CN202796888U - 石墨舟陶瓷圈 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种石墨舟陶瓷圈，其主体为圆环状结构，包括外表面，内表面，内表面上开设导流槽；所述外表面直径为8mm；内表面直径为 6.3 mm。本实用新型结构简单，实用；形状尺寸合适，便于放入硅片，不易发生硅片因碰撞陶瓷圈而碎裂；直径小，轻便，节能环保。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种陶瓷圈，特别涉及一种石墨舟陶瓷圈。
背景技术
太阳能硅片的生产加工中有一道程序叫做PECVD镀膜，其作用是提高硅片的太阳能转化率。这个工序就用到石墨舟。把硅片放到石墨舟中，经过一定的条件产生化学反映，在硅片表面镀上一层膜。
石墨舟作为太阳能电池片镀减反射膜时的一种载体,其结构和大小直接影响硅片的转换效率和生产效率，现有石墨舟包括：石墨舟片、陶瓷套、陶瓷杆、石墨杆、石墨隔块等石墨配件。其工作原理为：将未镀膜的硅片放在石墨舟片的卡点上，每个舟片上可放固定数量的硅片，然后，将石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备的墙体内，采用PECVD工艺进行放电镀膜。镀膜结束后，取出石墨舟，将硅片从石墨舟上卸取下来。
石墨舟上固定有不同数量的石墨舟片，石墨舟片是用陶瓷杆穿套起来的，石墨舟片之间依靠同样穿套在陶瓷杆上的陶瓷圈来控制距离。硅片非常轻薄，厚度为18丝，且易碎。在将硅片放入石墨舟中时，现有陶瓷圈形状不便，尺寸过大，常因为硅片碰到陶瓷圈发生碎裂，且陶瓷圈取出和放置时不方便，且清洗时清洗的强酸不易排出，容易腐蚀陶瓷圈。
实用新型内容
本实用新型的目的是解决上述不足，提供一种形状及大小合适，方便硅片放入，易排出清洗强酸的陶瓷圈。
实现本实用新型目的技术方案是：一种石墨舟陶瓷圈，其主体为圆环状结构，包括外表面，内表面，内表面上开设导流槽；所述外表面直径为8mm；内表面直径为 6.3 mm。
上述石墨舟陶瓷圈，在主体圆环状结构上末端有一个半圆形缺口。
本实用新型具有积极的效果：（1）结构简单，实用；（2）形状尺寸合适，便于放入硅片，不易发生硅片因碰撞陶瓷圈而碎裂；（3）直径小，轻便节能环保。
附图说明
为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中
图1为本实用新型结构示意图。
其中：1外表面，2内表面，3导流槽。
具体实施方式
实施例（1）
见图1，本实用新型石墨舟陶瓷圈，其为圆环状结构，包括外表面1，内表面2，外表面直径为8mm；内表面直径为6.3mm；内表面上开设导流槽，在主体圆环状结构上末端有一个半圆形缺口。
以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (2)
1.一种石墨舟陶瓷圈，其主体为圆环状结构，包括外表面（1），内表面（2），其特征在于：内表面（2）上开设导流槽（3）；所述外表面（1）直径为8mm；内表面（2）直径为 6.3 mm。
2.根据权利要求1所述石墨舟陶瓷圈，其特征在于：在主体圆环状结构上末端有一个半圆形缺口。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201220406031 CN202796888U (zh) | 2012-08-15 | 2012-08-15 | 石墨舟陶瓷圈 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN 201220406031 CN202796888U (zh) | 2012-08-15 | 2012-08-15 | 石墨舟陶瓷圈 |
Publications (1)
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| CN202796888U true CN202796888U (zh) | 2013-03-13 |
Family
ID=47824092
Family Applications (1)
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| CN 201220406031 Expired - Fee Related CN202796888U (zh) | 2012-08-15 | 2012-08-15 | 石墨舟陶瓷圈 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN202796888U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104357808A (zh) * | 2014-11-25 | 2015-02-18 | 浙江东达光伏有限公司 | 一种改进的石墨舟 |
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2012
- 2012-08-15 CN CN 201220406031 patent/CN202796888U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN104357808A (zh) * | 2014-11-25 | 2015-02-18 | 浙江东达光伏有限公司 | 一种改进的石墨舟 |
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