CN203491232U - 一种石墨舟 - Google Patents

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赵国成
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Abstract

一种石墨舟，包括石墨舟片和工艺点，所述石墨舟片紧固在石墨舟底座上，所述的工艺点设在石墨舟片上，其特征在于：所述的石墨舟片的数量为21片，相邻所述石墨舟片之间的间距为10mm，所述石墨舟上设置有6个工位，所述石墨舟片限位地串联在一绝缘杆上。本实用新型还公开了运用该石墨舟的工艺点，该工艺点外端面为菱形。与现有技术相比，本实用新型公开的石墨舟不仅有效增加了承载硅片的数目，同时减少了工艺点与硅片的接触面积，其结构简单，实用性强。

Description

一种石墨舟
技术领域
本实用新型涉及一种石墨舟，属于太阳能电池硅片生产领域。
背景技术
太阳能硅片的生产加工中有一道程序叫做PECVD(等离子增强化学气相沉积)镀膜，其作用是提高硅片的太阳能转化率。这个工序使用到石墨舟。把硅片插到石墨舟中，通过等离子化学气相淀积，在硅片表面淀积一层深蓝色氮化硅膜。
石墨舟作为太阳能电池片镀减反射膜时的一种载体，其结构和大小直接影响硅片的镀膜后颜色及转换效率，其工作原理为：将未镀膜的硅片插在石墨舟片的工艺点上，每个舟片上可放固定数量的硅片，然后，将石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备的腔体内，采用PECVD工艺进行放电镀膜。镀膜结束后，取出石墨舟，将硅片从石墨舟上卸取下来。
实际应用中，现用的石墨舟在如下方面存有不足：
一、现有的石墨舟为垂直式石墨舟，共由19片石墨片构成，石墨片之间的距离为11mm，而每片石墨片都有6个可用于放置硅片的位置，共可放置216片，其可装载硅片的工位(载片区域)少，载片量少，生产效率低；
二、石墨舟片上的工艺点为硅片提供支点和卡紧硅片的作用，现有的工艺点的横截面多为圆形，使得工艺点与硅片的接触面积大，影响镀膜效果，进而影响电池片的镀膜颜色。
专利号为ZL20112010106.3的中国实用新型专利《一种石墨舟》(授权公告号为CN202063994U)公开了一种石墨舟，包括通过陶瓷棒相连的石墨片，其特征在于：所述石墨片23片，每片石墨片的硅片装载位为7个，相邻石墨片之间的距离为9mm。该实用新型石墨片由19片增至23片，能增加载片量，提高工作效率，但是相邻石墨片之间的间距由11mm缩小到了9mm，9mm的间距过小，使得镀成的硅片膜颜色深浅不一，影响电池片镀膜后外观颜色，单片颜色不均匀，质量检验时分选电池片比较难判定，降级比例比较高。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是针对技术现状另外提供一种石墨舟。
本实用新型所要解决的另一个技术问题是提供一种一次性装载硅片的数量较多的石墨舟。
本实用新型解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种石墨舟，包括石墨舟片和工艺点，所述石墨舟片紧固在石墨舟底座上，所述的工艺点设在石墨舟片上，其特征在于：所述的石墨舟片的数量为21片，相邻所述石墨舟片之间的间距为10mm，所述石墨舟上设置有6个工位，所述石墨舟片限位地串联在一绝缘杆上。
优选的，所述绝缘杆的两端伸出石墨舟片而用螺母螺纹连接，相邻的所述石墨舟片间套置有绝缘圈。
作为工艺点的优选方案，所述工艺点包括圆柱体和一对卡件，所述圆柱体安装在石墨舟片的安装孔内，所述卡件对称设于圆柱体的两侧端面上且伸出安装孔，所述卡件的外端面为菱形，所述卡件具有向内倾斜的斜边，所述斜边与圆柱体外端面形成卡位部，硅片卡在该卡位部内。
作为改进，所述卡件与圆柱体之间设有一基座，所述基座具有向内倾斜的外壁，所述外壁与卡件的斜边构成所述的卡位部，硅片卡在该卡位部内。
与现有技术相比，本实用新型的优点在于：石墨舟的结构简单，装载工位数量合理，一次性装载硅片的数量有效增加，可提高产量；并且，相连的石墨舟片的间距合理，使得硅片的镀膜均匀，有效提高电池片的品质及太阳能转化效率；本石墨舟采用的工艺点同时降低了工艺点与硅片两面的遮挡面积，同时保证了良好的定位效果。
附图说明
图1为实施例一结构示意图；
图2为实施例一种工艺点的结构示意图；
图3为图2的侧视图；
图4为图1的侧视图；
图5为图4中部件A的放大图；
图6为实施二工艺点的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图实施例对本实用新型作进一步详细描述。
实施例一
本实施例的石墨舟如图1至图5所示，包括石墨舟片1和工艺点2，石墨舟片1紧固在石墨舟底座上，而工艺点2设在石墨舟片1上，石墨舟片1的数量为21片，相邻的石墨舟片1之间的间距为10mm，同时石墨舟上设置有6个工位11，这21片石墨舟片1限位地串联在绝缘杆5上，绝缘杆5可以只穿过石墨舟片1的上端，为了保证绝缘杆5对石墨舟片1的固定作用，在本实施例中，绝缘杆5为两根，分别穿过石墨舟片1的上端及下端。
两跟绝缘杆5的两端分别伸出石墨舟片1而与螺母4螺纹连接，同时，相邻的石墨舟片1间套置有绝缘圈3。进一步阻止了相邻石墨舟片1间的热交换。
本实施例中的工艺点2包括圆柱体21和一对卡件22，圆柱体21安装在石墨舟片1的安装孔内，卡件22对称设于圆柱体21的两侧端面上且伸出安装孔，卡件22的外端面为菱形，卡件22具有向内倾斜的斜边221。同时，卡件22与圆柱体21之间设有一基座23，基座23具有向内倾斜的外壁231，外壁231与卡件22的斜边221共同构成卡位部6，硅片则卡在该卡位部6内。
本实施例中的硅片不仅与工艺点2的卡件22的接触面为一尖角，同时与圆柱体21的接触面积也明显缩小。因此本实施例的工艺点2同时保证了硅片正反两面的美观性。
实施二
本实施例的石墨舟如图6所示，与实施例一不同之处在于：工艺点2的卡件22直接与圆柱体21接触，卡件22的斜边221与圆柱体21外端面形成卡位部6，硅片则卡在该卡位部6内。

Claims (4)

1.一种石墨舟，包括石墨舟片(1)和工艺点(2)，所述石墨舟片(1)紧固在石墨舟底座上，所述的工艺点(2)设在石墨舟片(1)上，其特征在于：所述的石墨舟片(1)的数量为21片，相邻所述石墨舟片(1)之间的间距为10mm，所述石墨舟上设置有6个工位(11)，所述石墨舟片(1)限位地串联在一绝缘杆(5)上。
2.根据权利要求1所述的石墨舟，其特征在于：所述绝缘杆(5)的两端伸出石墨舟片(1)而用螺母(4)螺纹连接，相邻的所述石墨舟片(1)间套置有绝缘圈(3)。
3.根据权利要求1所述的石墨舟，其特征在于：所述工艺点(2)包括圆柱体(21)和一对卡件(22)，所述圆柱体(21)安装在石墨舟片(1)的安装孔内，所述卡件(22)对称设于圆柱体(21)的两侧端面上且伸出安装孔，所述卡件(22)的外端面为菱形，所述卡件(22)具有向内倾斜的斜边(221)，所述斜边(221)与圆柱体(21)外端面形成供硅片设置的卡位部(6)。
4.根据权利要求3所述的石墨舟，其特征在于：所述卡件(22)与圆柱体(21)之间设有一基座(23)，所述基座(23)具有向内倾斜的外壁(231)，所述外壁(231)与卡件(22)的斜边(221)构成所述的卡位部(6)。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108165955A (zh) * 2017-12-06 2018-06-15 中建材浚鑫科技有限公司 一种新型石墨舟
CN111020531A (zh) * 2019-12-18 2020-04-17 常州时创能源股份有限公司 一种组合式石墨舟套管和石墨舟

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