KR101295151B1 - 기판 수납용기 - Google Patents

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Abstract

기판 수납용기가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 수납용기는, 전방에 개구부가 형성되고 기판이 수납되는 본체부; 본체부의 개구부를 개방 및 폐쇄하는 도어부; 및 도어부에 설치되되, 도어부에 마련된 래치를 본체부에 형성된 체결홈에 삽입하여 도어부를 본체부에 고정하는 잠금장치를 포함한다.

Description

기판 수납용기{SUBTRATE STORAGE CONTAINER}
본 발명은, 기판 수납용기에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 래치형 잠금장치를 이용하여 도어부를 본체부에 고정하는 기판 수납용기에 관한 것이다.
최근 들어 반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평면 디스플레이(Flat Panel Display, FPD)가 등장하기 시작하였다.
평면디스플레이(FPD)는, TV나 컴퓨터 모니터 등에 디스플레이(Display)로 종래 주로 사용된 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube)보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치인데, 이러한 평면디스플레이는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등으로 그 종류가 다양하다.
OLED를 비롯한 평면디스플레이용 기판(이하, 기판이라 함)은, 보통 글래스(Glass) 재질로 이루어져 외부로부터 가해지는 충격에 매우 취약한 특성을 가지고 있고, 기판의 사이즈가 상대적으로 크기 때문에 이송에 있어 보다 각별한 주의가 요구된다.
따라서, 상기 기판들은 기판 수납용기, 소위 카세트(Cassette)라 하는 별도의 적재 박스에 적재된 후 다음 공정으로 이송된다. 즉 기판의 제조공정에서, 임의의 공정이 완료된 기판들은 별도의 로봇에 의해 수 내지 수십 장씩 카세트에 적재되고, 적재가 완료되면 카세트 자체를 다음 공정으로 이송하고, 해당 공정에 도달되면 다시 로봇을 이용하여 카세트 내에 적재된 기판들을 인출하여 해당 공정을 수행하게 된다.
이와 같이, 기판들은 카세트에 적재된 후에 공정 간에 이송되므로 기판들에 대한 이송 효율을 높이면서 생산량을 향상시키고자 한다면, 규격화된 단위 크기의 카세트에 보다 많은 수의 기판을 적재하는 것이 유리하다.
그리고, 기판들은 고정밀도가 요구되는 제품으로서, 외부의 먼지 등으로부터 격리되어야만 우수한 품질의 평면디스플레이용 기판을 제작할 수 있다.
그러나, 현재의 카세트는 기판이 수납되는 본체부의 상판과 하판을 플레이트로 제작하여 먼지 등이 쌓이는 것을 방지할 뿐이며, 기판이 유입 및 유출되는 입구는 외부와 연통되어 대기에 접촉된 상태이다.
따라서, 기판을 클린 룸 정도가 낮은 등급하에서 이송할 경우에는 기판에 먼지 등이 부착되어 이송작업 후, 기판을 세정하여야 하는 문제점이 있다.
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 기판이 유입 및 유출되는 본체부의 개구부를 도어부로 밀폐시킴으로써, 본체부 내부에 먼지 등의 이물질이 유입되는 것을 방지할 수 있는 기판 수납용기를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 전방에 개구부가 형성되고 기판이 수납되는 본체부; 상기 본체부의 개구부를 개방 및 폐쇄하는 도어부; 및 상기 도어부에 설치되되, 상기 도어부에 마련된 래치를 상기 본체부에 형성된 체결홈에 삽입하여 상기 도어부를 상기 본체부에 고정하는 잠금장치를 포함하는 기판 수납용기가 제공될 수 있다.
상기 잠금장치는, 상기 도어부에 설치된 구동기어; 상기 도어부에 설치되되, 상기 구동기어에 치합된 종동기어; 및 상기 종동기어에 연동되되, 상기 도어부의 테두리부에 마련된 복수의 래치에 결합되며 상기 도어부에서 왕복운동하는 다절 링크부를 포함할 수 있다.
상기 다절 링크부는, 상기 종동기어에 결합되되, 상기 도어부에 수평되게 배치된 제1 링크부재; 및 상기 종동기어에 결합되되, 상기 도어부에 수직되게 배치된 제2 링크부재를 포함하며, 상기 제1 및 제2 링크부재에 결합된 상기 복수의 래치는, 상기 제1 및 제2 링크부재의 왕복운동에 따라 상기 도어부에서 출몰되어 상기 본체부에 형성된 복수의 체결홈에 삽입 또는 상기 체결홈에서 인출될 수 있다.
상기 구동기어에는 상기 도어부의 외부로 돌출되게 작동레버가 설치될 수 있다.
상기 래치는 상기 도어부의 테두리부에 마련된 힌지축을 중심으로 회전가능하게 설치될 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 전방에 개구부가 형성되고 기판이 수납되는 본체부; 상기 본체부의 개구부를 개방 및 폐쇄하는 도어부; 및 상기 도어부에 설치되되, 상기 본체부에 마련된 핀부재에 결합되어 상기 도어부를 상기 본체부에 고정하는 잠금장치를 포함하는 기판 수납용기가 제공될 수 있다.
상기 잠금장치는, 상기 핀부재가 삽입되는 삽입홈과 적어도 하나 이상의 걸림턱이 형성된 제1 캠부를 구비한 핀 지지유닛; 및 상기 적어도 하나 이상의 걸림턱에 선택적으로 걸리는 걸림돌기가 형성된 제2 캠부를 구비한 고정유닛을 포함하며, 상기 핀부재가 삽입된 상기 제1 캠부가 회전되는 경우에 상기 걸림돌기가 상기 걸림턱에 걸려 상기 제1 캠부의 회전상태를 유지할 수 있다.
상기 제1 캠부의 외주면과 상기 제2 캠부의 걸림돌기는 상호 접촉되어 회전될 수 있다.
상기 핀 지지유닛은, 상기 제1 캠부에 결합되되, 상기 제1 캠부의 회전축을 형성하는 제1 캠샤프트; 및 상기 제1 캠부에 결합되되, 상기 제1 캠부가 회전되는 방향의 역방향으로 상기 제1 캠부를 탄성적으로 지지하는 제1 탄성부재를 더 포함할 수 있다.
상기 고정유닛은, 상기 제2 캠부에 결합되되, 상기 제2 캠부의 회전축을 형성하는 제2 캠샤프트; 및 상기 제2 캠샤프트에 결합되되, 상기 제2 캠부가 회전되는 방향의 역방향으로 상기 제2 캠샤프트를 탄성적으로 지지하는 제2 탄성부재를 더 포함할 수 있다.
상기 잠금장치는, 상기 제1 캠부의 삽입홈에서 상기 핀부재를 분리하는 핀부재 해제유닛을 더 포함하며, 상기 핀부재 해제유닛은, 상기 제2 캠샤프트의 하단부에 결합된 회전 브라켓; 상기 제2 캠샤프트의 하단부에 삽입되어 회전되되, 상기 회전 브라켓과 접촉되어 상기 회전 브라켓을 일방향으로 회전시키는 제3 캠부; 상기 제3 캠부에 결합되되, 상기 제3 캠부가 회전되는 방향의 역방향으로 상기 제3 캠부를 탄성적으로 지지하는 제3 탄성부재; 및 상기 도어부에 설치되되, 상기 제3 캠부의 회전을 제어하는 구동부를 포함하며, 상기 구동부에 의해 상기 제3 캠부 및 상기 회전 브라켓이 순차로 회전되는 경우에, 상기 회전 브라켓에 결합된 상기 제2 캠부가 회전되고, 상기 걸림돌기가 상기 걸림턱에서 빠지게 되어 상기 제1 캠부의 삽입홈에서 상기 핀부재가 분리될 수 있다.
상기 구동부는, 상기 도어부에 설치된 구동기어; 상기 도어부에 설치되되, 상기 구동기어에 치합된 종동기어; 상기 종동기어에 연동되되, 상기 도어부에서 왕복운동하는 다절 링크부; 및 상기 다절 링크부에 설치되되, 상기 다절 링크부의 왕복운동에 따라 상기 제3 캠부와 접촉되는 돌기부재를 포함할 수 있다.
상기 다절 링크부는, 상기 종동기어에 결합되되, 상기 도어부에 수평되게 배치된 제1 링크부재; 및 상기 종동기어에 결합되되, 상기 도어부에 수직되게 배치된 제2 링크부재를 포함하며, 상기 제1 및 제2 링크부재에 결합된 상기 돌기부재는, 상기 제1 및 제2 링크부재의 왕복운동에 따라 상기 제3 캠부에 접촉되어 상기 제3 캠부를 회전시킬 수 있다.
제3 캠부에는 상기 돌기부재와 접촉되는 돌출편이 설치될 수 있다.
상기 구동기어에는 상기 도어부의 외부로 돌출되게 작동레버가 설치될 수 있다.
상기 잠금장치는, 상기 제1 캠부의 상측 및 상기 도어부의 테두리부에 설치되되, 상기 핀부재를 상기 제1 캠부의 삽입홈에 안내하는 핀부재용 가이드 유닛을 더 포함하며, 상기 핀부재용 가이드 유닛에는 상기 삽입홈과 정렬된 가이드홈이 형성될 수 있다.
상기 잠금장치는, 상기 도어부에 설치되되, 상기 제2 캠샤프트가 관통되어 지지되는 블록체를 더 포함할 수 있다.
상기 잠금장치는, 일측부가 상기 도어부에 결합되고, 타측부가 상기 제2 캠샤프트의 하단부에 타측부가 결합되어 상기 제2 캠샤프트를 지지하는 지지 브라켓을 더 포함할 수 있다.
상기 본체부는, 복수의 홀부가 형성된 메인 프레임; 및 상기 메인 프레임의 홀부에 설치되되, 상기 메인 프레임의 내부를 밀폐시키는 커버부재를 포함하며, 상기 커버부재는, 판 형상의 커버 플레이트; 및 상기 커버 플레이트의 테두리부에 일측부가 삽입되고, 타측부가 상기 메인 프레임에 형성된 홀부의 테두리부에 삽입된 실링부재를 포함할 수 있다.
상기 본체부의 내부에 설치되어 수납된 상기 기판을 지지하는 기판 지지부를 더 포함하며, 상기 기판 지지부는, 상기 본체부의 내부 양측벽에서 돌출되게 설치되되, 상기 기판의 저면 테두리부를 지지하는 복수의 측면 지지바; 및 상기 본체부의 내부 후방벽에 상기 본체부의 높이방향으로 결합된 지지축과, 상기 지지축의 길이방향을 따라 상기 본체부의 전방 개구부 방향으로 돌출되게 설치된 복수의 고정바를 구비하여 상기 기판의 저면을 지지하는 중앙지지바를 포함할 수 있다.
상기 복수의 측면 지지바 각각과 상기 복수의 고정바 각각은, 상기 기판이 수평상태로 수납되도록 동일 평면 상에 배치될 수 있다.
상기 도어부는, 내부공간이 형성된 케이스 하우징; 상기 케이스 하우징에 관통되게 설치된 필터유닛; 상기 케이스 하우징에 설치된 도어 개폐기용 위치 결정핀 수용부; 및 상기 케이스 하우징에 설치된 견시창을 포함할 수 있다.
상기 도어부를 상기 본체부의 개구부에 대하여 안내 및 위치 설정하는 도어부용 가이드 유닛을 더 포함하며, 상기 도어부용 가이드 유닛은, 상기 도어부의 테두리부에 돌출되게 설치된 복수의 돌출부; 및 상기 본체부 개구부 측 테두리부에 돌출되게 설치되되, 상기 복수의 돌출부의 진행경로 및 위치설정을 안내하는 복수의 돌출안착부를 포함하며, 상기 도어부가 상기 본체부의 개구부 측에 밀착되는 경우에 상기 돌출부와 상기 돌출안착부는 상호 접촉지지될 수 있다.
본 발명의 실시예들은, 도어부에 마련된 래치를 본체부에 형성된 체결홈에 삽입하는 잠금장치 또는 본체부에 마련된 핀부재에 결합되는 잠금장치를 이용하여 본체부의 개구부를 도어부로 밀폐시킴으로써, 기판을 이송 또는 저장하는 동안 본체부 내부에 수납된 기판에 먼지 등의 이물질이 쌓이는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 밀폐형 기판 수납용기를 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 커버부재를 나타내는 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 중앙 지지바를 나타내는 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 도어부를 나타내는 분해사시도이다.
도 5는본 발명의 일 실시예에 따른 도어부용 가이드 유닛을 나타내는 측단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 도어부용 가이드 유닛을 나타내는 정면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 도어부에 잠금장치가 설치된 상태를 나타내는 평면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따라 본체부에 도어부가 고정된 상태에서 잠금장치를 나타내는 도 7의 A부분 확대도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따라 본체부에서 도어부가 해제된 상태에서 잠금장치를 나타내는 도 7의 A부분 확대도이다.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 밀폐형 기판 수납용기를 나타내는 사시도이다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 도어부에 잠금장치가 설치된 상태를 나타내는 평면도이다.
도 12은 본 발명의 다른 실시예에 따라 본체부에 도어부가 고정된 상태에서 잠금장치를 나타내는 도 11의 B부분 확대도이다.
도 13은 본 발명의 다른 실시예에 따라 본체부에 도어부가 해제된 상태에서 잠금장치를 나타내는 도 11의 B부분 확대도이다.
도 14 내지 16은 본 발명의 다른 실시예에 따라 본체부에 도어부가 고정되는 과정을 나타내는 개략도이다.
도 17 내지 도 20은 본 발명의 다른 실시예에 따라 본체부에서 도어부가 해제되는 과정을 나타내는 개략도이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
이하에서 설명될 기판은 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등이 포함될 수 있다.
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 밀폐형으로 제작된 기판 수납용기를 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 밀폐형 기판 수납용기를 나타내는 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 커버부재를 나타내는 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 중앙 지지바를 나타내는 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 도어부를 나타내는 분해사시도이고, 도 5는본 발명의 일 실시예에 따른 도어부용 가이드 유닛을 나타내는 측단면도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 도어부용 가이드 유닛을 나타내는 정면도이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 도어부에 잠금장치가 설치된 상태를 나타내는 평면도이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따라 본체부에 도어부가 고정된 상태에서 잠금장치를 나타내는 도 7의 A부분 확대도이고, 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따라 본체부에서 도어부가 해제된 상태에서 잠금장치를 나타내는 도 7의 A부분 확대도이다.
도 1 내지 도 9를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따라 밀폐형으로 제작된 기판 수납용기(100)는, 전방에 개구부(250)가 형성되고 기판이 수납되는 본체부(200)와, 본체부(200)의 내부에 설치되어 수납된 기판을 지지하는 기판 지지부(300)와, 본체부(200)의 개구부(250)를 개방 및 폐쇄하는 도어부(400)와, 도어부(400)를 본체부(200)의 개구부(250)에 대하여 안내 및 위치 설정하는 도어부용 가이드 유닛(500)과, 도어부(400)에 설치되되 도어부(400)에 마련된 래치(480)를 본체부(200)에 형성된 체결홈(260)에 삽입하여 도어부(400)를 본체부(200)에 고정 및 해제하는 잠금장치(600)를 포함한다.
도 1에서 도시한 바와 같이, 본체부(200)는 기판이 수납되는 용기의 외곽을 형성한다. 이때, 본체부(200)는 외관을 형성하는 메인 프레임(main frame,210)과, 메인 프레임(210)에 설치되어 메인 프레임(210)의 내부를 밀폐시키는 커버부재(230)를 포함한다. 본 실시예에서 본체부(200)는 전방에 개구부(250)를 갖는 프론트 오픈 박스 타입(front open box type)으로 제작된다.
그리고, 메인 프레임(210)은 보텀 프레임(bottom frame,211)과, 보텀 프레임(211)의 상부에 일정 간격 이격되게 배치되는 톱 프레임(top frame,213)과, 톱 프레임(213)과 보텀 프레임(211) 사이에 배치되어 톱 프레임(213)과 보텀 프레임(211)을 이격된 상태로 고정하기 위한 복수의 사이드 프레임(side frame,215)을 포함하여, 본체부(200)의 외관을 형성한다.
본 실시예에서 메인 프레임(210)은 직육면체 형상을 가지고 있으나, 이에 한정되지 않고 기판의 형상에 따라 그 형상을 달리할 수 있다. 그리고, 본체부(200)의 전방에 형성된 개구부(250) 측에 도어부(400)가 탈착되어 내부를 개방 및 폐쇄할 수 있도록 직육면체를 이루는 복수의 사이드 프레임(215) 중 어느 하나를 생략한다.
메인 프레임(210)은 보텀 프레임(211), 톱 프레임(213) 및 복수의 사이드 프레임(215)을 일체로 하여 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않고 보텀 프레임(211), 톱 프레임(213) 및 복수의 사이드 프레임(215) 각각을 성형한 후 상호 조립하여 형성될 수 있다.
본 실시예에 메인 프레임(210)은 AC4A 등과 같은 금속합금을 이용하고 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. 그리고, 최근에는 수납되는 기판의 크기가 점점 커지기 때문에 본체부(200)의 크기도 이에 대응하여 커지며, 본체부(200)를 경량화하기 위하여 메인 프레임(210)을 구성하는 보텀 프레임(211), 톱 프레임(213) 및 복수의 사이드 프레임(215)에는 복수의 홀부가 형성된다.
커버부재(230)는 보텀 프레임(211), 톱 프레임(213) 및 복수의 사이드 프레임(215)에 형성된 복수의 홀부에 설치된다. 본 실시예에서 본체부(200)는 도어부(400)를 이용하여 개방 및 폐쇄될 수 있도록 전방에 개구부(250)가 형성되므로, 커버부재(230)는 본체부(200)의 개구부(250)를 제외하고 메인 프레임(210)에 형성된 복수의 홀부에 설치된다.
또한, 도 2에서 도시한 바와 같이, 커버부재(230)는 본체부(200)의 메인 프레임(210)의 내부를 밀폐시키는 역할을 하며, 판 형상의 커버 플레이트(231)와, 커버 플레이트(231)의 테두리부를 따라 설치된 실링부재(233)를 포함한다.
본체부(200)의 경량화를 위해, 본 실시예에서 커버 플레이트(231)는 무정전 폴리카보네이트(PC), 폴리부틸렌 테레프탈레이트(PBT), 폴리에스터에스터케톤(PEEK), 폴리에스터이미드(PEI), 폴리에스터술폰(PES), 폴리프로필렌(PP) 등과 같은 재질로 형성되고, 실링부재(233)는 열가소성 합성고무(EPDM) 재질로 형성될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
또한, 커버 플레이트(231)를 투명하게 제작함으로써 본체부(200) 내부에 기판이 적재된 상태를 관찰하고, 작업현장에서 기판의 재고량 등을 용이하게 파악할 수 있다.
메인 프레임(210)에 대한 커버부재(230) 결합은, 커버 플레이트(231)의 테두리부를 실링부재(233)의 일측부를 따라 형성된 제1홈부에 삽입하여 결합하고, 실링부재(233)의 타측부를 따라 형성된 제2홈부를 보텀 프레임(211), 톱 프레임(213) 및 복수의 사이드 프레임(215)에 형성된 홀부의 테두리부에 삽입하여 결합한다.
도 1을 참조하면, 기판 지지부(300)는 본체부(200)의 내부에 수납되는 기판의 저면을 지지함으로써 기판의 처짐을 방지하는 역할을 한다. 그리고, 기판 지지부(300)는 본체부(200)의 내부 양측벽에서 돌출되게 설치된 복수의 측면 지지바(310)와, 본체부(200)의 내부 공간에 배치된 중앙 지지바(330)를 포함한다.
복수의 측면 지지바(310)는 기판의 저면 테두리부를 지지하는 역할을 한다. 그리고, 복수의 측면 지지바(310) 각각은 일단부가 본체부(200)의 내부 측벽에 고정되고, 타단부가 본체부(200)의 내부 공간으로 돌출되는 캔틸레버(cantilever) 형상을 갖는다.
또한, 복수의 측면 지지바(310)는 기판이 본체부(200)의 내부에 수평인 상태로 다단 수납되는 경우에 기판의 자중에 의한 휨을 고려하여 본체부(200)의 높이방향으로 일정한 간격을 두고 배열된다.
도 3에서 도시한 바와 같이, 중앙 지지바(330)는 수납되는 기판이 대형화 됨에 따라 기판의 중앙부가 자중에 의해 처지는 것을 방지하는 역할을 한다. 그리고, 중앙 지지바(330)는 본체부(200)의 내측 후방벽에 본체부(200)의 높이방향으로 결합되는 지지축(331)과, 지지축(331)의 길이방향을 따라 본체부(200)의 전방 개구부(250) 방향으로 돌출되게 설치된 복수의 고정바(333)를 포함한다.
복수의 고정바(333)는 복수의 측면 지지바(310)와 마찬가지로, 기판의 자중에 의한 휨을 고려하여 본체부(200)의 높이방향으로 일정한 간격을 두고 배열되고, 복수의 고정바(333) 각각과 복수의 측면 지지바(310) 각각은 기판이 수평인 상태로 수납될 수 있도록 동일 평면 상에 배치된다.
또한, 중앙 지지바(330)는 수납되는 기판의 크기에 따라 본체부(200)의 내부에 일정 간격을 두고 복수개 설치될 수 있다.
그리고, 본 실시예에서는 지지축(331)과 복수의 고정바(333)를 일체형으로 형성함으로써, 중앙 지지바(330)를 본체부(200)의 내부에 설치하는 과정에서 지지축(331)과 복수의 고정바(333)를 조립하는 과정을 생략할 수 있어 본체부(200) 내부에서 먼지 등의 파티클이 발생되는 것을 방지할 수 있다.
도어부(400)는 본체부(200)의 전방에 형성된 개구부(250) 측 테두리부(255)에 밀착되어 본체부(200) 내부를 밀폐시키는 역할을 한다.
도 4를 참조하면, 도어부(400)는 내부공간이 형성된 케이스 하우징(410)과, 케이스 하우징(410)에 관통되게 설치된 필터유닛(430)과, 케이스 하우징(410)에 설치된 도어 개폐기용 위치 결정핀 수용부(450)와, 케이스 하우징(410)에 설치된 견시창(470)을 포함한다.
케이스 하우징(410)은 본체부(200)의 개구부(250) 측에 밀착되어 본체부(200)를 밀폐시키는 역할을 하고, 본체부(200)의 개구부(250) 측에 탈착가능한 방식으로 결합된다.
케이스 하우징(410)은 내부 공간을 갖는 중공형상을 가지며, 외곽을 형성하는 메인 프레임(411)과, 메인 프레임(411)의 하부를 덮고 본체부(200) 측에 밀착되는 하부커버(415)와, 하부커버(415)의 반대편에 배치되고 메인 프레임(411)의 상부를 덮는 상부커버(413)를 포함한다.
본 실시예에서 메인 프레임(411)은 사각형 형상을 가지나, 본체부(200)의 개구부(250) 형상에 따라 그 모양을 달리할 수 있다. 그리고, 상부 및 하부 커버(413,415)는 플레이트 형상으로 형성될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
한편, 본체부(200)에는 케이스 하우징(410)이 밀착되는 면에 실링부재(미도시)가 더 설치될 수 있다. 즉, 케이스 하우징(410)이 본체부(200)의 개구부(250)를 밀폐하는 경우에 케이스 하우징(410)의 하부커버(415)는 본체부(200)의 개구부(250) 측에 밀착된다. 그리고, 하부커버(415)는 본체부(200)의 개구부(250) 측 테두리부(255)를 따라 설치된 실링부재를 가압 및 변형시켜 밀착면에 대하여 견고한 밀폐상태를 확보할 수 있다.
그리고, 도어부(400)를 이용하여 본체부(200)를 밀폐하는 경우에, 본체부(200) 내외부의 압력차가 발생하므로, 이러한 압력차를 제거함과 동시에 본체부(200) 내부에 수납되는 기판에서 발생하는 열로 인하여 본체부(200) 내부 온도가 상승하는 발열문제를 해결하기 위하여, 도 4에서 도시한 바와 같이, 도어부(400)에는 외부공기가 유입될 수 있는 관통홀(435)이 형성된다. 따라서, 필터유닛(430)은 관통홀(435)에 삽입 설치되어 본체부(200) 내외부의 공기 유동에 의한 먼지, 미립자, 미생물 등이 본체부(200) 내부로 유입되는 것을 방지한다.
그리고, 도어 개폐기(미도시)를 이용하여 도어부(400)를 본체부(200)에 탈착하는 경우에, 도어 개폐기에 구비된 복수의 진공흡착패드(미도시)는 도어부(400)를 구성하는 케이스 하우징(410)의 상부커버(413)에 흡착된다.
이때, 복수의 진공흡착패드가 밀착되는 위치를 정확하게 결정하기 위해, 케이스 하우징(410)에는 도어 개폐기에 구비된 위치 결정핀(미도시)이 수용되는 위치 결정핀 수용부(450)가 설치된다. 여기서, 위치 결정핀 수용부(450)는 내부로 갈수록 단면적이 감소하는 테이퍼 형상으로 형성될 수 있다.
도어 개폐기의 위치 결정핀과 케이스 하우징(410)에 설치된 위치 결정핀 수용부(450)의 결합에 의해 진공흡착패드는 항상 케이스 하우징(410) 상부커버(413)의 일정한 위치에 흡착된다.
또한, 진공흡착패드 고장시에 위치 결정핀과 위치 결정핀 수용부(450)의 결합으로 인하여 도어부(400)가 도어 개폐기에서 분리되어 낙하되는 것을 방지할 수 있다.
한편, 도어부(400)를 구성하는 케이스 하우징(410)에는 도어 개폐기의 진공흡착패드가 밀착되는 부분과 위치 결정핀 수용부(450)가 설치되는 위치에 별도의 보강부재(미도시)가 더 설치될 수 있다.
그리고, 견시창(470)은 도어부(400)가 본체부(200)를 밀폐시키는 경우에 본체부(200) 내부를 볼 수 있도록 투명재질로 형성되며, 케이스 하우징(410)에 복수개 설치될 수 있다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 도어부용 가이드 유닛(500)은 도어부(400)를 본체부(200)의 개구부(250) 측에 밀착하는 경우에, 도어부(400)를 본체부(200)의 개구부(250) 측으로 안내하고 본체부(200)의 개구부(250) 측에 밀착되게 그 위치를 설정하는 역할을 한다.
도어부용 가이드 유닛(500)은 도어부(400)를 구성하는 케이스 하우징(410)의 테두리부에 돌출되게 설치된 돌출부(510)와, 본체부(200)의 개구부(250) 측 테두리부(255)에 돌출되게 설치되어 돌출부(510)의 진행 경로 및 위치설정을 안내하는 돌출안착부(530)를 포함한다.
한편, 도 1을 참조하면, 본 실시예에서 돌출부(510)는 사각형상 케이스 하우징(410)의 각 변에 2개씩(즉, 각변의 양측에 각각 1개씩), 총 8개가 설치되고, 이에 대응되는 수만큼 본체부(200)의 개구부(250) 측에 돌출안착부(530)가 설치될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
그리고, 도 5에서 도시한 바와 같이, 돌출부(510) 및 돌출안착부(530)의 하단부는 도어부(400) 및 본체부(200)의 개구부(250) 측에 삽입 설치되고, 상단부는 반원형상의 단면을 갖도록 형성될 수 있다. 또한, 도 6에서 도시한 바와 같이, 돌출부(510) 및 돌출안착부(530)는 각각 도어부(400)의 케이스 하우징(410)의 테두리부 및 본체부의 개구부(250) 내측 테두리부(255)를 따라 길게 설치될 수 있다.
따라서, 도어부(400)를 개구부(250) 측으로 점진적으로 이동시키는 경우에 돌출부(510)와 돌출안착부(530)의 반원형상의 상단부는 상호 접촉 지지되면서 도어부(400)가 개구부(250) 측으로 슬라이딩되고, 도어부(400)를 설정된 본체부(200) 개구부(250) 위치에 정확하게 배치되게 안내한다. 그리고, 도어부(400)가 본체부(200)의 개구부(250) 측에 밀착되는 경우에 돌출부(510)와 돌출안착부(530)는 상호 접촉지지된다.
그리고, 도어부용 가이드 유닛(500)을 통하여 도어부(400)를 본체부(200)의 개구부(250) 측에 밀착되게 위치시킨 경우에, 케이스 하우징(410)의 내부에 설치된 잠금장치(600)를 통하여 도어부(400)를 본체부(200)의 개구부(250) 측에 고정한다.
도 7을 참조하면, 잠금장치(600)는 도어부(400)의 내부, 즉 케이스 하우징(410)의 내부 테두리를 따라 설치될 수 있다.
도 7 내지 도 9를 참조하면, 잠금장치(600)는 도어부(400)에 마련된 래치(480)를 본체부(200)에 형성된 체결홈(260)에 삽입하여 도어부(400)를 본체부(200)의 개구부(250) 측에 고정하거나, 래치(480)를 체결홈(260)에서 인출하여 도어부(400)를 본체부(200)의 개구부(250) 측에서 고정 해제하는 역할을 한다.
잠금장치(600)는, 도어부(400)의 내부에 고정되게 설치된 구동기어(611)와, 구동기어(611)의 일측에 치합되어 회전되도록 도어부(400)의 내부에 고정되게 설치된 종동기어(612)와, 종동기어(612)에 연동되되 도어부(400)의 테두리부에 마련된 복수의 래치(480)에 결합되며 도어부(400)의 내부에서 왕복운동하는 다절 링크부(614)를 포함한다.
구동기어(611)에는 도어부(400)의 외부로 돌출되게 작동레버(617)가 설치될 수 있으며, 작동레버(617)가 도어 개폐기(미도시)에 의해 시계 또는 반시계방향으로 회전됨에 따라 구동기어(611)가 시계 또는 반시계방향으로 회전된다.
본 실시예에서 작동레버(617)의 회전각도는 래치(480)를 회전시켜 본체부(200)의 체결홈(260)에 삽입 또는 체결홈(260)에서 인출하기 위한 다절 링크부(614)의 이동거리를 고려하여 결정된다.
본 실시예에서는 도 8에서 도시한 바와 같이 작동레버(617)가 수직인 경우에 도어부(400)가 본체부(200)에 고정된 상태를 나타내고, 도 9에서 도시한 바와 같이 작동레버(617)가 수평인 경우에 도어부(400)가 본체부(200)에서 해제된 상태를 나타낸다.
종동기어(612)는 구동기어(611)에 치합되어, 구동기어(611)의 회전에 따라 래치(480)를 회전시키는 다절 링크부(614)를 동작시키는 역할을 한다.
종동기어(612)의 일측에는 다절 링크부(614)의 이동길이를 고려하여 구동기어(611)와 치합되는 기어산이 형성되고, 타측은 다절 링크부(614)와 결합된다.
한편, 래치(480)는 도 7에서 도시한 바와 같이 도어부(400)의 테두리부를 따라 일정간격 이격되게 복수개 설치된다. 또한, 래치(480)는 도어부(400)의 테두리부에 마련된 힌지축(490)에 결합되어 회전된다. 그리고, 본체부(200)의 개구부(250) 측 테두리부(255)에는 복수의 래치(480) 간격과 동일한 간격으로 복수의 체결홈(260)이 설치된다. 따라서, 래치(480)가 체결홈(260)에 삽입되는 경우에 도어부(400)가 본체부(200)에 고정된다.
다절 링크부(614)에는 래치(480)가 결합되고, 다절 링크부(614)는 종동기어(612)의 회전에 따라 래치(480)를 도어부(400)의 외부로 출몰시키는 역할을 한다.
다절 링크부(614)는 종동기어(612)에 결합되어 연동되되 도어부(400) 내부의 상부 또는 하부에 수평되게 배치된 제1 링크부재(615)와, 종동기어(612)에 결합되어 연동되되 도어부(400) 내부의 양측부에 수직되게 배치된 제2 링크부재(616)를 포함한다.
여기서, 제1 링크부재(615)와 제2 링크부재(616)는 별도의 연결부재(618,619)를 통하여 종동기어(612)에 결합될 수 있으며, 제1 및 제2 링크부재(615,616)와 복수의 래치(480)의 결합은 제1 및 제2 링크부재(615,616)의 왕복운동에 따라 래치(480)가 회전동작을 수행할 수 있으면 어떠한 연결부재(미도시)도 사용될 수 있다.
상기한 본 발명의 일 실시예에 따른 잠금장치(600)에 의해 도어부(400)가 본체부(200)의 개구부(250)측에 고정 및 고정 해제되는 과정을 설명하면 다음과 같다. 하기에서는 도 8 및 도 9에서 도시한 바와 같이 도어부(400)의 상부 오른편에 설치된 잠금장치(600)를 예를들어 설명하기로 한다.
도 8을 참조하면, 구동기어(611)의 작동레버(617)가 수직인 상태, 즉 구동기어(611)를 반시계방향으로 회전시키는 경우 경우 종동기어(612)는 시계방향으로 회전되고, 종동기어(612)에 결합되고 도어부(400)의 상부에 수평되게 배치된 제1 링크부재(615)는 오른편으로 수평이동되어 래치(480)를 도어부(400)의 외부로 돌출시킨다. 또한, 도어부(400)의 측부에 수직되게 배치된 제2 링크부재(616)는 도어부(400)의 하부방향으로 수직이동되어 래치(480)를 도어부(400)의 외부로 돌출시킨다.
따라서, 도어부(400)의 테두리부에 마련된 복수의 래치(480)는 본체부(200)에 형성된 복수의 체결홈(260)에 각각 삽입되어 도어부(400)를 본체부(200)에 고정한다.
이와는 반대로, 도 9를 참조하면, 구동기어(611)의 작동레버(617)가 수평인 상태, 즉 구동기어(611)를 시계방향으로 회전시키는 경우 종동기어(612)는 반시계방향으로 회전되고, 종동기어(612)에 결합되고 도어부(400)의 상부에 수평되게 배치된 제1 링크부재(615)는 왼편으로 수평이동되어 래치(480)를 도어부(400)의 외부에서 내부로 인입시킨다. 또한, 도어부(400)의 측부에 수직되게 배치된 제2 링크부재(616)는 도어부(400)의 상부방향으로 수직이동되어 래치(480)를 도어부(400)의 외부에서 내부로 인입시킨다.
따라서, 도어부(400)의 테두리부에 마련된 복수의 래치(480)는 본체부(200)에 형성된 복수의 체결홈(260)에서 각각 인출되어 도어부(400)를 본체부(200)에 고정 해제한다.
이하에서는 본 발명의 다른 실시예에 따른 밀폐형으로 제작된 기판 수납용기를 설명하기로 한다.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 밀폐형 기판 수납용기를 나타내는 사시도이고, 도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 도어부에 잠금장치가 설치된 상태를 나타내는 평면도이고, 도 12은 본 발명의 다른 실시예에 따라 본체부에 도어부가 고정된 상태에서 잠금장치를 나타내는 도 11의 B부분 확대도이고, 도 13은 본 발명의 다른 실시예에 따라 본체부에 도어부가 해제된 상태에서 잠금장치를 나타내는 도 11의 B부분 확대도이고, 도 14 내지 16은 본 발명의 다른 실시예에 따라 본체부에 도어부가 고정되는 과정을 나타내는 개략도이고, 도 17 내지 도 20은 본 발명의 다른 실시예에 따라 본체부에서 도어부가 해제되는 과정을 나타내는 개략도이다.
도 10 내지 도 20을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따라 밀폐형으로 제작된 기판 수납용기(100a)는, 전방에 개구부(250a)가 형성되고 기판이 수납되는 본체부(200a)와, 본체부(200a)의 내부에 설치되어 수납된 기판을 지지하도록 측면 지지바(310a)와 중앙 지지바(330a)를 포함하는 기판 지지부(300a)와, 외관을 형성하는 케이스 하우징(410a)과 필터유닛(430a)과 위치 결정핀 수용부(450a)와 견시창(470a)을 포함하며 본체부(200a)의 개구부(250a)를 개방 및 폐쇄하는 도어부(400a)와, 도어부(400a)를 본체부(200a)의 개구부(250a)에 대하여 안내 및 위치 설정하도록 도어부(400a)에 설치된 돌출부(510a)와 본체부(200a)의 개구부(250a) 측에 설치된 돌출안착부(530a)를 포함하는 도어부용 가이드 유닛(500a)과, 도어부(400a)에 설치되되 본체부(200a)에 마련된 핀부재(270a)에 결합되어 도어부(400a)를 본체부(200a)에 고정 및 해제하는 잠금장치(600a)를 포함한다.
본 발명의 다른 실시예에 따라 밀폐형으로 제작된 기판 수납용기(100a)의 본체부(200a), 기판 지지부(300a), 도어부(400a), 도어부용 가이드 유닛(500a)은 본 발명의 일 실시예에 따라 밀폐형으로 제작된 기판 수납용기(100)에서 설명한 본체부(200), 기판 지지부(300), 도어부(400), 도어부용 가이드 유닛(500)과 동일하므로 아래에서는 차이점인 본 발명의 다른 실시예에 따른 잠금장치(600a)에 대하여 설명하기로 한다.
본체부(200a)의 테두리부에는 소정간격 이격되게 복수의 핀부재(270a)가 마련되고, 도어부(400a)의 테두리부에는 복수의 핀부재(270a)에 결합하는 잠금장치(600a)가 마련된다.
도 10 내지 도 20을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 잠금장치(600a)는, 본체부(200a)에 마련된 핀부재(270a)가 삽입되는 제1 캠부(611a)를 구비한 핀 지지유닛(610a)과, 핀 지지유닛(610a)의 제1 캠부(611a)를 고정하는 제2 캠부(631a)를 구비한 고정유닛(630a)과, 핀 지지유닛(610a)의 제1 캠부(611a)에서 핀부재(270a)를 분리하는 핀부재 해제유닛과, 핀부재(270a)가 핀 지지유닛(610a)의 제1 캠부(611a)에 삽입되는 것을 안내하는 핀부재용 가이드 유닛(670a)과, 고정유닛(630a)의 제2 샤프트가 관통하는 블록체(680a)와, 고정유닛(630a)의 제2 샤프트의 하단부를 지지하는 지지 브라켓(690a)을 포함한다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 잠금장치(600a)를 이용하여 도어부(400a)를 본체부(200a)에 고정하고자 하는 경우, 본체부(200a)에 마련된 핀부재(270a)를 핀 지지유닛(610a)을 구성하는 제1 캠부(611a)의 외주면에 형성된 삽입홈(612a)에 삽입한 후, 도어부(400a)를 본체부(200a)의 개구부(250a) 측으로 이동시켜 제1 캠부(611a)를 회전시키고, 제1 캠부(611a)의 외주면에 형성된 복수의 걸림턱(613a,614a)에 고정유닛(630a)을 구성하는 제2 캠부(631a)에 형성된 걸림돌기(632a)를 걸어 제1 캠부(611a)를 고정한다.
또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 잠금장치(600a)를 이용하여 도어부(400a)를 본체부(200a)에서 고정 해제하고자 하는 경우, 핀부재 해제유닛(650a)을 이용하여 제2 캠부(631a)를 회전시켜 걸림돌기(632a)를 복수의 걸림턱(613a,614a)에서 빠지게 한 후, 제1 캠부(611a)를 회전시켜 제1 캠부(611a)의 삽입홈(612a)에서 핀부재(270a)를 분리한다.
핀 지지유닛(610a)은 본체부(200a)의 테두리부를 따라 마련된 복수의 핀부재(270a)를 지지하여 도어부(400a)를 본체부(200a)에 고정하는 역할을 한다.
핀 지지유닛(610a)은, 핀부재(270a)가 삽입되는 삽입홈(612a)과 적어도 하나 이상의 걸림턱(613a,614a)이 외주면에 형성된 제1 캠부(611a)와, 제1 캠부(611a)의 회전축을 형성하는 제1 캠샤프트(615a)와, 제1 캠부(611a)가 회전되는 방향의 역방향으로 제1 캠부(611a)를 탄성적으로 지지하는 제1 탄성부재(616a)를 포함한다. 여기서, 제1 캠부(611a)는 제1 캠샤프트(615a)에 대하여 상대 회전한다.
제1 캠부(611a)는 삽입홈(612a)에 핀부재(270a)가 삽입된 상태에서 회전되어 핀부재(270a)가 삽입홈(612a)에서 빠져나가는 것을 방지하는 역할을 한다.
그리고, 제1 캠부(611a)의 외주면에는 핀부재(270a)가 삽입되는 삽입홈(612a)과 고정유닛(630a)의 제2 캠부(631a)의 걸림돌기(632a)가 삽입되는 적어도 하나 이상의 걸림턱(613a,614a)이 형성될 수 있다.
도 14 내지 도 16에서 도시한 바와, 제1 캠부(611a)의 외주면에 걸림턱(613a,614a)이 소정간격 복수개 설치된 경우에, 제1 캠부(611a)가 회전하면서 복수의 걸림턱(613a,614a)에 순차로 걸림돌기(632a)가 걸리게 된다. 따라서, 제1 캠부(611a)가 회전을 마친 상태에서 걸림돌기(632a)가 복수의 걸림턱(613a,614a) 중 어느 하나에서 빠지는 경우에도 나머지 걸림턱(614a)에 걸림돌기(632a)가 걸리게 되므로 도어부(400a)를 안정되게 본체부(200a)에 고정할 수 있다.
그리고, 제1 탄성부재(616a)는 제1 캠부(611a)가 회전되는 방향의 역방향으로 작용하는 복원력을 갖도록, 제1 캠샤프트(615a)의 외주면에 삽입되는 코일스프링으로 구성될 수 있다. 제1 탄성부재(616a)는 삽입홈(612a)에 핀부재(270a)를 삽입한 상태에서 제1 캠부(611a)를 회전시키는 경우에 걸림돌기(632a)가 제1 캠부(611a)의 외주면에 접하게 하며, 도어부(400a)를 본체부(200a)에서 고정 해제한 경우, 즉 걸림턱(613a,614a)에서 걸림돌기(632a)를 뺀 경우에 제1 탄성부재(616a)는 제1 캠부(611a)를 회전시켜 제1 캠부(611a)의 삽입홈(612a)이 핀부재(270a)와 마주보는 위치에 배치되게 한다.
한편, 핀부재용 가이드 유닛(670a)은 핀부재(270a)가 제1 캠부(611a)의 삽입홈(612a)에 삽입되게 안내하는 역할을 한다. 이때, 도 12 및 도 13에서 도시한 바와 같이 핀부재용 가이드 유닛(670a)은 제1 캠부(611a)의 상측 및 도어부(400a)의 테두리부에 설치된다. 또한, 핀부재용 가이드 유닛(670a)에는 삽입홈(612a)의 형상에 대응되게 가이드홈(671a)이 형성되고, 가이드홈(671a)과 삽입홈(612a)은 도어부(400a)에 일렬로 정렬되어 배치된다. 따라서, 핀부재(270a)가 가이드홈(671a)을 따라 삽입홈(612a)으로 원할하게 미끄러져 들어갈 수 있다.
고정유닛(630a)은 제1 캠부(611a)의 삽입홈(612a)에 핀부재(270a)를 삽입하고 핀부재(270a)가 삽입홈(612a)에서 인출되는 것을 방지하기 위하여 제1 캠부(611a)를 회전시키는 경우에 제1 캠부(611a)의 회전상태를 유지시키는 역할을 한다.
고정유닛(630a)은, 제1 캠부(611a)에 적어도 하나 이상 형성된 걸림턱(613a,614a)에 선택적으로 삽입되는 걸림돌기(632a)가 외주면에 형성된 제2 캠부(631a)와, 제2 캠부(631a)의 회전축을 형성하는 제2 캠샤프트(633a)와, 제2 캠부(631a)가 회전되는 방향의 역방향으로 제2 캠샤프트(633a)를 탄성적으로 지지하는 제2 탄성부재(634a)를 포함한다.
제2 캠부(631a)는 외주면에 형성된 걸림돌기(632a)가 제1 캠부(611a)의 외주면에 형성된 걸림턱(613a,614a)에 걸리도록 하여 제1 캠부(611a)의 회전상태를 유지하는 역할을 한다. 또한, 제2 캠부(631a)는 후술할 핀부재 해제유닛(650a)에 의해 제2 캠샤프트(633a)와 제2 캠부(631a)가 함께 회전될 수 있도록 일체로 형성될 수 있다.
그리고, 제2 탄성부재(634a)는 제2 캠부(631a)가 회전되는 방향의 역방향으로 작용하는 복원력을 갖도록 제2 캠샤프트(633a)의 외주면에 삽입되는 코일스프링으로 구성될 수 있다. 따라서, 도 14 내지 도 16에서 도시한 바와 같이 제1 캠부(611a)가 반시계방향으로 회전하는 경우에 제2 캠부(631a)는 걸림돌기(632a)가 제1 캠부(611a)의 외주면에 접촉된 상태에서 상대 회전운동을 한다.
한편, 도 12 및 도 13에서 도시한 바와 같이, 제2 캠샤프트(633a)가 관통하는 블록체(680a)를 도어부(400a)에 설치한다. 블록체(680a)는 제2 캠샤프트(633a)가 기울어지지 않고 회전되도록 제2 캠샤프트(633a)를 지지하는 역할을 한다. 그리고, 블록체(680a)의 상단부에 제2 캠샤프트(633a)와 결합되는 스냅링(681a)을 체결한다.
또한, 도 12 및 도 13에서 도시한 바와 같이, 지지 브라켓(690a)은 도어부(400a)에 설치되되, 일측부가 도어부(400a)에 결합되고 타측부가 제2 캠샤프트(633a)의 하단부에 결합되도록 절곡지게 형성된다. 제2 캠샤프트(633a)와 지지 브라켓(690a)의 결합은 제2 캠샤프트(633a)가 지지 브라켓(690a)을 관통하고, 지지 브라켓(690a)의 하부에 제2 캠샤프트(633a)와 결합되는 스냅링(미도시)을 체결한다.
또한, 지지 브라켓(690a)은 제2 캠샤프트(633a)의 하단부를 지지할 뿐만 아니라 후술할 핀부재 해제유닛(650a)의 회전 브라켓(651a), 제3 캠부(652a) 및 제3 탄성부재(654a)를 지지하는 역할을 한다.
한편, 도어부(400a)를 본체부(200a)에서 고정 해제하고자 하는 경우에 핀부재 해제유닛(650a)을 사용하여 핀부재(270a)를 제1 캠부(611a)의 삽입홈(612a)에서 분리한다.
이때, 핀부재 해제유닛(650a)은, 제2 캠샤프트(633a)의 하단부에 결합된 회전 브라켓(651a)과, 제2 캠샤프트(633a)의 하단부에 삽입되어 회전되되 회전 브라켓(651a)과 접촉되어 회전 브라켓(651a)을 일방향으로 회전시키는 제3 캠부(652a)와, 제3 캠부(652a)에 결합되되 제3 캠부(652a)가 회전되는 방향의 역방향으로 제3 캠부(652a)를 탄성적으로 지지하는 제3 탄성부재(654a)와, 도어부(400a)에 설치되되 제3 캠부(652a)의 회전을 제어하는 구동부(660a)를 포함한다.
핀부재(270a)를 삽입홈(612a)에서 분리하고자 하는 경우에, 도 17 내지 도 20에서 도시한 바와 같이, 먼저 구동부(660a)를 이용하여 제2 캠샤프트(633a)의 하단부에 삽입 설치된 제3 캠부(652a)를 회전시킨다. 제3 캠부(652a)의 회전방향은 제2 캠부(631a)의 걸림돌기(632a)가 걸림턱(613a,614a)에서 빠져나오는 방향이다. 그리고, 제3 캠부(652a)가 회전되는 경우에 제3 캠부(652a)는 제2 캠샤프트(633a)의 하단부에 결합된 회전 브라켓(651a)을 회전시킨다. 따라서, 회전 브라켓(651a)과 결합된 제2 캠샤프트(633a) 및 제2 캠부(631a)가 회전되어 걸림돌기(632a)가 걸림턱(613a,614a)에서 빠져나오게 된다.
이처럼, 제2 캠부(631a)가 회전되어 걸림돌기(632a)가 걸림턱(613a,614a)에서 빠져 나오게 되는 경우 제1 캠부(611a)는 제1 탄성부재(616a)에 의해 초기 핀부재(270a)가 삽입홈(612a)에 삽입되기 이전의 상태로 복귀된다. 따라서, 제1 캠부(611a)의 삽입홈(612a)에서 핀부재(270a)를 분리하여, 도어부(400a)를 본체부(200a)에서 고정 해제할 수 있다.
한편, 제3 탄성부재(654a)는 제3 캠부(652a)가 회전되는 방향의 역방향으로 작용하는 복원력을 갖도록 제2 캠샤프트(633a)의 외주면에 삽입되는 코일스프링으로 구성될 수 있다. 따라서, 제2 캠샤프트(633a)의 외주면에 회전가능하게 삽입 설치된 제3 캠부(652a)는 회전 브라켓(651a)을 회전시킨 후 초기위치로 복귀된다.
또한, 구동부(660a)는, 도어부(400a)에 설치된 구동기어(661a)와, 도어부(400a)에 설치되되 구동기어(661a)에 치합된 종동기어(662a)와, 종동기어(662a)에 연동되되 도어부(400a)에서 왕복운동하는 다절 링크부(664a)와, 다절 링크부(664a)에 설치되되 다절 링크부(664a)의 왕복운동에 따라 제3 캠부(652a)와 접촉되는 돌기부재(667a)를 포함한다.
구동기어(661a)에는 도어부(400a)의 외부로 돌출되게 작동레버(617a)가 설치될 수 있으며, 작동레버(617a)가 도어 개폐기(미도시)에 의해 시계 또는 반시계방향으로 회전됨에 따라 구동기어(661a)가 시계 또는 반시계방향으로 회전된다.
본 실시예에서 작동레버(617a)의 회전각도는 다절 링크부(664a)에 설치된 돌기부재(667a)가 제3 캠부(652a)를 회전시켜 제2 캠부(631a)의 걸림돌기(632a)를 제1 캠부(611a)의 걸림턱(613a,614a)에서 빠져나오게 하는 다절 링크부(664a)의 이동거리를 고려하여 결정된다.
본 실시예에서는, 도 12에서 도시한 바와 같이, 작동레버(617a)가 수직인 경우는 후술할 돌기부재(667a)가 제2 캠부(631a) 및 제3 캠부(652a)의 오른편에 위치된 경우를 나타내고, 도 13에서 도시한 바와 같이, 작동레버(617a)가 수평인 경우는 돌기부재(667a)가 제2 캠부(631a) 및 제3 캠부(652a)의 왼편에 위치된 경우를 나타낸다.
종동기어(662a)는 구동기어(661a)에 치합되어, 구동기어(661a)의 회전에 따라 돌기부재(667a)를 왕복운동하게 하는 다절 링크부(664a)를 동작시키는 역할을 한다.
종동기어(662a)의 일측에는 다절 링크부(664a)의 이동길이를 고려하여 구동기어(661a)와 치합되는 기어산이 형성되고, 타측은 다절 링크부(664a)와 결합된다.
다절 링크부(664a)에는 돌기부재(667a)가 결합되고, 다절 링크부(664a)는 종동기어(662a)의 회전에 따라 돌기부재(667a)를 왕복운동시켜 제3 캠부(652a) 및 제2 캠부(631a)를 회전시키는 역할을 한다.
다절 링크부(664a)는 종동기어(662a)에 결합되어 연동되되 도어부(400a) 내부의 상부 또는 하부에 수평되게 배치된 제1 링크부재(665a)와, 종동기어(662a)에 결합되어 연동되되 도어부(400a) 내부의 양측부에 수직되게 배치된 제2 링크부재(666a)를 포함한다.
여기서, 제1 링크부재(665a)와 제2 링크부재(666a)는 별도의 연결부재(618a,619a)를 통하여 종동기어(662a)에 결합될 수 있다.
그리고, 돌기부재(667a)는, 도 11에서 도시한 바와 같이, 도어부(400a)의 테두리부를 따라 복수의 고정유닛(630a)의 하부에서 각각 일정간격 이격되게 배치된다. 돌기부재(667a)는 제3 캠부(652a)를 회전시켜 제2 캠부(631a)의 돌기부재(667a)가 제1 캠부(611a)의 걸림턱(613a,614a)에서 빠져나오게 하는 역할을 한다.
도어부(400a)를 본체부(200a)에서 고정 해제하고자 하는 경우에 제1 및 제2 링크부재(665a,666a)에 결합된 돌기부재(667a)는 제3 캠부(652a)의 돌출편(653a)에 접촉되고 돌출편(653a)을 밀고 지나가면서 제3 캠부(652a)를 회전시킨다. 또한, 돌기부재(667a)는 다절 링크부(664a)에서 세워진 기둥형상으로 형성될 수 있다.
상기한 본 발명의 다른 실시예에 따른 잠금장치(600a)에 의해 도어부(400a)가 본체부(200a)의 개구부(250a)측에 고정 및 해제되는 과정을 설명하면 다음과 같다. 하기에서는 도 14 내지 도 20에서 도시한 바와 같이 도어부(400a)의 상부 오른편에 설치된 잠금장치(600a)를 예를들어 설명하기로 한다.
먼저, 잠금장치(600a)에 의해 도어부(400a)가 본체부(200a)의 개구부(250a) 측에 고정되는 과정을 설명하면 다음과 같다.
도 14에서 도시한 바와 같이, 도어 개폐기를 이용하여 도어부(400a)를 본체부(200a)의 개구부(250a) 측에 밀착하는 경우에, 핀부재(270a)는 제1 캠부(611a)의 삽입홈(612a)에 삽입된다.
그리고, 도어부(400a)를 본체부(200a) 측으로 더욱 밀착하면, 제1 캠부(611a)는 도 15에서 도시한 바와 같이 반시계방향으로 회전되고, 제1 캠부(611a)의 외주면에 형성된 복수의 걸림턱(613a,614a) 중 어느 하나에 제2 캠부(631a)의 걸림돌기(632a)가 일차적으로 걸린다.
그리고, 도어부(400a)를 본체부(200a) 측으로 더욱더 밀착하면, 제1 캠부(611a)는 도 16에서 도시한 바와 같이 반시계방향으로 더욱 회전되고, 제1 캠부(611a)의 외주면에 형성된 복수의 걸림턱(613a,614a) 중 어느 하나에 제2 캠부(631a)의 걸림돌기(632a)가 최종적으로 걸려 도어부(400a)를 본체부(200a)에 고정한다.
다음으로, 잠금장치(600a)에 의해 도어부(400a)가 본체부(200a)의 개구부(250a) 측에서 고정 해제되는 과정을 설명하면 다음과 같다.
도어부(400a)가 본체부(200a)에 고정된 상태에서 도어부(400a)를 고정 해제하고자 하는 경우, 도 17에서 도시한 바와 같이, 제1 링크부재(665a)에 결합된 돌기부재(667a)는 제2 캠부(631a) 및 제2 캠샤프트(633a)의 오른편에 위치한다.
그리고, 작동레버(617a)를 수평상태로 회전시키면, 도 18에서 도시한 바와 같이, 구동기어(661a) 및 종동기어(662a)가 회전되어 제1 링크부재(665a)가 왼편으로 이동된다. 따라서, 제1 링크부재(665a)에 결합된 돌기부재(667a)는 제3 캠부(652a)의 돌출편(653a)을 밀면서 회전 브라켓(651a)을 회전시킨다. 따라서, 회전 브라켓(651a)과 결합된 제2 캠샤프트(633a) 및 제2 캠부(631a)가 시계방향으로 회전되고, 제2 캠부(631a)에 형성된 걸림돌기(632a)가 회전되어 제1 캠부(611a)의 걸림턱(613a,614a)에서 빠져나오게 된다.
그리고, 도 19에서 도시한 바와 같이, 돌기부재(667a)가 제3 캠부(652a)를 밀고 왼편으로 이동된 경우에, 제1 캠부(611a)에 결합된 제1 탄성부재(616a)의 복원력에 의해 제1 캠부(611a)는 시계방향으로 회전되고, 핀부재(270a)가 삽입홈(612a)에서 분리될 수 있다. 또한, 제2 캠부(631a), 제2 캠샤프트(633a) 및 회전 브라켓(651a)은 제2 탄성부재(634a)에 의해 반시계방향으로 회전되어 초기 위치로 복귀되고, 제3 캠부(652a)는 제3 탄성부재(654a)에 의해 반시계방향으로 회전되어 초기 위치로 복귀된다.
그리고, 작동레버(617a)를 수직상태로 회전시키면, 도 20에서 도시한 바와 같이, 구동기어(661a) 및 종동기어(662a)가 회전되어 제1 링크부재(665a)가 오른편으로 이동된다. 이때, 돌기부재(667a)는 제3 캠부(652a)의 돌출편(653a)을 밀면서 오른편으로 이동된다. 돌기부재(667a)가 초기 상태로 복귀되 경우에는 제3 캠부(652a)는 회전 브라켓(651a)과 접촉되지 않으므로, 제1 캠부(611a) 및 제2 캠부(631a)는 초기 위치 상태가 그대로 유지된다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시 예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정 예 또는 변형 예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
100, 100a: 기판 수납용기 200, 200a: 본체부
300, 300a: 기판 지지부 400, 400a: 도어부
500, 500a: 도어부용 가이드 유닛 600, 600a: 잠금장치

Claims (23)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 전방에 개구부가 형성되고 기판이 수납되는 본체부;
    상기 본체부의 개구부를 개방 및 폐쇄하는 도어부; 및
    상기 도어부에 설치되되, 상기 본체부에 마련된 핀부재에 결합되어 상기 도어부를 상기 본체부에 고정하는 잠금장치를 포함하며,
    상기 잠금장치는,
    상기 핀부재가 삽입되는 삽입홈과 적어도 하나 이상의 걸림턱이 형성된 제1 캠부를 구비한 핀 지지유닛;
    상기 적어도 하나 이상의 걸림턱에 선택적으로 걸리는 걸림돌기가 형성된 제2 캠부를 구비한 고정유닛; 및
    상기 제1 캠부의 상측 및 상기 도어부의 테두리부에 설치되되, 상기 핀부재를 상기 제1 캠부의 삽입홈에 안내하는 핀부재용 가이드 유닛을 포함하며,
    상기 핀부재가 삽입된 상기 제1 캠부가 회전되는 경우에 상기 걸림돌기가 상기 걸림턱에 걸려 상기 제1 캠부의 회전상태를 유지하고,
    상기 핀부재용 가이드 유닛에는 상기 삽입홈과 정렬된 가이드홈이 형성된 것을 특징으로 하는 기판 수납용기.
  7. 삭제
  8. 제6항에 있어서,
    상기 제1 캠부의 외주면과 상기 제2 캠부의 걸림돌기는 상호 접촉되어 회전되는 것을 특징으로 하는 기판 수납용기.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 핀 지지유닛은,
    상기 제1 캠부에 결합되되, 상기 제1 캠부의 회전축을 형성하는 제1 캠샤프트; 및
    상기 제1 캠부에 결합되되, 상기 제1 캠부가 회전되는 방향의 역방향으로 상기 제1 캠부를 탄성적으로 지지하는 제1 탄성부재를 더 포함하는 기판 수납용기.
  10. 제6항에 있어서,
    상기 고정유닛은,
    상기 제2 캠부에 결합되되, 상기 제2 캠부의 회전축을 형성하는 제2 캠샤프트; 및
    상기 제2 캠샤프트에 결합되되, 상기 제2 캠부가 회전되는 방향의 역방향으로 상기 제2 캠샤프트를 탄성적으로 지지하는 제2 탄성부재를 더 포함하는 기판 수납용기.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 잠금장치는,
    상기 제1 캠부의 삽입홈에서 상기 핀부재를 분리하는 핀부재 해제유닛을 더 포함하며,
    상기 핀부재 해제유닛은,
    상기 제2 캠샤프트의 하단부에 결합된 회전 브라켓;
    상기 제2 캠샤프트의 하단부에 삽입되어 회전되되, 상기 회전 브라켓과 접촉되어 상기 회전 브라켓을 일방향으로 회전시키는 제3 캠부;
    상기 제3 캠부에 결합되되, 상기 제3 캠부가 회전되는 방향의 역방향으로 상기 제3 캠부를 탄성적으로 지지하는 제3 탄성부재; 및
    상기 도어부에 설치되되, 상기 제3 캠부의 회전을 제어하는 구동부를 포함하며,
    상기 구동부에 의해 상기 제3 캠부 및 상기 회전 브라켓이 순차로 회전되는 경우에, 상기 회전 브라켓에 결합된 상기 제2 캠부가 회전되고, 상기 걸림돌기가 상기 걸림턱에서 빠지게 되어 상기 제1 캠부의 삽입홈에서 상기 핀부재가 분리되는 것을 특징으로 하는 기판 수납용기.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 구동부는,
    상기 도어부에 설치된 구동기어;
    상기 도어부에 설치되되, 상기 구동기어에 치합된 종동기어;
    상기 종동기어에 연동되되, 상기 도어부에서 왕복운동하는 다절 링크부; 및
    상기 다절 링크부에 설치되되, 상기 다절 링크부의 왕복운동에 따라 상기 제3 캠부와 접촉되는 돌기부재를 포함하는 기판 수납용기.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 다절 링크부는,
    상기 종동기어에 결합되되, 상기 도어부에 수평되게 배치된 제1 링크부재; 및
    상기 종동기어에 결합되되, 상기 도어부에 수직되게 배치된 제2 링크부재를 포함하며,
    상기 제1 및 제2 링크부재에 결합된 상기 돌기부재는, 상기 제1 및 제2 링크부재의 왕복운동에 따라 상기 제3 캠부에 접촉되어 상기 제3 캠부를 회전시키는 것을 특징으로 하는 기판 수납용기.
  14. 제12항에 있어서,
    제3 캠부에는 상기 돌기부재와 접촉되는 돌출편이 설치된 것을 특징으로 하는 기판 수납용기.
  15. 제12항에 있어서,
    상기 구동기어에는 상기 도어부의 외부로 돌출되게 작동레버가 설치된 것을 특징으로 하는 기판 수납용기.
  16. 삭제
  17. 제10항에 있어서,
    상기 잠금장치는,
    상기 도어부에 설치되되, 상기 제2 캠샤프트가 관통되어 지지되는 블록체를 더 포함하는 기판 수납용기.
  18. 제10항에 있어서,
    상기 잠금장치는,
    일측부가 상기 도어부에 결합되고, 타측부가 상기 제2 캠샤프트의 하단부에 타측부가 결합되어 상기 제2 캠샤프트를 지지하는 지지 브라켓을 더 포함하는 기판 수납용기.
  19. 제6항에 있어서,
    상기 본체부는,
    복수의 홀부가 형성된 메인 프레임; 및
    상기 메인 프레임의 홀부에 설치되되, 상기 메인 프레임의 내부를 밀폐시키는 커버부재를 포함하며,
    상기 커버부재는,
    판 형상의 커버 플레이트; 및
    상기 커버 플레이트의 테두리부에 일측부가 삽입되고, 타측부가 상기 메인 프레임에 형성된 홀부의 테두리부에 삽입된 실링부재를 포함하는 기판 수납용기.
  20. 제6항에 있어서,
    상기 본체부의 내부에 설치되어 수납된 상기 기판을 지지하는 기판 지지부를 더 포함하며,
    상기 기판 지지부는,
    상기 본체부의 내부 양측벽에서 돌출되게 설치되되, 상기 기판의 저면 테두리부를 지지하는 복수의 측면 지지바; 및
    상기 본체부의 내부 후방벽에 상기 본체부의 높이방향으로 결합된 지지축과, 상기 지지축의 길이방향을 따라 상기 본체부의 전방 개구부 방향으로 돌출되게 설치된 복수의 고정바를 구비하여 상기 기판의 저면을 지지하는 중앙지지바를 포함하는 기판 수납용기.
  21. 제20항에 있어서,
    상기 복수의 측면 지지바 각각과 상기 복수의 고정바 각각은, 상기 기판이 수평상태로 수납되도록 동일 평면 상에 배치된 것을 특징으로 하는 기판 수납용기.
  22. 제6항에 있어서,
    상기 도어부는,
    내부공간이 형성된 케이스 하우징;
    상기 케이스 하우징에 관통되게 설치된 필터유닛;
    상기 케이스 하우징에 설치된 도어 개폐기용 위치 결정핀 수용부; 및
    상기 케이스 하우징에 설치된 견시창을 포함하는 기판 수납용기.
  23. 제6항에 있어서,
    상기 도어부를 상기 본체부의 개구부에 대하여 안내 및 위치 설정하는 도어부용 가이드 유닛을 더 포함하며,
    상기 도어부용 가이드 유닛은,
    상기 도어부의 테두리부에 돌출되게 설치된 복수의 돌출부; 및
    상기 본체부 개구부 측 테두리부에 돌출되게 설치되되, 상기 복수의 돌출부의 진행경로 및 위치설정을 안내하는 복수의 돌출안착부를 포함하며,
    상기 도어부가 상기 본체부의 개구부 측에 밀착되는 경우에 상기 돌출부와 상기 돌출안착부는 상호 접촉지지되는 것을 특징으로 하는 기판 수납용기.
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