JP7423429B2 - 基板収納容器 - Google Patents
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Description
前記容器本体の内部両側に、前記基板を略水平に支持する複数の支持片を対向させて設け、この複数の支持片を前記容器本体の上下方向に配列し、
前記防風部材は、前記容器本体の最上段における前記複数の支持片に支持されて該容器本体の内部上面に対向可能な防風板と、この防風板の前部に立て設けられて前記容器本体の内部上面と前記防風板との間の隙間を塞ぐ防風壁と、前記防風板に設けられて該防風板を前記容器本体の内部に係止する係止機構とを含み、前記防風板の前部と中央部付近との間に、該防風板の姿勢の悪化を防止する複数の重心調整口を形成し、前記防風壁を横長の板に形成してその高さを10mm以上14mm以下としたことを特徴としている。
また、前記係止機構は、前記防風部材の防風板に形成される取付領域と、この取付領域の少なくとも周縁部に設けられて前記容器本体の内部上面に接触して変形する複数の弾性片とを含むことが可能である。
また、前記係止機構は、前記防風板の後部両側間に架設される変形可能な略M字形の弾性屈曲片と、この弾性屈曲片の両側部に一体形成される複数の接触具と、該接触具に取り付けられる高摩擦部材とを含み、前記複数の接触具の高摩擦部材が前記容器本体の内部両側に接触することにより、該容器本体の内部に前記防風板が係止されるようにすることができる。
蓋体10を取り外した後、容器本体1の内部から半導体ウェーハWを専用のロボットにより順次取り出せば、半導体ウェーハWに所定の加工や処理を施すことができる。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、係止機構26の構造の多様化を図ることができるのは明らかである。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、係止機構26の部品点数の削減や構造の多様化を図ることができる。
2 正面
5 支持片
6 天板
10 蓋体
11 蓋本体
20 防風部材
21 防風板
22 重心調整口
23 取付穴(取付領域)
25 防風壁
26 係止機構
27 枠体
28 幹片
29 枝片
31 抑え部材
33 弾性片
33A 弾性片
33B 弾性片
34 取付孔(取付領域)
35 弾性爪
37 弾性屈曲片
38 接触具
38A 接触具
39 高摩擦部材
40 支持突出片
41 弾性湾曲片
42 接合部
43 係合片
CA 清浄空気(気体)
W 半導体ウェーハ(基板)
Claims (7)
- 複数枚の基板を収納可能な容器本体と、この容器本体の開口した正面に嵌め合わされる蓋体と、前記容器本体に収納される防風部材とを備えたFOUPであり、気体のダウンフロー下で前記容器本体の正面から前記蓋体が取り外される場合に、前記気体が前記容器本体の内部上面と前記防風部材との間の隙間に流入するのを抑制する基板収納容器であって、
前記容器本体の内部両側に、前記基板を略水平に支持する複数の支持片を対向させて設け、この複数の支持片を前記容器本体の上下方向に配列し、
前記防風部材は、前記容器本体の最上段における前記複数の支持片に支持されて該容器本体の内部上面に対向可能な防風板と、この防風板の前部に立て設けられて前記容器本体の内部上面と前記防風板との間の隙間を塞ぐ防風壁と、前記防風板に設けられて該防風板を前記容器本体の内部に係止する係止機構とを含み、前記防風板の前部と中央部付近との間に、該防風板の姿勢の悪化を防止する複数の重心調整口を形成し、前記防風壁を横長の板に形成してその高さを10mm以上14mm以下としたことを特徴とする基板収納容器。 - 前記防風部材の防風壁に、前記蓋体の嵌め合わせ時に該蓋体に接触して変形する抑え部材を取り付けた請求項1記載の基板収納容器。
- 前記係止機構は、前記防風部材の防風板に取り付けられる枠体と、この枠体内に支持される幹片と、この幹片から張り出して前記容器本体の内部上面に接触して変形する弾性の枝片とを含んでなる請求項1又は2記載の基板収納容器。
- 前記係止機構は、前記防風部材の防風板に形成される取付領域と、この取付領域の少なくとも周縁部に設けられて前記容器本体の内部上面に接触して変形する複数の弾性片とを含んでなる請求項1又は2記載の基板収納容器。
- 前記係止機構は、前記防風板の後部両側に形成される複数の弾性爪を含み、この複数の弾性爪が前記容器本体の内部両側に接触して変形することにより、前記容器本体の内部に前記防風板が係止される請求項1又は2記載の基板収納容器。
- 前記係止機構は、前記防風板の後部両側間に架設される変形可能な略M字形の弾性屈曲片と、この弾性屈曲片の両側部に一体形成される複数の接触具と、該接触具に取り付けられる高摩擦部材とを含み、前記複数の接触具の高摩擦部材が前記容器本体の内部両側に接触することにより、該容器本体の内部に前記防風板が係止される請求項1又は2記載の基板収納容器。
- 前記係止機構は、前記防風板の後部両側から伸びる複数の支持突出片と、この複数の支持突出片間に架設されて平面略楕球形を描く変形可能な一対の弾性湾曲片と、この一対の弾性湾曲片の接合部に装着される複数の接触具と、該接触具に取り付けられる高摩擦部材とを含み、前記一対の弾性湾曲片の変形に基づいて前記複数の接触具の高摩擦部材が前記容器本体の内部両側に接触することにより、該容器本体の内部に前記防風板が係止される請求項1又は2記載の基板収納容器。
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