KR101363527B1 - 진공 게이트 밸브 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 진공 게이트 밸브에 관한 것으로서, 진공 게이트 밸브의 전, 후면에 각각 형성된 게이트를 한 쌍의 게이트플레이트로 동시에 개폐하여 상기 진공 게이트 밸브의 진공상태를 긴밀하게 유지하도록 한 것이다.
이를 위해, 본 발명의 진공 게이트 밸브는, 제1,2게이트가 형성된 밸브몸체; 제1,2게이트를 개폐하도록 왕복이동하는 제1,2게이트플레이트와, 제1,2게이트플레이트 사이에 설치되는 베이스 및, 전후이동장치부에 의해 좌, 우방향으로 각각 왕복이동하는 한 쌍의 지지플레이트와, 한 쌍의 지지플레이트와 함께 이동하면서 제1,2게이트플레이트를 전, 후방향으로 이동시키는 복수 개의 링크부재가 구비된 밸브플레이트 어셈블리; 상기 밸브몸체의 하부에 구비되어 밸브플레이트 어셈블리를 상하방향으로 왕복이동시키도록 이동실린더와, 실린더로드가 구비된 상하이동장치부; 상기 밸브몸체의 하부에 결합되는 지지부;가 구비되되, 상기의 전후이동장치부는, 높이가 서로 다른 제1상면과 제2상면을 갖는 복수 개의 가이드부와, 각 지지플레이트에 회전가능하게 결합되어 각 가이드부의 상면과 접촉되는 복수 개의 롤러와, 밸브몸체에 결합되는 구동실린더와, 구동실린더의 축에 결합되는 암나사산을 갖는 암나사부재와, 각 지지플레이트의 외측면에 돌출 형성되어 나사산을 갖는 축부가 구비된 것이다.

Description

진공 게이트 밸브{vacuum gate valve}
본 발명은 반도체 및 LCD 제조공정에서 진공 상태를 유지하는 챔버의 통로를 개폐하는 진공 게이트 밸브에 관한 것으로서, 좀 더 구체적으로는 진공 게이트 밸브의 전, 후면에 각각 형성된 게이트를 한 쌍의 게이트플레이트로 동시에 개폐하여 상기 진공 게이트 밸브의 진공상태를 긴밀하게 유지하도록 하는 진공 게이트 밸브에 관한 것이다.
일반적으로, 진공 게이트 밸브는 반도체 및 LCD 제조공정에 사용되는 진공 챔버의 내부를 진공상태로 유지하도록 상기 챔버의 통로 측에 설치되어 상기의 통로를 개폐하는 장치이다.
상기 종래의 진공 게이트 밸브(1)는 도 1에서와 같이, 양측에 제1,2게이트(2a,2b)를 갖는 내부가 빈 박스 형태의 밸브몸체(2)가 설치되어 있고, 상기 밸브몸체(2)의 내부에는 제2게이트(2b)를 개폐하는 게이트플레이트(3)가 설치되어 있으며, 상기 밸브몸체(2)의 하부에는 상기 게이트플레이트(3)를 상하방향으로 왕복이동시키도록 하는 액튜에이터(5)와 샤프트(4)가 구비되어 있다.
상기의 진공 게이트 밸브(1)는 엑튜에이터(5)의 작동에 따라 샤프트(4)가 하방 측으로 이동하게 되면 게이트플레이트(3)도 하방 측으로 이동하여 제2게이트(2b)는 개방되고, 상기 엑튜에이터(5)의 작동에 따라 샤프트(4)가 상방 측으로 이동하게 되면 상기 게이트플레이트(3)도 제2게이트(2b) 측인 상방 측으로 이동하여 상기의 제2게이트(2b)를 막아 폐쇄한다.
그러나, 이러한 진공 게이트 밸브의 게이트플레이트는 제1,2게이트 중 어느 하나 즉, 제2게이트에 대해서만 개폐함에 따라 상기 진공 게이트 밸브의 진공상태를 긴밀하게 유지하지 못하는 문제가 있었다. 또한, 게이트 측의 밸브몸체에 접촉되어 게이트플레이트와 게이트 사이의 기밀을 유지하도록 게이트플레이트의 면상에 결합되는 실링은 게이트플레이트가 상하방향으로 이동하는 과정에서 밸브몸체와의 접촉에 의해 돌아가거나 압력에 의해 터질 수 있음에 따라 상기 진공 게이트 밸브의 진공상태를 원활하게 유지하는 못하는 문제도 있었다.
본 발명은 상기한 바와 같은 종래 기술에서의 문제점 해결하기 위하여 제안된 것으로서, 진공 게이트 밸브에서 한 쌍으로 이루어진 게이트플레이트를 상하로 왕복이동시키고, 상기 한 쌍의 게이트플레이트에 복수 개의 가이드부를 구비함과 함께 상기 각 게이트플레이트 사이에는 좌우방향으로 각각 왕복이동하면서 상기 각 가이드부에 접촉된 상태로 회전하는 복수 개의 롤러를 갖는 한 쌍의 지지플레이트를 구비하고, 상기 한 쌍의 지지플레이트를 좌우방향으로 왕복이동시키도록 구동실린더와 나사산을 갖는 축부 및 암나사부재가 구비된 전후이동장치부를 구성함으로써, 상기 한 쌍의 지지플레이트가 전후이동장치부에 의해 좌우방향을 각각 이동할 때 상기 각 롤러가 각 가이드부의 상면을 따라 이동하면서 상기 각 게이트플레이트를 각각 전, 후방향으로 동시에 이동시킴에 따라 상기 각 게이트플레이트는 상기 진공 게이트 밸브의 전, 후면에 형성된 게이트를 동시에 개폐할 뿐만 아니라 상기 진공 게이트 밸브의 진공상태를 긴밀하게 유지하도록 하는데 그 목적이 있다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 제1,2게이트가 형성된 밸브몸체와, 상기 밸브몸체 내에 설치되어 상기 제1,2게이트를 개폐하는 게이트플레이트가 구비된 진공 게이트 밸브에 있어서, 상기 밸브몸체의 각 게이트를 각각 개폐하도록 전, 후방향으로 각각 왕복이동가능하게 설치되는 제1,2게이트플레이트와, 상기 제1,2게이트플레이트 사이의 하부에 설치되는 베이스와, 상기 베이스에 결합됨과 함께 상기 제1,2게이트플레이트 사이에 설치되어 전후이동장치부에 의해 좌, 우방향으로 각각 왕복이동하는 한 쌍의 지지플레이트와, 상기 좌, 우방향으로 이동하는 한 쌍의 지지플레이트와 함께 이동하면서 제1,2게이트플레이트를 전, 후방향으로 이동시키는 복수 개의 링크부재가 구비된 밸브플레이트 어셈블리; 상기 밸브몸체의 하부에 구비되어 상기 밸브플레이트 어셈블리를 상하방향으로 왕복이동시키도록 이동실린더와, 상기 이동실린더에 축 결합됨과 함께 상기 밸브플레이트 어셈블리의 베이스에 결합되어 상하방향으로 왕복이동하는 실린더로드가 구비된 상하이동장치부; 상기 밸브몸체의 하부에 결합되어 상기 진공 게이트 밸브를 지면으로부터 지지 고정하는 지지부;가 구비되되, 상기 밸브플레이트 어셈블리의 전후이동장치부는, 상기 제1,2게이트플레이트 후면에 결합되어 상면에는 높이가 서로 다른 제1상면과 제2상면을 갖는 복수 개의 가이드부와, 상기 각 지지플레이트에 회전가능하게 결합되어 상기 좌우방향으로 각각 이동하는 지지플레이트에 의해 제1,2게이트플레이트를 전, 후방방향으로 이동시키도록 상기 각 가이드부의 상면과 접촉되는 복수 개의 롤러와, 상기 각 지지플레이트의 측방인 밸브몸체에 결합되는 구동실린더와, 상기 구동실린더의 축에 결합되어 내측에 암나사산을 갖는 암나사부재와, 상기 각 지지플레이트의 외측면에 돌출 형성되어 암나사부재와 나사 체결되도록 외주면에 나사산을 갖는 축부가 구비됨을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브가 제공된다.
상기에서 설명한 바와 같이 이루어진 본 발명에 따르면, 제1,2게이트가 형성된 밸브몸체; 제1,2게이트플레이트와, 한 쌍의 지지플레이트와, 전후이동장치부 및, 링크부재가 구비된 밸브플레이트 어셈블리; 밸브플레이트 어셈블리를 상하로 이동시키는 상하이동장치부로 구성된 진공 게이트 플레이트를 구비함으로써, 상기 상하이동장치부에 의해 밸브몸체 내에서 밸브플레이트 어셈블리가 상하방향으로 왕복이동됨은 물론 상기 전후이동장치부에 의해 밸브플레이트 어셈블리의 각 지지플레이트가 좌우방향으로 이동하면서 상기 제1,2게이트플레이트가 제1,2게이트를 동시에 용이하게 각각 개폐하도록 하는 효과가 있다.
또한, 제1,2게이트플레이트가 상하방향으로 이동하는 과정에서 상기 제1,2게이트플레이트의 면상에 결합된 실링이 밸브몸체의 내면에 접촉되지 않은 상태에서 상하방향으로 이동함에 따라 상기 실링의 손상이나 파손을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 상기 실링에 의해 밸브몸체의 내측면과 상기 제1,2게이트플레이트가 밀착됨에 따라 상기 진공게이트 밸브의 진공상태를 긴밀하게 유지하는 효과도 있다.
도 1은 일반적인 진공 게이트 밸브를 나타낸 도면.
도 2는 본 발명 진공 게이트 밸브를 나타낸 사시도.
도 3은 본 발명 진공 게이트 밸브를 정면에서 나타낸 정면도.
도 4는 도 3의 I-I선 단면도.
도 5는 본 발명 진공 게이트 밸브의 밸브플레이트 어셈블리를 나타낸 사시도.
도 6은 본 발명 진공 게이트 밸브의 밸브플레이트 어셈블리를 평면에서 나타낸 평면도.
도 7은 도 6을 측면에서 단면한 상태를 나타낸 단면도.
도 8은 본 발명 진공 게이트 밸브의 한 쌍의 게이트플레이트를 동시에 전후방향으로 각각 이동시키도록 가이드부를 포함한 지지플레이트의 구조를 나타낸 구조도.
도 9는 도 8을 정면에서 본 상태를 나타낸 정면도.
도 10은 도 8을 평면에서 본 상태를 나타낸 평면도.
도 11은 본 발명 진공 게이트 밸브의 한 쌍의 게이트플레이트를 동시에 전후방향으로 각각 이동시키는 이동부재를 나타낸 사시도.
도 12는 본 발명 진공 게이트 밸브의 이동부재가 작동되는 상태를 평면에서 나타낸 작동상태도.
이하, 본 발명에 따른 진공 게이트 밸브는 첨부된 도 2 내지 도 12를 참조하여 보다 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
본 발명은, 반도체 및 LCD 제조공정에 사용되는 진공 챔버의 내부를 진공상태로 유지하도록 상기 챔버의 통로 측에 설치되어 상기의 통로를 개폐하도록 하는 진공 게이트 밸브(1)가 구비되어 있다.
상기의 진공 게이트 밸브(1)는 도 2와 도 3에서와 같이, 밸브몸체(10)와, 밸브플레이트 어셈블리(20) 및, 상하이동장치부(30)와, 지지부(40)로 크게 구성되어 있다.
상기의 밸브몸체(10)는 도 2 내지 도 4에서와 같이, 상기 밸브몸체(10)의 양측부 즉, 도면상 밸브몸체(10)의 전, 후면에는 제1,2게이트(11,12)가 각각 형성되어 있다.
상기의 밸브플레이트 어셈블리(20)는 도 5 내지 도 10에서와 같이, 상기 밸브몸체(10)의 각 게이트(11,12)를 각각 개폐하도록 전, 후방향으로 각각 왕복이동가능한 제1,2게이트플레이트(210,220)가 각각 설치되어 있다.
상기 제1,2게이트플레이트(210,220)의 일면 외측면에는 도 4와 도 7에서와 같이 상기 진공 게이트 밸브(1)의 진공상태를 유지하도록 제1,2게이트(11,12)를 개폐하는 과정에서 상기 밸브몸체(10)의 내측면에 접촉되는 하는 실링(212,222)이 각각 결합되어 있다.
그리고, 상기 제1,2게이트플레이트(210,220)의 타면에는 도 5와 도 7에서와 같이 후술할 복수 개의 가이드부(230)와 결합되는 지지프레임(211,221)이 결합되어 있는데, 상기 지지프레임(211,221)은 상기 진공 게이트 밸브(1)의 사용목적이나 효과 및 제작여건, 구매자의 요구조건에 따라 구비하거나 구비하지 않을 수 있다.
상기 제1,2게이트플레이트(210,220) 사이의 하부에는 상기 제1,2게이트플레이트(210,220)를 받치는 베이스(250)가 설치되어 있고, 상기 제1,2게이트플레이트(210,220) 사이에는 도 8 내지 도 10에서와 같이 후술할 전후이동장치부(260)에 의해 좌, 우방향으로 각각 왕복이동하는 한 쌍의 지지플레이트(240)가 설치되어 있다.
상기의 전후이동장치부(260)는 상기 한 쌍의 지지플레이트(240)에 각각 구비되어 있다.
상기 한 쌍의 지지플레이트(240)의 각 면 즉, 서로 마주보는 면은 편평하게 형성하거나 또는 도 8과 도 9에서와 같이 서로 맞물리는 다단 구조를 갖는 형태로 형성할 수 있으며, 상기 각 지지플레이트(240)의 서로 마주보는 면 사이에는 상기 각 지지플레이트(240)가 좌우방향으로 이동할 때 압축 및 인장되는 복수 개의 탄성부재(241)가 결합되어 있다.
상기 전후이동장치부(260)는 도 5 내지 도 10에서와 같이, 상기 제1,2게이트플레이트(210,220) 후면에는 상면의 높이가 서로 다른 제1상면(231)과 제2상면(232)을 갖는 복수 개의 가이드부(230)가 결합되어 있고, 상기 가이드부(230)의 제1상면(231) 보다 제2상면(232)의 높이가 높게 형성되어 있다.
상기 각 지지플레이트(240)에는 상기 좌우방향으로 각각 이동하는 지지플레이트(240)에 의해 상기 제1,2게이트플레이트(210,220)를 전, 후방방향으로 이동시키면서 제1,2게이트(11,12)를 동시에 개폐하도록 상기 각 가이드부(230)의 상면과 접촉되는 복수 개의 롤러(265)가 회전가능하게 결합되어 있다.
상기 각 지지플레이트(240)의 측방 즉, 상기 밸브몸체(10)의 양측방에는 외부에서 인가되는 전원에 의해 구동하는 구동실린더(262)가 각각 결합되어 있고, 상기 구동실린더(262)의 실린더축(263)에는 내측에 암나사산을 갖는 암나사부재(264)가 결합되어 있으며, 상기 각 지지플레이트(240)의 외측면에는 암나사부재(264)와 나사 체결되도록 외주면에 나사산을 갖는 축부(261)가 각각 돌출 형성되어 있다.
즉, 구동실린더(262)의 작동에 따라 회전하는 실린더축(263)과 함께 회전하는 암나사부재(264)에 나사 체결된 축부(261)가 회전하면서 각 지지플레이트(240)를 전, 후방향으로 왕복이동시킴과 동시에 상기 각 롤러(265)가 각 가이드부(230)의 제1상면(231)에서 제2상면(232) 또는 제2상면(232)에서 제1상면(231)로 이동 즉, 상기 롤러(265)가 위치하는 면 즉, 제1상면(231) 또는 제2상면(232) 중 어느 면에 위치하느냐에 따라 상기 제1,2게이트플레이트(210,220)를 제1,2게이트(11,12) 측으로 밀거나 당겨 상기 제1,2게이트(11,12)를 개폐하게 된다.
상기 좌, 우방향으로 이동하는 한 쌍의 지지플레이트(240)와 함께 이동하면서 상기 제1,2게이트플레이트(210,220)를 전, 후방향으로 이동시키는 복수 개의 링크부재(270)가 설치되어 있다.
상기 링크부재(270)는 도 8과 도 9 및 도 11, 도 12에서와 같이, 상기 제1,2게이트플레이트(210,220)에는 복수 개의 제1,2고정블록(271,272)이 각각 결합되어 있고, 상기 제1,2고정블록(271,272)에는 제1링크(273)가 회동가능하게 각각 결합되어 있으며, 상기 제1,2고정블록(271,272) 측인 상기 각 제1링크(273)의 일단에는 상기 좌, 우방향으로 각각 이동하는 지지플레이트(240)와 함께 이동하면서 상기 제1,2게이트플레이트(210,220)를 당기거나 밀어내도록 상기 각 제1링크(271,272)를 접었다 펴지게 하는 제2링크(274)가 결합되어 있고, 상기 제2링크(274)와 상기 지지플레이트(240)에는 상기 지지플레이트(240)에 제2링크(274)를 지지 고정하는 고정축(275)의 양단이 각각 결합되어 있다.
상기의 상하이동장치부(30)는 도 2와 도 3에서와 같이, 상기 밸브플레이트 어셈블리(20)를 상, 하방향으로 왕복이동시키도록 상기 밸브몸체(10)의 하부에 구비되어 있고, 상기 상하이동장치부(30)는 하나 또는 복수 개로 구비할 수 있다.
상기의 상하이동장치부(30)는 도 4에서와 같이 상기 밸브몸체(10)의 하방 측에 외부에서 인가되는 전원에 의해 구동력이 발생하는 이동실린더(31)가 설치되어 있고, 상기 이동실린더(31)에는 상기 밸브플레이트 어셈블리(20)의 베이스(250) 하부에 결합되어 상기 이동실린더(31)의 작동에 따라 상하방향으로 왕복이동하는 실린더로드(32)가 축 결합되어 있다.
상기 밸브몸체(10)의 하부에는 상기 진공 게이트 밸브(1)를 지면으로부터 지지 고정하는 지지부(40)가 결합되어 있다.
이와 같이 구성된 본 발명은, 진공 챔버의 내부를 진공상태로 유지하도록 상기 챔버의 통로를 개폐하는 진공 게이트 밸브(1)로 전원이 인가되면 상기 진공 게이트 밸브(1)의 밸브몸체(10) 내에 구비되어 하방 측에 위치한 밸브플레이트 어셈블리(20)는 상하이동장치부(30)에 의해 밸브몸체(10) 내의 상방 측으로 이동한다.
즉, 상하이동장치부(30)의 이동실린더(31)가 작동되면 상기 이동실린더(31)로부터 실린더로드(32)가 탈거되면서 상기 밸브몸체(10)의 제1,2게이트(11,12) 위치까지 상기 밸브플레이트 어셈블리(20)를 상방 측으로 밀어 올린다.
상기 밸브플레이트 어셈블리(20)가 제1,2게이트(11,12)에 위치하게 되면 상기 밸브플레이트 어셈블리(20)의 이동을 정지시킨 다음, 상기 밸브플레이트 어셈블리(20)의 구성 중 하나인 전후이동장치부(260)를 작동 즉, 구동실린더(262)를 구동시키면 상기 구동실린더(262)에서 발생하는 회전력에 의해 실린더 축(263)이 회전됨과 동시에 암나사부재(264)도 회전된다.
상기 암나사부재(264)에는 한 쌍의 지지플레이트(240) 외측에 돌출 형성되어 외주면에 나사산을 갖는 축부(261)가 나사 체결되어 있음에 따라 상기 암나사부재(264)의 회전방향에 따라 축부(261)는 좌, 우측으로 왕복하게 되며, 그에 따라 상기 한 쌍의 지지플레이트(240)도 좌, 우방향으로 왕복이동한다.
상기 좌, 우방향으로 왕복이동하는 한 쌍의 지지플레이트(240)에 결합된 각 롤러(265)는 상기 제1,2게이트플레이트(210,220)에 결합된 각 가이드부(230)의 상면에 접촉된 상태로 회전한다.
상기 각 가이드부(230)의 상면 중 제1상면(231)에 롤러(265)가 위치하게 되면, 링크부재(270)의 제2링크(274)는 각 제1링크(273)를 잡아당겨 접혀지도록 함에 따라 상기 각 제1링크(273)에 결합된 제1,2고정블록(271,272)과 제1,2게이트플레이트(210,220)는 가까워지도록 오므러지므로 상기 제1,2게이트플레이트(210,220)는 제1,2게이트(11,12)를 개방한다.
상기 각 가이드부(230)의 상면 중 제2상면(1232)에 롤러(265)가 위치하게 되면, 링크부재(270)의 제2링크(273)는 제1링크(273)를 밀어 펴지도록 함에 따라 상기 각 제1링크(273)에 각각 결합된 제1,2고정블록(271,272)과 제1,2게이트플레이트(210,220)는 멀어지도록 벌어지므로 상기 제1,2게이트플레이트(210,220)는 실링(212,222)에 의해 밸브몸체(10)의 내측면에 밀착된 상태로 제1,2게이트(11,12)를 폐쇄한다.
상술한 바와 같이, 상기 진공 게이트 밸브(1)의 밸브몸체(10) 전, 후면에 형성된 제1,2게이트(11,12)에 밸브플레이트 어셈블리(20)가 위치된 상태에서 상기 전후이동장치부(260)의 구동실린더(262)와 암나사부재(264)의 회전에 따라 좌, 우방향으로 이동하는 축부(261)에 의하여 한 쌍의 지지플레이트(240)가 좌, 우방향으로 각각 이동함과 동시에 상기의 각 롤러(265)가 상기 각 가이드부(230)의 상면을 따라 이동하면서 상기 각 가이드부(230)의 제1,2상면(231,232) 중 어느 면에 위치하느냐에 따라 상기 제1,2게이트플레이트(210,220)가 전, 후방향으로 이동하면서 제1,2게이트(11,12)를 동시에 개방 및 폐쇄한다.
이와 같이, 본 발명에 따른 진공 게이트 밸브는 예시된 도면을 참조하여 설명하였으나, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 의해 본 발명은 한정되지 않으며 그 발명의 기술범위 내에서 당업자에 의해 다양한 변형이 이루어질 수 있으므로 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안 되는 것이다.
1: 진공 게이트 밸브 10: 밸브몸체
11,12: 제1,2게이트 20: 밸브플레이트 어셈블리
30: 상하이동장치부 31: 이동실린더
32: 실린더로드 40: 지지부
210,220: 제1,2게이트플레이트 211,221: 지지프레임
212,222: 실링 230: 가이드부
231,232: 제1,2상면 240: 지지플레이트
241: 탄성부재 250: 베이스
260: 전후이동장치부 261: 축부
262: 구동실린더 263: 실린더 축
264: 암나사부재 265: 롤러
270: 링크부재 271,272: 제1,2고정블록
273,274: 제1,2링크 275: 고정축

Claims (4)

  1. 제1,2게이트가 형성된 밸브몸체와, 상기 밸브몸체 내에 설치되어 상기 제1,2게이트를 개폐하는 게이트플레이트가 구비된 진공 게이트 밸브에 있어서,
    상기 밸브몸체의 각 게이트를 각각 개폐하도록 전, 후방향으로 각각 왕복이동가능하게 설치되는 제1,2게이트플레이트와, 상기 제1,2게이트플레이트 사이의 하부에 설치되는 베이스와, 상기 베이스에 결합됨과 함께 상기 제1,2게이트플레이트 사이에 설치되어 전후이동장치부에 의해 좌, 우방향으로 각각 왕복이동하는 한 쌍의 지지플레이트와, 상기 좌, 우방향으로 이동하는 한 쌍의 지지플레이트와 함께 이동하면서 제1,2게이트플레이트를 전, 후방향으로 이동시키는 복수 개의 링크부재가 구비된 밸브플레이트 어셈블리;
    상기 밸브몸체의 하부에 구비되어 상기 밸브플레이트 어셈블리를 상하방향으로 왕복이동시키도록 이동실린더와, 상기 이동실린더에 축 결합됨과 함께 상기 밸브플레이트 어셈블리의 베이스에 결합되어 상하방향으로 왕복이동하는 실린더로드가 구비된 상하이동장치부;
    상기 밸브몸체의 하부에 결합되어 상기 진공 게이트 밸브를 지면으로부터 지지 고정하는 지지부;가 구비되되,
    상기의 전후이동장치부는, 상기 제1,2게이트플레이트 후면에 결합되어 상면에는 높이가 서로 다른 제1상면과 제2상면을 갖는 복수 개의 가이드부와, 상기 각 지지플레이트에 회전가능하게 결합되어 상기 좌우방향으로 각각 이동하는 지지플레이트에 의해 제1,2게이트플레이트를 전, 후방방향으로 이동시키도록 상기 각 가이드부의 상면과 접촉되는 복수 개의 롤러와, 상기 각 지지플레이트의 측방인 밸브몸체에 결합되는 구동실린더와, 상기 구동실린더의 축에 결합되어 내측에 암나사산을 갖는 암나사부재와, 상기 각 지지플레이트의 외측면에 돌출 형성되어 암나사부재와 나사 체결되도록 외주면에 나사산을 갖는 축부로 구비되고,
    상기 한 쌍의 지지플레이트에서 서로 마주보는 면은 편평하게 형성하거나 또는 서로 맞물리는 구조로 다단 형태로 형성하고, 상기 각 지지플레이트의 서로 마주보는 면 사이에는 각 지지플레이트가 좌우방향으로 이동할 때 압축 및 인장되는 탄성부재가 결합됨을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    밸브플레이트 어셈블리의 링크부재는,
    제1,2게이트플레이트에 각각 결합되는 제1,2고정블록과,
    상기 제1,2고정블록에 회동가능하게 각각 결합되는 제1링크와,
    상기 각 제1링크의 일단과 결합되어 좌, 우방향으로 각각 이동하는 지지플레이트와 함께 이동하면서 상기 제1,2게이트플레이트를 당기거나 밀어내도록 상기 각 제1링크를 접었다 펴지게 하는 제2링크와,
    상기 제2링크와 지지플레이트에 양단이 결합되어 상기 지지플레이트에 제2링크를 지지 고정하는 고정축이 구비됨을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브.
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