KR20220060706A - 기판 처리 장치 - Google Patents

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KR20220060706A
KR20220060706A KR1020200146595A KR20200146595A KR20220060706A KR 20220060706 A KR20220060706 A KR 20220060706A KR 1020200146595 A KR1020200146595 A KR 1020200146595A KR 20200146595 A KR20200146595 A KR 20200146595A KR 20220060706 A KR20220060706 A KR 20220060706A
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주식회사 케이씨텍
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Abstract

일 실시예에 따른 기판 처리 장치는 내부에 기판 처리 공간이 구비되고 개구부가 형성된 챔버부, 챔버부와 결합 가능한 도어부, 챔버부 및 도어부가 결합된 상태에서 챔버부 및 도어부의 적어도 일부를 감싸는 클램프부 및 클램프부 및 챔버부 간의 마찰 또는 클램프부 및 도어부 간의 마찰에 의해 발생되는 파티클이 기판의 이동경로로 진입하는 것을 방지하는 커버부를 포함할 수 있다.

Description

기판 처리 장치{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}
아래의 실시 예는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체는 리소그래피, 증착 및 에칭 등과 같은 일련의 공정들이 반복적으로 수행되어 제조된다. 이러한 반도체를 구성하는 기판의 표면에는 반복적인 공정에 의해 각종 파티클, 금속 불순물 또는 유기물 등과 같은 오염물질들이 잔존하게 된다. 기판 상에 잔존하는 오염물질은 제조되는 반도체의 신뢰성을 저하시키므로, 이를 개선하기 위해 반도체 제조공정 중 기판을 세정하는 공정이 요구된다.
고압의 처리 공간에서 기판의 세정작업이 수행되는 경우, 처리 공간의 내부를 외부와 보다 효과적으로 차단하기 위해 개폐장치에 체결되는 클램프가 사용될 수 있다. 예를 들어, 처리 공간이 구비된 챔버에 개폐장치가 체결되고, 개폐장치가 챔버와 더욱 견고하게 체결될 수 있도록 클램프가 개폐장치를 감싸면서 개폐장치 및 챔버와 결합할 수 있다. 처리공간 내부의 고압상태에 의해 개폐장치가 이탈되는 현상을 방지하기 위해서, 클램프는 보다 강한 압력으로 개폐장치 및 챔버와 결합하게 된다. 이렇게 클램프가 결합 및 분리되는 과정에서, 클램프와 개폐장치 사이 및 클램프와 챔버 사이에서 미세한 파티클이 발생하게 된다. 기판의 세정과정에서 기판의 표면의 불순물을 제거하고 기판의 오염을 방지하는 작업은 중요한 작업 중 하나인데, 클램프의 결합 및 분리에 의해 발생한 파티클은 세정된 기판의 표면과 접촉하여 악영향을 끼칠 가능성이 있다. 따라서, 클램프가 개폐장치 및 챔버와 결합 및 분리하되, 결합 및 분리에 의해 발생한 파티클이 세정이 완료된 기판의 표면에 도달하지 않도록 방지하는 기술이 필요한 실정이다.
전술한 배경기술은 발명자가 본원의 개시 내용을 도출하는 과정에서 보유하거나 습득한 것으로서, 반드시 본 출원 전에 일반 공중에 공개된 공지기술이라고 할 수는 없다.
일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 목적은, 클램프부의 결합 및 분리에 의해 발생되는 파티클이 기판의 이동경로로 진입하는 현상을 방지하는 기판 처리 장치를 제공하는 것이다.
일 실시예에 따른 기판 처리 장치는 내부에 기판 처리 공간이 구비되고, 개구부가 형성된 챔버부, 상기 챔버부와 결합 가능한 도어부, 상기 챔버부 및 도어부가 결합된 상태에서, 상기 챔버부 및 도어부의 적어도 일부를 감싸는 클램프부 및 상기 클램프부 및 챔버부 간의 마찰 또는 상기 클램프부 및 도어부 간의 마찰에 의해 발생되는 파티클이 기판의 이동경로로 진입하는 것을 방지하는 커버부를 포함할 수 있다.
상기 커버부는 상기 기판의 이동경로 상측에 위치하는 상부 커버 바디를 포함할 수 있다.
상기 상부 커버 바디는 상기 클램프부 및 상기 기판의 이동경로 사이에 위치할 수 있다.
상기 커버부는 상기 기판의 이동경로 양측에 위치하는 측부 커버 바디를 더 포함할 수 있다.
상기 측부 커버 바디는 상기 상부 커버 바디의 양측단에서 하측으로 연장될 수 있다.
상기 커버부는 상기 기판의 이동경로 하측에 위치하는 하부 커버 바디를 더 포함할 수 있다.
상기 하부 커버 바디는 상기 측부 커버 바디의 하단을 서로 연결할 수 있다.
상기 상부 커버 바디, 측부 커버 바디 및 하부 커버 바디는 상기 기판의 이동경로를 감싸는 파티클 차단 공간을 형성할 수 있다.
상기 커버부는 상기 기판의 이동경로를 따라 형성할 수 있다.
상기 파티클 차단 공간은 상기 개구부와 연통될 수 있다.
상기 클램프부는, 상기 기판의 이동경로 상측에 위치하는 상부 클램프 바디, 상기 기판의 이동경로 하측에 위치하는 하부 클램프 바디 및 상기 상부 클램프 바디 및 하부 클램프 바디의 양측을 연결하는 측부 클램프 바디를 포함할 수 있다.
상기 상부 클램프 바디, 하부 클램프 바디 및 측부 클램프 바디는 클램프 공간을 형성하고, 상기 커버부는 상기 클램프 공간을 관통할 수 있다.
상기 커버부에 쌓인 파티클을 제거하는 공기 유동을 발생시키는 공기 유동부를 더 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따른 기판 처리 장치에 따르면, 클램프부의 결합 및 분리에 의해 발생되는 파티클이 기판의 이동경로로 진입하는 현상을 방지하여 기판 처리작업의 효율을 높일 수 있다.
본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 일 실시 예를 예시하는 것이며, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술적 사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니 된다.
도 1은 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 사시도이다.
도 2는 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 측면 단면도이다.
도 3은 일 실시예에 따른 커버부의 사시도이다.
도 4는 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 사시도이다.
도 5는 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 측면 단면도이다.
이하에서, 첨부된 도면을 참조하여 실시예들을 상세하게 설명한다. 그러나, 실시예들에는 다양한 변경이 가해질 수 있어서 특허출원의 권리 범위가 이러한 실시예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 실시예들에 대한 모든 변경, 균등물 내지 대체물이 권리 범위에 포함되는 것으로 이해되어야 한다.
실시예에서 사용한 용어는 단지 설명을 목적으로 사용된 것으로, 한정하려는 의도로 해석되어서는 안된다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 실시예가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
또한, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 도면 부호에 관계없이 동일한 구성 요소는 동일한 참조부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 실시예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 실시예의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
또한, 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
어느 하나의 실시 예에 포함된 구성요소와, 공통적인 기능을 포함하는 구성요소는, 다른 실시 예에서 동일한 명칭을 사용하여 설명하기로 한다. 반대되는 기재가 없는 이상, 어느 하나의 실시 예에 기재한 설명은 다른 실시 예에도 적용될 수 있으며, 중복되는 범위에서 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 사시도이고, 도 2는 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 측면 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 기판 처리 장치(1)는 내부에 기판 처리 공간(S)을 구비하여 기판 처리 작업을 수행할 수 있다. 구체적으로, 기판 처리 장치(1)는 내부에 기판 세정 공간을 구비하여 내부에 진입한 기판을 세정할 수 있다. 예를 들어, 기판 처리 장치(1)는 기판의 표면에 존재하는 각종 파티클과 불순물 같은 반도체 제조에 방해되는 물질을 제거할 수 있다. 기판 처리 장치(1)는 내부공간의 개폐과정에서 발생하는 파티클(P)이 세정이 완료된 기판의 표면에 도달하지 못하도록 방지함으로써, 기판의 오염을 막아 기판 세정 작업의 효율을 높일 수 있다.
기판 처리 장치(1)는 챔버부(10), 도어부(11), 클램프부(12), 커버부(13) 및 공기유동부를 포함할 수 있다.
챔버부(10)는 내부에 기판 처리 공간(S)이 구비될 수 있다. 구체적으로, 챔버부(10) 내부에 기판 세정 공간이 구비되어 내부에서 기판 세정 작업이 진행될 수 있다. 예를 들어, 챔버부(10)는 기판 처리 공간(S)과 챔버 외부를 연통하는 개구부(O)를 포함할 수 있다. 기판은 챔버부(10) 외부에서 개구부(O)를 통해 챔버부(10) 내부로 진입하여, 챔버부(10) 내부에 형성된 특정 환경속에서 세정될 수 있다. 또한, 챔버부(10)는 일측에 경사지게 형성되는 챔버 경사면을 포함할 수 있다. 예를 들어, 챔버 경사면은 경사진 면이 지면을 향하는 방향으로 경사질 수 있다. 개구부(O)는 챔버 경사면에 형성될 수 있다.
도어부(11)는 챔버부(10)와 결합 가능할 수 있다. 도어부(11)는 챔버부(10)와 결합을 통해, 외부환경으로부터 기판 처리 공간(S)을 밀폐시킬 수 있다. 구체적으로, 도어부(11)는 개구부(O)를 막아 기판 처리 공간(S)을 밀폐시킬 수 있다. 도어부(11)는 챔버 경사면과 대응되는 도어 경사면을 포함할 수 있다. 즉, 챔버 경사면 및 도어 경사면은 대응되는 경사각으로 형성될 수 있다.
이와 같이, 챔버부(10) 및 도어부(11)의 접촉 부위가 경사면으로 형성되면 도어 구동부의 상하 구동만으로 챔버 경사면 및 도어 경사면이 서로 접촉될 수 있으므로, 접촉되면서 발생하는 갈림 현상을 최소화할 수 있다. 또한, 챔버 경사면이 지면을 향하는 방향으로 경사지기 때문에, 파티클(P)이 발생하더라도 개구부(O)를 통해 기판 처리 공간(S) 내부로 유입되는 현상을 방지할 수 있다.
도어부(11)는 상면에 상측으로 돌출되는 돌출부(110)를 포함할 수 있다. 챔버부(10)는 돌출부(110)가 삽입되도록 돌출부(110)와 대응되는 형상으로 형성되는 오목부(100)를 포함할 수 있다. 도어부(11)가 상하 방향으로 챔버부(10)를 향해 진입하면서, 돌출부(110)는 오목부(100)에 삽입될 수 있다. 이와 같은 구조에 의하면, 기판 처리 공간(S)에 형성된 고압상태에 의해, 도어부(11)가 기판의 이동 경로와 나란한 방향, 즉, 수평방향으로 챔버부(10)로부터 밀려나가는 현상을 방지할 수 있다. 다시 말해, 돌출부(110) 및 오목부(100)가 서로 결합됨으로써, 도어부(11)의 수평방향 이동이 단속될 수 있다.
도어부(11)는 클램프 삽입홈(111)을 포함할 수 있다. 클램프 삽입홈(111)은 도어부(11)의 면 중 챔버부(10)와 대향되는 면에 내측으로 함몰되어 형성될 수 있다. 챔버부(10)와 대향되는 면은 챔버부(10)와 접촉되지 않는 면을 의미할 수 있다.
클램프부(12)는 챔버부(10) 및 도어부(11)가 결합된 상태에서, 챔버부(10) 및 도어부(11)를 클램핑할 수 있다. 클램프부(12)는 내부에 공동을 갖는 프레임 형태로 형성될 수 있다. 클램프부(12)는 챔버부(10) 및 도어부(11)의 적어도 일부를 감쌀 수 있다. 다시 말해, 챔버부(10) 및 도어부(11)의 적어도 일부는 클램프부(12)의 공동에 삽입됨으로써, 챔버부(10) 및 도어부(11)가 서로 분리되는 현상이 방지될 수 있다.
클램프부(12)는 상부 클램프 바디(120), 하부 클램프 바디(121) 및 측부 클램프 바디(122)를 포함할 수 있다.
상부 클램프 바디(120)는 기판의 이동경로(R) 상측에 위치할 수 있다. 구체적으로, 챔버부(10)는 상면으로부터 내측으로 형성되고 클램프부(12)와 결합하는 결합홈(101)을 포함하고, 상부 클램프 바디(120)는 기판의 이동경로(R) 상측에 위치한 상태에서 결합홈(101)과 결합 및 분리될 수 있다.
하부 클램프 바디(121)는 기판의 이동경로(R) 하측에 위치할 수 있다. 구체적으로, 하부 클램프 바디(121)는 상부 클램프 바디(120)와 일정 간격 이격되고, 도어부(11)에 형성된 클램프 삽입홈(111)에 삽입될 수 있다. 또는, 하부 클램프 바디(121)는 도어부(11)의 하면에 접촉되어 도어부(11)를 하측 방향에서 지지할 수 있다.
측부 클램프 바디(122)는 상부 클램프 바디(120) 및 하부 클램프 바디(121)의 양측을 연결할 수 있다. 다시 말해, 측부 클램프 바디(122)는 기판의 이동경로(R) 양측에 위치하여 상부 클램프 바디(120) 및 하부 클램프 바디(121)를 서로 연결할 수 있다.
이와 같은 구조에 의하면, 상부 클램프 바디(120), 하부 클램프 바디(121) 및 측부 클램프 바디(122)는 클램프 공간(C)을 형성할 수 있다. 즉, 클램프부(12)는 상부 클램프 바디(120), 하부 클램프 바디(121) 및 측부 클램프 바디(122)로 구성됨으로써, 내부에 공동을 갖는 프레임 형태로 형성될 수 있다.
이와 같이, 챔버부(10) 및 도어부(11)가 결합된 상태에서 클램프부(12)가 챔버부(10) 및 도어부(11)의 적어도 일부를 감싸게 되면, 기판 처리 공간(S)이 고압으로 형성되더라도 챔버부(10) 및 도어부(11)가 상하 방향으로 분리되는 현상이 방지될 수 있다. 다시 말해, 도어부(11)의 수직 방향 이동을 단속할 수 있다.
도 3은 일 실시예에 따른 커버부(13)의 사시도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 커버부(13)는 클램프부(12) 및 챔버부(10) 간의 마찰 또는 클램프부(12) 및 도어부(11) 간의 마찰에 의해 발생되는 파티클(P)이 기판의 이동경로(R)로 진입하는 것을 방지할 수 있다. 예를 들어, 기판 처리 공간(S)의 고압 상태에 의해 챔버부(10) 및 도어부(11)가 분리되는 현상을 방지하기 위해, 클램프가 챔버부(10) 및 도어부(11)를 감싸도록 이동하는 과정에서, 클램프가 챔버부(10) 또는 도어부(11)와 접촉되어 마찰이 발생할 수 있다. 이 경우, 마찰면에서 마찰에 의한 파티클(P)이 발생하게 된다. 마찰에 의해 발생한 파티클(P)은 세정된 기판의 표면에 도달하여 기판을 오염시키고 세정작업의 효율을 떨어트리는 작용을 할 수 있다. 기판의 오염을 방지하고 세정작업의 효율을 높이기 위해, 커버부(13)는 기판의 이동경로(R)를 따라 형성할 수 있다.
커버부(13)는 상부 커버 바디(130), 측부 커버 바디(131) 및 하부 커버 바디(132)를 포함할 수 있다.
상부 커버 바디(130)는 기판의 이동경로(R) 상측에 위치할 수 있다. 예를 들어, 상부 커버 바디(130)는 클램프부(12) 및 기판의 이동경로(R) 사이에 위치할 수 있다. 구체적으로, 상부 커버 바디(130)는 상부 클램프 바디(120)와 기판의 이동경로(R) 사이에 위치할 수 있다. 이와 같은 위치관계에 의하면, 상부 커버 바디(130)는 상부 클램프 바디(120)와 결합홈(101)의 결합 및 분리에 의해 발생하는 파티클(P)이 기판의 이동경로(R)상에 도달하지 못하도록 방지하여, 결과적으로, 세정이 완료된 기판의 표면에 파티클(P)이 도달하지 못하도록 작용할 수 있다.
측부 커버 바디(131)는 기판의 이동경로(R) 양측에 위치할 수 있다. 구체적으로, 측부 커버 바디(131)는 상부 커버 바디(130)의 양측단에서 하측으로 연장될 수 있다. 이와 같은 구조에 의하면, 측부 커버 바디(131)는 클램프부(12) 및 챔버부(10) 또는 클램프부(12) 및 도어부(11)의 마찰에 의해 발생하여 기판의 이동경로(R)의 측면으로 유입되는 현상을 방지할 수 있다.
하부 커버 바디(132)는 기판의 이동경로(R) 하측에 위치할 수 있다. 다시 말해, 하부 커버 바디(132)는 기판의 이동경로(R)를 중심으로 상부 커버 바디(130)와 일정 간격 이격될 수 있다. 또한, 하부 커버 바디(132)는 측부 커버 바디(131)의 하단을 서로 연결할 수 있다. 이와 같은 구조에 의하면, 상부 커버 바디(130), 측부 커버 바디(131) 및 하부 커버 바디(132)는 기판의 이동경로(R)를 감싸는 파티클 차단 공간(B)을 형성할 수 있다. 또한, 커버부(13)는 기판의 이동경로(R)와 나란한 길이방향으로 챔버부(10) 및 도어부(11)로부터 돌출 형성될 수 있다. 결과적으로, 클램프부(12)의 마찰에 의해 파티클(P)이 발생하더라도, 상부 커버 바디(130), 측부 커버 바디(131) 및 하부 커버 바디(132)가 형성한 파티클 차단 공간(B)에 의해, 파티클(P)은 어느 방향에 대해서도 기판의 이동경로(R)로 유입되지 않을 수 있다.
파티클 차단 공간(B)은 개구부(O)와 연통될 수 있다. 다시 말해, 개구부(O)와 연통되는 기판의 이동경로(R)를 파티클 차단공간이 감쌈으로써, 파티클 차단 공간(B)은 개구부(O)와 연통될 수 있다. 따라서, 기판이 이동경로를 따라 개구부(O)로 인출되고 세정이 완료된 후 다시 반출되는 과정에서, 기판은 파티클 차단공간내에서 이동하므로, 파티클(P)은 기판의 표면에 도달하지 못할 수 있다.
커버부(13)는 클램프 공간(C)을 관통할 수 있다. 구체적으로, 기판이 챔버부(10)로 진입하는 방향을 바라본 기준에서, 커버부(13)는 클램프부(12)의 내측에 위치할 수 있다. 보다 구체적으로, 기판이 챔버부(10)로 진입하는 방향을 바라본 기준에서, 파티클 차단 공간(B)은 클램프 공간(C) 내측에 위치할 수 있다. 이와 같은 구조에 의하면, 클램프부(12)의 마찰에 의해 특정방향에서 파티클(P)이 형성되더라도, 기판의 이동경로(R)로 파티클(P)이 유입되는 현상을 방지될 수 있다.
공기유동부는 커버부(13)에 쌓인 파티클(P)을 제거하는 공기 유동을 발생시킬 수 있다. 예를 들어, 공기유동부는 커버부(13)의 상측에 위치하여 상측에서 하측으로 공기 유동을 발생시킬 수 있다. 다시 말해, 공기유동부는 커버부(13)의 상면에 쌓인 파티클(P)을 커버부(13)의 하측으로 이동시켜 제거할 수 있다. 따라서, 공기유동부는 커버부(13)에 쌓인 파티클(P)을 주기적으로 제거하여 커버부(13)의 파티클 차단 효율을 높일 수 있다.
도 4는 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 사시도이고, 도 5는 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 측면 단면도이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 기판 처리 장치(2)는 챔버부(20), 도어부(21), 클램프부(22), 커버부(23) 및 공기유동부를 포함할 수 있다. 도 4 및 도 5에 따른 실시 예를 설명함에 있어서, 상술한 내용과 중복되는 구성에 대하여는 구체적인 설명은 생략하도록 한다.
클램프부(22)는 기판의 이동경로 상측에 위치하는 상부 클램프 바디(220), 기판의 이동경로 하측에 위치하는 하부 클램프 바디(221) 및 상부 클램프 바디와 하부 클램프 바디의 양측을 연결하는 측부 클램프 바디(222)를 포함할 수 있다. 이와 같은 구조에 의하면, 상부 클램프 바디(220), 하부 클램프 바디(221) 및 측부 클램프 바디(222)는 클램프 공간(C)을 형성할 수 있다. 즉, 클램프부(22)는 내부에 공동을 갖는 프레임 형태로 형성될 수 있다.
커버부(23)는 클램프부(22) 및 챔버부(20) 간의 마찰 또는 클램프부(22) 및 도어부(21) 간의 마찰에 의해 발생되는 파티클(P)이 기판의 이동경로(R)로 진입하는 것을 방지할 수 있다. 커버부(23)는 판 형상을 포함할 수 있다. 커버부(23)는 기판의 이동경로(R) 상측에 위치할 수 있다. 다시 말해, 커버부(23)는 기판의 이동경로(R)와 상부 클램프 바디(220) 사이에 위치할 수 있다. 또한, 커버부(23)는 클램프 공간(C) 내측에 위치할 수 있다. 이와 같은 위치관계에 의하면, 커버부(23)는 상부 클램프 바디(220)가 챔버부(20) 및 도어부(21)의 적어도 일부와 결합 및 분리하는 과정에서 발생하는 파티클(P)이 기판의 이동경로(R)로 진입하지 못하도록 막을 수 있다. 따라서, 커버부(23)의 상면에는 마찰에 의해 발생한 파티클(P)이 쌓일 수 있다. 결과적으로, 커버부(23)가 이와 같은 형상을 포함하고 위치관계를 가짐으로써, 커버부(23)는 보다 간이한 구조로 구성되어 용이하게 설치될 수 있다. 또한, 커버부(23)는 보다 간이한 구조를 통해 원가가 절감되어 경제적일 수 있다.
이상과 같이 실시예들이 비록 한정된 도면에 의해 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기를 기초로 다양한 기술적 수정 및 변형을 적용할 수 있다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 시스템, 구조, 장치, 회로 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.
그러므로, 다른 구현들, 다른 실시예들 및 특허청구범위와 균등한 것들도 후술하는 청구범위의 범위에 속한다.
1: 기판 처리 장치
10: 챔버부
11: 도어부
12: 클램프부
13: 커버부
100: 오목부
101: 결합홈
110: 돌출부
111: 클램프 삽입홈
120: 상부 클램프 바디
121: 하부 클램프 바디
122: 측면 클램프 바디
130: 상부 커버 바디
131: 측부 커버 바디
132: 하부 커버 바디
S: 기판 처리 공간
O: 개구부
R: 기판 이동경로
P: 파티클
B: 파티클 차단 공간
C: 클램프 공간

Claims (13)

  1. 내부에 기판 처리 공간이 구비되고, 개구부가 형성된 챔버부;
    상기 챔버부와 결합 가능한 도어부;
    상기 챔버부 및 도어부가 결합된 상태에서, 상기 챔버부 및 도어부의 적어도 일부를 감싸는 클램프부; 및
    상기 클램프부 및 챔버부 간의 마찰 또는 상기 클램프부 및 도어부 간의 마찰에 의해 발생되는 파티클이 기판의 이동경로로 진입하는 것을 방지하는 커버부를 포함하는, 기판 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서
    상기 커버부는 상기 기판의 이동경로 상측에 위치하는 상부 커버 바디를 포함하는, 기판 처리 장치.
  3. 제2항에 있어서
    상기 상부 커버 바디는 상기 클램프부 및 상기 기판의 이동경로 사이에 위치하는, 기판 처리 장치.
  4. 제2항에 있어서
    상기 커버부는 상기 기판의 이동경로 양측에 위치하는 측부 커버 바디를 더 포함하는, 기판 처리 장치.
  5. 제4항에 있어서
    상기 측부 커버 바디는 상기 상부 커버 바디의 양측단에서 하측으로 연장되는, 기판 처리 장치.
  6. 제5항에 있어서
    상기 커버부는 상기 기판의 이동경로 하측에 위치하는 하부 커버 바디를 더 포함하는, 기판 처리 장치.
  7. 제6항에 있어서
    상기 하부 커버 바디는 상기 측부 커버 바디의 하단을 서로 연결하는, 기판 처리 장치.
  8. 제7항에 있어서
    상기 상부 커버 바디, 측부 커버 바디 및 하부 커버 바디는 상기 기판의 이동경로를 감싸는 파티클 차단 공간을 형성하는, 기판 처리 장치.
  9. 제8항에 있어서
    상기 커버부는 상기 기판의 이동경로를 따라 형성하는, 기판 처리 장치.
  10. 제9항에 있어서
    상기 파티클 차단 공간은 상기 개구부와 연통되는, 기판 처리 장치.
  11. 제7항에 있어서
    상기 클램프부는,
    상기 기판의 이동경로 상측에 위치하는 상부 클램프 바디;
    상기 기판의 이동경로 하측에 위치하는 하부 클램프 바디; 및
    상기 상부 클램프 바디 및 하부 클램프 바디의 양측을 연결하는 측부 클램프 바디를 포함하는, 기판 처리 장치.
  12. 제7항에 있어서
    상기 상부 클램프 바디, 하부 클램프 바디 및 측부 클램프 바디는 클램프 공간을 형성하고,
    상기 커버부는 상기 클램프 공간을 관통하는, 기판 처리 장치.
  13. 제1항에 있어서
    상기 커버부에 쌓인 파티클을 제거하는 공기 유동을 발생시키는 공기 유동부를 더 포함하는, 기판 처리 장치.

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