CN104357808A - 一种改进的石墨舟 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种改进的石墨舟，包括多片并列的石墨舟片，石墨舟片由陶瓷环和石墨棒连接构成舟体，多根陶瓷环垂直连接在石墨舟片间并在石墨舟片上排列成上下两层，两块相邻的石墨舟片和两根相邻的陶瓷环间构成硅片存放空间，相邻两片石墨舟片间的陶瓷环中间段为圆柱形，陶瓷环两端为圆台形，陶瓷环中间为中空结构。本发明通过减小陶瓷环两端部分的外径，从而增加相对的两个陶瓷环的外壁之间的距离，以扩大操作员工插卸硅片时硅片的可通过通道的宽度，从而达到减少硅片与陶瓷环碰撞的几率。
Description
技术领域
本发明涉及一种太阳能等离子增强型化学气相沉积技术领域的生产设备石墨舟，尤其是涉及一种改进的石墨舟。
背景技术
石墨舟是一种在等离子增强型化学气相沉积PECVD管式炉内对经过制绒及扩散等工艺处理后的多晶或单晶硅片的表面采用等离子体增强型化学气相沉积工艺进行氮化硅薄膜镀层的承载工具。石墨舟上一般用陶瓷环隔离相邻两片石墨舟片，使石墨舟片之间间距固定并且绝缘。现有的石墨舟上的陶瓷环主要为圆筒状结构，操作员工从两个陶瓷环之间插卸硅片时，因为两个陶瓷环之间供硅片通过的距离比较紧凑，很容易将硅片碰撞在陶瓷环上，造成硅片边缘脱落甚至破碎，从而增加了硅片在生产过程中的报废率。
如中国专利公开号：CN102610701A，公开日2012年7月25日的专利文件中，公开了一种便于拆装的石墨舟，包括多片并列的石墨舟片，所述多片石墨舟片由陶瓷杆及石墨螺母连接成舟体，所述多片石墨舟片的边缘开有相对应的U型槽孔，所述陶瓷杆上设有多个卡槽，所述陶瓷杆安装于所述U型槽孔内，并且所述卡槽卡在各片所述石墨舟片上。上述公开的石墨舟通过将陶瓷杆直接放入石墨舟片的U型槽孔内达到固定与绝缘石墨舟片且便于拆装的作用，操作方便。但是同样存在一个问题，相邻的陶瓷杆间距离供硅片通过的空间余地较少，容错率低，容易将硅片碰撞在陶瓷杆上。
发明内容
本发明是为了解决从石墨舟中插卸硅片，硅片容易碰撞在陶瓷环上的问题，提供了一种硅片插卸时不易和陶瓷环碰撞的改进的石墨舟。
为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：
本发明的一种改进的石墨舟，包括多片并列的石墨舟片，石墨舟片由陶瓷环和石墨棒连接构成舟体，多根陶瓷环垂直连接在石墨舟片间并在石墨舟片上排列成上下两层，两块相邻的石墨舟片和两根相邻的陶瓷环间构成硅片存放空间，相邻两片石墨舟片间的陶瓷环中间段为圆柱形，陶瓷环两端为圆台形，陶瓷环中间为中空结构。
操作工人在插卸硅片时，一般将石墨舟安置在载车上，并处于倾斜状态，方便操作。倾斜状态下，硅片因重力贴着石墨舟片侧壁，所以插卸硅片时，硅片的可通过通道主要是在陶瓷环端部非中间区域。本发明通过减小陶瓷环两端部分的外径，从而增加相对的两个陶瓷环的外壁之间的距离，以扩大操作员工插卸硅片时硅片的可通过通道的宽度，从而达到减少硅片与陶瓷环碰撞的几率，并最终降低报废比率。同时为了不影响陶瓷环机械强度而没有采用整体减小陶瓷环外径的设计。
作为优选，所述陶瓷环圆柱形段长度为6mm，陶瓷环圆台形段长度为2mm～3mm。
作为优选，所述陶瓷环圆柱形段的外径为10mm～11mm，陶瓷环圆柱形段的内径为6mm～7mm，陶瓷环圆台形段外端部的直径为8mm～9mm。
作为优选，陶瓷环中间中空部位设有加强杆。
作为优选，所述加强杆为陶瓷杆。
作为优选，所述加强杆穿过石墨舟片，加强杆两端用石墨螺母固定在舟体外侧边，石墨舟片间的通孔匹配加强杆外径。加强杆一个作用是增加陶瓷环部分的强度，加强杆另一个作用是作为石墨舟片间连接杆，方便拆卸和陶瓷环的固定。
作为优选，所述陶瓷环圆台形段长度为2.5mm。
作为优选，所述陶瓷环圆柱形段的外径为10.3mm，陶瓷环圆柱形段的内径为6.3mm。
本发明具有如下有益效果：通过减小陶瓷环两端部分的外径，从而增加相对的两个陶瓷环的外壁之间的距离，以扩大操作员工插卸硅片时硅片的可通过通道的宽度，从而达到减少硅片与陶瓷环碰撞的几率。
附图说明
图1是本发明的一种结构示意图。
图2是陶瓷环部分的结构示意图。
图中：石墨舟片1、陶瓷环2、石墨棒3、加强杆4、石墨螺母5。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明做进一步的描述。
如图1、图2所示的实施例1中，一种改进的石墨舟，包括多片并列的石墨舟片1，石墨舟片1由陶瓷环2和石墨棒3连接构成舟体。相邻两片石墨舟片间的陶瓷环2中间段为圆柱形，陶瓷环2两端为圆台形，陶瓷环2中间为中空结构。陶瓷环2中间中空部位设有加强杆4，加强杆4穿过石墨舟片1，加强杆4两端用石墨螺母5固定在舟体外侧边，石墨舟片1间的通孔匹配加强杆4外径，加强杆4为陶瓷杆。
多根陶瓷环2套接在加强杆4上，陶瓷环2垂直连接在石墨舟片1间并在石墨舟片1上排列成上下两层，每层平行排列成7列。两块相邻的石墨舟片1和两根相邻的陶瓷环2间构成硅片存放空间。石墨舟片1两端用石墨棒3连接固定。
陶瓷环2圆柱形段长度为6mm，陶瓷环2圆台形段长度为2.5mm。瓷环2圆柱形段的外径为10.3mm，陶瓷环2圆柱形段的内径为6.3mm，陶瓷环2圆台形段外端部的直径为8.3mm。
实施例2：和实施例1的不同之处在于，陶瓷环2圆柱形段长度为6mm，陶瓷环2圆台形段长度为2mm。瓷环2圆柱形段的外径为10mm，陶瓷环2圆柱形段的内径为6mm，陶瓷环2圆台形段外端部的直径为8mm。
实施例3：和实施例1的不同之处在于，陶瓷环2圆柱形段长度为6mm，陶瓷环2圆台形段长度为3mm。瓷环2圆柱形段的外径为11mm，陶瓷环2圆柱形段的内径为7mm，陶瓷环2圆台形段外端部的直径为9mm。
Claims (8)
1.一种改进的石墨舟，包括多片并列的石墨舟片（1），石墨舟片（1）由陶瓷环（2）和石墨棒（3）连接构成舟体，其特征在于，多根陶瓷环（2）垂直连接在石墨舟片（1）间并在石墨舟片（1）上排列成上下两层，两块相邻的石墨舟片（1）和两根相邻的陶瓷环（2）间构成硅片存放空间，相邻两片石墨舟片间的陶瓷环（2）中间段为圆柱形，陶瓷环（2）两端为圆台形，陶瓷环（2）中间为中空结构。
2.根据权利要求1所述的一种改进的石墨舟，其特征在于，所述陶瓷环（2）圆柱形段长度为6mm，陶瓷环（2）圆台形段长度为2mm～3mm。
3.根据权利要求1所述的一种改进的石墨舟，其特征在于，所述陶瓷环（2）圆柱形段的外径为10mm～11mm，陶瓷环（2）圆柱形段的内径为6mm～7mm，陶瓷环（2）圆台形段外端部的直径为8mm～9mm。
4.根据权利要求1或2或3所述的一种改进的石墨舟，其特征在于，陶瓷环（2）中间中空部位设有加强杆（4）。
5.根据权利要求4所述的一种改进的石墨舟，其特征在于，所述加强杆（4）为陶瓷杆。
6.根据权利要求4所述的一种改进的石墨舟，其特征在于，所述加强杆（4）穿过石墨舟片（1），加强杆（4）两端用石墨螺母（5）固定在舟体外侧边，石墨舟片（1）间的通孔匹配加强杆（4）外径。
7.根据权利要求2所述的一种改进的石墨舟，其特征在于，所述陶瓷环（2）圆台形段长度为2.5mm。
8.根据权利要求3所述的一种改进的石墨舟，其特征在于，所述陶瓷环（2）圆柱形段的外径为10.3mm，陶瓷环（2）圆柱形段的内径为6.3mm。
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|---|---|---|---|---|
| CN109440084A (zh) * | 2018-09-29 | 2019-03-08 | 东方日升新能源股份有限公司 | 一种用于太阳能电池双面镀膜的石墨舟 |
| CN111020531A (zh) * | 2019-12-18 | 2020-04-17 | 常州时创能源股份有限公司 | 一种组合式石墨舟套管和石墨舟 |
| CN114783923A (zh) * | 2022-04-19 | 2022-07-22 | 深圳市石金科技股份有限公司 | 一种新型承载硅片方式的石墨舟 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102610701A (zh) * | 2012-04-06 | 2012-07-25 | 无锡绿波新能源设备有限公司 | 便于拆装的石墨舟 |
| CN202796888U (zh) * | 2012-08-15 | 2013-03-13 | 常州市立新石墨有限公司 | 石墨舟陶瓷圈 |
| CN204251708U (zh) * | 2014-11-25 | 2015-04-08 | 浙江东达光伏有限公司 | 一种改进的石墨舟 |
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Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102610701A (zh) * | 2012-04-06 | 2012-07-25 | 无锡绿波新能源设备有限公司 | 便于拆装的石墨舟 |
| CN202796888U (zh) * | 2012-08-15 | 2013-03-13 | 常州市立新石墨有限公司 | 石墨舟陶瓷圈 |
| CN204251708U (zh) * | 2014-11-25 | 2015-04-08 | 浙江东达光伏有限公司 | 一种改进的石墨舟 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109440084A (zh) * | 2018-09-29 | 2019-03-08 | 东方日升新能源股份有限公司 | 一种用于太阳能电池双面镀膜的石墨舟 |
| CN111020531A (zh) * | 2019-12-18 | 2020-04-17 | 常州时创能源股份有限公司 | 一种组合式石墨舟套管和石墨舟 |
| CN111020531B (zh) * | 2019-12-18 | 2024-03-22 | 常州时创能源股份有限公司 | 一种组合式石墨舟套管和石墨舟 |
| CN114783923A (zh) * | 2022-04-19 | 2022-07-22 | 深圳市石金科技股份有限公司 | 一种新型承载硅片方式的石墨舟 |
| CN114783923B (zh) * | 2022-04-19 | 2024-11-29 | 深圳市石金科技股份有限公司 | 一种承载硅片方式的石墨舟 |
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