KR101125828B1

KR101125828B1 - 기판처리시스템의 게이트장치

Info

Publication number: KR101125828B1
Application number: KR1020100074573A
Authority: KR
Inventors: 최대규
Original assignee: 주식회사 밀레니엄투자
Priority date: 2010-08-02
Filing date: 2010-08-02
Publication date: 2012-04-02
Also published as: KR20120012561A

Abstract

본 발명은 2개 1조의 진공챔버로 이루어진 한 쌍의 진공챔버의 기판출입구를 동시에 개폐하도록 된 더블진공챔버 개폐장치로 진공상태하에서 각각 기판의 처리 작업이 시행되는 중에 일 진공챔버의 진공을 유지하는 게이트밸브가 마모되거나 손상되어 유지보수를 할 때, 타 진공챔버의 진공상태를 해제하지 않고도 용이하게 유지보수 할 수 있도록 서로 마주보는 위치에 기판출입구(CB1)가 구비된 한 쌍의 챔버(CB)와, 상기 기판출입구(CB1)를 개폐하는 한 쌍의 밸브부재(30)들과 상기 밸브부재(30)들을 기판출입구(CB1)상으로 동시에 밀착 및 이격시키도록 된 밀착수단(80)을 가지는 기판처리시스템의 게이트장치에 있어서; 상기한 밸브부재(30)는 일측면에 측면개구부(11))가 형성되고, 상부에 상부개구부(13)가 형성되며 내부에 수용공간(15)이 형성된 밸브케이스(10)에 수용되어 측면개구부(11)로 돌출되게 위치되며, 상기 밸브케이스(10)에는 상기 밸브부재(30)가 측면개구부(11)로 돌출 및 이탈되도록 조절하는 조절수단(50)이 구비된 기판처리시스템의 게이트장치를 제공한다.

Description

기판처리시스템의 게이트장치{GATE DEVICE FOR WAFER PROCESSING SYSTEM}

본 발명은 기판의 제조공정상 진공상태에서 처리되는 기판처리시스템의 게이트장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 2개 1조의 진공챔버로 이루어진 한 쌍의 진공챔버의 기판출입구를 동시에 개폐하도록 된 더블진공챔버 개폐장치로 진공상태하에서 각각 기판의 처리 작업이 시행되는 중에 일 진공챔버의 진공을 유지하는 게이트밸브가 마모되거나 손상되어 유지보수를 할 때, 타 진공챔버의 진공상태를 해제하지 않고도 용이하게 유지보수 할 수 있도록 된 기판처리시스템의 게이트장치에 관한 것이다.

일반적으로 액정 디스플레이장치, 플라즈마디스플레이장치, 반도체장치 들의 제조를 위한 기판처리시스템들은 복수 개의 기판을 일괄처리 하는 클러스터(CLUSTER) 시스템이 채용되고 있다. 클러스터 시스템은 이송로봇 또는 핸들러(HANDLER)와 RM 주위에 마련된 복수의 기판처리모듈을 포함하는 멀티챔버형 기판처리시스템을 지칭한다.

그리고 클러스터 시스템은 이송챔버(TRANSFER CHAMBER)와 이송챔버 내에서 회동이 자유로운 이송로봇이 마련된다.

이와 같은 클러스터 시스템은 복수개의 기판을 동시에 처리하거나 또는 여러 공정을 연속해서 진행함으로써 기판 처리량을 높이고 있다.

한편, 다수의 기판이 처리되기 위해 기판처리를 위한 각각 독립된 공정 챔버가 다수개 구성된다.

이때, 각 챔버에는 기판이 출입되는 기판출입구가 형성되고, 기판출입구는 게이트밸브에 의해 개폐되게 된다. 여기서 공정진행 중일 때는 게이트밸브가 챔버를 폐쇄하여 진공상태가 유지되도록 하고, 공정이 완료되면 기판출입구를 개방하여 기판이 입출 되도록 한다.

이렇게, 챔버를 폐쇄하는 게이트밸브는 챔버내부의 플라즈마반응 및 플라즈마와 반응하는 기체에 의해 게이트밸브의 표면에 열화가 발생되어, 게이트밸브와 기판출입구 사이의 기밀성이 저하되게 된다.

따라서, 게이트밸브를 보수하거나 게이트밸브의 오링을 교체함으로써 게이트밸브와 기판출입구 사이의 기밀성을 확보하게 된다.

이때 공정중 게이트밸브를 보수하기 위해서는 챔버내의 진공을 해제하게 되고 보수완료 후에는 다시 진공펌프를 구동하여 챔버를 공정이 가능한 진공상태로 확보한 후 재작업을 수행하였다.

그러나 2개 1조로 이루어져 동일동작으로 각각의 게이트밸브에 의해 기판출입구가 개폐되어 진공상태를 유지하도록 된 더블진공챔버 개폐장치상에서 일 측의 게이트밸브가 손상될 경우, 게이트밸브를 교체수리하기 위하여 기판출입구에서 게이트밸브를 이탈하여 분리할 때, 손상되지 않아 원활하게 진공상태하에서 작업 중이 타 진공펌프의 게이트밸브도 동시작동되는 것을 이유로 기판출입구에서 분리되어 타 진공챔버의 진공상태를 해제하여 작업을 수행하지 못하는 문제점이 있었다.
즉 기판출입구의 개폐가 동일하게 이루어지는 더불진공챔버 개폐장치에서 일 게이트밸브를 교체수리하기 위해서는 정상적으로 운용되는 타 진공챔버의 진공상태를 해제하고 작업을 멈추어야만 하는 불합리한 문제점이 있었다.
이에 따라 작업의 재개시할 때 고비용의 진공상태를 재진행하여야만 하기 때문에 비경제적이고, 정상적인 진공챔버의 작업멈춤에 의하여 생산성이 떨어지는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로, 본 발명의 목적은 2개 1조의 진공챔버로 이루어진 한 쌍의 진공챔버의 기판출입구를 동시에 개폐하도록 된 더블진공챔버 개폐장치로 진공상태하에서 각각 기판의 처리 작업이 시행되는 중에 일 진공챔버의 진공을 유지하는 게이트밸브가 마모되거나 손상되어 유지보수를 할 때, 타 진공챔버의 진공상태를 해제하지 않고도 용이하게 유지보수 할 수 있도록 된 기판처리시스템의 게이트장치를 제공하는 것에 있다.

상기의 본 발명의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 기판처리시스템의 게이트장치는 서로 마주보는 위치에 기판출입구가 구비된 한 쌍의 챔버와, 상기 기판출입구를 개폐하는 한 쌍의 밸브부재들과 상기 밸브부재들을 기판출입구상으로 동시에 밀착 및 이격시키도록 된 밀착수단을 가지는 기판처리시스템의 게이트장치에 있어서; 상기한 밸브부재는 일측면에 측면개구부가 형성되고, 상부에 상부개구부가 형성되며 내부에 수용공간이 형성된 밸브케이스에 수용되어 측면개구부로 돌출되게 위치되며, 상기 밸브케이스에는 상기 밸브부재가 측면개구부로 돌출 및 이탈되도록 조절하는 조절수단이 구비된 것을 특징으로 한다.

그리고, 상기한 밸브부재는 기판출입구에 삽입되는 돌출부와, 기판출입구의 둘레에 밀착되는 오링과, 돌출부와 일체로 형성되어 측면개구부의 내측 테두리에 지지되는 베이스부로 이루어진 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 조절수단은 서로 대응되게 밸브부재와 밸브케이스의 내측면의 사이 공간에 배치되는 가압부재와, 상기 가압부재를 밸브케이스의 내측면과 밸브부재의 사이 공간에서 위치이동시켜 상기 밸브부재를 측면개구부측 방향으로 가압하거나 해제하도록 된 조절부재로 이루어진 것을 특징으로 한다.

그리고 상기 가압부재는 서로 마주보는 면이 경사면으로 형성된 2개 1조로 이루어진 한 쌍의 가압부재들로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 조절부재는 상기 가압부재들 중 어느 하나의 가압부재와 나사결합된 볼트부재로 이루어져 순/역회전시 상기 가압부재들을 서로 근접시키거나 이격시켜 가압부재들이 밸브부재를 측면개구부측 방향으로 가압하거나 해제하도록 된 것을 특징으로 한다.

삭제

그리고, 상기 밀착수단은 상기 밸브케이스들의 하단을 상승 시에 각각 측방으로 밀고, 하강 시에 역방향으로 당기는 링크부재들과, 상승되는 밸브케이스의 상부 일단을 측방향으로 안내하도록 챔버들의 사이 공간에 마련되며 안내부재로 이루어진 것을 특징으로 한다.

삭제

또한, 상기 안내부재는 그 단면이 삼각형상인 것을 특징으로 한다.

그리고, 상기 삼각형상은 이등변삼각형상인 것을 특징으로 한다.

삭제

상기와 같이 이루어진 본 발명의 기판처리시스템의 게이트장치는 진공상태하에서 공정이 진행 중인 복수의 챔버중에서 일 챔버의 밸브부재가 손상되어 교체 및 보수가 필요한 경우 손상된 밸브부재를 가압하는 조절수단을 밸브케이스에서 분리하여 꺼낸 후 밸브케이스으 상부개구부를 통해 손상된 밸브부재를 제거하고 보수 한 후 정상적인 밸브부재를 상기 상부개구부를 통해 밸브케이스의 내부로 투입한 후 상기 조절수단을 밸브부재와 밸브케이스의 사이공간에 재조립하여 밸브부재를 측면개구부로 가압하여 노출시켜 챔버의 기판출입구를 폐쇄하고, 챔버를 진공시켜 작업을 수행하도록 된 것으로, 미 손상된 타 챔버의 진공작업상태를 해제하지 않고도 원활하게 보수 및 교체하여 공정이 원활하게 이루어져 생산성 및 경제성을 증대할 수 있는 효과를 가진다.

도 1은 본 발명에 따른 일 실시예에 의한 게이트장치의 구성을 보인 분해도이다.
도 2는 도 1에서 도시된 본 실시예의 게이트장치의 구성을 보인 단면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 조절수단의 또 다른 실시예를 보인 사시도이다.
도 4은 도 2에서 도시된 본 실시예의 게이트장치에서 밸브케이스에 가압부재와 밸브부재가 설치된 것을 보인 단면도이다.
도 5는 도 2에서 도시된 본 실시예의 게이트장치에서 밸브케이스에 복수개의 가압부재와 밸브부재가 설치된 것을 보인 단면도이다.
도 6는 도 2에서 도시된 본 실시예의 게이트장치의 밸브케이스에서 조절수단을 조절하여 가압부재를 이동시킨 모습을 보인 단면도이다.
도 7은 도 2에서 도시된 본 실시예의 게이트장치에서 기판출입구를 개방한 모습을 보인 단면도이다.
도 8은 도 2에서 도시된 본 실시예의 게이트장치에서 판출입구를 폐쇄한 모습을 보인 단면도이다.

본 발명에 따른 기판처리시스템의 게이트장치는 개 1조의 챔버로 이루어진 한 쌍의 챔버의 기판출입구를 동시에 개폐하도록 된 더블진공챔버 개폐장치로 진공상태하에서 각각 기판의 처리 작업이 시행되는 중에 일 챔버의 진공을 유지하는 게이트밸브가 마모되거나 손상되어 유지보수를 할 때, 타 챔버의 진공상태를 해제하지 않고도 용이하게 유지보수 할 수 있도록 된 것으로 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

도 1 및 도 2는 본 발명에 따른 일 실시예에 의한 기판처리시스템의 게이트밸브의 구성을 보인 분해도 및 단면도이다.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 본 실시예에 따른 기판처리시스템의 게이트밸브는 서로 마주보는 위치에 기판출입구가 구비된 한 쌍의 챔버와, 상기 기판출입구를 개폐하는 한 쌍의 밸브부재들과 상기 밸브부재들을 기판출입구상으로 동시에 밀착 및 이격시키도록 된 밀착수단을 가지는 기판처리시스템의 게이트장치에 적용되어 일 챔버의 진공을 유지하는 게이트밸브가 마모되거나 손상되어 유지보수를 할 때, 타 챔버의 진공상태를 해제하지 않고도 용이하게 유지보수하는 것에 사용된다.

이와 같은 본 실시예의 게이트장치에서 상기한 밸브부재(30)는 일측면에 측면개구부(11)가 형성되고, 상부에 상부개구부(13)가 형성되며 내부에 수용공간(15)이 형성된 밸브케이스(10)에 수용되어 측면개구부(11)로 돌출되게 위치된다.

그리고 상기 밸브케이스(10)에는 상기 밸브부재(30)가 측면개구부(11)로 돌출 및 이탈되도록 조절하는 조절수단(50)이 구비된다.

여기서, 밸브부재(30)는 조절수단(50)에 의해 밸브케이스(10)의 측면개구부(11)로 돌출되어 기판출입구(CB1)를 개폐할 수 있도록 형성된다.

밸브부재(30)의 구성은 기판출입구(CB1)에 밀착되게 삽입되어 기판출입구(CB1)를 개폐하도록 돌출된 돌출부(31)와, 기판출입구(CB1)의 둘레에 밀착되어 게이트밸브와 챔버(CB) 내부의 기밀을 유지하도록 돌출부(31)의 둘레에 형성되는 오링(32)과, 돌출부(31)와 일체로 형성되어 밸브부재(30)가 밸브케이스(10)의 내부에 수용되어 측면개구부(11)로 돌출부(31)가 돌출될시 측면개구부(11)의 내측 테두리 부분에 밸브부재(30)가 지지될 수 있도록 하는 베이스부(33)로 구성된다. 이때, 기판출입구(CB1)에 삽입되어 챔버(CB) 내에서 발생하는 플라즈마에 접촉되는 돌출부(31)의 전면에는 챔버(CB) 내에서 발생된 플라즈마에 의해 돌출부(31)의 표면이 손상되지 않도록 보호층(도시생략)이 코팅된다. 여기서, 보호층은 플라즈마에 의해 돌출부(31)의 표면이 식각되어 손상되는 것을 방지한다. 이러한, 보호층은 교체가 가능하도록 마련된다.

조절수단(50)은 밸브케이스(10)의 수용공간(15)에 수용되는 밸브부재(30)의 후방에 상하로 서로 대응되게 배치되어 밸브부재(30)를 지지하는 복수개의 가압부재(51)와, 밸브부재(30)를 지지하는 복수개의 가압부재(51)를 상하부 양측으로 승강시켜 밸브부재(30)를 좌우로 이동되게 함으로써 밸브부재(30)가 밸브케이스(10)로 부터 착탈이 가능하게 하는 조절부재(53)를 포함하여 구성된다. 여기서, 복수개의 가압부재(51)는 서로 마주되는 경사면(52)이 각각 밸브부재(30)를 향하여 설치되는 것이 바람직하다.

여기서, 가압부재(51)의 경사면(52)에 대응되는 경사면(34)이 밸브부재(30)의 단부에 형성되는 것이 바람직하며, 서로 마주보는 면이 경사면으로 형성된 2개 1조로 이루어진 한 쌍의 가압부재(51)들의 조합으로 이루어지는 것이 가장 바람직하다.

조절부재(53)는 복수개의 가압부재(51)들 중 어느 하나에 형성되는 관통홀(53a)과, 타 가압부재(51)에 형성되되 암나사산을 갖는 체결홀(53b)과, 관통홀(53a)에 관통되면서 체결홀(53b)에 체결되는 수나사산이 형성되는 볼트부재(53c)를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.
즉 일 가압부재(51)와 볼트부재(53c)는 관통홀(53a)을 통해 조립되고, 타 가압부재(51)와 볼트부재(53c)는 나사결합방식으로 조립된다.
따라서 상기 볼트부재(51c)를 회전시키면 일 가압부재(51)는 관통홀(51a)이 볼트부재(51)상에서 공회전되고, 타 가압부재(51)는 나사회전하여, 결과적으로 볼트부재(51)를 순/역회전시키면 상기 가압주재(51)들이 서로 근접되거나 이격된다.

도 3은 본 발명에 따른 조절수단(50)의 또 다른 실시예를 보인 사시도이다.

도 3에서 보는 바와 같이, 조절수단(50)은 2개 1조의 가압부재(51)의 사이를 다수의 볼트부재(51c)로 조립하거나, 혹은 한 쌍의 가압부재들(51)을 일정간격을 가지면서 정렬하여 구성할 수도 있다.

여기서, 도면을 참고하여 게이트밸브 구성들의 결합관계를 자세히 설명하면 다음과 같다.

도 4는 본 발명에 따른 밸브케이스(10)에 가압부재(51)와 밸브부재(30)를 나타내는 단면도이다.

도 4에서 보는 바와 같이, 밸브부재(30)는 밸브케이스(10)의 상부개구부(13)를 통하여 수용공간(15)에 수용된다. 수용된 밸브부재(30)의 돌출부(31)가 측면개구부(11)를 통해 밸브케이스(10)의 외부로 돌출되도록 측면개구부(11)측으로 밀착시킨다. 그리고 복수개의 가압부재(51)들 중에서 가압부재(51)의 내부에 암나사산이 형성된 체결홀(53b)을 구비한 가압부재(51)를 밸브케이스(10)의 상부개구부(13)를 통하여 밸브부재(30) 하측 후방의 수용공간(15)으로 설치한다. 이때, 가압부재(51)에 형성된 경사면(52)은 측면개구부(11)를 향하도록 설치되게 한다.

도 5는 본 발명에 따른 밸브케이스(10)에 복수개의 가압부재(51)와 밸브부재(30)가 설치된 것을 보인 단면도이다.

도 5에서 보는 바와 같이, 수용된 밸브부재(30)의 돌출부(31)가 측면개구부(11)를 통해 돌출되도록 측면개구부(11)측으로 밀착시키고 복수개의 가압부재(51)들 중에서 내부에 관통홀(53a)이 형성된 가압부재(51)를 밸브케이스(10)의 상부개구부(13)를 통하여 밸브부재(30) 상측 후방의 수용공간(15)에 설치한다. 이때, 가압부재(51)에 형성된 경사면(52)은 측면개구부(11)를 향하도록 설치되게 한다.

도 6은 본 발명에 따른 밸브케이스(10)에서 조절수단(50)을 조절하여 가압부재를 이동시키는 모습을 보인 단면도이다.

도 6에서 보는 바와 같이, 조절부재(53)는 밸브케이스(10)의 상부에 설치된 가압부재(51)의 관통홀(53a)을 관통하여 하부에 설치된 가압부재(51)의 체결홀(53b)에 조절부재(53)의 하부에 형성된 볼트부재(53c)가 결합되도록 설치한다.

여기서, 결합되어 있는 조절부재(53)를 조이면 조절부재(53)의 하부에 수나사산으로 형성된 볼트부재(53c)와 가압부재(51)의 체결홀(53b)에 형성된 암나사산에 의해 조여진다. 즉, 조절부재(53)를 조이면 볼트부재(53c)가 체결홀(53b)을 관통하여 가압부재(51)가 상승한다. 따라서 가압부재(51)에 의해 우측으로 이동하게 된 밸브부재(10)는 그 후면을 가압부재(51)가 지지하게 된다.

즉, 가압부재(51)에 의해 후면이 지지된 밸브부재(30)는 측면개구부(11)측으로 밀착되어 고정된다.

도 7 및 도 8은 본 발명에 따른 게이트밸브가 기판출입구(CB1)를 개폐하는 모습을 보인 단면도이다.

도 7 및 도 8에서 보는 바와 같이, 밸브케이스(10)는 승강수단(70)에 의해 승강되어 밀착수단(80)과 밸브지지부(83)에 의해 챔버(CB)의 기판출입구(CB1)를 개폐하게 구성된다.

여기서 밀착수단(80)은 밸브케이스(10)의 하단을 상승 시에 측방으로 밀고, 하강 시에 역방향으로 당기는 링크부재(81)와, 상승되는 밸브케이스(10)의 상부일단을 측방향으로 안내하는 안내부재(83)로 구성된다.

즉, 밸브케이스(10)는 링크부재(81)에 의해 승강수단(70)과 연결되되 승강수단(70)이 상승함과 동시에 좌우측으로 이동되어 기판출입구(CB1)를 폐쇄하고, 하강하면 기판출입구(CB1)를 개방하게 된다.

따라서, 밀착수단(80)에 의한 기판출입구(CB1)의 폐쇄는 밀착수단(80)이 상승하여 상부의 안내부재(83)와 함께 밸브케이스(10)의 후면을 지지함으로써 이루어지게 된다.

이때, 링크부재(81)는 밸브케이스(10)의 후면에 복수개가 형성될 수 있다.

안내부재(83)는 밸브케이스(10)가 동작되는 밸브챔버(도시생략)의 상부에 형성되어 승강수단(70)에 의해 승강되는 밸브케이스(10)의 상부일단을 측방향으로 안내한다. 이때, 안내부재(83)는 그 단면이 삼각형상이다. 이러한, 삼각형상은 이등변삼각형상인 것이 바람직하다. 즉, 승강수단(70)에 의해 승강되는 밸브케이스(10)의 상부일단이 삼각형상의 안내부재(83)에 접촉하면 안내부재(83)의 경사면과 대응되도록 밸브케이스(10)의 상부일단에 형성된 경사면에 의해 양측 기판출입구(CB1)로 각각 안내되어 링크부재(81) 및 안내부재(83)에 의해 고정된다.

이상과 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 기판처리시스템의 게이트장치의 작용관계에 대해 도면을 참조하여 설명해 보기로 한다.

밸브부재(30)의 돌출부(31)가 밸브케이스(10)의 측면개구부(11)를 통해 돌출되도록 밸브부재(30)의 후측에 복수개의 가압부재(51)를 설치하는데 가압부재(51)에 형성된 경사면(52)이 측면개구부(11)를 향하도록 설치한다. 여기서, 가압부재(51)의 위치를 조절하는 조절부재(53)는 위측에 설치된 가압부재(51)의 관통홀(53a)을 관통하여 아래측에 설치된 가압부재(51)의 체결홀(53b)에 조절부재(53)에 형성된 볼트부재(53c)가 결합되도록 설치한다.

이때, 조절부재(53)를 조절하면 볼트부재(53c)와 결합된 채결홀(53b)에 의해 가압부재(51)가 상승하게 되는데 상승하는 가압부재(51)의 경사면(52)과 밸브부재(30)의 후면에 형성된 경사면(34)에 의해 밸브부재(30)는 측면개구부(11)로 이동하여 밸브부재(30)의 돌출부(31)가 측면개구부(11)로 돌출되고 가압부재(51)에 의해 밸브부재(30)의 후면이 지지된다. 여기서, 조절부재(53)는 가압부재(51)의 양측에 복수개가 설치된다.

이렇게, 설치된 밸브케이스(10)는 승강수단(70)에 의해 승강되어 밀착수단(80)에 의해 기판출입구(CB1)를 개폐하게 된다.

즉, 승강수단(70)이 상승하게 되면 승강수단(70)과 링크부재(81)로 연결된 밸브케이스(10)가 상승하게 되는데 상승한 밸브케이스(10)의 상단이 밸브챔버의 상부에 형성된 삼각형상 안내부재(83)와 접촉하게 되면 안내부재(83)의 경사면과 대응되도록 밸브케이스(10)의 상부일단에 형성된 경사면에 의해 양측 기판출입구(CB1)로 안내되어 폐쇄하게 된다. 또한 밸브케이스(10)에 연결된 링크부재(81)에 의해서도 양측 기판출입구(CB1)로 각각 안내되는데 이렇게 안내된 밸브케이스(10)의 후면을 링크부재(81) 및 안내부재(83)로 지지하여 밸브케이스(10)가 기판출입구(CB1)에 고정되게 된다. 반대로, 승강수단이 하강하게 되면 링크부재(81)가 밸브케이스(10)를 역방향으로 당겨 하강하게 된다.

여기서, 상승하여 양측 기판출입구(CB1)를 폐쇄한 상태에서 마모된 밸브부재(30)를 교체하는 경우 어느 한측의 챔버는 진공상태를 유지하면서 타측의 챔버만 진공상태를 해제하여 밸브부재(30)를 보수하게 되는데, 밸브챔버의 상부에 형성된 챔버출입구(CB2)를 개방하여 밸브케이스(10)에 설치된 조절수단(50)을 제거하여 밸브부재(30)를 교체하게 된다.

즉, 밸브케이스(10)에 설치된 조절부재(53)를 풀게되면 조절부재(53)에 형성된 볼트부재(53c)와 내부에 체결홀(53b)이 형성된 가압부재(51)에 의해 가압부재(51)들이 상하로 이동하게 된다. 이때, 후측 상하단에 경사면이 형성된 밸브부재(30)가 가압부재(51)에 형성된 경사면(52)에 지지되어 후측으로 이동된다. 이때, 가압부재(51)가 이동되어 조절부재(53)에 형성된 볼트부재(53c)가 체결홀(53b)을 빠져나오면 가압부재(51)중 상부에 있는 가압부재(51)와 조절부재(53)를 제거하여 남은 수용공간(15)을 통하여 밸브부재(30)를 교체하게 된다.

이와 같이, 본 발명은 공정이 진행 중인 복수의 챔버중에서 게이트밸브의 보수가 필요한 경우 일측의 챔버는 진공상태를 유지하면서 타측의 챔버는 진공상태를 해제하고 게이트밸브의 보수를 할 수 있는 유용한 발명이라 할 수 있다.

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10 : 밸브케이스 50 : 조절수단
11 : 측면개구부 51 : 가압부재
13 : 상부개구부 52 : 경사면
15 : 수용공간 53 : 조절부재
30 : 밸브부재 70 : 승강수단
31 : 돌출부 80 : 밀착수단
33 : 베이스부 83 : 안내부재

Claims

서로 마주보는 위치에 기판출입구가 구비된 한 쌍의 챔버와, 상기 기판출입구를 개폐하는 한 쌍의 밸브부재들과 상기 밸브부재들을 기판출입구상으로 동시에 밀착 및 이격시키도록 된 밀착수단을 가지는 기판처리시스템의 게이트장치에 있어서;
상기한 밸브부재는 일측면에 측면개구부가 형성되고, 상부에 상부개구부가 형성되며 내부에 수용공간이 형성된 밸브케이스에 수용되어 측면개구부로 돌출되게 위치되며,
상기 밸브케이스에는 상기 밸브부재가 측면개구부로 돌출 및 이탈되도록 조절하는 조절수단이 구비된 것을 특징으로 하는 기판처리시스템의 게이트장치
제 1항에 있어서,
상기한 밸브부재는 기판출입구에 삽입되는 돌출부와, 기판출입구의 둘레에 밀착되는 오링과, 돌출부와 일체로 형성되어 측면개구부의 내측 테두리에 지지되는 베이스부로 이루어진 것을 특징으로 하는 기판처리시스템의 게이트장치
제 1항에 있어서,
상기 조절수단은 서로 대응되게 밸브부재와 밸브케이스의 내측면의 사이 공간에 배치되는 가압부재와, 상기 가압부재를 밸브케이스의 내측면과 밸브부재의 사이 공간에서 위치이동시켜 상기 밸브부재를 측면개구부측 방향으로 가압하거나 해제하도록 된 조절부재로 이루어진 것을 특징으로 하는 기판처리시스템의 게이트장치
제 3항에 있어서,
상기 가압부재는 서로 마주보는 면이 경사면으로 형성된 2개 1조로 이루어진 한 쌍의 가압부재들로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템의 게이트장치
제 3항에 있어서,
상기 조절부재는 상기 가압부재들 중 어느 하나의 가압부재와 나사결합된 볼트부재로 이루어져 순/역회전시 상기 가압부재들을 서로 근접시키거나 이격시켜 가압부재들이 밸브부재를 측면개구부측 방향으로 가압하거나 해제하도록 된 것을 특징으로 하는 기판처리시스템의 게이트장치
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제 1항에 있어서,
상기 밀착수단은 상기 밸브케이스들의 하단을 상승 시에 각각 측방으로 밀고, 하강 시에 역방향으로 당기는 링크부재들과, 상승되는 밸브케이스의 상부 일단을 측방향으로 안내하도록 챔버들의 사이 공간에 마련되며 안내부재로 이루어진 것을 특징으로 하는 기판처리시스템의 게이트장치
제 8항에 있어서,
상기한 안내부재는 그 단면이 삼각형상인 것을 특징으로 하는 기판처리시스템의 게이트장치.
제 9항에 있어서,
상기한 안내부재는 그 단면이 이등변삼각형상인 것을 특징으로 하는 기판처리시스템의 게이트장치.
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