KR100371392B1 - 실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기 - Google Patents

Abstract

본 발명은 실리콘 웨이퍼를 진동이나 충격으로부터 보호하기 위한 보관 및 운반용 용기의 체결 구조를 개시한다. 본 발명의 실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기는 상부 용기, 하부 용기, 웨이퍼를 낱장으로 담을 수 있는 캐리어, 및 쿠숀부를 포함한다. 상기 상부 용기, 하부 용기 및 캐리어는 각각 열가소성 수지로 만들어진다. 쿠숀부는 각각 상부 용기에 독립적으로 배치되는 쿠숀상부, 쿠숀하부, 쿠숀 상하 연결부, 쿠숀돌기, 및 웨이퍼 고정홈을 더 포함한다.

Description

실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기

본 발명은 일반적으로 실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기의 구조에 관한 것이다. 구체적으로, 본 발명은 실리콘 웨이퍼를 진동이나 충격으로부터 보호하기 위한 보관 및 운반용 용기의 체결 구조에 관한 것이다.

실리콘 웨이퍼를 보관 및 운반하기 위한 다수의 용기가 공지되어 있다. 이러한 종래의 실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기는 일반적으로 웨이퍼를 낱장으로 담을 수 있는 캐리어(carrier), 외부로부터의 오염을 방지하기 위한 완전 밀폐형 상부 및 하부 용기, 및 각 웨이퍼를 개별적으로 고정시켜 외부의 진동 및 충격으로부터 웨이퍼를 보호하기 위한 쿠숀부를 포함하고 있다.

실리콘 웨이퍼를 보관 및 운반 용기에 담기 위해, 먼저 웨이퍼를 낱개로 수용할 수 있는 캐리어의 웨이퍼 수용홈 내에 웨이퍼를 담는다. 그 후 여러 장의 웨이퍼를 담은 캐리어는 하부 용기에 넣고 상부 용기를 덮고 접착용 테이프로 용기를 밀폐시킨다. 이 경우, 캐리어를 하부 용기에 넣을 때 캐리어가 정확한 위치에 안착되지 않으면 쿠숀부와 웨이퍼, 또는 상부 용기와 캐리어가 서로 간섭을 일으켜 용기의 체결이 어렵게 된다. 이러한 문제점을 최소화하기 위해, 일반적으로 하부 용기 내부에는 캐리어가 정위치에 안착되도록 유도하기 위한 리브가 설치되어 있다.

또한, 종래의 실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기에 있어서, 하부 용기의 캐리어를 받치고 있는 부분인 캐리어 하부판이 모두 바닥에 닿아 있는 경우 외부에서 보관 및 운반 용기에 충격이 가해지면 웨이퍼에 전달되는 충격의 영향이 매우 크다. 따라서, 종래의 보관 및 운반 용기에서는 캐리어 지지 리브를 설치하여 캐리어와 하부 용기의 접촉 면적을 작게함으로써 보관 및 운반 용기에서 캐리어로 전달되는 충격을 줄여 웨이퍼에 미치는 영향이 최소화되도록 설계되어 있다.

또한, 캐리어를 하부 용기에 담은 후에는 웨이퍼 중심선을 기준으로 쿠숀부가 대칭적으로 배치된 상부 용기를 닫는다. 상부 용기가 하부 용기와 완전히 체결 되기 전에 웨이퍼가 상부 용기에 낱개로 설치되어 있는 쿠숀부의 웨이퍼 고정홈에 먼저 닿고 용기 결합이 진행됨에 따라 캐리어에 담겨져 있는 웨이퍼의 상단에 외팔보 형상으로 된 쿠션부가 수직으로 힘을 가하게 되어 용기가 완전히 체결된 후 웨이퍼는 개별적으로 고정된다. 이 때 웨이퍼가 쿠숀부와 쿠숀부 사이로 이탈되거나 하나의 고정홈에 두 장의 웨이퍼가 동시에 안착되는 경우가 발생할 수 있으므로 통상적으로는 웨이퍼가 쿠숀부의 웨이퍼 고정홈에 정상적으로 안착되는지를 확인하면서 실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기를 체결하게 된다.

상부 용기의 체결홈과 하부 용기의 체결돌기가 체결되면 상부 용기의 일부분이 캐리어 상부판에 밀착되어 궁극적으로 캐리어는 상부 용기와 하부 용기의 캐리어 지지 리브에 의해 고정된다. 즉, 상부 용기, 캐리어, 및 하부 용기가 완전히 밀착되고 이 상태에서 웨이퍼는 캐리어의 웨이퍼 수용홈에 놓이게 되며 그 위를 상부 용기에 설치된 쿠숀부가 하부로 누르고 있기 때문에 외부에서 전달되는 진동이나 충격으로부터 직접적인 영향을 받지 않도록 하여 웨이퍼를 보호한다.

마지막으로 상부 용기와 하부 용기가 체결되면서 그 사이에 가스켓을 이용하든가 또는 상부 용기와 하부 용기의 접합면을 접착용 테이프로 4면을 완전히 밀폐시킨다. 이렇게 함으로써 종래의 실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기에서는 웨이퍼를 저장하거나 운반할 때 외부에서 전달되는 진동, 충격, 및 오염으로부터 안전하게 보호할 수 있다.

상술한 실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기와 관련하여, 미국특허 제 4,966,284호 및 제 4,793,488호 등은 쿠숀부의 형상을 개시하고 있으며, 미국특허 제 5,390,811호 및 제 5,273,159호는 용기와 쿠숀부를 일체로 성형하거나 또는 쿠숀부만을 따로 성형한 후 용기에 체결하는 쿠숀부 성형 방법을 개시하고 있고, 미국특허 제 5,273,159호 및 제 4,248,346호는 쿠숀부의 위치를 개시하고 있으며, 미국특허 제 4,966,284호, 제 4,817,795호 및 제 5,273159호는 쿠숀부의 작동 방법을 개시하고 있다. 또한, 미국특허 제 4,966,284호는 실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기의 상부 및 하부를 체결하기 위한 체결부의 형상을 개시하고 있다. 나아가, 실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기를 쌓아 놓을 경우 안정한 상태를 유지할 수 있도록 한 실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기의 외형 구조에 관한 기술도 다수 공지되어 있다.

쿠숀의 형상과 관련된 종래기술에서는, 실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기에 일체형으로 성형된 가장 대표적인 형상으로는 "｜"자형(미국특허 제 4,793,488호 및 제 5,520,925호), "ㄴ"자형(미국특허 제 4,966,284호 및 한국 특허 출원 제95-5130호), 및 "━"자형(미국특허 제 4,966,284호)이 있으며, 쿠숀부만 따로 성형하여 용기에 결합시키는 분리형(미국특허 제 5,390,811호, 제 5,273,159호, 및 제 5,253,755호)은 그 형상이 매우 다양하다.

일체형 쿠숀부의 작동 방법을 살펴보면 "｜"자형의 경우 처음에는 쿠숀부의 힘이 수직방향으로 작용하다가 V자홈에 웨이퍼가 안치되고 용기가 체결되어감에 따라 쿠숀부가 수평으로 기울어져 수평방향으로도 힘이 함께 가해지게 된다. 그러나, 이러한 수평방향의 힘은 수직방향의 힘에 비해 상대적으로 작아, 실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기를 장기간 보관한 후 열어보면 쿠숀부가 변형되어 수직방향의 힘은 정상적으로 작용하고 있지만 수평방향으로 작용하는 힘은 아주 작아지게 된다. "ㄴ"자 및 "━"자형은 거의 같은 방식으로 작동하는데 실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기를 체결해감에 따라 수평으로 놓인 외팔보가 웨이퍼를 수직방향으로 누르면서 고정 하게 되고 수평방향의 힘은 거의 없다. 따라서, 수직 방향에 대한 진동에는 강하나, 수평방향에 대한 진동에는 불리하다.

한편, 이들 쿠숀부들의 공통적인 단점으로는 쿠숀부가 제기능을 발휘하고, 실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기를 체결할 때 웨이퍼 고정홈에서 벗어나 쿠숀부와 쿠숀부 사이로 안착되는 것을 막기 위하여 쿠숀부의 폭을 최대로 설계하였기 때문에 쿠숀부와 쿠숀부의 간격이 통상 0.5 mm로 너무 좁아 이 사이에 위치한 이물질을 세정하거나 세정 후 건조할 때 잔류 수분을 제거하는 일이 상당히 어렵게 된다. 이러한 문제점을 해결하기 위하여 쿠숀부의 형상이 "｜"자형 쿠숀을 두 줄로 나열하여 교대로 설치함으로써 쿠숀부의 폭은 그대로 유지하면서 쿠숀부와 쿠숀부의 간격은 넓게 한 소형 웨이퍼 보관 및 운반 용기를 제시하고 있으나, 이러한 미국특허 제 4,520,925호는 쿠숀부의 변위량이나 힘이 서로 일치하지 않는 단점이 여전히 존재하다.

한편, 쿠숀부의 성형에 있어서, 쿠숀부를 일체 성형할 경우 성형 및 조립 공수가 적게 들어 경제적인 측면에서는 유리하지만 설계 및 금형 제작에 있어서 많은 제약이 따른다. 반면에 쿠숀부를 따로 성형하여 결합시키는 방법은 쿠숀부의 설계에 대한 유연성을 부여할 수 있으나 부품수의 증가에 따라 웨이퍼 보관 및 운반 용기의 성형, 조립, 세정 및 건조공정을 포함하는 제조공정의 수가 증가되어 공수가 더 소요되기 때문에 일체 성형에 비해 제품의 단가가 더 높다는 문제가 있다.

또한, 미국특허 제 4,520,925호, 제 4,793488호, 제 4,966,284호 및 제 5,253,755호는 쿠숀부가 실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기의 상부에 설치되어 있으며, 미국특허 제 4,043,451호, 제 4,248,346호, 및 제 5,273,159호는 실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기의 상부 및 하부에 설치되어 있다. 웨이퍼를 진동 및 충격으로부터 가장 안전하게 보호하기 위해서는 쿠숀부를 실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기의 상부 및 하부 모두에 설치하는 것이 이상적이나, 현재 생산되고 있는 제품들은 분리형 및 일체형 모두 경제성 측면을 고려하여 용기 상부에만 설치되어 있다.

실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기의 밀폐 방법은 가스켓을 사용하는 경우와 사용하지 않는 경우로 대별하여 나누어 볼 수 있다. 가스켓을 사용하는 경우에는 가스켓에 의해 실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기를 완전히 밀폐시킬 수 있기 때문에 추가적으로 상부 용기 및 하부 용기 접합부를 접착용 테이프로 밀폐시킬 필요가 없으므로, 결합부의 설계가 자유롭다. 그러나 가스켓을 세정하고 용기에 삽입하는 과정에서 오염을 일으킬 가능성이 많기 때문에 작업에 세심한 주의를 필요로 하며 또한 부품수의 증가로 인해 제조원가가 상승하는 단점이 있다.

반면에 가스켓을 사용하지 않는 경우는 간단하면서도 제조원가 측면에서 유리하기 때문에 많이 이용되고 있다. 그러나, 실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기를 체결하고 그 용기의 상부 및 하부 접합부를 접착용 테이프로 밀폐시켜 주어야 하기 때문에 체결부의 설계시 테이프의 폭에 따른 제약을 받는다.

본 발명은 실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기의 쿠숀부의 형상, 상부 용기의 형상, 및 하부 용기의 형상 등의 새로운 구조를 제공하기 위한 것이다.

본 발명은 또한 낮은 제조 비용으로 제조가 가능한 실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기를 제공하기 위한 것이다.

상기 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실리콘 웨이퍼를 보관 및 운반하기 위한 용기는 상부 용기, 하부 용기, 하부 용기내에 안착되어 웨이퍼를 낱장으로 담을 수 있는 캐리어 및 웨이퍼 보호를 위한 쿠숀부를 포함하고,

상기 상부 용기, 하부 용기 및 캐리어는 각각 열가소성 수지로 만들어지고, 상기 쿠숀부는 실리콘 웨이퍼의 상부 측부를 지지하도록 상부 용기 양측에 대응 배치되며, 각각의 쿠숀부는 상부 용기에 결합되는 쿠숀상부, 이 쿠숀하부와 교대로 배치되며, 실리콘 웨이퍼를 하부에서 지지하도록 웨이퍼 고정홈이 일단부에 형성된 쿠숀하부, 쿠숀 상부 및 쿠션 하부를 연결하는 쿠숀 상하 연결부, 및 쿠숀 상하 연결부 위치에서 쿠숀부를 웨이퍼 저장 위치로 안내하는 쿠숀돌기를 포함하는 것을 특징으로 한다.

도 1은 본 발명에 따른 실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기의 상부와 하부 및 캐리어를 조립한 형상의 단면을 도시한 정면도.

도 2는 본 발명 쿠숀부의 일부분을 도시한 개략적인 사시도.

도 3a 및 도 3b는 본 발명에 따라 상부 용기에 설치된 쿠숀부가 웨이퍼를 고정하기 전 및 후의 형상을 각각 나타낸 단면도.

도 4는 도 1에 도시된 실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기 중 상부 용기 단면의 정면도.

도 5는 도 1에 도시된 실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기 중 상부 용기의 부분 단면 측면도.

도 6은 도 1에 도시된 실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기 중 상부 용기의 저면도.

도 7은 도 2에 도시된 쿠숀부의 상세 단면도.

도 8은 도 7에 도시된 쿠숀부 끝단을 Y 방향에서 본 확대도.

도 9는 도 6의 O-O선을 따라 나타낸 캐리어 안내 및 고정 리브의 단면도.

도 10은 도 7의 P-P선을 따라 나타낸 캐리어 안내 및 고정 리브의 단면도.

도 11a 및 도 11b는 도 1에 도시된 실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기 중 각각 상부 용기 및 하부 용기의 체결부의 형상을 도시한 부분 단면도.

제 12 도는 도 11에 도시된 실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기 체결부의 조립 형상을 도시한 단면도.

도 13은 도 1에 도시된 실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기 중 하부 용기의 부분단면 정면도.

도 14는 도 1에 도시된 실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기 중 하부 용기의 평면도.

도 15는 도 1에 도시된 실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기 중 캐리어의 부분 단면 정면도.

도 16은 도 1에 도시된 실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기 중 캐리어를 도시한 평면도.

<도면의주요부분에대한부호의설명>

10 : 상부 용기

11 : 상부 용기의 밀폐 테이프 접착 위치

12 : 용기 체결홈

13 : 하부 용기 안내 리브

14 : 캐리어 안내 리브

15a : 상부 용기의 캐리어 고정 리브

15b : 상부 용기의 캐리어 가이드 리브

20 : 상부 용기의 쿠숀부

21 : 큐숀 상부

22 : 큐숀 돌기

23 : 쿠숀 상하 연결부

24 : 쿠숀 하부

25 : 쿠숀 끝단부

26 : 웨이퍼 고정흠

30 : 하부 용기

31 : 하부 용기의 밀폐 테이프 접착위치

32 : 용기 체결 돌기

33 : 용기 결합부 해체 조작용 흠

34 : 용기 운반 손잡이

35 : 캐리어 지지 리브

36 : 하부 용기의 캐리어 안내 리브

40 : 캐리어

41 : 캐리어의 웨이퍼 분할 리브

42 : 캐리어의 웨이퍼 수용홈

43 : 캐리어 하부판

44 : 캐리어 상부판

50 : 웨이퍼

본 발명의 도면을 참조할 때, 동일한 참조 번호는 도면 전체를 통해 동일한 요소를 표시한다.

도 1은 본 발명에 따른 실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기의 상부와 하부 및 캐리어를 조립한 형상의 단면의 정면도를 도시하고 있다. 도 1에 도시된 실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기는 상부 용기 (10), 하부 용기(30), 및 캐리어(40)의 3개 부분을 포함하고, 쿠숀부(20)가 상부 용기(10)에 일체로 성형되어 있다. 캐리어(40)와 관련한 웨이퍼를 제조하는 업체나 이를 원료로 하여 반도체를 생산하는 업체 등과 같은 본 발명 기술분야에서는 캐리어에 웨이퍼를 담거나 꺼내는 작업이 대부분 자동화 공정으로 이루어진다. 그러므로, 캐리어에 대해서는 SEMI (Semi-conductor Equipment and Materials Institute)에 의해 규격화되어 있기 때문에 본 발명의 실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기에는 SEMI 규격 제품을 적용하는 것이 가능하다.

도 2는 본 발명 쿠숀부의 일부분을 도시한 개략적인 사시도이다. 도 2에 도시된 쿠숀부(20)은 쿠숀상부(21), 쿠숀하부(24), 쿠숀돌기(22), 쿠숀 상하 연결부(23) 및 웨이퍼 고정홈(26; 도 3a 및 도 8 참조)을 포함하고 있다. 쿠숀상부(21)과 쿠숀하부(24)는 서로 번갈아 배열되고 이들은 쿠숀돌기(22) 부분에서 쿠숀 상하 연결부(23)로 연결된다.

도 3a 및 도 3b는 본 발명에 따라 상부 용기(10)에 설치된 쿠숀부(20)가 웨이퍼를 고정하기 전 및 후의 형상을 각각 나타낸 단면도이다. 도 3을 참조하여 본 발명 쿠숀부(20)의 작동 방법을 살펴보면 다음과 같다. 쿠숀하부(24)는 캐리어의웨이퍼 분할 리브(41) 끝단부 높이보다 낮은 위치에 성형되어 체결시 캐리어의 웨이퍼 분할 리브(41)의 끝단부와 쿠숀 상하 연결부(23)과 간섭이 일어나 수평방향으로 쿠숀기능이 부여되도록 하는 구조로 되어 있다. 상부 용기(10)을 체결하면 쿠숀의 상부 및 하부를 연결하는 쿠숀 상하 연결부(23)가 캐리어의 웨이퍼 분할 리브(41)의 끝부분에 먼저 닿게 된다. 실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기가 점점 더 체결되어감에 따라 쿠숀상부(21)는 캐리어의 웨이퍼 분할 리브(41)에 의해 안쪽으로 밀리게 되고 쿠숀부(20)의 끝단은 약간 위쪽으로 들리게 된다. 용기의 체결이 더 진행되면 쿠숀부 끝단(25)(도 7 및 도 8 참조)에 있는 웨이퍼 고정홈(26)에 웨이퍼(50)가 닿게 되고 쿠숀부 끝단(25)은 웨이퍼의 원주를 따라 아래쪽으로 이동한다. 실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기가 완전히 체결된 후 쿠숀부는 종래와 같이 웨이퍼를 수직방향으로 누르면서, 또한 추가적으로 수평 방향으로도 힘을 가한다. 웨이퍼, 쿠숀부 및 캐리어가 체결된 후의 형상을 도 3b에 개념적으로 도시하였다.

쿠숀의 작용력이 대부분 수직방향으로 향하고 수평으로는 그 작용력이 미약하기 때문에 수직 방향의 진동에는 유리하나 수평 방향의 진동에는 불리한 종래 기술의 문제점이 상술한 본 발명의 구조에 의해 해소된다.

또한, 종래에는 상부 용기가 체결되면서 웨이퍼(50)가 쿠숀부 끝단의 웨이퍼 고정홈(26)에 정상적으로 안착되지 않고 쿠숀부와 쿠숀부 사이로 이탈되는 경우가 발생하며 이로 인하여 웨이퍼가 오염되기 때문에 용기 포장 작업이 불편하였다. 이를 해결하기 위하여 본 발명은 쿠숀상부(21)과 쿠숀하부(24)를 연결하는 쿠숀 상하 연결부에 쿠숀돌기(22)를 설치하여 쿠숀 상하 연결부(23)가 캐리어의 웨이퍼 분할리브(41)에 닿으면서 미끄러져 들어갈 때 쿠숀돌기(22)가 캐리어의 웨이퍼 수용홈(42)에 의해 안내되어 들어가는 구조를 포함하고 있다(도 15 및 도 16 참조). 이러한 본 발명의 구조에 의해 쿠숀부(20)는 어느 한 쪽으로 치우치는 것이 방지되어 쿠숀부 끝단의 웨이퍼 고정홈(26)에 정상적으로 웨이퍼가 고정될 수 있다.

아울러, 종래의 경우에는 쿠숀부가 제 기능을 발휘하고, 용기 체결시 웨이퍼가 웨이퍼 고정홈에서 벗어나 쿠숀부와 쿠숀부 사이로 안착되는 것을 막기 위하여 쿠숀부의 폭을 최대로 설계하였기 때문에 쿠숀부와 쿠숀부의 간격이 통상 0.5mm로 너무 좁아 이 사이에 위치한 이물질을 세정하거나 또는 세정 후 건조시 잔류수분 제거를 해 주어야 하는 문제가 있었다. 이러한 종래 기술의 문제점을 해소하기 위하여 본 발명에서는 도 2에 도시된 바와 같이 쿠숀상부(21) 및 쿠숀하부(24)를 서로 교대로 배치하여 쿠숀부와 쿠숀부의 간격을 넓게 유지시켜 세정 및 건조시에 발생했던 문제가 해소될 수 있다.

특히, 쿠숀상부(21)의 형상을 하나의 판으로 하면 쿠숀하부(24)와 쿠숀돌기(22)로 인해 금형 제작시 슬라이드 코아가 쿠숀부 양쪽으로 있어야 하기 때문에 금형 제작에 어려움이 있었다. 본 발명에서는 쿠숀상부(21)를 쿠숀하부(24)와 마찬가지로 별개로 설치하고 또한 쿠숀상부 및 쿠숀하부를 교대로 배치시켜서 내측에만 슬라이드 코아를 사용하여도 제품을 성형할 수 있도록 하여 금형 제작시 발생하는 어려움이 감소된다.

한편, 외부로부터 실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기로 충격이 가해질 경우,그 충격의 이동 경로는 상부와 하부가 각각 다르다. 하부에서는 용기에서 웨이퍼로 충격이 전달될 때 하부용기(30)의 캐리어 지지 리브(35)를 통하기 때문에 (도 14 참조) 웨이퍼(50)에 전달되는 충격량을 고려하여 유리하게 설계되었지만, 상부에서는 캐리어의 상부판(44)과 상부 용기(10)가 접촉되는 면적이 크기 때문에 상부 용기에서 캐리어를 지나 웨이퍼로 전달되는 충격량이 많다. 본 발명에서는 상부 용기에 가해지는 충격의 영향을 최소화하기 위하여 캐리어 상부판(44)과 상부 용기(10)가 접촉하는 접촉면적을 줄이기 위해 상부 용기(10)에도 캐리어 고정 리브(15a)를 설치하였다(도 4, 도 6 및 도 9 참조).

상부 용기(10)과 하부 용기(30)의 체결부는 부품의 수를 최소화하기 위하여 가스켓을 사용하지 않는다. 체결을 위해 상부 용기(10)에는 체결홈(12)를 하부 용기에는 돌기(32)를 설치하고, 상부 용기(10)을 하부 용기(30)의 방향으로 눌러주면 양자가 체결된다(도 4, 도 11 및 도 12 참조). 용기의 체결 형상은 도 11 및 도 12에 도시되어 있다. 용기를 열 때는 체결을 풀기 위해 설계된 홈(33)에 손가락을 넣고 상부 용기의 체결홈(12)을 바깥쪽으로 잡아당기면 상부 용기(10)에 설치된 쿠숀부의 작동력에 의해 상부 용기(10)가 위로 밀려 열리게 된다.

본 발명은 쿠숀부의 형상, 상부 용기의 형상, 및 하부 용기의 형상과 관련한 새로운 구조를 갖는 실리콘 웨이퍼 보관 및 운반 용기가 개시되어 있다. 이러한 본 발명의 새로운 구조는 낮은 제조 비용으로 제조가 가능하다.

Claims (7)

1. 상부 용기,

   하부 용기,

   하부 용기내에 안착되어 웨이퍼를 낱장으로 담을 수 있는 캐리어 및 웨이퍼 보호를 위한 쿠숀부를 포함하고, 실리콘 웨이퍼를 보관 및 운반하기 위한 용기로서,

   상기 상부 용기, 하부 용기 및 캐리어는 각각 열가소성 수지로 만들어지고, 상기 쿠숀부는 실리콘 웨이퍼의 상부 측부를 지지하도록 상부 용기 양측에 대응 배치되며, 각각의 쿠숀부는 상부 용기에 결합되는 쿠숀상부, 이 쿠션상부와 교대로 배치되며, 실리콘 웨이퍼를 하부에서 지지하도록 웨이퍼 고정홈이 일단부에 형성된 쿠숀하부, 쿠숀 상부 및 쿠숀 하부를 연결하는 쿠숀 상하 연결부, 및 쿠션 상하 연결부 위치에서 쿠숀부를 웨이퍼 저장 위치로 안내하는 쿠숀돌기를 포함하는 실리콘 웨이퍼를 보관 및 운반하기 위한 용기.
2. 제1항에 있어서, 상기 캐리어는 웨이퍼 분할 리브를 포함하고, 상기 쿠숀 상하 연결부는 용기 체결시 상기 웨이퍼 분할 리브에 의해 안쪽으로 밀리게 되어, 웨이퍼 고정시 작동되는 힘이 수직 방향 뿐만 아니라 수평 방향으로도 가해져서 수평 방향 진동이 웨이퍼에 미치는 영향이 최소화되는 실리콘 웨이퍼를 보관 및 운반하기 위한 용기.
3. 제1항에 있어서, 상기 쿠숀상부 및 쿠숀하부는 각각 적정한 비율로 간격을 유지하여 쿠숀부와 쿠숀부 사이의 세정 및 건조가 용이하게 이루어지는 실리콘 웨이퍼를 보관 및 운반하기 위한 용기.
4. 제1항에 있어서, 상기 캐리어는 웨이퍼 수용홈을 포함하고, 상기 쿠숀돌기는 용기 체결시 상기 웨이퍼 수용홈에 의해 안내되어 상기 쿠숀부가 좌우로 치우치는 것을 방지하여 웨이퍼가 상기 웨이퍼 고정홈에 안착되는 실리콘 웨이퍼를 보관 및 운반하기 위한 용기.
5. 제1항에 있어서, 상기 용기가 상기 상부 용기와 상기 캐리어의 상부판이 접촉하는 부분에 설치되는 캐리어 고정 리브를 포함하고, 상기 캐리어 고정 리브는 상기 상부 용기와 상기 캐리어의 상부판의 접촉 면적을 감소시켜 외부로부터 충격을 받을 때 상부용기에 미치는 충격의 영향을 최소화하는 실리콘 웨이퍼를 보관 및 운반하기 위한 용기.
6. 제1항에 있어서, 상기 상부 용기는 체결홈을 포함하고, 상기 하부 용기는 체결돌기를 포함하며, 상기 체결홈은 용기 바깥쪽에서 상기 체결돌기에 결합하여 상기 체결돌기에 상부 용기 및 하부 용기를 체결하는 실리콘 웨이퍼를 보관 및 운반하기 위한 용기.
7. 제1항에 있어서, 상기 상부 용기는 캐리어 안내 리브를 포함하여, 상기 상부 용기와 캐리어가 결합될 때 캐리어가 한 쪽 방향으로 치우치는 것이 방지되는 실리콘 웨이퍼를 보관 및 운반하기 위한 용기.

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