CN202796886U - 石墨舟 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种石墨舟，包括石墨舟片（1）、陶瓷杆（2）、石墨舟工艺钉（3），石墨舟片（1）的数量为两片或两片以上，所述石墨舟片（1）之间的间距为15mm，本实用新型结构简单；且合理的石墨舟片的间距，使得硅片的镀膜均匀，提高硅片的品质、提高太阳能转化效率高。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种石墨舟。
背景技术
太阳能硅片的生产加工中有一道程序叫做PECVD镀膜，其作用是提高硅片的太阳能转化率。这个工序就用到石墨舟。把硅片放到石墨舟中，经过一定的条件产生化学反映，在硅片表面镀上一层膜。
石墨舟作为太阳能电池片镀减反射膜时的一种载体,其结构和大小直接影响硅片的转换效率和生产效率，现有石墨舟包括：石墨舟片、陶瓷套、陶瓷杆、石墨杆、石墨隔块等石墨配件。其工作原理为：将未镀膜的硅片放在石墨舟片的卡点上，每个舟片上可放固定数量的硅片，然后，将石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备的墙体内，采用PECVD工艺进行放电镀膜。镀膜结束后，取出石墨舟，将硅片从石墨舟上卸取下来。
现有的石墨舟舟片之间间距小，镀成的硅片膜的颜色深浅不一，致使硅片的太阳能转化效率不一，质量受到影响。
实用新型内容
本实用新型的目的是解决上述不足，提供一种能够使硅片的镀膜均匀、太阳能转化效率高的石墨舟片。
实现本实用新型目的技术方案是：一种石墨舟，包括石墨舟片、陶瓷杆、石墨舟工艺钉，石墨舟片的数量为两片或两片以上，所述石墨舟片之间的间距为15mm。
上述石墨舟，所述石墨舟片串联在陶瓷杆上。
上述石墨舟，所述石墨舟片，每片石墨舟片之间均夹有一个陶瓷圈来控制舟片之间的距离。
上述石墨舟，所述陶瓷圈串联在陶瓷杆上。
本实用新型具有积极的效果：（1）结构简单；（2）合理的石墨舟片的间距，使得硅片的镀膜均匀，提高硅片的品质、提高太阳能转化效率高。
附图说明
为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中
图1为本实用新型结构示意图。图2为本实用新型的局部放大图。
其中：1石墨舟片，2陶瓷杆，3石墨舟工艺钉，4陶瓷圈。
具体实施方式
实施例（1）
见图1，本实用新型具有石墨舟片1、位于石墨舟上部串联石墨舟片1的陶瓷杆2、固定在石墨舟片上的工艺钉3，石墨舟片1的数量为19片，石墨舟片1之间的间距为15mm，每片石墨舟片1之间均夹有一个陶瓷圈4来控制舟片之间的距离，石墨舟片1串联在陶瓷杆2上。陶瓷圈4串联在陶瓷杆2上，石墨舟片1之间。
以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种石墨舟，包括固定在石墨舟底座上的石墨舟片（1），位于石墨舟上部的陶瓷杆（2），固定在石墨舟片上的工艺钉（3），其特征在于：石墨舟片（1）的数量为两片或两片以上，所述石墨舟片（1）之间的间距为15mm。
2.根据权利要求1所述石墨舟，其特征在于：所述石墨舟片（1）串联在陶瓷杆（2）上。
3.根据权利要求1所述石墨舟，其特征在于：所述石墨舟片（1），每片石墨舟片（1）之间均夹有一个陶瓷圈（4）来控制舟片之间的距离。
4.根据权利要求3所述石墨舟，其特征在于：所述陶瓷圈（4）串联在陶瓷杆（2）上。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201220404149 CN202796886U (zh) | 2012-08-15 | 2012-08-15 | 石墨舟 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN 201220404149 CN202796886U (zh) | 2012-08-15 | 2012-08-15 | 石墨舟 |
Publications (1)
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| CN202796886U true CN202796886U (zh) | 2013-03-13 |
Family
ID=47824090
Family Applications (1)
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Country Status (1)
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109148343A (zh) * | 2018-08-15 | 2019-01-04 | 横店集团东磁股份有限公司 | 一种太阳能电池硅片镀膜用石墨舟 |
| CN111020532A (zh) * | 2019-12-31 | 2020-04-17 | 昊诚光电（太仓）有限公司 | 一种用于太阳能电池镀膜的石墨舟 |
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2012
- 2012-08-15 CN CN 201220404149 patent/CN202796886U/zh not_active Expired - Fee Related
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