KR980012233A - 웨이퍼 캐리어 - Google Patents

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KR980012233A
KR980012233A KR1019970032174A KR19970032174A KR980012233A KR 980012233 A KR980012233 A KR 980012233A KR 1019970032174 A KR1019970032174 A KR 1019970032174A KR 19970032174 A KR19970032174 A KR 19970032174A KR 980012233 A KR980012233 A KR 980012233A
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엘. 니세스 데이비드
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스탠 게이어
플루오로웨어, 아이엔씨.
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Abstract

웨이퍼를 이송하거나 수평의 축방향으로 정렬된 배열에 보지하는 웨이퍼 컨테이너는 웨이퍼들의 가장자리부에 웨이퍼 지지의 최소한도 4점의 지대를 가지고 있다. 우선의 실시양태는 제 1의 컨테이너부와 폐쇄가능한 도어를 가지고 있다. 제 1의 컨테이너부는 일체로 된 평탄한 상측부를 가진 직립의 도어 프레임을 가지고 있다. 장비 접촉면과 일체로 된 저면 기저부도 또한 도어 프레임으로부터 연장한다. 제 2의 성형부는 도어 프레임에와, 평탄 상측부에, 그리고 저면 기저부에 접속하는 투명의 겉껍데기를 가지고 있다. 따로 따로 성형된 웨이퍼 지지주들이 상측평탄부에와 저면 기저부에 접속하며 웨이퍼와 최소의 점 또는 점 지대 접촉을 제공하는 상향으로 면하는 돌기를 가진 수직으로 배열된 선반들을 포함하고 있다. 그 선반들은 돌기들에 의하여 지지되는 경우 웨이퍼들의 전방 또는 후방의 움직임을 간섭하여 앉힘자리를 지난 삽입을 방지하는 웨이퍼 멈추개들을 포함하고 있다. 제 1의 성형부와 제 2의 성형부 양자를 맞무는 측면 핸들이 작동하여 그 성형부들을 함께 고정시키게 돼 있다. 으로보트 핸들은 평탄 상측 부에 접속한다. 으로보트 핸들, 웨이퍼 선반들, 사이드 핸들들, 및 도어 프레임 기계 접촉면을 통해 접지에의 도전성 경로를 가지고 있다.

Description

웨이퍼 캐리어
제1도는 걸쇠걸 수 있는 도어를 가진 합성 웨이커 컨테이너의 부분해 사시도이다.
제2도는 U형의 투명 겉껍데기에 부착된 셋의 웨이퍼 지지주가 있는 웨이퍼 컨테이너의 전면 사시도이다.
제3도는 장비 접촉면을 통해 접지할 경로를 제공하기 위해 플라스틱 점퍼들을 가진, 도 2의 것과 유사한 캐리어 후면 사시도이다.
제4도는 사이드 핸들들과, 로보트 플랜지, 및 잠긴 도어를 가진 합성 컨테이너의 전면 사시도이다.
제5도는 본 발명에 따른 개방 웨이퍼 캐리어의 전면 사시도이다.
제6도는 캐리어의 단면 측면도이다.
제7도는 일 실시양태의 웨이퍼 캐리어의 제1성형부의 전면 사시도이다.
제8도는 일 실시양태의 웨이퍼 캐리어의 제1성형부의 후면 사시도이다.
제9도는 일 실시양태의 웨이퍼 캐리어의 겉껍데기 또는 제2성형부의 사시도이다.
제10도는 합성 캐리어에 대한 사이드 핸들의 사시도이다.
제11도는 제1성형부와 제2성형부 간의 연결의 상세 단면도이다.
제12도는 웨이퍼 컨테이너에 대한 웨이퍼 지지주의 사시도이다.
제13도는 제5도의 캐리어에 대한 웨이퍼 지지주의 사시도이다.
제14도는 웨이퍼 지지주의 부분의 상세 사시도이다.
제15도는 웨이퍼 캐리어의 단면 평면도이다.
제16도는 제15도의 16-16 선에서 취한 단면도이다.
제17도는 웨이퍼의 가장자리부의 평면도로서 최소 접촉점 웨이퍼 접촉 및 지지를 설명하는 그림이다.
[발명의 목적]
[발명이 속하는 기술분야 및 그 분야의 종래기술]
본 발명은 반도체 처리 장비에 관한 것이다. 더 상세하게는 반도체 위이퍼를 이송하거나 저장하는 캐리어들에 관한 것이다.
반도체들은 규모가 커졌기 때문에, 즉, 유니트 면적당 회로의 수가 증가하였기 때문에, 입자들이 더 문제가 되었다. 입자통제는 반도체 웨이퍼등의 제조, 처리, 이송, 및 저장의 제반 단계중에 필요하다. 웨이퍼들의 캐리어에의 삽입과 제거 중에 또 이송이 필요한 동안의 캐리어 내의 웨이퍼의 움직임으로터의 입자발생은 최소화되거나 또는 피해야 한다.
반도체 웨이퍼들의 근접한 정전기의 형성과 방전은 대이변일 수 있다. 정전기 소산능력은 웨이퍼 캐리어들에 대한 매우 바람직한 특성이다. 정전기 소산은 캐리어를 통해 접지하는 통로에 의해 소산시킬 수 있다. 장비에 의해 접촉되거나 웨이퍼들과 접촉할 수 있거나 또는 조작자에 의해 접촉될 수 있는 어떤 부붐도 접지에의 경로로 득을 보게 된다. 그런 부품들은 웨이퍼 지지물, 로보트 핸들들, 및 장비 접촉면을 포함하게 된다.
밀폐된 컨테이너들 안의 웨이퍼들의 가시성은 매우 바람직하여 소비자가 요구할수도 있다. 그런 컨테이너에 적당한, 폴리카보네이트 따위의 투명 플라스틱은 그런 플라스틱이 비용이 낮다는 점에서 바람직하나 그러한 플라스틱은 어울리는 정전기 소산 특성을 가지고 있지 않고 바람직한 내마모성 또한 가지고 있지 않다.
웨이퍼 캐리어들에 대한 재료는 이송중 웨이퍼의 손상을 방지하기 위하여 단단함이 또한 필요하며 여러가지 상황을 통해 치수적으로 안정됨이 또한 필요하다.
폴리에테르에테르케톤 (PEEK) 따위의, 저 입자발생 특성, 치수적 안정성, 및 타의 바람직한 물리적 특성을 가진, 종래의 이상적 캐리어 재료는 투명하지 않고, 상대적으로 비싸며, 캐리어 및 컨테이너 따위의 단일의, 크며 복합체 형상을 성형하기가 어렵다.
웨이퍼들을 저장하며 이송하는 컨테이너 및 캐리어 등은 일반적으로 수직의 평면에 웨이퍼들을 이송 보지하게 고안돼 왔다. 그러한 캐리어들은 웨이퍼의 처리 및/또는 삽이과 제거를 위해, 웨이퍼들과의 캐리어 상태를 수평의 상태에 또한 허용하기 위해 전형적으로 형상지어져 있다. 수평의 상태에 있어서 웨이퍼들은 웨이퍼 슬롯들을 형성하여 캐리어의 내부 측면들의 길이를 따라 연장하는 리브들에 의해 전통적으로 지지된다. 웨이퍼 가장자리 윤곽을 따르도록 캐리어 측면이 일부 굽어져 있다. 그런 캐리어들은 웨이퍼 가장자리의 또는 인접의 두 아크를 따라 웨이퍼를 접촉하여 지지한다. 이 형식의 지지는 웨이퍼 캐리어들에 대한, 그리고 관련 장비에 관해, 균일하고 일관되며 명확한 웨이퍼 위치에 안내하지 못한다.
게다가 수직의 이송 자세로부터 수평의 삽입-제거-처리의 자세로의 종래의 캐리어의 변경은 웨이퍼 덜걱거림, 웨이퍼 전위, 웨이퍼 불안정, 입자발생 및 웨이퍼 손상을 야기시킬 수 있다.
업계는 차츰 더 큰, 즉, 직경 300 ㎜의 웨이퍼를 처리하는 것을 발전시키고 있으며, 그 결과 웨이퍼들을 보지하는 더 큰 캐리어들과 컨테이너들이 필요해진다. 더구나 업계는 캐리어들과 컨테이너들의 수평의 웨이퍼 배열로 옮겨가고 있다. 캐리어들의 사이즈를 증대시키는 것은 성형중의 수축 및 굽힘등 어려움을 악화시켰다. 특히 캐리어와 컨테이너에의 웨이퍼의 삽입과 제거에 있어서의, 로보트 공학 의존의 증대는 더욱더 비판적인 공차를 만들었다. 필요한 것은 웨이퍼가 안정되고, 일관되며 명확하게 배치되며 넣었을 때 보이는, 최적으로 비용이 들지 않는, 저 입자발생의, 정전기 소산 캐리어이다.
[발명이 이루고자 하는 기술적 과제]
[발명의 개요]
수평의 축방향으로 정렬된 배열의 웨이퍼들을 이송하거나 보지하는 웨이퍼 컨테이너는 웨이퍼의 가장자리부에 최소한도 4점의 웨이퍼의 지지구역을 가지고 있다. 우선의 실시양태는 제 1의 컨테이너부 및 닫을 수 있는 도어를 가지고 있다. 제 1의 컨테이너부는, 일체로 된 평면의 상측부가 있는 직립의 도어 프레임을 가진 정전기 소산 재료의 제 1의 성형부를 가지고 있다. 장비 접촉면을 가진 일체로 된 저면 기저부가 또한 도어 프레임에서 연장하고 있다. 제 2의 성형부는 도어 프레임에와, 평면의 상측부에, 그리고 저면 기저부에 잇는 투명의 겉껍데기를 가지고 있다. 따로 따로 성형된 웨이퍼 지지 기둥들이 상측 평면부에와 저면 기저부에 이어져 있으며 상향으로 면하는 돌기들을 가진 수직으로 배열된 선반들을 포함하여 웨이퍼들과 접촉하는 최소의 점 또는 점지대를 제공하고 있다. 그 선반들은 웨이퍼 멈추개들을 포함하고 있어 그 돌기에 의하여 지지된 경우 웨이퍼들의 전방 또는 후방의 움직임을 간섭하여 방해하게 되며 앉힘자리 위치를 지난 삽입을 방지하게 된다. 제 1의 성형부와 제 2의 성형부 양자를 맞무는 측면 핸들은 작동하여 성형부들을 함께 고정시키게 돼 있다. 로보트 핸들은 평면의 상측부에 접속한다. 으로보 핸들, 웨이퍼 선반, 측면 핸들, 및 도어 프레임은 기계 접촉면을 통하여 접지하는 도전성 경로를 가지고 있다.
본 발명의 특징과 장점은 웨이퍼 지지가 캐리어에 의한 최소의 또 확실한 웨이이퍼 접촉을 제공한다는 것이다.
또한 본 발명의 특징과 장점은 합성 디자인이, 비싼 내마모성 및 정전기 소산 재료, 예를 들어, PEEK 따위의 재료의, 웨이퍼들 또는 장비를 접촉하는 컨테이너부들에 대한 최적의 사용과, 폴리카보네이트 따위 덜 비싼 투명 플라스틱의, 컨테이너의 구조적 지지물에 대한 사용 및 컨테이너 내의 웨이퍼들의 가시성을 허용한다는 점이다. 따라서, 성형 패러미터와 재료 선정은 성능을 최고로 활용하고 비용을 최소화하기 위하여 각각 따로 따로 성형되는 부품에 대해서 선별될 수가 있다.
또한 본 발명의 장점과 특징은 합성구성이 수축과 굽힘 따위 큰 캐리어 성형과 관련되는 역효과를 최소화한다는 점이다.
또한 본 발명의 장점과 특징은 전체 결정적 부품들이 캐리어의 장비 접촉면을 통해 접지하기 위해 도전성있게 접속될 수 있다는 점이다.
본 발명의 장점과 특징은 또, 적당한 선반에 의해 특정의 앉힘자리에 웨이퍼가 피동적으로 보지된다는 점이다.
본 발명의 장점과 특징은 또, 합성 컨테이너가, 사이드 핸들들과 관련된 러그들, 혀들, 및 태브들을 함께 이용하여 조립되어 최종적으로 고정될 수 있다는 점이다.
본 발명의 장점과 특징은 또, 웨이퍼 가이드들이 웨이퍼 지지 선반과 분리되어 마련돼 있어 그 가이드들이, 완전 삽입 부근 전과 웨이퍼가 웨이퍼 지지 선반 및 지지 비드와의 접촉에 들어가기 전에, 컨테이너 및/또는 삽입장비가 적절히 배치되는 용이한 시각적 보증을 제공한다는 것이다. 이는 웨이퍼가, 부정 배열을 점검하기 위하여 완전히 삽입되지 않아야 한다는 점에서 배열을 손쉽게 한다.
본 발명의 특징과 장점은 또, 가늘고 긴 비드가 성형을 손쉽게 한다는 것이다. 너브(nub)는 성형후 추가의 기계가공을 필요로하거나 또는 더 까다롭고 돈이 드는 금형을 필요로 한다.
본 발명의 우선 실시양태의 특징과 장점은, 또, 4점 접촉이 일관되고 명확한 웨이퍼 위치결정을 유지하는 한편 개별 웨이퍼들의 진동을 최소화하여 성형의 큰 변화에 대비한다는 것이다.
본 발명의 특징과 장범은 또, U형의 투명 겉껍데기에 결합된 후방으로 연장하는 상측과 후방으로 연장하는 기부가 있는 도어 프레임이 웨이퍼 둘레로 대략 270°의 가시도를 가진 구조적으로 강한 캐리어와 도전성 경로 접지를 제공한다는 것이다.
[발명의 구성 및 작용]
[상세한 설명]
도 1은 장비 (22) 상의 위치의, 수평 웨이퍼 캐리어의 우선 실시양태의 사시도이다. 도 2, 3, 4, 및 5는 추가의 실시양태들을 보이고 있다. 그 웨이퍼 캐리어들은 일반적으로 웨이퍼 지지 기둥들 (27)을 포함하는 컨테이너부(26) 및 협동하는 도어(28)로 이루어져 있다. 컨테이너부 (26)은 개방 전면 (30), 좌측면 (32), 이면 (34), 우측면 (36), 상측면 (38), 및 저면 (40)을 가지고 있다. 도 1, 2, 3 및 4의 실시양태들은 닫힌 이면과 닫힌 좌측면 및 우측면을 가지고 있다. 도 5의 실시양태는, 개방 배면이고 또 웨이퍼 지지 기둥들에 의해 접속되어 지지된 상측면과 저면을 가진, 일반적으로 개방 캐리어이다.
실시양태들이 도시돼 있는 도 1, 4 및 6을 상세히 참조하면, 컨테이너부 (26)은 도 1 및 4에 보인 바와 같이, 제 1의 성형부 (50)과 제 2의 성형부 (52)로 성형될 수도 있고 또는 도 2 및 3에 보인 바와 같이 단 한개의 단일의 성형부로 성형될 수도 있다. 도 7 및 8에 따로 보이고 있는, 제 1의 성형부 (50)은 수평의 상측 플레임부(58), 한쌍의 직립의 수직 프레임부들 (60, 62) 및 수평의 하측 프레임부 (64)를 가진 장방형 도어 프레임 (56)으로 이루어져 있다.
상측 프레임부 (58)과 수직의 프레임부 (60, 62)는 도어를 닫는 동안 받아 안내하는 각이룬 면들 (66, 68, 70)을 가지고 있다. 하측 프레임부 (64)는 도 6에 가장 잘 도시된 사실상 수평의 표면 (72)를 가지고 있다. 도어 프레임 (56)은 각이룬 표면들 (66, 68, 70)과 수평의 표면 (72)을 거쳐 개방 전면을 막을 도어를 받는다. 그 도어 프레임 표면들은 도어 (28)로부터 신축자재하게 연장할 수 있는 혀들(Tongues)을 받기 위하여 구멍들 또는 리세스들 (73)을 가질 수 있다. 사실상 수평의 상측 구획 (74)가 상측 프레임부(58)에서 후방으로 연장하고 있다. 하측 프레임부 (64)로부터는 동역학적 커플링으로서 형상지어 나타내 있는 장비 접촉면 (82)를 가진 하측 기저부(76)이 후방으로 연장하고 있다. 수평의 상측 구획 (74)는 수평의 가장자리부 (88)을 가지고 있으며 수직의 프레임부 (60, 62)는 수직의 가장자리부 (92, 94)를 가지고 있다. 마찬가지로, 하측 기저부 (76)은 하측 수평의 가장자리부 (96)을 가지고 있다. 수평의 상측 구획 (74)는 핸들 또는 로보트 플랜지 (100)의 부착을 위한 맞물림 플랜지들 (98)을 포함할 수 있다. 도 7에 보인 바와 같이, 수평의 상측 구획 (74)는 하측 기저부 (76)에 배치된 갸름한 구멍을 낸 부재들 (110, 112)에 상응하는 한쌍의 갸름한 구멍낸 부재들 (106, 108)을 가지고 있다. 상기 갸름한 구멍을 낸 부재들은 웨이퍼 지지주들 (27)을 받기 위한 치수로 되어 형상지어져 있다. 수직의 프레임부들 (60, 62)로 부터는 복수의 기다란 웨이퍼 가이드들 (120)이 연장하고 있다. 도 4 및 8에 가장 잘 나타낸 바와 같이 제 2의 성형부 (52)와의 접속을 손쉽게 하기 위하여 또 사이드 핸들들 (128)의 부가를 손쉽게 하기 위하여 추가의 특징들이 첨가될 수 있다. 수평의 상측 구획 (74)로부터는 갈고리처럼 굽은 러그들(lugs)(134)가 연장하고 있으며 상기 상측 구획 (74)에는 리세스들 (136)이 삽입돼 있다. 하측 기저부 (76)에는 리세스(140)을 가진 태브들(tabs)(138)이 부착돼 있다.
도 9를 참조하면 제 2의 성형부 (52)는, 점잔히 U형의 곡선으로 된 패널 (150), 상측 패널부 (152), 바깥쪽으로 벌어진 입술처럼 형상지어진 위 모서리부 (154), 역시 바깥쪽으로 벌어진 립부들 (160)을 가진 수직의 측면 패널들 (156, 158), 하측 수평의 바깥쪽으로 벌어진 립 (162) 및 한쌍의 외향으로 연장하는 측면 리젝션들 (164, 166)이 있는 투명 플라스틱 겉껍데기로서 형상지어졌다.
도 11을 참조하면 바깥쪽으로 벌어진 립 (162)가 제 1의성형부 (50)의 가장자리부 (96)에 접속하는 것을 상세히 나타내 있다. 그 조인트는 홈 접속 (170)의 혀처럼 형상지어져 있다.
도 10을 참조하면 우측 핸들 (128)의 조각 부분사시도가 그려져 있다. 사이드 핸들은 긴 조각처럼 형상지어진 핸들 기부에 지주 (176, 178)을 거쳐 접속된, 잡는 부분 (174)을 가지고 있다. 그 긴 조각은 투명 플라스틱 겉껍데기의 곡선 상측 가장자리부를 감싸는 곡선부들 (184, 186)을 가지고 있는 갈라진 Y형부 (182)와 또 제 1의 성형부 (50)의 수평 상측 구획 (74)의 리세스들 (136)에 들어맞는 둘의 하향으로 연장하는 태브들 (188, 190)을 가지고 있다. 사이드 핸들 (128)의 수평의 상측 단들 (189, 191)은 수평의 상측 구획 (74)에 역시 된 러그들(134)와 맞물게 되는 측면 맞묾부들 (194, 196)을 또한 가지고 있다. 사이드 핸들 (128)의 하측 단 (200)은 제 1의 성형부 (5)의 하측 기저부 (76)상의 태브 (138)에 대한 받이 홈 (202)를 가지고 있다. 그 하측 단(200)은 투명 플라스틱 겉껍데기의 수직의 측면 패널 (156) 상의 돌기 (176)을 맞물어 고정시케 되는 홈 (208)을 또한 가지고 있다.
사이드 핸들 (128)은, 핸들이 도 10에 보인 형상으로 강하게 한쪽으로 치우쳐있을 만큼 단단하면서도 탄력있게 유연한 플라스틱 재료로 형성된다. 이는 핸들이, 제 1의 성형부 (50)과 제 2의 성형부 (52) 양자를 맞물어 그 어셈블리를 함께 확고부동하게 보지하기 위하여, 위치에 잠겨져 캐리어의 측면들 (32, 36) 및 윗면 (38)에 고정되어 남아있게 한다.
도 12, 13, 14, 15, 및 16을 참조하면 웨이퍼 지지주들(27)은 둘의 근본구성으로 나타내 있다. 도 13은 도 5에 보인 개방 캐리어에 적당한 웨이퍼 지지주 이다. 도 12 및 14는 도 1 및 도 4의 캐리어 실시양태에의 사용에 적당한 웨이퍼 지지주의 구성을 보이고 있다. 양 웨이퍼 지지주 (27)은 태브들 (138) 또는 러그들 (134)을 통해 그들의 각각의 캐리어에 붙인다. 대신 기계식 부착 수단이 또한 활용될수도 있다. 특히 도 12, 13, 및 14를 참조하면 웨이퍼 지지주 (27)은 수직의 지지부재 (222)와 리어 머추개들 (226)이 있는 후방 지주(225)에 접 속하는 복수의 선반 (220)으로 이루어져 있다. 상측 및 하측 혀부 또는 러그들 (228, 229)가 수직의 지지부재 (222)로부터 연장하여 상응하는 리세스들 또는 홈부재 (106, 108, 110, 112)와 고정시켜 있다. 웨이퍼 지지 기둥들 (27)의 대체 구성을 도 2 및 3에 보이고 있다. 이들 웨이퍼 지지 기둥 (27)은 스크루 (231)에 의하는 따위 U형 패널(150)에의 직접 부착으로 나타내 있다. 도 2 및 3의 웨이퍼 지지주들은 복수의 개별 웨이퍼 지지 또는 선반(220)을 각각 가지고 있고, 각 선반은 기다란 비드 처럼 형상지어진 단일의 웨이퍼 맞묾돌기 (230)을 가지고 있는 것이다. 발명의 어떤 실시양태에서는, 웨이퍼 지지주들이 컨테이너 부와 일체로 될수도 있어 위에 확인된 많은 장점과 특징을 도한 제공한다는 것을 주의할 일이다.
도 6, 14, 15, 및 16을 참조하면, 웨이퍼 지지 기둥들 (27) 및 선반들의 더 상세한 것과 위치결정이 도시돼 있다. 각 선반 (236)은 상응하는 대향선반 (238)을 캐리어의 반대측에 가지고 있다. 대향선반들이 있는 대향의 웨이퍼 지지들 (27)은 개방 전면 (30)과 도어 프레임 (56)에 평행이며 웨이퍼들 W의 삽입 및 제거의 방향(229)에 직각인, 웨이퍼를 통한 중심선 상에 배치돼 있다. 웨이퍼들을 지지하기 위하여, 각각의 대향선반들은 웨이퍼 직경 D 보다 덜 떨어져 사이띄어져 있다.각 웨이퍼 가이드 (120)은 대향 웨이퍼 가이드를 컨테이너의 대향측에 가지고 있다.
도 6, 15, 및 16을 참조하면 웨이퍼 가이드들의 각 수직으로 인접한 쌍과 캐리어의 내부를 건너는 거리 간의 간격은 웨이퍼 삽입 및 제거 수준과 웨이퍼 슬롯 (244)를 구성한다. 마찬가지로, 삽입 수준 및 제거 수준은 수직 인접의 웨이퍼 선반들 (220) 간의 면적에 의해 구성된다. 웨이퍼 슬롯은 웨이퍼 지지주의 수직의 지지부재들 간의 캐리어를 건너는 면적으로서 또한 형성된다. 각 선반은 비드처럼 형상지어진 한쌍의 상향으로 면하는 웨이퍼 맞묾돌기 (230)을 가지고 있다. 비드는 소자번호 (231)로 도 14에 나타내 있는 바와 같이, 부분 구 처럼 일반적으로 형상지어진 너브(nub)이어도 좋으나, 스무스한 단들 요소번호 (230)을 가진 부분 원통형들이어도 좋다. 도 17을 참조하면, 상기는 최소의 점접촉 (246) 또는 최소의 브라이어레이트의(brierated) 사실상 방사상으로 배치된 선 접촉 (248)을, 가장자리부 (236)의 웨이퍼 W의 하측 또는 아래 표면 (235)를 접촉하는 돌기 정점의 정점 (233)에서, 제공한다. 도시와 같이, 기다란 비드들은 사실상 방사상으로 내향에 연장한다. 각 웨이퍼 선반 (220)은 웨이퍼가 도 15에 보인 바와 같이 웨이퍼 앉힘 위치에 있는 경우 웨이퍼 W의 원주의 형상을 추종하는 수직 접촉면으로 형상지어진, 전향의, 즉, 전면을 향한, 웨이퍼 멈추개 (232)를 가지고 있다. 전향의 웨이퍼 멈추개 (232)는 웨이퍼 삽입 및 제거 수준으로 연장하지는 않으나 웨이퍼 앉힘 위치에 앉혀진 웨이퍼들의 외향으로의 움직임에는 간섭하여 방해한다. 각 대향 웨이퍼 지지 선반의 상응하는 전향의 웨이퍼 멈추개들 간의 거리 D1은 웨이퍼 W의 직경 D 보다 적다.
각 지지 선반은 후 지주 (225)의 부분으로서 후 웨이퍼 멈추개 (226)을 가지고 있다. 그 후 웨이퍼 멈추개는 상향으로 연장하여 웨이퍼 슬롯의 후 한계를 구성하게 돼 있다. 각 대향 웨이퍼 선반의 상응하는 후 웨이퍼 멈추개들 (226) 간의 걸리 D2는 웨이퍼 직경 D보다 적다. 후 웨이퍼 멈추개들 (226)은 웨이퍼 슬롯의 수직 측면상태로 연장한다. 후 웨이퍼 멈추개 (226)은 도 15와 16에 가장 잘 나타낸 바와 같이 웨이퍼 앉힘위치 (237)에의 삽입에 있어 웨이퍼를 안내하는 역학을 또한 할 수 있다.
제 1의 성형부 (50)의 부분으로서 보인 상기 확인의 구성요소들은 일체로 성형될수도 있으며 따라서 상기 타의 부품은 각각과 일체이다. 마찬가지로 투명 플라스틱 겉껍데기로 형상지어진 제 2의 성형부 (52)도 일체로 형성돼 있다. 웨이퍼 지지 기둥 (27)은 정전기 소산의, 고 내마모성 재료로 형성되게 된다. 사이드 핸들들과 로보트 플랜지도 정전기 소산 재료로 성형되게 된다. 정전기 소산 재료로 또한 형성된 제 1의 성형부와 함께, 접지에의 도전 경로가 로보트 플랜지, 사이드 핸들들, 및 웨이퍼 선반들 (220)과 웨이퍼 지지 기둥들 (27)에, 제 1의 성형부 (5)의 부분이며 장비상의 접지된 접축면을 맞무는 장비 접촉면을 통해, 대비돼 있다. 장비 접촉면은 설명한 바와 같이 3구-3홈의 동역학적 커플링이어도 좋고 또는 종래의 H 바의 접촉면이나 타의 적당한 접촉면이어도 좋다. 도 1, 4, 및 5에 보인 바와 같이 정전기 소산 재료로 형성된 각각의 부품들을 직접 접속하는 대신으로서 부품들은, 도 3에 보인 바와 같이 부품들에 적당히 접속된 도전성 플라스틱 점퍼들 (241) 따위에 의해 전도성있게 접속되어도 좋다.
[발명의 효과]
일반적으로 캐리어 또는 구성요소들은 스퀘어 당 105내지 1012옴의 범위의 펴면 저항률의 정전기 소산성으로 생각된다. 이보다 적은 접지 저항과 같은 도전성 경로를 제공하는 재료에 대하여는 충당되어도 좋다.
특히, 성형 패러미터와 재료선택은 각각 별도의 성형 부품에 대하여 성능을 최적화하고 비용을 최소화하는데 대하여 이루어질 수 있다.
본 발명은 그의 정신이나 필수의 속성을 일탈함이 없이 타의 특별한 형식으로 구체화될 수 있으며, 따라서 본 실시양태는 모든 점에서 예증적일 뿐 한정적이 아니고, 발명의 범위를 아는 데는 앞의 설명에 대해서 보다 첨부의 청구의 범위를 참조하는 것이 바람직하다.

Claims (31)

  1. 일반적으로 장방형 직립의 프레임을 함유하고, 그 프레임은 수평의 상측 프레임부 재와, 상측 프레임부재에 평행인 하측 프레임부재와, 하측 프레임부재와 상측 프레임부재의 사이에 그들과 일체로 연장하는 한쌍의 대향하며 직립의 측 면 프레임부재를 가지고 있어 상기 프레임부재들은 웨이퍼들을 받는 개방 전 면을 구성하고; 상측 프레임부제와 일체이며 그로부터 후향으로 연장하는 사실상 수평의 상 측 구획; 하측 프레임부재와 일체이며 그로부터 후향으로 연장하는 사실상 수평의 하 측 기저부, 로 이루어지는 컨테이너부와, 투명의 플라스틱 겉껍데기로 이루어지어, 그 겉껍데기가 상측 패널부에 접속하고, 하측 기저부에 접속하며, 그들 간에 연장하는 U형 구획을 가진 추가의 성형부, 로 이루어지는 웨이퍼 컨테이너.
  2. 제1항에 있어서, 상측부와 하측 기저부 간을 연장하는 복수의 웨이퍼 지지 기둥을 더 함유하고, 에이퍼 지지 기둥들은 복수의 수직으로 배열된 웨이퍼 접촉 선반으로 이루어져, 각 기둥의 웨이퍼 접촉 선반들은 복수의 수직으로 정렬된 사실상 수평이며 평행인 웨이퍼 슬롯들을 형성하게 정렬되어 사이띄어 있는, 웨이퍼 캐리어.
  3. 제2항에 있어서, 각 기둥의 웨이퍼 지지 선반들이 따로 따로 형성돼 있고 각 웨이퍼 지지 기둥이 정전기 소산 재료로 성형돼 있는 웨이퍼 컨테이너.
  4. 제2항에 있어서, 장방형 프레임, 상측부, 기저부, 및 웨이퍼 지지 기둥들이 모두 정전기 소산 재료로 형성되어 도전적으로 접속돼 있으며 투명 재료는 비 정전기 소산 재료로 형성돼 있는 웨이퍼 컨테이너.
  5. 제1항에 있어서, 웨이퍼 컨테이너는 관련 장비에 잇게 적합돼 있고, 관련 장비는 접촉면부를 가지고 있으며 웨이퍼 컨테이너의 하측 기저부는 관련 장비의 접촉면부와 맞물게 형상지어진 장비 접촉면을 더 함유하는, 웨이퍼 컨테이너.
  6. 제2항에 있어서, 한쌍의 대향하여 내향으로 돌출하는 수직열의 위이퍼 가이들을 더 함유하고, 각각의 가이드가 각각의 복수의 슬롯에 상당하게 수직으로 사이띄어 배열돼 있고, 각 슬롯은 상이한 웨이퍼 선반에 상응하고, 웨이퍼 가이드들의 열이 각각의 직립의 측면 프레임부재들에 각각 배치돼 있는, 웨이퍼 캐리어.
  7. 제6항에 있어서, 각 웨이퍼 지지 기둥의 각 웨이퍼 접촉 선반이 각 웨이퍼를 접촉하여 지지하기 위한 상향으로 연장하는 비드를 함유하고 있는 웨이퍼 컨테이너.
  8. 제5항에 있어서, 웨이퍼 컨테이너에 담겨지게 될 웨이퍼들이 원주의 가장자리를 가지고 있고, 각 웨이퍼 슬롯이 웨이퍼 앉힘위치를 가지고 있으며, 웨이퍼 컨테이너가 복수의 웨이퍼 멈추개를 가지고 있고, 각 멈추개는 상향으로 연장하는 비드들의 후향으로 배치되어, 상기 웨이퍼의 삽입중 상기 웨이퍼가 웨이퍼 앉힘위치를 지나 수평으로 죄쳐지는 경우 상기 위이퍼를 접촉하게 형상지어져 배치돼 있는, 웨이퍼 컨테이너.
  9. 제2항에 있어서, 각 지지기둥 상의 각 웨이퍼 접촉 선반이 웨이퍼를 접촉하여 지지하기 위한, 전향으로 배치되어 상향으로 면하며 후향으로 배치되어 상향으로 연장하는 비드를 함유하는 웨이퍼 컨테이너.
  10. 제5항에 있어서, 상기 접촉 비드들의 각각이 가늘고 길며, 사실상 방사상 내향에 향해지고, 또 6밀리미터 미만의 길이를 가지고 있는 웨이퍼 컨테이너.
  11. 제3항에 있어서, 기저부는 저부표면을 가지어 장비 접촉면을 포함하고, 제 1의 성형부는 정전기 소산 재료로 형성돼 있고, 컨테이너는 정전기 소산 재료로 형성된 로보트 플랜지를 또한 제공하며 로보트 플랜지, 웨이퍼 지지 기둥 및 도어 프레임이 장비 접촉면에의 도전성 경로를 가지고 있는 웨이퍼 컨테이너.
  12. 제1항에 있어서, 제 1의 성형부와 제 2의 성형부에 접속하여 상기 부들을 함께 고정하는 한쌍의 핸들을 더 함유하는, 웨이퍼 컨테이너.
  13. 웨이퍼들을 수평 및 축방향으로 정렬된 배열로 보지하는 웨이퍼 캐리어로서, 그 캐리어는 도어가 있는 전면, 닫힌 상측, 닫힌 밑바닥, 닫힌 배면, 닫힌 좌측면, 및 닫힌 우측면을 가지고 있고, 컨테이너는, 상측부가 웨이퍼들 위 후향으로 전면으로부터 사실상 수평으로 연장하고, 사실상 수평의 하측부가 웨이퍼들 아래 후향으로 전면으로부터 연장하고, 전면에 배치된 수직의 좌측부재와 전면에 배치된 수직의 우측부재를 함유하여, 그 상측부, 하측 부, 수직의 우측부재, 및 수직의 좌측부재가 모두 정전기 소산 재료로 일체로 형성되고, 웨이퍼를 사실상 수평으로 축방향에 정렬된 배열에 지지하기 위해 컨테이너 좌측에 복수의 수직으로 정렬된 웨이퍼 지지와 컨테이너 우측에 복수의 상응하는 수직으로 정렬된 웨이퍼 지지를 함유하며, 수직의 좌측부재로부터 좌측 둘레, 배면 둘레, 및 우측 둘레로 수직의 우측 부재에 연장하는 투명의 플라스틱 겉껍데기를 함유하여, 그 플라스틱 겉껍데기가 상측부에와 하측부에 결합된, 웨이퍼 캐리어.
  14. 제13항에 있어서, 웨이퍼 지지들은 캐리어의 각 측면 상에 하나의, 대향하여 배치된 한쌍의 지지 기둥을 함유하고, 각 지지 기둥이 상측부으로부터 하측부까지 연장하여, 그 지지 기둥들은 상측부와 하측부에 도전적으로 접속되고, 그 지지 기둥들은 각각이 복수의 수직으로 배열된 상향으로 연장하는 돌기들을, 각 돌기에서 웨이퍼들의 하측과의 사실상 점 접촉을 위해, 가지고 있는 웨이퍼 캐리어.
  15. 웨이퍼를 사실상 수평의 배열로 보지하는 것이거나 웨이퍼 캐리어로, 웨이퍼들은 하측 표면을 가지고 캐리어는 개방 전면, 배면, 상측부, 저면부, 좌측면 및 우측면을 가지고, 캐리어는 또, 상측 부로부터 저면부에 연장하는, 한 지지 기둥이 우측에 배치되고 한 지지 기둥이 좌측에 배치된 한쌍의 웨이퍼 지지 기둥을 함유하여, 각 웨이퍼 지지 기둥이 복수의 수직으로 배열된 선반들로 이루어지고, 각 선반이 각 비드에서의 웨이퍼의 저표면과의 최소접촉을 위해 적어도 둘의 상향으로 연장하는 비드로 이루어지고, 각 선반은 또한 웨이퍼에 대한 삽입수준과 앉힘수준을 가지고 있어, 웨이퍼가 삽입수준에서 개방 전면을 통해 캐리어 내에 삽입되어 상향으로 연장하는 비드 상의 앉힘수준에 앉혀지게 낮추어질 수 있는, 웨이퍼 캐리어.
  16. 제15항에 있어서, 각 선반이 적어도 일부 전방에 앉힘수준에 상향으로 연장하는 비드들의 내향으로 배치된 전방 멈추개로 또한 이루어져 있어 상기 선반에 앉혀진 웨이퍼의 전방 움직임을 방해하고, 각 선반이 상향으로 연장하는 비드들의 후향으로 내향에 배치된 후방 멈추개를 또한 가지고 있어 상기 선반의 웨이퍼의 후방 움직임을 방해하며, 상기 전방 멈추개가 삽입수준에 연장하지 않아 웨이퍼들을 상기 전방 멈추개들과의 간섭 없이 삽입수준에서 삽입하고 제거할 수 있는 웨이퍼 캐리어.
  17. 제15항에 있어서, 좌측, 배면 및 우측 둘레에 연장하여 에워싸는 일체로 성형된 외측의 투명 겉껍데기를 더 함유하는, 웨이퍼 캐리어.
  18. 제15항에 있어서, 상측부, 하측부 및 웨이퍼 지지 기둥들이 정전기 소산 재료로 따로 따로 성형되어 기계식으로 접속돼 있는 웨이퍼 캐리어.
  19. 제18항에 있어서, 웨이퍼 접촉 비드들이 가늘고 기다랗며 내향으로 배열돼 있는 웨이퍼 캐리어.
  20. 제19항에 있어서, 웨이퍼 지지 선반들의 각 기둥이 외측 겉껍데기와는 따로 형성되고 또 그 기둥들이 그 외측 겉껍데기에 부착되는 웨이퍼 캐리어.
  21. 제15항에 있어서, 상측부와 저면부로 이루어져 좌측면, 배면 및 우측면 둘레에 연장하여 에워싸는 상측부와 저면부로 이루어진 일체로 성형된 외측의 겉껍데기를 더 함유하는, 웨이퍼 캐리어.
  22. 제21항에 있어서, 선반들의 각 기둥이 외측의 겉껍데기와 따로 따로 형성되고 또 각 기둥이 정전기 소산 재료로 형성되고, 캐리어거 장비 접촉면을 가진 저면 기저부를 더 함유하며, 상기 저면 기저부는 외측 겉껍데기와 따로 따로 형성되어 정전기 소산 재료로 형성되며, 선반들의 각 기둥과 저면 기저가 전도적으로 접속돼 있는 웨이퍼 캐리어.
  23. 제22항에 있어서, 웨이퍼들은 앉힘위치가 삽입수준 아래에 있을 정도로 각각 앉힘위치를 각 선반 사에 가지고 있는 웨이퍼 캐리어.
  24. 처리장비 상의 접지 접촉면을 맞물게 접합된 합성 웨이퍼 컨테이너로서, 개방 내부, 전면, 배면, 좌측면, 우측면, 상측 및 저면을 가지고 있고, 장방형의 도어 프레임이 웨이퍼의 컨테이너의 입장과 제거를 위한 구멍을 구헝하고; 투명 플라스틱의 비 정전기 소산 겉껍데기가 U형으로 되어 그 겉껍데기가 도어 프레임에 접속되고;
    적어도 둘의 웨이퍼 지지 기둥들이 컨테이너의 내부를 면하고, 그 지지 기둥들은 컨테이너의 측면들에 부착되어 정전기 소산 재료로 형성되고; 장비 접촉면이 컨테이너의 저면에 위치되고, 그 접촉면은 처리 장비를 맞물게 형상지어져, 정전기 소산 재료로 형성되고; 또 웨이퍼 지지 기둥들이 장비 접촉면에 전도식으로 접속된, 구성의, 웨이퍼 캐리어.
  25. 제24항에 있어서, 로보트 픽업을 손쉽게 하기 위해 장비 상에 위치된 로보트 픽업 핸들을 더 함유하고, 그 로보트 픽업 핸들이 정전기 소산 재료로 형성되어 그 장비 접촉면에 도전적으로 접속되고, 도어 프레임, 웨이퍼 지지 구조물, 장비 접촉면 등이 도전적으로 접속돼 있어 상기 도어 프레임, 상기 웨이퍼 지지 구조물, 및 상기 로보트 장비 접촉면에 접지에의 경로가 대비돼 있는 웨이퍼 캐리어.
  26. 제24항에 있어서, 도어 프레임이 정전기 소산 재료로 형성되어 장비 접촉면에 도전적으로 접속돼 있는 웨이퍼 캐리어.
  27. 제24항에 있어서, 좌측면과 우측면에 각각 부착된 한쌍의 핸들을 더 함유하고, 그 핸들들이 전전기 소산 재료로 형성되어 장비 접촉면에 도전적으로 접속된 웨이퍼 캐리어.
  28. 제25항에 있어서, 장비 접촉면, 웨이퍼 지지 구조물, 픽업 핸들들이 도전성 플라스틱 점퍼에 의해 일부 도전적으로 접속돼 있는 웨이퍼 캐리어.
  29. 전면, 상측, 저면, 좌측면, 우측면 및 배면을 가진 합성 컨테이너로서, 그 컨테이너가 좌측면, 배면, 우측면, 및 상측 둘레에 연장하는 외측의 투명 플라스틱 겉껍데기, 상기 컨테이너의 내부를 각각 면하는 한쌍의 내부의 웨이퍼 지지 구조물을 함유하여, 웨이퍼 지지 구조물이 정전기 소산 재료로 형성되고, 장비 접촉면부가 정전기 소산 재료로 형성되어 처리장비와 순조롭게 조화시키기 위하여 상기 컨테이너의 저면에 배치되고, 장비 접촉면부가 투명 플라스틱 겉껍데기에 결합되어 정전기 소산 재료로 형성되고, 픽업 핸들이 상기 투명 플라스틱 겉껍데기에 부착되고, 상기 픽업 핸들은 정전기 소산 재료로 형성되어, 장비 접촉면, 웨이퍼 지지 구조물, 픽업 핸들이 함께 도전적으로 접속된 구성의 웨이퍼 캐리어.
  30. 제 1의 가장자리부와 상기 가장자리부 인접의 돌기를 가지는 제 1의 성형부, 제 2의 가장자리부와 상기 가장자리부 인접의 돌기를 가지는 제 2의 성형부로 이루어지고, 제 1의 성형부와 제 2의 성형부가 컨테이너부를 형성하기 위해 협력하게 형상지어지고, 유연 부재가 제 1의 성형부와 제 2의 성형부의 각각의 돌기 간을 걸치어 맞물어 상기 성형부들을 함께 고정시키는, 웨이퍼 캐리어.
  31. 제30항에 있어서, 유연 부재가 캐리어를 운반하는 핸들로 이루어져 있는 웨이퍼 캐리어.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임
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