KR101125828B1 - 기판처리시스템의 게이트장치 - Google Patents
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Abstract
Description
그러나 2개 1조로 이루어져 동일동작으로 각각의 게이트밸브에 의해 기판출입구가 개폐되어 진공상태를 유지하도록 된 더블진공챔버 개폐장치상에서 일 측의 게이트밸브가 손상될 경우, 게이트밸브를 교체수리하기 위하여 기판출입구에서 게이트밸브를 이탈하여 분리할 때, 손상되지 않아 원활하게 진공상태하에서 작업 중이 타 진공펌프의 게이트밸브도 동시작동되는 것을 이유로 기판출입구에서 분리되어 타 진공챔버의 진공상태를 해제하여 작업을 수행하지 못하는 문제점이 있었다.
즉 기판출입구의 개폐가 동일하게 이루어지는 더불진공챔버 개폐장치에서 일 게이트밸브를 교체수리하기 위해서는 정상적으로 운용되는 타 진공챔버의 진공상태를 해제하고 작업을 멈추어야만 하는 불합리한 문제점이 있었다.
이에 따라 작업의 재개시할 때 고비용의 진공상태를 재진행하여야만 하기 때문에 비경제적이고, 정상적인 진공챔버의 작업멈춤에 의하여 생산성이 떨어지는 문제점이 있었다.
도 2는 도 1에서 도시된 본 실시예의 게이트장치의 구성을 보인 단면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 조절수단의 또 다른 실시예를 보인 사시도이다.
도 4은 도 2에서 도시된 본 실시예의 게이트장치에서 밸브케이스에 가압부재와 밸브부재가 설치된 것을 보인 단면도이다.
도 5는 도 2에서 도시된 본 실시예의 게이트장치에서 밸브케이스에 복수개의 가압부재와 밸브부재가 설치된 것을 보인 단면도이다.
도 6는 도 2에서 도시된 본 실시예의 게이트장치의 밸브케이스에서 조절수단을 조절하여 가압부재를 이동시킨 모습을 보인 단면도이다.
도 7은 도 2에서 도시된 본 실시예의 게이트장치에서 기판출입구를 개방한 모습을 보인 단면도이다.
도 8은 도 2에서 도시된 본 실시예의 게이트장치에서 판출입구를 폐쇄한 모습을 보인 단면도이다.
이와 같은 본 실시예의 게이트장치에서 상기한 밸브부재(30)는 일측면에 측면개구부(11)가 형성되고, 상부에 상부개구부(13)가 형성되며 내부에 수용공간(15)이 형성된 밸브케이스(10)에 수용되어 측면개구부(11)로 돌출되게 위치된다.
그리고 상기 밸브케이스(10)에는 상기 밸브부재(30)가 측면개구부(11)로 돌출 및 이탈되도록 조절하는 조절수단(50)이 구비된다.
즉 일 가압부재(51)와 볼트부재(53c)는 관통홀(53a)을 통해 조립되고, 타 가압부재(51)와 볼트부재(53c)는 나사결합방식으로 조립된다.
따라서 상기 볼트부재(51c)를 회전시키면 일 가압부재(51)는 관통홀(51a)이 볼트부재(51)상에서 공회전되고, 타 가압부재(51)는 나사회전하여, 결과적으로 볼트부재(51)를 순/역회전시키면 상기 가압주재(51)들이 서로 근접되거나 이격된다.
11 : 측면개구부 51 : 가압부재
13 : 상부개구부 52 : 경사면
15 : 수용공간 53 : 조절부재
30 : 밸브부재 70 : 승강수단
31 : 돌출부 80 : 밀착수단
33 : 베이스부 83 : 안내부재
Claims (11)
- 서로 마주보는 위치에 기판출입구가 구비된 한 쌍의 챔버와, 상기 기판출입구를 개폐하는 한 쌍의 밸브부재들과 상기 밸브부재들을 기판출입구상으로 동시에 밀착 및 이격시키도록 된 밀착수단을 가지는 기판처리시스템의 게이트장치에 있어서;
상기한 밸브부재는 일측면에 측면개구부가 형성되고, 상부에 상부개구부가 형성되며 내부에 수용공간이 형성된 밸브케이스에 수용되어 측면개구부로 돌출되게 위치되며,
상기 밸브케이스에는 상기 밸브부재가 측면개구부로 돌출 및 이탈되도록 조절하는 조절수단이 구비된 것을 특징으로 하는 기판처리시스템의 게이트장치
- 제 1항에 있어서,
상기한 밸브부재는 기판출입구에 삽입되는 돌출부와, 기판출입구의 둘레에 밀착되는 오링과, 돌출부와 일체로 형성되어 측면개구부의 내측 테두리에 지지되는 베이스부로 이루어진 것을 특징으로 하는 기판처리시스템의 게이트장치
- 제 1항에 있어서,
상기 조절수단은 서로 대응되게 밸브부재와 밸브케이스의 내측면의 사이 공간에 배치되는 가압부재와, 상기 가압부재를 밸브케이스의 내측면과 밸브부재의 사이 공간에서 위치이동시켜 상기 밸브부재를 측면개구부측 방향으로 가압하거나 해제하도록 된 조절부재로 이루어진 것을 특징으로 하는 기판처리시스템의 게이트장치
- 제 3항에 있어서,
상기 가압부재는 서로 마주보는 면이 경사면으로 형성된 2개 1조로 이루어진 한 쌍의 가압부재들로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템의 게이트장치
- 제 3항에 있어서,
상기 조절부재는 상기 가압부재들 중 어느 하나의 가압부재와 나사결합된 볼트부재로 이루어져 순/역회전시 상기 가압부재들을 서로 근접시키거나 이격시켜 가압부재들이 밸브부재를 측면개구부측 방향으로 가압하거나 해제하도록 된 것을 특징으로 하는 기판처리시스템의 게이트장치
- 삭제
- 삭제
- 제 1항에 있어서,
상기 밀착수단은 상기 밸브케이스들의 하단을 상승 시에 각각 측방으로 밀고, 하강 시에 역방향으로 당기는 링크부재들과, 상승되는 밸브케이스의 상부 일단을 측방향으로 안내하도록 챔버들의 사이 공간에 마련되며 안내부재로 이루어진 것을 특징으로 하는 기판처리시스템의 게이트장치
- 제 8항에 있어서,
상기한 안내부재는 그 단면이 삼각형상인 것을 특징으로 하는 기판처리시스템의 게이트장치.
- 제 9항에 있어서,
상기한 안내부재는 그 단면이 이등변삼각형상인 것을 특징으로 하는 기판처리시스템의 게이트장치.
- 삭제
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020100074573A KR101125828B1 (ko) | 2010-08-02 | 2010-08-02 | 기판처리시스템의 게이트장치 |
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---|---|---|---|
KR1020100074573A KR101125828B1 (ko) | 2010-08-02 | 2010-08-02 | 기판처리시스템의 게이트장치 |
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Publication Number | Publication Date |
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KR20120012561A KR20120012561A (ko) | 2012-02-10 |
KR101125828B1 true KR101125828B1 (ko) | 2012-04-02 |
Family
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---|---|---|---|
KR1020100074573A KR101125828B1 (ko) | 2010-08-02 | 2010-08-02 | 기판처리시스템의 게이트장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101125828B1 (ko) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102327338B1 (ko) * | 2021-07-21 | 2021-11-18 | 이노레스 주식회사 | 보강스틱이 결합된 밸브 블레이드 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0599348A (ja) * | 1991-06-11 | 1993-04-20 | Plasma Syst:Kk | ゲートバルブ |
JPH0860374A (ja) * | 1994-08-19 | 1996-03-05 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置 |
JP2009109006A (ja) | 2007-10-10 | 2009-05-21 | Tokyo Electron Ltd | ゲートバルブ及びそれを用いた基板処理装置 |
KR100907816B1 (ko) | 2007-09-05 | 2009-07-16 | 주식회사 에이티에스엔지니어링 | 역압 대응식 게이트 밸브 |
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JPH0599348A (ja) * | 1991-06-11 | 1993-04-20 | Plasma Syst:Kk | ゲートバルブ |
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KR100907816B1 (ko) | 2007-09-05 | 2009-07-16 | 주식회사 에이티에스엔지니어링 | 역압 대응식 게이트 밸브 |
JP2009109006A (ja) | 2007-10-10 | 2009-05-21 | Tokyo Electron Ltd | ゲートバルブ及びそれを用いた基板処理装置 |
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