JP7423429B2

JP7423429B2 - 基板収納容器

Info

Publication number: JP7423429B2
Application number: JP2020098782A
Authority: JP
Inventors: 史也本間
Original assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd
Priority date: 2020-06-05
Filing date: 2020-06-05
Publication date: 2024-01-29
Anticipated expiration: 2040-06-05
Also published as: JP2021192412A

Description

本発明は、清浄な気体のダウンフロー下で容器本体の正面から蓋体が取り外されて、使用される基板収納容器に関するものである。

従来におけるＦＯＵＰ等の基板収納容器は、図１２に部分的に示すように、複数枚の半導体ウェーハＷを上下方向に並べて収納可能なフロントオープンボックスの容器本体１と、この容器本体１の開口した正面２に嵌合される蓋体１０とを備え、密閉型のウェーハ格納用ポッドに構成されている（特許文献１、２、３参照）。

容器本体１は、所定の樹脂含有の成形材料により成形され、内部両側に、半導体ウェーハＷを水平に支持する左右一対の支持片が対設されており、この左右一対の支持片が上下方向に所定の間隔で配列されている。複数枚の半導体ウェーハＷのうち、最上段の半導体ウェーハＷは、容器本体１の内部上面に対向する。また、蓋体１０は、蓋体開閉装置により、容器本体１の開口した正面２に圧入して嵌合されたり、複数枚の半導体ウェーハＷを収納した容器本体１の正面２から取り外されたりする。

係る基板収納容器を用い、半導体ウェーハＷに所定の加工や処理を施す場合には、先ず、クリーンルーム内の蓋体開閉装置に基板収納容器を横向きにセットし、蓋体開閉装置の天井から清浄空気ＣＡをダウンフローさせ、この清浄空気ＣＡのダウンフロー下で基板収納容器の容器本体１の正面２から蓋体１０を蓋体開閉装置により取り外す。こうして容器本体１の正面２から蓋体１０を取り外したら、容器本体１の内部に複数枚の半導体ウェーハＷを専用のロボットにより順次挿入して収納し、容器本体１の開口した正面２に蓋体１０を蓋体開閉装置により圧入して嵌合する。

次いで、複数枚の半導体ウェーハＷを収納した基板収納容器を所定の工程に搬送して蓋体開閉装置に横向きにセットし、蓋体開閉装置の天井から清浄空気ＣＡをダウンフローさせ、この清浄空気ＣＡのダウンフロー下で基板収納容器の容器本体１の正面２から蓋体１０を蓋体開閉装置により取り外すが、この蓋体取り外しの際、作業環境に存在するパーティクルが清浄空気ＣＡと共に容器本体１の内部に流入することがある。容器本体１の正面２から蓋体１０を取り外したら、容器本体１の内部から複数枚の半導体ウェーハＷを専用のロボットにより順次取り出すことにより、半導体ウェーハＷに所定の加工や処理を施すことができる。

特開２０１７‐１１２１３２号公報特表２０１４‐５１３４４２号公報特開２０１７‐１１２１６５号公報

従来における基板収納容器は、以上のように清浄空気ＣＡのダウンフロー下で半導体ウェーハＷを収納した容器本体１の正面２から蓋体１０が取り外されるが、蓋体１０が取り外され、容器本体１の正面２が僅かに開口すると、作業環境中のパーティクルが蓋体１０の上部にガイドされて清浄空気ＣＡと共に容器本体１の正面２から内部上方に流入（図１２の矢印参照）し、最上段の半導体ウェーハＷ上に堆積して汚染を招くおそれがある。したがって、最上段の半導体ウェーハＷ等の汚染を防止するためには、少なくとも蓋体１０が取り外された瞬間にパーティクルが清浄空気ＣＡと共に容器本体１の内部上方に流入するのを防ぐ対策が必要となる。

係る対策として、容器本体１の正面上部の形状や構造を変更するという方法があげられるが、この方法を採用する場合には、パーティクルが清浄空気ＣＡと共に容器本体１の内部上方に流入するのを防ぐことはできても、ＳＥＭＩ規格を遵守できないおそれがある。また、容器本体１を成形する金型を大幅に改造しなければならないという問題が新たに生じる。

本発明は上記に鑑みなされたもので、標準化規格を遵守しながら蓋体の取り外し時に塵埃が気体と共に容器本体の内部上方に流入するのを抑制することができ、容器本体の形状や構造を特に変更する必要がなく、しかも、容器本体用の金型を大幅に改造することなく内容物である基板の品質向上が期待できる基板収納容器を提供することを目的としている。

本発明においては上記課題を解決するため、複数枚の基板を収納可能な容器本体と、この容器本体の開口した正面に嵌め合わされる蓋体と、前記容器本体に収納される防風部材とを備えたＦＯＵＰであり、気体のダウンフロー下で前記容器本体の正面から前記蓋体が取り外される場合に、前記気体が前記容器本体の内部上面と前記防風部材との間の隙間に流入するのを抑制するものであって、
前記容器本体の内部両側に、前記基板を略水平に支持する複数の支持片を対向させて設け、この複数の支持片を前記容器本体の上下方向に配列し、
前記防風部材は、前記容器本体の最上段における前記複数の支持片に支持されて該容器本体の内部上面に対向可能な防風板と、この防風板の前部に立て設けられて前記容器本体の内部上面と前記防風板との間の隙間を塞ぐ防風壁と、前記防風板に設けられて該防風板を前記容器本体の内部に係止する係止機構とを含み、前記防風板の前部と中央部付近との間に、該防風板の姿勢の悪化を防止する複数の重心調整口を形成し、前記防風壁を横長の板に形成してその高さを１０ｍｍ以上１４ｍｍ以下としたことを特徴としている。

また、前記防風部材の防風壁に、前記蓋体の嵌め合わせ時に該蓋体に接触して変形する抑え部材を取り付けることができる。

また、前記係止機構は、前記防風部材の防風板に取り付けられる枠体と、この枠体内に支持される幹片と、この幹片から張り出して前記容器本体の内部上面に接触して変形する弾性の枝片とを含むこともできる。
また、前記係止機構は、前記防風部材の防風板に形成される取付領域と、この取付領域の少なくとも周縁部に設けられて前記容器本体の内部上面に接触して変形する複数の弾性片とを含むことが可能である。

また、前記係止機構は、前記防風板の後部両側に形成される複数の弾性爪を含み、この複数の弾性爪が前記容器本体の内部両側に接触して変形することにより、前記容器本体の内部に前記防風板が係止されるようにすることが可能である。
また、前記係止機構は、前記防風板の後部両側間に架設される変形可能な略Ｍ字形の弾性屈曲片と、この弾性屈曲片の両側部に一体形成される複数の接触具と、該接触具に取り付けられる高摩擦部材とを含み、前記複数の接触具の高摩擦部材が前記容器本体の内部両側に接触することにより、該容器本体の内部に前記防風板が係止されるようにすることができる。

さらに、前記係止機構は、前記防風板の後部両側から伸びる複数の支持突出片と、この複数の支持突出片間に架設されて平面略楕球形を描く変形可能な一対の弾性湾曲片と、この一対の弾性湾曲片の接合部に装着される複数の接触具と、該接触具に取り付けられる高摩擦部材とを含み、前記一対の弾性湾曲片の変形に基づいて前記複数の接触具の高摩擦部材が前記容器本体の内部両側に接触することにより、該容器本体の内部に前記防風板が係止されるようにすることができる。

ここで、特許請求の範囲における基板には、少なくとも各種の半導体ウェーハ、液晶ガラス、レチクル等が含まれる。基板が半導体ウェーハの場合、φ３００ｍｍやφ４５０ｍｍのタイプが含まれる。また、容器本体と蓋体については、既存のタイプをそのまま使用することができる。容器本体は、透明、不透明、半透明のいずれでも良く、底部後方に、外部から内部に気体を給気可能な給気部材を設けるとともに、底部前方に、内部から外部に気体を排気可能な排気部材を設けることができる。容器本体の内部両側には、複数の支持片を一体的に設けることもできるし、別体の複数の支持片を後から設けることもできる。

容器本体の上段における複数の支持片には、少なくとも容器本体の最上段における複数の支持片が含まれる。また、抑え部材は、単数でも良いが、複数が好ましい。係止機構の取付領域は、貫通していても良いし、そうでなくても良く、少なくとも周縁部に複数の弾性片が直接間接に設けられる。係止機構の高摩擦部材としては、摩擦係数の高いエラストマーやゴム等があげられる。弾性屈曲片は、略Ｍ字形に形成されるが、この略Ｍ字形には、Ｍ字形やそれに類似する類似形状が含まれる。さらに、一対の弾性湾曲片が描く平面略楕球形には、平面楕球形やそれに類似する楕円形等の類似形状が含まれる。

本発明によれば、気体のダウンフロー下で容器本体の正面から蓋体を取り外し、容器本体の正面が開口すると、塵埃は、気体と共に容器本体の内部上面と防風部材の防風板との隙間に流入しようとするが、防風部材の防風壁に遮風される。

本発明によれば、標準化規格を遵守しながら蓋体の取り外し時に塵埃が気体と共に容器本体の内部上方に流入するのを抑制することができ、しかも、塵埃が気体と共に容器本体の内部上方に流入するのを防ぐため、容器本体の形状や構造を変更する手間を省くことができるという効果がある。また、容器本体用の金型を大幅に改造せずとも、容器本体の内容物である基板の汚染を防いで品質を向上させることができる。

また、防風部材の防風板の前部に、容器本体の内部上面と防風板との間の隙間を塞ぐ防風壁を立て設けるので、容器本体の最上段における複数の支持片に支持された基板に塵埃が堆積するのを防止することができ、最上段の基板の汚染防止を図ることができる。また、防風板に重心調整口を形成するので、容器本体の最上段における複数の支持片に支持された防風板が容器本体の前後方向等に傾き、防風板の姿勢が悪化するのを防止することができる。また、防風壁の高さが１０ｍｍ以上１４ｍｍ以下なので、適切に隙間を塞ぐことができる。

請求項２記載の発明によれば、容器本体の開口した正面に蓋体を嵌め合わせると、抑え部材が変形し、この変形により、防風部材を容器本体の背面方向に押しやることができるので、防風部材の収納位置を不適切な位置から適切な位置に修正することができる。

請求項３記載の発明によれば、容器本体の内部上方に防風部材の防風板を挿入して収納すると、係止機構の枝片が容器本体の内部上面に接触して変形し、係る枝片の接触と変形により、防風板が容器本体の上段における複数の支持片に密接するので、複数の支持片に防風板を適切に保持させることが可能となる。

請求項４記載の発明によれば、容器本体の内部上方に防風部材の防風板を挿入して収納すると、係止機構の弾性片が容器本体の内部上面に接触して変形し、係る弾性片の接触と変形により、防風板が容器本体の上段における複数の支持片に密接するので、複数の支持片に防風板を適切に保持させることが可能となる。また、係止機構の構造の多様化を図ることが可能となる。

請求項５記載の発明によれば、係止機構の複数の弾性爪が容器本体の内部両側に接触して変形することにより、防風部材の防風板が容器本体の上段における複数の支持片に密接するので、複数の支持片に防風板を適切に保持させることができる。また、係止機構の構造の多様化が期待できる。

請求項６記載の発明によれば、係止機構の弾性屈曲片が撓んだ変形状態から略Ｍ字形の状態に復元すると、接触具の高摩擦部材が容器本体の内部両側に接触するので、容器本体の上段における複数の支持片に防風部材の防風板を適切に保持させることができる。また、滑りにくい高摩擦部材が容器本体の内部両側にそれぞれ接触するので、防風板が容器本体の前後方向に位置ずれすることが少なく、防風部材の適切な位置決めを図ることができる。また、防風部材の防風板を挿入して収納する際、高摩擦部材が容器本体の内部両側に接触しないので、防風板の挿入作業の円滑化を図ることができる。

請求項７記載の発明によれば、係止機構の平面略楕球形を描く一対の弾性湾曲片が変形伸長して窄んだ状態となると、接触具の高摩擦部材が容器本体の内部両側に接触するので、容器本体の上段における複数の支持片に防風部材の防風板を適切に保持させることができる。また、滑りにくい高摩擦部材が容器本体の内部両側にそれぞれ接触するので、防風板が容器本体の前後方向に位置ずれするのを低減し、防風部材の適切な位置決めを図ることが可能となる。さらに、防風部材の防風板を挿入して収納する際、高摩擦部材が容器本体の内部両側に非接触なので、防風板を円滑に挿入することが可能となる。

本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体と蓋体とを模式的に示す斜視説明図である。本発明に係る基板収納容器の実施形態における防風部材を収納した容器本体と蓋体とを模式的に示す平面断面図である。本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体内に防風部材を挿入する状態を模式的に示す斜視説明図である。本発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋体の取り外し時にパーティクルが清浄空気と共に容器本体の内部上方に流入するのを防風部材で防ぐ状態を模式的に示す要部断面説明図である。本発明に係る基板収納容器の実施形態における防風部材を模式的に示す斜視説明図である。本発明に係る基板収納容器の実施形態における防風部材の防風板と係止機構の関係を模式的に示す斜視説明図である。本発明に係る基板収納容器の第２の実施形態を示す説明図で、（ａ）図は容器本体に防風部材を収納した状態を模式的に示す平面断面図、（ｂ）図は防風部材を模式的に示す平面説明図、（ｃ）図は防風部材の防風板と抑え部材との関係を模式的に示す斜視説明図である。本発明に係る基板収納容器の第３の実施形態を示す説明図で、（ａ）図は係止機構を模式的に示す斜視説明図、（ｂ）図は別の係止機構を模式的に示す斜視説明図、（ｃ）図はさらに別の係止機構を模式的に示す斜視説明図である。本発明に係る基板収納容器の第４の実施形態を模式的に示す一部断面説明図である。本発明に係る基板収納容器の第５の実施形態を示す説明図で、（ａ）図は係止機構の弾性屈曲片が引っ張られ、接触具が容器本体の内部両側から離れた状態を模式的に示す一部断面説明図、（ｂ）図は係止機構の弾性屈曲片が復元し、接触具の高摩擦部材が容器本体の内部両側に圧接した状態を模式的に示す一部断面説明図である。本発明に係る基板収納容器の第６の実施形態を示す説明図で、（ａ）図は係止機構の前後一対の弾性湾曲片が基本の膨張状態を維持し、接触具が容器本体の内部両側から離れた状態を模式的に示す一部断面説明図、（ｂ）図は係止機構の前後一対の弾性湾曲片が変形して窄み、接触具の高摩擦部材が容器本体の内部両側に圧接した状態を模式的に示す一部断面説明図である。作業環境中のパーティクルが清浄空気と共に基板収納容器の開口した容器本体の内部上方に流入する状態を模式的に示す一部断面説明図である。

以下、図面を参照して本発明の好ましい実施の形態を説明すると、本実施形態における基板収納容器は、図１ないし図６に示すように、複数枚の半導体ウェーハＷを整列収納可能な容器本体１と、この容器本体１の開口した正面２に着脱自在に嵌合される蓋体１０と、容器本体１の内部上方に収納される防風部材２０とを備え、この容器本体１とは別体の防風部材２０により、蓋体１０の取り外し時に作業環境中のパーティクルが清浄空気ＣＡと共に容器本体１の内部上方に流入するのを抑制するようにしている。

複数枚の半導体ウェーハＷは、図４に示すように、例えば２５枚が容器本体１の内部に収納され、容器本体１の内部上下方向に配列されて最上位の半導体ウェーハＷが防風部材２０の下面に隙間を介して対向する。各半導体ウェーハＷは、例えばφ３００ｍｍの薄く丸いシリコンウェーハからなり、図示しない専用のロボットのアームにより、容器本体１の内部に水平に収納支持されたり、取り出されたりする。

容器本体１、蓋体１０、防風部材２０は所定の樹脂を含有する成形材料によりそれぞれ成形され、容器本体１と蓋体１０はＳＥＭＩ規格に準拠した既存の構造に構成される。成形材料に含まれる樹脂としては、例えばポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、シクロオレフィンコポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマーからなる熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等があげられる。成形材料には、容器本体１や防風部材２０に導電性を付与する場合、カーボンナノチューブやカーボンファイバー等の導電フィラーが適宜配合される。

容器本体１は、図１ないし図４に示すように、正面２の開口したフロントオープンボックスタイプに射出成形され、底部である底板３にインターフェイスとなる平坦なボトムプレート４が下方から螺着されており、このボトムプレート４が蓋体開閉装置等に対する位置決め機能や固定機能を発揮する。容器本体１の底板３の前後部には、一対の給気バルブと排気バルブとがそれぞれ配設され、これら給気バルブと排気バルブとにより、内部の空気がパージされるとともに、窒素ガス等の不活性ガスに置換されることで、半導体ウェーハＷの表面酸化や汚染等が防止される。

容器本体１の内部両側、換言すれば、左右両側壁の内面には、半導体ウェーハＷの周縁部両側を水平に支持する左右一対の支持片５が対設され、この一対の支持片５が容器本体１の上下方向に所定の間隔で複数配列されており、上下方向に隣接する支持片５と支持片５との間には、半導体ウェーハＷの出し入れに利用される断面略コ字形のスロットが形成される。一対の支持片５は、例えば容器本体１の上下方向に２６段配列され、最上段に防風部材２０が水平に支持されるとともに、この最上段以外に半導体ウェーハＷが水平に支持される。各支持片５は、容器本体１の前後方向に指向する長板に形成される。

容器本体１の上部である天板６の中央部には、工場の天井搬送機構に把持される搬送用のトップフランジ７が着脱自在に装着され、容器本体１の正面内周における上下部の両側には、蓋体１０用の施錠穴８がそれぞれ穿孔される。また、容器本体１の両側壁の中央部には、握持操作用のグリップ部９がそれぞれ着脱自在に装着される。

このような容器本体１は、蓋体開閉装置に位置決めして搭載され、開口した正面２に蓋体１０が圧入して嵌合された状態でパージされたり、蓋体開閉装置に位置決めして搭載され、清浄空気ＣＡのダウンフロー下で蓋体開閉装置により正面２からシール状態の蓋体１０が取り外されたりする。

蓋体１０は、図１に示すように、容器本体１の開口した正面２内に圧入して嵌合される蓋本体１１と、この蓋本体１１の開口した表面を被覆する表面プレート１３とを備え、これら蓋本体１１と表面プレート１３との間に施錠用の施錠機構１４が介在して設置される。蓋本体１１は、基本的には底の浅い断面略皿形に形成され、内部に補強用や取付用のリブが複数配設されており、半導体ウェーハＷの周縁部前方に対向する内面の中央部付近に、半導体ウェーハＷとの接触を回避する凹部が形成されるとともに、この凹部には、半導体ウェーハＷの周縁部前方を弾発的に保持するフロントリテーナが装着される。

蓋本体１１の裏面周縁部には枠形の嵌合溝が凹み形成され、この嵌合溝内に、容器本体１の正面２内周に圧接係止する弾性のシールガスケットが密嵌されており、蓋本体１１の周壁における上下部の両側には、容器本体１の施錠穴８に対向する施錠機構１４用の出没孔１２が貫通して穿孔される。また、表面プレート１３は、横長の正面矩形に形成され、補強用や取付用のリブ、螺子孔等が複数配設される。この表面プレート１３の両側部には、施錠機構１４用の操作孔がそれぞれ穿孔される。

施錠機構１４は、詳細は図示しないが、蓋本体１１における左右両側部にそれぞれ軸支され、外部から回転操作される左右一対の回転プレートと、各回転プレートの回転に伴い蓋本体１１の上下方向にスライドする複数の進退動プレートと、各進退動プレートのスライドに伴い蓋本体１１の出没孔１２から出没して容器本体１の施錠穴８に接離する複数の施錠爪とを備えて構成される。

防風部材２０は、図２ないし図６に示すように、容器本体１の最上段における一対の支持片５に水平に支持されて容器本体１の凹凸の内部上面（天板６の凹凸の内面）に対向する防風板２１と、この防風板２１の前部に立設されて蓋体１０の取り外し時に作業環境中のパーティクルが清浄空気ＣＡと共に容器本体１の内部上面と防風板２１との間の隙間に流入するのを抑制する防風壁２５と、防風板２１に設けられて防風板２１を容器本体１の内部に弾性を用いて係止する複数の係止機構２６とを備えて構成される。

防風部材２０の防風板２１は、半導体ウェーハＷの大きさに略対応する平面略半楕球形の板に成形され、直線の前端部左右方向に、容器本体１の天板６内面と防風板２１との間の隙間を塞ぐ防風壁２５が起立して一体成形される。この防風板２１の前部と中央部付近との間には、複数の重心調整口２２が左右方向に並べて形成され、各重心調整口２２が平面矩形に穿孔形成されて防風板２１の姿勢悪化の防止に資するよう機能する。

防風板２１の表面中央部近傍には、係止機構２６用の複数の取付穴２３が左右方向に並べて形成され、各取付穴２３が底の浅い平面矩形に形成されており、取付穴２３の周縁部には、係止機構２６用の複数の取付爪２４が所定の間隔をおいて一体形成される。各取付爪２４は、例えば可撓性を有する略逆Ｌ字形に屈曲形成される。

防風壁２５は、上端部がラウンドした横長の板に形成されて防風板２１の収納時に容器本体１の内部上方の正面２寄りに位置し、蓋体１０が取り外され、容器本体１の正面２が開口した場合に、作業環境中のパーティクルが清浄空気ＣＡと共に容器本体１の正面２から内部上面と防風板２１表面との間の隙間に流入するのを遮風（図４参照）し、パーティクルが清浄空気ＣＡと共に容器本体１の正面２から背面方向に流動するのを防止するよう機能する。この防風壁２５の高さは、隙間を塞ぐ観点からすると、容器本体１の天板６内面に近接する１０ｍｍ以上１４ｍｍ以下、好ましくは１１ｍｍ以上１３．９ｍｍ以下、より好ましくは１２ｍｍ以上１３．８ｍｍ以下が良い。

各係止機構２６は、防風板２１の取付穴２３に装着される枠体２７と、この枠体２７内に複数のランナーを介して支持される平面長方形の幹片２８と、この幹片２８から張り出して容器本体１の内部上面に圧接係止して変形する複数の枝片２９とを備え、防風板２１とは別体とされる。枠体２７は、例えば平面略長方形に形成され、防風板２１の取付穴２３内に複数の取付爪２４を介し着脱自在に位置決め装着される。また、複数の枝片２９は、幹片２８の前後部からそれぞれ複数上向きに傾斜しながら張り出し、各枝片２９が弾性（可撓性）を有する略へ字形に屈曲形成されており、この枝片２９の短く屈曲した先端部が容器本体１の内部上面に圧接係止する。

上記構成において、半導体ウェーハＷに所定の加工や処理を施す場合には、先ず、基板収納容器の横向きの容器本体１の内部上方に防風部材２０の防風板２１を手作業で水平に挿入して収納し、防風壁２５を容器本体１の内部上方の正面２寄りに位置させる。この際、係止機構２６の枝片２９が容器本体１の内部上面に圧接係止して弾性変形し、係る圧接係止により、防風板２１が容器本体１の最上段における一対の支持片５に密接し、適切に位置決め保持される。

基板収納容器の容器本体１の内部上方に防風板２１を収納したら、クリーンルーム内の蓋体開閉装置に基板収納容器を横向きにセットし、蓋体開閉装置の天井から清浄空気ＣＡをダウンフローさせ、この清浄空気ＣＡのダウンフロー下で基板収納容器の容器本体１の正面２から蓋体１０を蓋体開閉装置により取り外す。こうして容器本体１の正面２から蓋体１０を取り外したら、容器本体１の内部に複数枚の半導体ウェーハＷを専用のロボットにより順次挿入して収納し、容器本体１の開口した正面２に蓋体１０を蓋体開閉装置により圧入して嵌合する。

次いで、複数枚の半導体ウェーハＷを収納した基板収納容器を所定の工程に搬送して蓋体開閉装置に横向きにセットし、蓋体開閉装置の天井から清浄空気ＣＡをダウンフローさせ、この清浄空気ＣＡのダウンフロー下で基板収納容器の容器本体１の正面２から蓋体１０を蓋体開閉装置により取り外す。

蓋体取り外しの際、容器本体１の正面２が僅かに開口すると、周囲のパーティクルを巻き込んだ清浄空気ＣＡは、蓋体１０の上部にガイドされて容器本体１の外部から内部上方、換言すれば、容器本体１の内部上面と防風板２１表面との間の隙間に流入しようとするが、防風壁２５に遮風され、阻止される。したがって、少なくとも蓋体１０が取り外された瞬間あるいは直後にパーティクルが清浄空気ＣＡと共に容器本体１の内部上方に流入し、容器本体１の正面２から背面方向に流動するのを著しく抑制することができる。
蓋体１０を取り外した後、容器本体１の内部から半導体ウェーハＷを専用のロボットにより順次取り出せば、半導体ウェーハＷに所定の加工や処理を施すことができる。

上記構成によれば、パーティクルが清浄空気ＣＡと共に容器本体１の内部上方に流入し、防風部材２０下方の最上段の半導体ウェーハＷ上に堆積するのを防止することができるので、最上段の半導体ウェーハＷの汚染防止が大いに期待できる。また、別体の防風部材２０により遮風するので、容器本体１の形や構造を特に変更する必要がなく、既存の容器本体１をそのまま活用できる他、容器本体１に関するＳＥＭＩ規格を遵守することができる。さらに、容器本体１の形や構造を変更するため、容器本体１を成形する金型を大幅に改造する手間を省くことができ、最上段の半導体ウェーハＷの汚染防止が期待できる。

次に、図７（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、防風部材２０の防風壁２５に、蓋体１０の嵌合時に蓋体１０に接触して弾性変形する抑え部材３１を装着するようにしている。

防風部材２０の防風板２１は、基本的には上記実施形態と同様であるが、複数の重心調整口２２の形成数が減少し、各重心調整口２２が大きな平面略矩形に穿孔される。また、防風壁２５の正面両側部には、横長の装着穴３０がそれぞれ穿孔され、各装着穴３０に抑え部材３１が位置決め装着される。各抑え部材３１は、防風部材２０と同様の成形材料により弾性の略中空菱形あるいは略パンタグラフ形に屈曲成形され、蓋体１０の嵌合時に蓋体１０、換言すれば、蓋本体１１の内面上端部に圧接係止して弾性変形し、この弾性変形により、防風部材２０が容器本体１の背面方向に押圧される。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。

本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、容器本体１の開口した正面２に蓋体１０を圧入して嵌合すると、各抑え部材３１が弾性変形し、この弾性変形により、防風板２１を容器本体１の背面方向に押しやることができるので、蓋体１０嵌合時に防風板２１の収納位置を不適切な位置から適切な位置に自動的に修正することができるのは明らかである。

次に、図８（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は本発明の第３の実施形態を示すもので、この場合には、防風部材２０の防風板２１と係止機構２６のうち、少なくとも係止機構２６の構造を変更するようにしている。

先ず、図８（ａ）における係止機構２６は、防風板２１の取付穴２３に装着される一対の取付バー３２と、この一対の取付バー３２の間に並べて架設されて容器本体１の内部上面に圧接係止する複数の弾性片３３とを備えて一体成形される。一対の取付バー３２は、間隔をおいて相対向し、防風板２１の取付穴２３内に複数の取付爪２４を介し着脱自在に位置決め装着される。また、各弾性片３３は、上方に弓なりに湾曲するバネ性の薄板に形成され、容器本体１の内部上面に圧接係止して変形する。

このような構成の係止機構２６は、弾性片３３が容器本体１の内部上面に圧接係止して弾性変形し、係る圧接係止により、防風板２１が容器本体１の最上段における一対の支持片５に密接し、適切に位置決め保持される。

次に、図８（ｂ）における係止機構２６は、防風板２１の中央部近傍に並べて形成される複数の取付孔３４と、各取付孔３４の周縁部に並べて架設されて容器本体１の内部上面に圧接係止する複数の弾性片３３Ａとを備えて一体成形される。各取付孔３４は、平面矩形に貫通して穿孔形成される。また、複数の弾性片３３Ａは、取付孔３４周縁部の後端から上向きに傾斜しながら突出し、各弾性片３３Ａがバネ性を有する略へ字形に屈曲形成されており、この弾性片３３Ａの短く屈曲した先端部が容器本体１の内部上面に圧接係止する。

このような構成の係止機構２６は、弾性片３３Ａが容器本体１の内部上面に圧接係止して弾性変形し、係る圧接係止により、防風板２１が容器本体１の最上段における一対の支持片５に密接し、適切に位置決め保持される。

次に、図８（ｃ）における係止機構２６は、防風板２１の中央部近傍に並べて形成される複数の取付孔３４と、各取付孔３４の周縁部間に並べて架設されて容器本体１の内部上面に圧接係止する複数の弾性片３３Ｂとを備えて一体成形される。各取付孔３４は、平面矩形に貫通して穿孔形成される。また、複数の弾性片３３Ｂは、取付孔３４周縁部の前端と後端との間に並べて架設され、各弾性片３３Ｂがバネ性を有する略波形の薄板に屈曲形成されており、この弾性片３３Ｂが容器本体１の内部上面に圧接係止する。

このような構成の係止機構２６は、弾性片３３Ｂが容器本体１の内部上面に圧接係止して弾性変形し、係る圧接係止により、防風板２１が容器本体１の最上段における一対の支持片５に密接し、適切に位置決め保持される。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、係止機構２６の構造の多様化を図ることができるのは明らかである。

次に、図９は本発明の第４の実施形態を示すもので、この場合には、防風部材２０の防風板２１と係止機構２６の構造を大きく変更し、係止機構２６の係止箇所を容器本体１の内部両側とするようにしている。

防風部材２０の防風板２１は、上記実施形態とは異なり、後部の丸い湾曲部分が削除され、直線の前端部左右方向に、容器本体１の天板６内面と防風板２１との間の隙間を塞ぐ防風壁２５が一体成形される。この防風板２１の前部から中央部付近に亘る領域には、複数の重心調整口２２が左右方向に並べて形成され、各重心調整口２２が大きな平面矩形に穿孔形成されて防風板２１の姿勢悪化の防止に資するよう機能する。

係止機構２６は、防風板２１の切り欠かれた後部両側にそれぞれ突出形成される左右一対の弾性爪３５を備え、この一対の弾性爪３５が容器本体１の内部両側に接触して撓むことにより、相互に接近する。各弾性爪３５は、バネ性を有する略クランク形の鉤爪に屈曲形成されて防風板２１の収納時に容器本体１の背面方向に突出し、隣接する容器本体１の内部両側、具体的には容器本体１の両側壁の内面に圧接係止して内側に撓むことにより、容器本体１の内部に防風板２１が係止される。

このような構成の係止機構２６は、弾性爪３５が容器本体１の内部両側に圧接係止して内側に弾性変形し、係る圧接係止により、防風板２１が容器本体１の最上段における一対の支持片５に適切に位置決め保持される。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、係止機構２６の部品点数の削減や構造の多様化を図ることができる。

次に、図１０（ａ）、（ｂ）は本発明の第５の実施形態を示すもので、この場合にも、防風部材２０の防風板２１と係止機構２６の構造を大きく変更し、係止機構２６の係止箇所を容器本体１の内部両側とするようにしている。

防風部材２０の防風板２１は、後部の丸い湾曲部分が削除され、直線の前端部左右方向に、容器本体１の天板６内面と防風板２１との間の隙間を塞ぐ防風壁２５が一体成形される。この防風板２１の前部から中央部付近に亘る領域には、複数の重心調整口２２が左右方向に並べて形成され、各重心調整口２２が大きな平面矩形に穿孔形成されて防風板２１の姿勢悪化を防止する。また、防風板２１の後部中央付近には、係止機構２６用の操作口３６が平面矩形に貫通して穿孔形成される。

係止機構２６は、防風板２１の切り欠かれた後部両側間に架設される略Ｍ字形の弾性屈曲片３７と、この弾性屈曲片３７の両側部の屈曲部分にそれぞれ装着される左右一対の接触具３８とを備え、この左右一対の接触具３８が容器本体１の内部両側に高摩擦部材３９を介して接触する。弾性屈曲片３７は、バネ性を有する略Ｍ字形に屈曲形成されて防風板２１の収納時に容器本体１の背面側に位置し、中央部の凹んだ屈曲部分が防風板２１の操作口３６側に引っ張られることにより撓んで変形するとともに、一対の接触具３８を相互に接近させ、引っ張りの解除により元の略Ｍ字形に復元する。

各接触具３８は、例えば平面略Ｔ字の中空ハケ形に形成されてその開口部が防風板２１の収納時に容器本体１の側壁に対向し、開口部に滑りにくい高摩擦部材３９が嵌着されており、この高摩擦部材３９が隣接する容器本体１の内部両側、具体的には容器本体１の両側壁の内面に圧接係止することにより、容器本体１の内部に防風板２１が係止される。高摩擦部材３９としては、特に限定されるものではないが、例えば高い摩擦係数を有するフッ素系ゴムやウレタンゴム等があげられる。

上記構成において、容器本体１の内部上方に防風部材２０を収納する場合には、横向きの容器本体１の内部上方に防風部材２０の防風板２１を手作業で水平に挿入して収納し、防風壁２５を容器本体１の内部上方の正面２寄りに位置させる。

この際、係止機構２６の弾性屈曲片３７は、防風板２１を挿入する場合には、操作口３６を用いた摘み操作により、中央部の凹んだ屈曲部分が防風板２１の操作口３６側に引っ張られ、防風板２１を挿入した場合には、中央部の屈曲部分の引っ張りが解除される。この引っ張りの解除により、弾性屈曲片３７は、撓んだ変形状態から元の略Ｍ字形の状態に復元し、各接触具３８の高摩擦部材３９が容器本体１の内部両側に圧接係止し、この圧接係止により、防風板２１が容器本体１の最上段における一対の支持片５に密接し、適切に位置決め保持される。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。

本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、係止機構２６の構造の多様化が期待できる。また、接触具３８ではなく、滑りにくい高摩擦部材３９が容器本体１の内部両側にそれぞれ圧接するので、防風板２１が容器本体１の前後方向に位置ずれすることが少なく、防風板２１の適切な位置決め係止が期待できる。また、防風部材２０の防風板２１を挿入して収納する際、接触具３８や高摩擦部材３９が容器本体１の内部両側に接触せず、障害とならないので、防風板２１の挿入作業の円滑化を図ることができる。

次に、図１１（ａ）、（ｂ）は本発明の第６の実施形態を示すもので、この場合にも、防風部材２０の防風板２１と係止機構２６の構造を大きく変更し、係止機構２６の係止箇所を容器本体１の内部両側としている。

防風部材２０の防風板２１は、後部の丸い湾曲部分が削除され、直線の前端部左右方向に、容器本体１の天板６内面と防風板２１との間の隙間を塞ぐ防風壁２５が一体成形される。この防風板２１の前部から中央部付近に亘る領域には、複数の重心調整口２２が左右方向に並べて形成され、各重心調整口２２が大きな平面矩形に穿孔形成されて防風板２１の姿勢悪化を防止する。

係止機構２６は、防風板２１の切り欠かれた後部両側からそれぞれ後方に伸長する左右一対の支持突出片４０と、この一対の支持突出片４０間に架設される変形可能な前後一対の弾性湾曲片４１と、この前後一対の弾性湾曲片４１の接合部４２にそれぞれ装着される左右一対の接触具３８Ａとを備え、この左右一対の接触具３８Ａが容器本体１の内部両側に高摩擦部材３９を介して接触する。

前後一対の弾性湾曲片４１は、平面略楕球形を描くよう接合されて防風板２１の収納時に容器本体１の背面側に位置し、左右の両側部が接続されて支持突出片４０に支持される直線の接合部４２とされており、各弾性湾曲片４１が基本的には略弓なりに湾曲して防風板２１の左右方向に指向する。この前後一対の弾性湾曲片４１のうち、後方の弾性湾曲片４１の中央部付近には、隙間をおいて相対向する前方の弾性湾曲片４１の中央部付近に係合する鉤爪形の係合片４３が突出形成され、この係合片４３の係合により、前後一対の弾性湾曲片４１が変形して接近する。

各接触具３８Ａは、例えば横長の略有底筒形に形成されて前後一対の弾性湾曲片４１の接合部４２の端に装着され、防風板２１の収納時に容器本体１の側壁内面に対向する対向部に、滑りにくい高摩擦部材３９が嵌着されており、この高摩擦部材３９が隣接する容器本体１の内部両側、具体的には容器本体１の両側壁の内面に圧接係止することにより、容器本体１の内部に防風板２１が係止される。高摩擦部材３９としては、上記実施形態と同様、高い摩擦係数を有するフッ素系ゴムやウレタンゴム等があげられる。

この際、係止機構２６の前後一対の弾性湾曲片４１は、防風板２１を挿入する場合には、膨張した平面略楕球形を描き、防風板２１を挿入した場合には、手動操作による係合片４３の係合により、変形して窄んだ平面略楕球形を描くこととなる。この前後一対の弾性湾曲片４１の変形伸長により、各接触具３８Ａの高摩擦部材３９が容器本体１の内部両側に圧接係止し、この圧接係止により、防風板２１が容器本体１の最上段における一対の支持片５に密接し、適切に位置決め保持される。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。

本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、係止機構２６の構造の多様化が期待できる。また、接触具３８ではなく、滑りにくい高摩擦部材３９が容器本体１の内部両側にそれぞれ圧接するので、防風板２１が容器本体１の前後方向に位置ずれするのを低減でき、防風板２１の適切な位置決め係止が期待できる。さらに、防風部材２０の防風板２１を挿入して収納する際、接触具３８Ａや高摩擦部材３９が容器本体１の内部両側に接触しないので、防風板２１の挿入作業の円滑化を図ることができる。

なお、上記実施形態では防風部材２０の防風板２１表面を滑らかに形成したが、何らこれに限定されるものではなく、例えば防風板２１の裏面や防風壁２５の表面に、清浄空気ＣＡ用の整流溝等を適宜形成しても良い。また、防風板２１の複数の重心調整口２２については、必要に応じて増減したり、大きさや形を変更しても良い。

また、半導体ウェーハＷの処理や加工中においても、容器本体１内の相対湿度を一定水準以下の均一に低下させたい場合には、容器本体１の正面２から蓋体１０が蓋体開閉装置により取り外されて半導体ウェーハＷの出し入れが可能な状態、すなわち、容器本体１の正面２が開口した状態でパージすると良い。また、前後一対の弾性湾曲片４１に、平面略楕円形を描かせて接合しても良い。さらに、上記実施形態は適宜組み合わせることができる。例えば第１、第２の実施形態を組み合わせたり、第２、第３の実施形態を組み合わせたり、あるいは第２、第４の実施形態等を組み合わせることができる。

本発明に係る基板収納容器は、半導体ウェーハ、液晶ガラス、レチクル等の製造分野で使用される。

１容器本体
２正面
５支持片
６天板
１０蓋体
１１蓋本体
２０防風部材
２１防風板
２２重心調整口
２３取付穴（取付領域）
２５防風壁
２６係止機構
２７枠体
２８幹片
２９枝片
３１抑え部材
３３弾性片
３３Ａ弾性片
３３Ｂ弾性片
３４取付孔（取付領域）
３５弾性爪
３７弾性屈曲片
３８接触具
３８Ａ接触具
３９高摩擦部材
４０支持突出片
４１弾性湾曲片
４２接合部
４３係合片
ＣＡ清浄空気（気体）
Ｗ半導体ウェーハ（基板）

Claims

複数枚の基板を収納可能な容器本体と、この容器本体の開口した正面に嵌め合わされる蓋体と、前記容器本体に収納される防風部材とを備えたＦＯＵＰであり、気体のダウンフロー下で前記容器本体の正面から前記蓋体が取り外される場合に、前記気体が前記容器本体の内部上面と前記防風部材との間の隙間に流入するのを抑制する基板収納容器であって、
前記容器本体の内部両側に、前記基板を略水平に支持する複数の支持片を対向させて設け、この複数の支持片を前記容器本体の上下方向に配列し、
前記防風部材は、前記容器本体の最上段における前記複数の支持片に支持されて該容器本体の内部上面に対向可能な防風板と、この防風板の前部に立て設けられて前記容器本体の内部上面と前記防風板との間の隙間を塞ぐ防風壁と、前記防風板に設けられて該防風板を前記容器本体の内部に係止する係止機構とを含み、前記防風板の前部と中央部付近との間に、該防風板の姿勢の悪化を防止する複数の重心調整口を形成し、前記防風壁を横長の板に形成してその高さを１０ｍｍ以上１４ｍｍ以下としたことを特徴とする基板収納容器。
前記防風部材の防風壁に、前記蓋体の嵌め合わせ時に該蓋体に接触して変形する抑え部材を取り付けた請求項１記載の基板収納容器。
前記係止機構は、前記防風部材の防風板に取り付けられる枠体と、この枠体内に支持される幹片と、この幹片から張り出して前記容器本体の内部上面に接触して変形する弾性の枝片とを含んでなる請求項１又は２記載の基板収納容器。
前記係止機構は、前記防風部材の防風板に形成される取付領域と、この取付領域の少なくとも周縁部に設けられて前記容器本体の内部上面に接触して変形する複数の弾性片とを含んでなる請求項１又は２記載の基板収納容器。
前記係止機構は、前記防風板の後部両側に形成される複数の弾性爪を含み、この複数の弾性爪が前記容器本体の内部両側に接触して変形することにより、前記容器本体の内部に前記防風板が係止される請求項１又は２記載の基板収納容器。
前記係止機構は、前記防風板の後部両側間に架設される変形可能な略Ｍ字形の弾性屈曲片と、この弾性屈曲片の両側部に一体形成される複数の接触具と、該接触具に取り付けられる高摩擦部材とを含み、前記複数の接触具の高摩擦部材が前記容器本体の内部両側に接触することにより、該容器本体の内部に前記防風板が係止される請求項１又は２記載の基板収納容器。
前記係止機構は、前記防風板の後部両側から伸びる複数の支持突出片と、この複数の支持突出片間に架設されて平面略楕球形を描く変形可能な一対の弾性湾曲片と、この一対の弾性湾曲片の接合部に装着される複数の接触具と、該接触具に取り付けられる高摩擦部材とを含み、前記一対の弾性湾曲片の変形に基づいて前記複数の接触具の高摩擦部材が前記容器本体の内部両側に接触することにより、該容器本体の内部に前記防風板が係止される請求項１又は２記載の基板収納容器。