CN101629282B - Pecvd用硅片载片器的转换装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种PECVD用硅片载片器的转换装置，其包括正方形的框体，框体的边长与第一种规格的硅片载片器的边长相等，框体内设置有正方形内孔，内孔的边长与第二种规格的硅片载片器的边长相等。本发明安装于第一种规格的硅片载片器内，将第一种规格的硅片载片器转换为第二种规格的硅片载片器，用于生产第二种规格的产品，可以节省采购成本；拆除本发明后，又可以生产第一种规格的产品，转换方便。

Description

PECVD用硅片载片器的转换装置
技术领域
本发明涉及一种太阳能光伏产业工艺设备，具体地说是用于平板炉PECVD(等离子增强化学气相沉积)中的配套装置。
背景技术
太阳能电池主要有125型(即125x125)、156型(即156x156)等规格，相应的硅片载片器也有125型、156型等规格。在进行平板炉PECVD的工艺时，硅片是放在同一规格的C/C框的挂钩上，由于平板炉是连续生产，配置的硅片载片器至少要10只以上。因其价格很贵，有些厂家只配置了156规格的硅片载片器，如果要生产125规格的产品就需要另外配备125型的硅片载片器，从而增加了采购成本。
发明内容
本发明针对上述问题，提供一种PECVD用硅片载片器的转换装置，该装置安装于156型硅片载片器上，可将156型硅片载片器转换成125型硅片载片器，可大幅度降低采购成本。
按照本发明的技术方案：一种PECVD用硅片载片器的转换装置，包括正方形的框体，其特征是：所述框体的边长与第一种规格的硅片载片器的边长相等，所述框体内设置有方形内孔，所述方形内孔的边长与第二种规格的硅片载片器的边长相等。
所述方形内孔的四个角为圆角。所述方形内孔的中心与所述框体的中心同心。所述框体的四条边上均设置有第一半腰圆槽，第一半腰圆槽的中心线垂直于对应的边线，所述框体内设置有第一腰圆孔，第一腰圆孔的纵向中心线与第一半腰圆槽的中心线重合。所述方形内孔的四条边上设置有第二半腰圆槽，第二半腰圆槽的中心线垂直于相应的边线，所述框体内设置有第二腰圆孔，第二腰圆孔的纵向中心线与第二半腰圆槽的中心线重合。所述框体的边长为156mm，所述方形内孔的边长为125mm；所述方形内孔为正方形。
本发明的技术效果在于：本发明安装于第一种规格的硅片载片器内，将第一种规格的硅片载片器转换为第二种规格的硅片载片器，用于生产第二种规格的产品，可以节省采购成本；拆除本发明后，又可以生产第一种规格的产品，转换方便；正方形内孔带有四个圆角，可以用来生产单晶硅片。
附图说明
图1为156型硅片载片器中的一个方框的结构示意图；
图2为本发明的结构示意图；
图3为本发明安装于156型硅片载片器中的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步的说明。
本发明是一种PECVD用硅片载片器的转换装置，具体实施例是将156型硅片载片器转换为125型硅片载片器。
图1为156型硅片载片器中的一个方框1的结构示意图。
如图2所示，本发明PECVD用硅片载片器的转换装置2，包括正方形的框体3，框体3的边长与第一种规格的硅片载片器的边长相等，在本实施例中为156mm，框体3内设置有正方形内孔4，内孔4的边长与第二种规格的硅片载片器的边长相等，在本实施例中为125mm，这样就可以将156型硅片载片器转换成125型硅片载片器，用来生产125型多晶硅片。正方形内孔4也可以带有四个圆角，用来生产125型单晶硅片。正方形内孔4的中心与所述框体3的中心同心。
在所述框体3的四条边上分别设置有第一半腰圆槽8，第一半腰圆槽8的中心线垂直于相应的边线，在框体3内设置有第一腰圆孔9，第一腰圆孔9的纵向中心线在第一半腰圆槽8的中心线上。
在内孔4的四条边上设置有第二半腰圆槽6，第二半腰圆槽6的中心线垂直于相应的边线，在框体3内设置有第二腰圆孔7，第二腰圆孔7的纵向中心线在第二半腰圆槽8的中心线上。
第一半腰圆槽8与第一腰圆孔9相配合，第二半腰圆槽6与第二腰圆孔7相配合，分别用来安装挂钩。
如图3所示，本发明PECVD用硅片载片器的转换装置2安装于156型硅片载片器的一个方框1中，将156型硅片载片器转换为125型硅片载片器，生产125型产品，可节省2/3的硅片载片器成本。拆除本发明后又可进行156规格产品的生产。本发明装卸方便，使用效果好。

Claims (2)

1.一种PECVD用硅片载片器的转换装置，包括正方形的框体(3)，其特征是：所述框体(3)的边长与第一种规格的硅片载片器的边长相等，所述框体(3)内设置有方形内孔(4)，所述方形内孔(4)的边长与第二种规格的硅片载片器的边长相等；
所述方形内孔(4)的四个角为圆角。
所述方形内孔(4)的中心与所述框体(3)的中心同心；
所述框体(3)的四条边上均设置有第一半腰圆槽(8)，第一半腰圆槽(8)的中心线垂直于对应的边线，所述框体(3)内设置有第一腰圆孔(9)，第一腰圆孔(9)的纵向中心线与第一半腰圆槽(8)的中心线重合；
所述方形内孔(4)的四条边上设置有第二半腰圆槽(6)，第二半腰圆槽(6)的中心线垂直于相应的边线，所述框体(3)内设置有第二腰圆孔(7)，第二腰圆孔(7)的纵向中心线与第二半腰圆槽(6)的中心线重合。
2.按照权利要求1所述的PECVD用硅片载片器的转换装置，其特征是：所述框体(3)的边长为156mm，所述方形内孔(4)的边长为125mm；所述方形内孔(4)为正方形。 
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