CN101012549B - 硅片生产中的载片器 - Google Patents
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Abstract
一种硅片生产中使用的载片器，在载片器的两侧有导轨，在导轨上设置紧贴导轨的高出载片器的防断头部件。其中，可以实现方式可以为在导轨上设置竖起的卡子，防断头部件远离导轨处有凹进去的部分，所述防断头部件紧贴导轨时其凹处与卡子相吻合。并且，载片器上的挂钩的末端可以为以下之一的形状：线状、一点、锯齿状、波浪状。使用本发明，可增加载片器框架的强度和抗折度，由于防断头部件可拆卸，该部件磨损后仅更换该部件，避免全部更换载片器，降低成本。且载片器的挂钩与硅片接触面达到尽量小，使镀层更有利到达、沉积在硅片上，使镀膜均匀。
Description
技术领域
本发明涉及硅片生产技术领域，特别是指一种硅片生产中的载片器。
背景技术
在半导体(即硅片)生产工艺过程中，通常采用半导体薄膜沉积工艺进行半导体的镀膜，例如可采用PECVD(Plasma EnhancedChemical Vapour Deposition，等离子增强化学气相沉积)的沉积工艺进行氮化硅的真空镀膜。下面以太阳能电池用硅片生产工艺进行简介：
在太阳能电池用硅片生产过程中，在进行镀膜时，可将未镀膜的硅片放入平板式的载片框架中，载片器的框架包含有若干个小工位，每个小工位的四周有挂钩，将硅片定位在工位上。然后，将载片框放置在PECVD真空镀膜设备腔体内，采用PECVD工艺进行镀膜。镀膜结束后，取出载片框，将硅片从载片框上卸取下来。
目前，组成载片器的框架多为石墨材料制成，比较笨重、易损。且碳框结构的框架导轨在PECVD真空镀膜设备运行中易断裂，导致硅片破碎，甚至是镀膜设备无法正常运行。
并且，目前将硅片放置在载片器的载片框上时，载片框上的挂钩与硅片接触面积较大，对所承载的硅片来说产生了遮挡的弊处，使得所接触的地方镀膜不均匀，影响硅片镀膜质量。
发明内容
本发明的目的在于提供一种硅片生产中的载片器，以提高所承载的硅片的镀膜质量。
本发明提供的一种硅片生产中使用的载片器，在载片器的两侧有导轨，在导轨上设置紧贴导轨的、高出载片器的防断头部件，
其中，导轨上设置有竖起的卡子，防断头部件远离导轨处有凹进去的部分，所述防断头部件紧贴导轨时其凹处与卡子相吻合。
其中，载片器还包括用于支撑硅片的挂钩。
其中，所述挂钩用于支撑硅片的末端为线状、一点、锯齿状或波浪状。
其中，所述载片器采用碳碳材质。
由上可见，本发明导轨处加厚处理，增加了防断头部件，且采用了碳碳框，减轻了载片框的重量，增强了强度，延长了使用寿命，相对降低了维护成本和生产成本。且由于防断头部件可装卸、因此维护时可仅更换易损的防断头部件，减少了维护成本。
另一方面，由于载片器的挂钩与硅片的接触部分采用了点接触、线接触或多点接触，使得载片框上的挂钩与硅片接触面积尽量减小，提高了硅片镀膜质量。
附图说明
图1为载片框的示意图；
图2为载片框局部放大示意图；
图3为载片框的挂钩示意图；
图4为挂钩放大示意图。
具体实施方式
如图1示出了本发明的载片框，在该载片框的侧边导轨处1，本发明采用了加厚处理，从而加强了载片框的抗折强度。
具体可参见图2示出的局部放大图来说，本发明在导轨处1竖起卡子2作为防断头的固定件和保护件，防断头部件3远离导轨处有凹进去的部分，与卡子2相对应，将防断头部件3垂直导轨下压可紧贴导轨，且卡子2恰好与防断头部件3的凹部相吻合，将防断头部件3牢牢固定在导轨上。当需要更换防断头部件3时，向外拨动卡子1即可取出防断头部件。防断头部件3可以用来分解收到的对载片框导轨的冲击，从而减少载片框的损坏。
并且，本发明可以采用碳碳材质，从而增大了强度和抗折度，同时减轻了重量。
另一方面，如图3示出了本发明的挂钩4，其放大图参见图4所示。用于支撑所放置的硅片的部分采用了线接触，这样减小了挂钩与硅片的接触面积，提高了镀膜的质量。当然，挂钩用于支撑所放置的硅片的部分也可以采用点接触，将挂钩用于支撑的末端设置为尖端。这样可以进一步减小与硅片的接触面。但是相应的可能会造成刺伤硅片，且尖端容易磨损折断，故本实施例中采用了线接触。当然，也可以将接触面设置为多个点，如将挂钩与硅片接触的末端设置为锯齿状、波浪状，这样挂钩与硅片的接触为一排的多个点。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种硅片生产中的载片器，在载片器的两侧有导轨，其特征在于，在导轨上设置紧贴导轨的高出载片器的防断头部件，导轨上设置有竖起的卡子，防断头部件远离导轨处有凹进去的部分，所述防断头部件紧贴导轨时其凹处与卡子相吻合。
2.根据权利要求1所述的载片器，其特征在于，载片器还包括用于支撑硅片的挂钩。
3.根据权利要求2所述的载片器，其特征在于，所述挂钩用于支撑硅片的末端为线状。
4.根据权利要求2所述的载片器，其特征在于，所述挂钩用于支撑硅片的末端为一点。
5.根据权利要求2所述的载片器，其特征在于，所述挂钩用于支撑硅片的末端为锯齿状或波浪状。
6.根据权利要求1所述的载片器，其特征在于，所述载片器采用碳碳材质。
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