CN202826118U - 固定晶棒的子母框 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及半导体生产技术领域设备的部件,是固定晶棒的子母框,其特征是:它包括母体框和子体框,母体框上连接有运动装置,子体框上具有晶棒的固定装置,母体框具有固定子体框的滑动凹槽,所述的母体框上还具有销紧子体框的销钉,这样的固定晶棒的子母框具有生产效率高、安装晶棒省时省力的优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体生产技术领域设备的部件,是一种多线切割机,具体地说是涉及固定晶棒框体。
背景技术
切割半导体晶块是在多线切割机上进行的,切割机具有固定框,固定框用以固定半导体晶棒,现有技术中,晶棒的固定框上既有固定晶棒的装置,又有连接的运动装置,也就是说:它是固定晶棒的装置和运动装置是在一个固定框体上的,这样在安装晶棒时就需要较多的时间,具有效率低下的缺点。
发明内容
本实用新型的目的就是针对上述缺点,提供一种生产效率高、安装晶棒省时省力的固定晶棒的子母框。
本实用新型的技术方案是这样实现的:固定晶棒的子母框,其特征是:它包括母体框和子体框,母体框上连接有运动装置,子体框上具有晶棒的固定装置,母体框具有固定子体框的滑动凹槽。
进一步的讲,所述的母体框上还具有销紧子体框的销钉。
本实用新型的有益效果是:这样的固定晶棒的子母框具有生产效率高、安装晶棒省时省力的优点。
附图说明
图1是本实用新型固定晶棒的子母框的结构示意图。
其中: 1、母体框 2、子体框。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步的描述。
如图1所示, 固定晶棒的子母框,其特征是:它包括母体框1和子体框2,母体框上连接有运动装置,子体框上具有晶棒的固定装置,母体框具有固定子体框的滑动凹槽。
进一步的讲,所述的母体框上还具有销紧子体框的销钉。
Claims (2)
1.固定晶棒的子母框,其特征是:它包括母体框和子体框,母体框上连接有运动装置,子体框上具有晶棒的固定装置,母体框具有固定子体框的滑动凹槽。
2.根据权利要求1所述的固定晶棒的子母框,其特征是:所述的母体框上还具有销紧子体框的销钉。
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CN104227859A (zh) * | 2014-08-21 | 2014-12-24 | 浙江辉弘光电能源有限公司 | 一种圆柱形硅棒夹具的固定装置 |
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Cited By (2)
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CN104227859A (zh) * | 2014-08-21 | 2014-12-24 | 浙江辉弘光电能源有限公司 | 一种圆柱形硅棒夹具的固定装置 |
CN104227859B (zh) * | 2014-08-21 | 2016-02-24 | 浙江辉弘光电能源有限公司 | 一种圆柱形硅棒夹具的固定装置 |
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