수 개의 상기 결합부재가 상기 복수 쌍의 제1결합부 및 제2결합부와 각각 결합되어 복수의 위치에서 상기 하우징과 상기 도어가 결합된 상태를 유지하도록 지지하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 복수 쌍의 제1결합부 및 상기 제2결합부는 상기 하우징과 상기 도어의 결합면을 따라 일정 간격 이격되어 나란하게 형성된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 복수 쌍의 제1결합부 및 제2결합부는 상기 개구부의 중심을 기준으로 대칭되는 위치에 형성된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  8. 제3항에 있어서,
    상기 제1결합부 또는 상기 제2결합부는 복수 개 구비되고;
    상기 결합부재에는 상기 복수의 제1결합부 또는 상기 복수의 제2결합부에 대응하는 복수의 상기 제1연결부 또는 복수의 상기 제2연결부가 구비된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 복수의 제1결합부 또는 상기 복수의 제2결합부는 각각 상하로 나란하게 형성되고;
    상기 결합부재에는 상기 복수의 제1결합부 또는 상기 복수의 제2결합부에 대응하는 복수의 상기 제1연결부 또는 복수의 상기 제2연결부가 각각 상하로 나란하게 형성된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 복수의 제1결합부 또는 상기 복수의 제2결합부는 각각 수평방향으로 나란하게 형성되고;
    상기 결합부재에는 상기 복수의 제1결합부 또는 상기 복수의 제2결합부에 대응하는 복수의 상기 제1연결부 또는 복수의 상기 제2연결부가 각각 수평방향으로 나란하게 형성된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  11. 제3항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 제1결합부 또는 상기 적어도 하나의 제2결합부 및 이에 형합하는 상기 제1연결부 또는 상기 제2연결부는 수직방향으로 긴 형상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  12. 제3항에 있어서,
    상기 제1결합부 또는 상기 제2결합부는 오목한 홈 형상으로 이루어지고;
    상기 제1연결부 또는 상기 제2연결부는 볼록하게 돌출되어,
    상기 제1연결부 또는 상기 제2연결부가 상기 제1결합부 또는 상기 제2결합부에 삽입되어 결합되도록 이루어진 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  13. 제3항에 있어서,
    상기 제1결합부 또는 상기 제2결합부는 볼록하게 돌출되고;
    상기 제1연결부 또는 상기 제2연결부는 오목한 홈 형상으로 이루어져,
    상기 제1결합부 또는 상기 제2결합부가 상기 제1연결부 또는 상기 제2연결부에 삽입되어 결합되도록 이루어진 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  14. 제3항에 있어서,
    상기 제1결합부 또는 상기 제2결합부는 볼록하게 돌출되고;
    상기 제1연결부 또는 상기 제2연결부는 상기 결합부재를 관통하는 홀 형상으로 이루어져,
    상기 제1결합부 또는 상기 제2결합부가 상기 제1연결부 또는 상기 제2연결부에 삽입되어 결합되도록 이루어진 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  15. 제3항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 제1결합부와 상기 적어도 하나의 제2결합부 중 일부는 볼록하게 돌출되고, 나머지 일부는 오목한 홈 형상으로 이루어지고;
    상기 볼록하게 돌출된 제1결합부 또는 제2결합부와 결합되는 상기 제1연결부 또는 상기 제2연결부는 오목한 홈 형상으로 이루어지며;
    상기 오목한 홈 형상으로 이루어진 제1결합부 또는 제2결합부와 결합되는 상기 제1연결부 또는 상기 제2연결부는 볼록하게 돌출된 형상으로 이루어진;
    것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  16. 제3항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 제1결합부와 상기 적어도 하나의 제2결합부 중 일부는 볼록하게 돌출되고, 나머지 일부는 오목한 홈 형상으로 이루어지며;
    상기 볼록하게 돌출된 제1결합부 또는 제2결합부와 결합되는 상기 제1연결부 또는 상기 제2연결부는 상기 결합부재를 관통하는 홀 형상으로 이루어지고;
    상기 오목한 홈 형상으로 이루어진 제1결합부 또는 제2결합부와 결합되는 상기 제1연결부 또는 상기 제2연결부는 볼록하게 돌출된 형상으로 이루어진;
    것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  17. 제3항에 있어서,
    상기 도어를 이동시키는 도어 구동부가 구비된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  18. 제3항에 있어서,
    상기 도어는,
    상기 하우징에 결합된 상태에서 상기 하우징의 외측방향으로 수평이동하여 상기 개구부와 마주보도록 위치한 후 수직방향으로 상승 또는 하강하여 상기 하우징으로부터 분리됨으로써 상기 개구부를 개방하고;
    상기 하우징으로부터 분리된 상태에서 수직방향으로 하강 또는 상승하여 상기 개구부와 마주보도록 위치한 후 상기 하우징의 내측방향으로 수평이동하여 상기 하우징과 결합됨으로써 상기 개구부를 차단하도록 이루어진;
    것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 도어를 이동시키는 도어 구동부가 구비되고;
    상기 도어 구동부는, 상기 도어를 수직방향으로 직선이동시키는 수직방향 실린더와, 상기 도어를 수평방향으로 직선이동시키는 수평방향 실린더를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  20. 제3항에 있어서,
    상기 결합부재를 이동시키는 클램핑 구동부가 구비된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  21. 제3항에 있어서,
    상기 하우징과 상기 도어가 결합된 챔버에 있어서,
    상기 결합부재는, 상기 챔버의 외측으로부터 내측방향으로 직선이동하여 상기 제1연결부와 상기 제1결합부가 결합되고, 상기 제2연결부와 상기 제2결합부가 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  22. 제21항에 있어서,
    상기 제1연결부와 상기 제1결합부가 결합되는 방향과, 상기 제2연결부와 상기 제2결합부가 결합되는 방향은, 상기 하우징과 상기 도어가 결합되는 방향과 직각을 이루는 방향으로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  23. 제21항에 있어서,
    상기 제1결합부 및 상기 제2결합부는 상기 챔버의 수평방향 외측면에 구비되고;
    상기 결합부재는 상기 챔버의 외측으로부터 내측방향으로 수평이동하여 상기 제1결합부 및 상기 제2결합부와 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  24. 제21항에 있어서,
    상기 하우징과 상기 도어가 결합된 챔버에 있어서,
    상기 제1결합부 및 상기 제2결합부는 상기 챔버의 수직방향 외측면에 구비되고;
    상기 결합부재는 상기 챔버의 상측 또는 하측 외부로부터 내측방향으로 수직하강 또는 수직상승하여 상기 제1결합부 및 상기 제2결합부와 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  25. 제21항에 있어서,
    상기 결합부재를 이동시키는 클램핑 구동부가 구비되고;
    상기 클램핑 구동부는, 상기 결합부재를 직선왕복이동시키는 실린더로 이루어진 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  26. 제3항에 있어서,
    상기 하우징과 상기 도어의 결합면에는 씰링부재가 구비되어, 상기 하우징과 상기 도어의 결합면을 씰링하고, 상기 하우징과 상기 도어가 결합하여 형성된 챔버를 밀폐하도록 이루어진 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  27. 제26항에 있어서,
    상기 씰링부재는 상기 하우징과 상기 도어의 결합면을 따라 링 형상으로 구비된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  28. 제27항에 있어서,
    상기 하우징에는 상기 씰링부재가 삽입되는 씰링 그루브가 구비되며, 상기 씰링 그루브는 상기 개구부의 둘레를 둘러싸는 링 형상으로 구비된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  29. 제27항에 있어서,
    상기 도어에는 상기 씰링부재가 삽입되는 씰링 그루브가 구비되며, 상기 씰링 그루브는 상기 하우징과 상기 도어의 결합면을 따라 링 형상으로 구비된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  30. 제3항에 있어서,
    상기 하우징은 일체로 이루어진 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  31. 제3항에 있어서,
    상기 하우징은 제1하우징과 제2하우징의 결합으로 이루어지고;
    상기 제1결합부는 상기 제1하우징에 형성된 제1하우징결합부와 상기 제2하우징에 형성된 제2하우징결합부를 포함하며;
    상기 제1연결부는 상기 적어도 하나의 제1하우징결합부에 형합하는 적어도 하나의 제1하우징연결부와 상기 적어도 하나의 제2하우징결합부에 형합하는 적어도 하나의 제2하우징연결부를 포함하여;
    상기 결합부재는, 상기 제1하우징연결부가 상기 제1하우징결합부에 결합되고, 상기 제2하우징연결부가 상기 제2하우징결합부에 결합되며, 상기 제2연결부가 상기 제2결합부에 결합되도록 이루어져, 상기 제1하우징과 상기 제2하우징 및 상기 도어의 결합 상태가 유지되도록 지지하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  32. 제3항에 있어서,
    상기 개구부는 수평방향으로 긴 슬릿 형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  33. 제3항에 있어서,
    상기 내부공간은 기판을 수용하여 처리하는 기판 처리 공간이고;
    상기 하우징에는 상기 기판 처리 공간에 고온 고압의 공정유체를 공급하는 유체공급부가 구비된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  34. 제33항에 있어서,
    상기 공정유체는 초임계 유체인 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  35. 제33항에 있어서,
    상기 공정유체는 초임계 이산화탄소인 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
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