JP2009109006A - ゲートバルブ及びそれを用いた基板処理装置 - Google Patents
ゲートバルブ及びそれを用いた基板処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009109006A JP2009109006A JP2008229367A JP2008229367A JP2009109006A JP 2009109006 A JP2009109006 A JP 2009109006A JP 2008229367 A JP2008229367 A JP 2008229367A JP 2008229367 A JP2008229367 A JP 2008229367A JP 2009109006 A JP2009109006 A JP 2009109006A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve body
- valve
- substrate
- cam
- substrate carry
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67126—Apparatus for sealing, encapsulating, glassing, decapsulating or the like
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
- F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
- F16K3/18—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members
- F16K3/184—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members by means of cams
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
- F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Sliding Valves (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Mechanically-Actuated Valves (AREA)
Abstract
【解決手段】ゲートバルブ200は,カム機構260により弁体210を進退させて基板搬出入口112を開閉するように構成する。カム機構は例えば弁体の進退方向に直交する方向に摺動自在な長尺部材261と,長尺部材を筐体の背板から支持する支持ローラ290とこれに対向するように弁体210に設けられた弁体駆動用ローラ280と,長尺部材の弁体駆動用ローラ側に設けられた板状カム270とを有し,長尺部材を一方向に摺動させて弁体駆動用ローラを介して弁体を閉じる方向に前進させて基板搬出入口を押圧しながら閉塞する位置で,基板搬出入口側から押し返される力を長尺部材で受けることによって弁体を閉塞位置で保持する。
【選択図】 図1A
Description
先ず,本発明の実施形態にかかるゲートバルブについて図面を参照しながら説明する。図1A,図1B,図2A〜図2C,図3A〜図3C,図4A〜図4Cは,本実施形態のゲートバルブの構成を説明するための図である。本実施形態では,図1A,図1Bに示すように,チャンバ100の基板搬出入口112を開閉可能なサイズの弁体210を備え,この弁体210を昇降駆動及び進退駆動させて基板搬出入口112を開閉するゲートバルブ200を例に挙げる。
次に,ゲートバルブ200の具体的な構成例について説明する。図1A,図2A,図3Aに示すように,ゲートバルブ200は,少なくとも基板搬出入口112を包囲するようにチャンバ100の側壁110に設けられた略箱状の筐体(ケーシング)202を備える。筐体202は,側壁110に平行に対面する背板202aを有するとともに,側板202b,202c,天井板202d,底板202eを有し,これらで側壁110を覆っている。筐体202の背板202aには,基板搬出入口112を介して出し入れする基板を通すために,基板搬出入口112に対向した位置に基板搬出入口112と同様の形状の開口部203が形成されている。
次に,昇降駆動手段230の具体的構成例について図面を参照しながら説明する。昇降駆動手段230は,基板搬出入口112に対向する位置(例えば図2A,図3Aに示す位置)と,基板搬出入口112から待避する位置(例えば図2C,図3Cに示す位置)との間でガイドレール220に沿って弁体210を昇降させる。
次に,開閉駆動手段250について図面を参照しながら説明する。開閉駆動手段250は,基板搬出入口112に対向する位置(図1A,図2A,図3Aに示す位置)と,基板搬出入口112を押圧しながら閉塞する位置(図1B,図2B,図3Bに示す位置)との間でガイド棒224に沿って弁体210を開閉方向に進退させるカム機構260により構成される。本実施形態にかかるカム機構260は,いわゆる直道カム機構により構成した場合を例に挙げる。ここでは板状のカム270を取り付けた長尺部材261を弁体210に沿って進退方向に直交する方向に摺動させて,板状カム270の斜面272で弁体210を進退方向に移動させるとともに,板状カム270の平面274で弁体210を基板搬出入口112に押しつけた状態で保持できるように構成する。
次に,本実施形態にかかるゲートバルブの一連の動作について図面を参照しながら説明する。ここでは,弁体210が図3C,図4Cに示す基板搬出入口112より下方の待避位置にあるときを弁体210の原位置とする。
次に,上述した本発明の各実施形態にかかるゲートバルブの具体的な適用例について図面を参照しながら説明する。ここでは,マルチチャンバ型のFPD基板処理装置に適用した場合の具体例を挙げる。図13は,FPD基板処理装置の概略構成を示すブロック図である。図13に示すFPD基板処理装置400は,基板を搬送する搬送アームを備えた搬送ロボット(図示せず)を収容する共通搬送室410を備え,その周りに複数の処理室420A,420B,420C及びロードロック室430が設置されている。これら共通搬送室410,各処理室420A,420B,420C,ロードロック室430はそれぞれ上述したような真空圧雰囲気になる密閉可能なチャンバを構成する。
110 側壁
112 基板搬出入口
114 縁枠
200 ゲートバルブ
202 筐体
202a 背板
202b,202c 側板
202d 天井板
202e 底板
203 開口部
204a 貫通孔
210 弁体
212 弁体支持板
212a 挿入孔
220 ガイドレール
222 スライダ
224 ガイド棒
224a 止め部材
226 付勢部材
230 昇降駆動手段
232 昇降用のアクチュエータ
252 開閉用のアクチュエータ
234 ピストンロッド
235 縮径部
236 頭部
240 弁体スライド機構
242 枠部
242a 挿入孔
243 締結部材
244 ガイド体
245 転動部材
246 凹部
250 開閉駆動手段
252 アクチュエータ
254 ピストンロッド
256 支持部材
260 カム機構
261 長尺部材
262 棒状部材
263 ブッシュ
264 つなぎ部材
270 板状カム
272 斜面
274 平面
276 当て板
280 弁体駆動用ローラ
282 支持体
282a 突起部
284 ローラ
290 支持ローラ
292 支持体
294 ローラ
300 フレーム
302 ガイド棒
303,304,306 孔
400 FPD基板処理装置
410 共通搬送室
420A,420B,420C, 処理室
430 ロードロック室
Claims (17)
- チャンバの側壁に設けられた基板搬出入口を開閉するためのゲートバルブであって,
前記チャンバの側壁に前記基板搬出入口を囲むように設けられた筐体と,
前記筐体内で昇降自在に設けられ,前記基板搬出入口を開閉する弁体と,
前記基板搬出入口に対向する位置と前記基板搬出入口から待避した位置との間で前記弁体を昇降させる昇降駆動手段と,
前記基板搬出入口に対向する位置と前記基板搬出入口を押圧しながら閉塞する位置との間で前記弁体を進退させるカム機構により構成した開閉駆動手段と,を備え,
前記カム機構は,前記弁体の背面側に前記弁体の長手方向に渡って配置され前記筐体に可動自在に支持された長尺部材と,前記長尺部材の動作に伴って前記弁体を押圧駆動するとともに,前記弁体が前記基板搬出入口側から押し返される力を前記長尺部材で受けることによって前記弁体を前記閉塞位置で押圧保持するカムとを有することを特徴とするゲートバルブ。 - 前記カムは板状カムであり,
前記カム機構は,前記筐体に摺動自在に支持された前記長尺部材を前記弁体の進退方向に直交する方向へ摺動させる駆動手段と,前記長尺部材と前記弁体との間に設けられた前記板状カムのカム面に当接して前記弁体を駆動する弁体駆動用ローラとを備え,前記長尺部材の摺動動作を前記弁体の進退動作に変換することを特徴とする請求項1に記載のゲートバルブ。 - 前記板状カムは,前記長尺部材を一方向に摺動させることにより,前記弁体駆動用ローラに当接しその弁体駆動用ローラを前記弁体を閉じる方向に前進させて,前記基板搬出入口を押圧しながら閉塞する位置まで移動させる第1のカム面と,前記弁体が前記基板搬出入口側から押し返される力を前記長尺部材で受けることによって前記弁体を前記閉塞位置で保持する第2のカム面を有することを特徴とする請求項2に記載のゲートバルブ。
- 前記板状カムは,前記長尺部材の弁体側に設け,
前記弁体駆動用ローラは,前記弁体が前記基板搬出入口に対向する位置にあるときに,前記長尺部材に対向するように前記弁体に設けたことを特徴とする請求項2に記載のゲートバルブ。 - 前記板状カムは,前記弁体の長尺部材側に設け,
前記弁体駆動用ローラは,前記弁体が前記基板搬出入口に対向する位置にあるときに,前記弁体に対向するように前記長尺部材に設けたことを特徴とする請求項2に記載のゲートバルブ。 - 前記弁体駆動用ローラは,前記弁体の長手方向に沿って複数配置するとともに,前記板状カムは,前記弁体駆動用ローラに対応する数だけ設け,
前記長尺部材を摺動させることによって,前記弁体駆動用ローラのすべてを一斉に駆動させて前記弁体を進退させるとともに,前記弁体駆動用ローラのすべてで前記弁体を押圧しながら前記閉塞位置で保持できるように構成したことを特徴とする請求項2に記載のゲートバルブ。 - 前記長尺部材が前記弁体から受ける力を受け止めるように前記長尺部材をその背面側から支持する支持部材を設けたことを特徴とする請求項2に記載のゲートバルブ。
- 前記支持部材は,前記筐体の背板又は他のチャンバの側壁に設けた支持ローラからなることを特徴とする請求項7に記載のゲートバルブ。
- 前記支持部材は,前記長尺部材に設けた支持ローラからなることを特徴とする請求項7に記載のゲートバルブ。
- 前記支持部材は,支持ローラからなり,
前記支持ローラは,前記弁体が前記基板搬出入口を押圧しながら閉塞する位置にあるときに,前記板状カム及び前記弁体駆動用ローラと前記長尺部材を挟んで直線上に並ぶように配置したことを特徴とする特徴とする請求項7に記載のゲートバルブ。 - 前記昇降駆動手段は,ピストンロッドを伸縮させることによって弁体を鉛直に昇降させるアクチュエータより構成し,
前記ピストンロッドの先端は,このピストンロッドに対して前記弁体を前記進退方向にスライド自在な弁体スライド機構を介して,前記弁体をその下方から支持することを特徴とする請求項1に記載のゲートバルブ。 - 複数のチャンバに基板を搬送しながら基板に対して所定の処理を行う基板処理装置であって,
前記各チャンバは,その側壁に設けられた基板搬出入口を開閉するためのゲートバルブを備え,
前記ゲートバルブは,前記チャンバの側壁に前記基板搬出入口を囲むように設けられた筐体と,前記筐体内で昇降自在に設けられ,前記基板搬出入口を開閉する弁体と,前記基板搬出入口に対向する位置と前記基板搬出入口から待避した位置との間で前記弁体を昇降させる昇降駆動手段と,前記基板搬出入口に対向する位置と前記基板搬出入口を押圧しながら閉塞する位置との間で前記弁体を進退させるカム機構により構成した開閉駆動手段と,を備え,
前記カム機構は,前記弁体の背面側に前記弁体の長手方向に渡って配置され前記筐体に支持された長尺部材により駆動し,この長尺部材から前記弁体を押圧して駆動するとともに,前記弁体が前記基板搬出入口側から押し返される力を前記長尺部材で受けることによって前記弁体を前記閉塞位置で保持するカムを有することを特徴とする基板処理装置。 - 前記チャンバは,基板の処理を行う処理室,この処理室に接続される搬送室,この搬送室に接続されるロードロック室であることを特徴とする請求項12に記載の基板処理装置。
- チャンバの側壁に設けられた基板搬出入口を開閉するためのゲートバルブであって,
前記チャンバの側壁に前記基板搬出入口を囲むように設けられた筐体と,
前記筐体内で昇降自在に設けられ,前記基板搬出入口を開閉する弁体と,
前記基板搬出入口に対向する位置と前記基板搬出入口から待避した位置との間で前記弁体を昇降させる昇降駆動手段と,
前記基板搬出入口に対向する位置と前記基板搬出入口を押圧しながら閉塞する位置との間で前記弁体を進退させるカム機構により構成した開閉駆動手段と,を備え,
前記カム機構は,前記弁体の背面側に前記弁体の長手方向に渡って配置され前記筐体に可動自在に支持された長尺部材と,前記長尺部材の動作に伴って前記弁体を押圧駆動するとともに,前記弁体が前記基板搬出入口側から押し返される力を前記長尺部材で受けることによって前記弁体を前記閉塞位置で押圧保持するカムと,前記筐体に摺動自在に支持された前記長尺部材を前記弁体の進退方向に直交する方向へ摺動させる駆動手段と,前記長尺部材と前記弁体との間に設けられた前記板状カムのカム面に当接して前記弁体を駆動する弁体駆動用ローラと,前記弁体駆動用ローラと前記板状カムとを囲むように設けたフレームと,を備え,前記長尺部材の摺動動作を前記弁体の進退動作に変換することを特徴とするゲートバルブ。 - 前記フレームは,前記弁体の背面側から隙間を空けて前記筐体の背板又は他のチャンバの側壁に取り付けられ,
前記弁体駆動用ローラは,前記フレーム内に設けられた支持体に回転自在に取り付けられ,
前記支持体は,前記弁体の背面側に突出した突起部を有し,前記弁体駆動用ローラの動きに応じて前記突起部が前記フレームに形成された孔から突没するようにスライド自在に構成し,
前記突起部によって前記弁体の背面側から前記弁体を開閉駆動するように構成したことを特徴とする請求項14に記載のゲートバルブ。 - 前記長尺部材が前記弁体から受ける力を受け止めるように前記長尺部材をその背面側から支持する支持部材を前記フレーム内に設けたことを特徴とする請求項15に記載のゲートバルブ。
- 前記支持部材は,前記フレーム内に設けた支持ローラからなることを特徴とする請求項16に記載のゲートバルブ。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008229367A JP2009109006A (ja) | 2007-10-10 | 2008-09-08 | ゲートバルブ及びそれを用いた基板処理装置 |
KR1020080099280A KR101020364B1 (ko) | 2007-10-10 | 2008-10-09 | 게이트 밸브 및 그것을 이용한 기판 처리 장치 |
TW097138992A TWI439622B (zh) | 2007-10-10 | 2008-10-09 | Gate valve and the use of the substrate processing device |
CN2008101673041A CN101408249B (zh) | 2007-10-10 | 2008-10-10 | 闸阀以及使用该闸阀的基板处理装置 |
KR1020100094984A KR20100122884A (ko) | 2007-10-10 | 2010-09-30 | 게이트 밸브 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007263992 | 2007-10-10 | ||
JP2008229367A JP2009109006A (ja) | 2007-10-10 | 2008-09-08 | ゲートバルブ及びそれを用いた基板処理装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013168861A Division JP5724091B2 (ja) | 2007-10-10 | 2013-08-15 | ゲートバルブ及びそれを用いた基板処理装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009109006A true JP2009109006A (ja) | 2009-05-21 |
Family
ID=40571386
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008229367A Pending JP2009109006A (ja) | 2007-10-10 | 2008-09-08 | ゲートバルブ及びそれを用いた基板処理装置 |
JP2013168861A Active JP5724091B2 (ja) | 2007-10-10 | 2013-08-15 | ゲートバルブ及びそれを用いた基板処理装置 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013168861A Active JP5724091B2 (ja) | 2007-10-10 | 2013-08-15 | ゲートバルブ及びそれを用いた基板処理装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP2009109006A (ja) |
KR (1) | KR20100122884A (ja) |
CN (1) | CN101408249B (ja) |
TW (1) | TWI439622B (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011157989A (ja) * | 2010-01-29 | 2011-08-18 | Tokyo Electron Ltd | ゲートバルブ及びそれを用いた基板処理装置 |
KR101125828B1 (ko) | 2010-08-02 | 2012-04-02 | 주식회사 밀레니엄투자 | 기판처리시스템의 게이트장치 |
CN103451616A (zh) * | 2013-09-16 | 2013-12-18 | 南方科技大学 | 一种真空镀膜系统及其真空闸门装置 |
KR101363527B1 (ko) * | 2012-05-31 | 2014-02-14 | (주)에스더블유피 | 진공 게이트 밸브 |
WO2015091730A1 (de) * | 2013-12-19 | 2015-06-25 | Robert Bosch Gmbh | Ventil mit einem verbindungselement |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011054928A (ja) * | 2009-08-04 | 2011-03-17 | Tokyo Electron Ltd | ゲートバルブ及びそれを用いた基板処理システム |
CN102168763B (zh) * | 2011-05-18 | 2012-11-14 | 汨罗市金成管道阀门工程有限公司 | 凸顶式单闸阀 |
KR101293590B1 (ko) * | 2011-12-16 | 2013-08-13 | 주식회사 뉴파워 프라즈마 | 양방향 게이트 밸브 및 이를 구비한 기판 처리 시스템 |
KR101501362B1 (ko) * | 2012-08-09 | 2015-03-10 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판처리장치 및 기판처리방법 |
KR101534783B1 (ko) * | 2013-08-20 | 2015-07-08 | 서울대학교산학협력단 | 양액필름 재배상 |
JP6209043B2 (ja) * | 2013-09-30 | 2017-10-04 | 東京エレクトロン株式会社 | ゲートバルブおよび基板処理装置 |
TWM528296U (zh) * | 2016-05-02 | 2016-09-11 | Chung King Entpr Co Ltd | 閂鎖機構及具有該閂鎖機構的晶圓盒 |
JP6902409B2 (ja) | 2017-06-23 | 2021-07-14 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
CN107858666A (zh) * | 2017-12-13 | 2018-03-30 | 北京创昱科技有限公司 | 一种真空镀膜用集成腔室 |
KR101920414B1 (ko) * | 2018-07-12 | 2018-11-20 | 한국진공주식회사 | 진공챔버의 게이트 밸브 |
EP4283277A1 (en) * | 2022-05-24 | 2023-11-29 | Leica Mikrosysteme GmbH | Sample holder, loading device, and method for inserting a sample into a sample holder |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5780767U (ja) * | 1980-11-06 | 1982-05-19 | ||
JP2002206650A (ja) * | 2001-01-10 | 2002-07-26 | Anelva Corp | ゲートバルブ |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4779649A (en) * | 1987-01-30 | 1988-10-25 | Huntington Mechanical Laboratories, Inc. | Gate valve with camming wedge, pressure equalizer, and replaceable bleeder valve |
-
2008
- 2008-09-08 JP JP2008229367A patent/JP2009109006A/ja active Pending
- 2008-10-09 TW TW097138992A patent/TWI439622B/zh not_active IP Right Cessation
- 2008-10-10 CN CN2008101673041A patent/CN101408249B/zh not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-09-30 KR KR1020100094984A patent/KR20100122884A/ko not_active Application Discontinuation
-
2013
- 2013-08-15 JP JP2013168861A patent/JP5724091B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5780767U (ja) * | 1980-11-06 | 1982-05-19 | ||
JP2002206650A (ja) * | 2001-01-10 | 2002-07-26 | Anelva Corp | ゲートバルブ |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011157989A (ja) * | 2010-01-29 | 2011-08-18 | Tokyo Electron Ltd | ゲートバルブ及びそれを用いた基板処理装置 |
KR101257561B1 (ko) * | 2010-01-29 | 2013-04-23 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 게이트 밸브 및 이것을 이용한 기판 처리 장치 |
KR101125828B1 (ko) | 2010-08-02 | 2012-04-02 | 주식회사 밀레니엄투자 | 기판처리시스템의 게이트장치 |
KR101363527B1 (ko) * | 2012-05-31 | 2014-02-14 | (주)에스더블유피 | 진공 게이트 밸브 |
CN103451616A (zh) * | 2013-09-16 | 2013-12-18 | 南方科技大学 | 一种真空镀膜系统及其真空闸门装置 |
WO2015091730A1 (de) * | 2013-12-19 | 2015-06-25 | Robert Bosch Gmbh | Ventil mit einem verbindungselement |
CN105814350A (zh) * | 2013-12-19 | 2016-07-27 | 罗伯特·博世有限公司 | 具有连接元件的阀 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101408249A (zh) | 2009-04-15 |
TW200928160A (en) | 2009-07-01 |
KR20100122884A (ko) | 2010-11-23 |
CN101408249B (zh) | 2011-01-05 |
TWI439622B (zh) | 2014-06-01 |
JP5724091B2 (ja) | 2015-05-27 |
JP2014016035A (ja) | 2014-01-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5724091B2 (ja) | ゲートバルブ及びそれを用いた基板処理装置 | |
KR100672100B1 (ko) | 차단밸브 | |
JP5963091B2 (ja) | 無摺動型ゲートバルブ | |
JP2013011289A (ja) | ゲートバルブ及びそれを用いた基板処理システム | |
US20110033266A1 (en) | Gate valve and substrate processing system using same | |
US20150345660A1 (en) | Methods and apparatus to reduce shock in a slit valve door | |
KR101069544B1 (ko) | 역압 대응 게이트 밸브 | |
JP5059583B2 (ja) | 真空装置、真空処理システムおよび真空室の圧力制御方法 | |
TWI421969B (zh) | A substrate alignment device and a substrate storage unit | |
CN101752220B (zh) | 负载锁定装置和真空处理系统 | |
US6799394B2 (en) | Apparatus for sealing a vacuum chamber | |
JP5568118B2 (ja) | 傾斜駆動を用いるゲートバルブ | |
JP5389684B2 (ja) | ゲートバルブ及びそれを用いた基板処理装置 | |
WO2012108439A1 (ja) | 基板中継装置,基板中継方法,基板処理装置 | |
JP2005076845A (ja) | ゲートバルブ | |
KR101357104B1 (ko) | 챔버용 게이트밸브 구동장치 | |
KR101071244B1 (ko) | 풀-푸쉬 어세이 | |
JP2005240883A (ja) | 真空用ゲート弁 | |
KR102146911B1 (ko) | 대면적 게이트 밸브 | |
KR20090088731A (ko) | 리프트 핀 높이 조정장치 및 이를 가지는 평판표시소자제조장비 | |
JP2018507366A (ja) | 真空バルブ | |
TW201430252A (zh) | 閘閥及基板處理系統 | |
KR20110127987A (ko) | 게이트 밸브 | |
KR20060072920A (ko) | 평판표시소자 제조장치 | |
KR20120008657A (ko) | 진공챔버용 패널 이송장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110812 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120817 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120830 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121029 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130327 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130521 |