KR102385144B1 - 반도체 장비용 슬라이딩 도어장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 반도체 제조나 실험을 실시하기 위한 장비의 제조구간 또는 반도체 실험구간을 밀폐/개방시킬 때 단일의 구동수단에 의해 도어가 일정구간 승강된 후, 슬라이딩 이동할 수 있도록 하여 단순화된 장치로 보다 우수한 밀폐효율을 갖는 반도체 장비용 슬라이딩 도어장치에 관한 것이다.
이를 위해 본 발명은, 반도체 장비의 소자나 부품의 제조 또는 실험을 실시하기 위한 작업구간에 도어가 설치되고, 상기 도어가 슬라이딩되어 작업구간을 밀폐/개방시킬 수 있도록 한 반도체 장비용 슬라이딩 도어장치에 있어서, 상기 도어가 슬라이딩되어 이동되는 구간에 걸쳐 도어의 양측에 형성되고, 상기 도어의 양측면과 대향되는 지점에는 도어의 측면에 돌출형성된 가이드핀이 결합되어 도어가 승강된 후 슬라이딩될 수 있도록 하기 위한 가이드홀이 형성된 레일부와; 상기 도어의 양측면에 결합되고, 상기 레일부에 슬라이딩 가능하게 결합되어 도어가 슬라이딩되도록 하며, 상기 도어와 결합되는 측부에 도어가 슬라이딩되기 이전에 상기 도어를 승강시킬 수 있도록 한 승강가이드 부재가 마련된 가이드 구동부와; 상기 가이드 구동부와 결합되어 가이드 구동부를 레일부 상에서 슬라이딩시킴에 의해 도어가 승강된 후 슬라이딩될 수 있도록 하는 구동력을 제공하는 구동기구;를 포함하며, 상기 가이드핀은 도어와 결합되는 축 상에서 레일부 및 가이드 구동부와 결합되는 지점에 롤러가 각각 회전가능하게 장착되어 도어가 슬라이딩될 때 윤활기능을 수행할 수 있도록 구성된다.

Description

반도체 장비용 슬라이딩 도어장치{Sliding door apparatus for semiconductor equipment}
본 발명은 반도체 장비용 슬라이딩 도어장치에 관한 것이다.
상세하게 본 발명은, 반도체 제조나 실험을 실시하기 위한 장비의 제조구간 또는 반도체 실험구간을 밀폐/개방시킬 때 단일의 구동수단에 의해 도어가 일정구간 승강된 후, 슬라이딩 이동할 수 있도록 하여 단순화된 장치로 보다 우수한 밀폐효율을 갖는 반도체 장비용 슬라이딩 도어장치에 관한 것이다.
반도체 장비는 반도체 소자 또는 디스플레이 부품 등을 생산하거나 생산과정에 의해 제조된 소자나 부품을 실험하기 위한 장치를 의미하며, 이와 같은 반도체 장비는 제조나 실험의 정밀도와 단위시간당 많은 생산성을 얻기 위해 자동화 장치로 구현된다. 이때, 소자나 부품의 생산 또는 실험이 실시되는 구간은 청정상태를 유지하기 위해 특정형태의 커버나 도어(이하, 도어로 표기)등으로 밀폐/개방되도록 구성된다.
대한민국 특허출원 제2013-0032627호(링크바를 통해 포트도어가 개폐되는 도어개폐장치, 이하, 선행발명1)에는 다수의 링크와 캠을 이용하여 수평으로 개방부가 형성된 수납포트의 개방부를 도어로 개폐시키는 구성이 제시되고 있다.
또한, 대한민국 특허출원 제2016-0038761호(반도체 제조용 챔버의 도어 장치, 이하, 선행발명2)에는 전방에 개방부가 형성된 챔버에 도어가 슬라이딩되어 개방부를 개폐시킬 수 있도록 한 구성을 제시하고 있다.
상기와 같은 선행발명1, 선행발명2의 구성에서 선행발명1은 수평형태로 형성된 개방부에 대하여 도어가 상, 하로 이동하여 개방부를 밀폐시키는 방식으로 구동되기 때문에 개방부에 도어에 특정의 실링수단을 설치하면 그 밀폐효율을 향상시킬 수 있는 반면, 도어를 들어내고 다시 닫는 구동를 수행하기 위한 구성이 복잡한 문제점이 노출된다.
반면, 선행발명2의 도어를 슬라이딩 방식으로 개폐시는 방식의 경우에는 도어자체를 개폐시키는 슬라이딩 구동의 구성은 복잡하지 않게 구현할 수 있으나, 도어가 슬라이딩되는 구동에 의해 실링되어 결합되는 지점(도어와 개방부의 접촉지점)을 견고하게 밀착시키기 어려워 밀폐효율이 낮은 문제점이 발생된다.
따라서, 도어 개폐구조의 단순성을 위해서는 슬라이딩 방식을 채용하고, 우수한 밀폐효율을 갖기 위해서는 상, 하로 덮는 방식이 채용되어야 할 필요성이 요구된다.
본 발명은 상기 요구에 부응하기 위해 발명한 것이다.
이에 본 발명은, 반도체 제조나 실험을 실시하기 위한 장비의 제조구간 또는 반도체 실험구간을 밀폐/개방시킬 때 단일의 구동수단에 의해 도어가 일정구간 승강된 후, 슬라이딩 이동할 수 있도록 하여 단순화된 장치로 보다 우수한 밀폐효율을 갖는 반도체 장비용 슬라이딩 도어장치를 제공함에 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위해 본 발명은 아래의 구성을 갖는다.
본 발명은, 반도체 장비의 소자나 부품의 제조 또는 실험을 실시하기 위한 작업구간에 도어가 설치되고, 상기 도어가 슬라이딩되어 작업구간을 밀폐/개방시킬 수 있도록 한 반도체 장비용 슬라이딩 도어장치에 있어서, 상기 도어가 슬라이딩되어 이동되는 구간에 걸쳐 도어의 양측에 형성되고, 상기 도어의 양측면과 대향되는 지점에는 도어의 측면에 돌출형성된 가이드핀이 결합되어 도어가 승강된 후 슬라이딩될 수 있도록 하기 위한 가이드홀이 형성된 레일부와; 상기 도어의 양측면에 결합되고, 상기 레일부에 슬라이딩 가능하게 결합되어 도어가 슬라이딩되도록 하며, 상기 도어와 결합되는 측부에 도어가 슬라이딩되기 이전에 상기 도어를 승강시킬 수 있도록 한 승강가이드 부재가 마련된 가이드 구동부와; 상기 가이드 구동부와 결합되어 가이드 구동부를 레일부 상에서 슬라이딩시킴에 의해 도어가 승강된 후 슬라이딩될 수 있도록 하는 구동력을 제공하는 구동기구;를 포함하며, 상기 가이드핀은 도어와 결합되는 축 상에서 레일부 및 가이드 구동부와 결합되는 지점에 롤러가 각각 회전가능하게 장착되어 도어가 슬라이딩될 때 윤활기능을 수행할 수 있도록 구성된다.
여기서, 상기 레일부는, 레일구조체의 상부에 가이드 구동부가 결합되어 슬라이딩되기 위한 가이드 레일이 설치되고, 상기 레일구조체의 도어 측면과 대향되는 지점에 상기 가이드홀이 형성되며, 상기 가이드홀은 도어를 승강시키기 위해 슬라이딩홀에 다수개의 승강홀이 형성된다.
또한, 상기 가이드 구동부는, 레일부의 가이드 레일에 슬라이딩 가능하게 가이드 블록이 결합되고, 상기 가이드 블록의 도어측 단부에는 도어가 승강되기 위한 승강가이드 부재가 결합되며, 상기 승강가이드 부재에는 도어의 측부에 형성된 가이드핀이 상기 가이드홀에 결합될 때 관통되는 승강가이드홀이 형성되어 가이드 구동부가 구동기구에 의해 이동되면, 상기 가이드핀을 가이드홀의 승강홀에서 승강시킨 후 슬라이딩되도록 하여 도어가 승강 및 슬라이딩될 수 있도록 구성된다.
이때, 상기 승강가이드홀은, 가이드홀의 슬라이딩홀 중심선상과 대응되는 선상에 일측 단부가 형성되고, 상기 가이드홀의 승강홀 중심선상과 대응되는 선상에 타측 단부가 형성된 경사슬릿 형태로 형성되며, 선택적으로 상기 승강가이드홀은 경사면이 특정의 곡률로 라운드 형성되어 구성된다.
한편, 상기 가이드홀은 도어가 수직방향으로 승강되어 최대의 밀폐효율을 얻기 위해 승강홀은 슬라이딩홀에 대하여 직교되도록 형성된다.
이상에서와 같이 본 발명은, 소자나 부품의 제조 또는 실험을 실시하기 위한 작업구간에서 도어가 일정구간 승강될 수 있도록 한 구성이 마련되어 우수한 밀폐효율을 얻을 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 일정구간 승강된 도어가 슬라이딩되는 방식으로 개폐되어 그 구성이 단순화될 수 있으며, 특히, 상기 도어의 승강과 슬라이딩 구동이 단일의 구동을 수행하는 구동수단에 의해 실시되어 장비 제작시 제작비용을 절감할 수 있는 효과를 얻게 된다.
도 1은 본 발명에 의한 슬라이딩 도어장치의 사시도.
도 2는 본 발명에 의한 슬라이딩 도어장치의 주요부분 분해사시도.
도 3은 본 발명에 의한 슬라이딩 도어장치의 주요부분 정면도.
도 4는 본 발명에 의한 슬라이딩 도어장치의 주요부분 측면도.
도 5는 본 발명에 의한 슬라이딩 도어장치의 사용상태 예시도.
상기와 같은 본 발명의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 의한 슬라이딩 도어장치의 사시도, 도 2는 본 발명에 의한 슬라이딩 도어장치의 주요부분 분해사시도, 도 3은 본 발명에 의한 슬라이딩 도어장치의 주요부분 정면도, 도 4는 본 발명에 의한 슬라이딩 도어장치의 주요부분 측면도이다.
도면을 참조하면, 본 발명에 의한 슬라이딩 도어장치는 도어(10), 레일부(20), 가이드 구동부(30), 구동기구(40)로 이루어진다. 본 실시예에서 슬라이딩 도어장치는 반도체 장비의 소자나 부품의 제조 또는 실험을 실시하기 위한 작업구간이 평면으로 배치된 구성을 예시하는 것으로, 상기 작업구간이 수직 또는 경사방향일 경우에도 원 구성이 적용될 수 있는 것임을 밝혀둔다.
상기 도어(10)는 그 단면이 대략 반원형태(전체적으로 반원통형)로 형성된 커버 형태의 구성으로 작업이 진행되는 상태를 확인할 수 있도록 한 투과창(11)의 구성을 갖추어 구성된 것이다.
특히, 상기 도어(10)는 다수의 부재가 결합되어 구성되는 것으로, 양측면에는 상기 레일부(20), 구동부(30)와 결합되어 승강 및 슬라이딩 구동되기 위한 다수개의 가이드핀(12)이 결합되어 구성된다.
이때, 상기 가이드핀(12)은 도어(10)와 결합되는 축(12a) 상에서 후술될 레일부(20)의 레일구조체(21)에 형성된 가이드홀(23) 및 후술될 가이드 구동부(30)의 승강가이드 부재(32)에 형성된 승강가이드홀(33)과 결합되는 지점에 롤러(12b)가 각각 회전가능하게 장착되어 도어(10)가 슬라이딩될 때 윤활기능을 수행할 수 있도록 구성된다.
여기서, 상기 가이드핀(12)의 롤러(12b)는 주로 베어링으로 적용되어질 수 있으며, 축(12a) 상에서 원활하게 회전될 수 있다면 별도의 롤러를 적용하여 구성될 수도 있다.
상기 레일부(20)는 도어(10)가 슬라이딩되어 이동되는 구간에 걸쳐 도어(10)의 양측에 배치된다. 구체적으로 상기 레일부(20)는 레일구조체(21) 상부에 가이드 레일(22)이 설치되어 구성된다.
여기서, 상기 레일구조체(21)에는 도어(10) 측면과 대향되는 지점에 가이드홀(23)이 형성되는데, 상기 가이드홀(23)은 도어(10)의 측면에 돌출형성되도록 결합된 가이드핀(12)이 결합되어 도어(10)가 승강된 후 슬라이딩될 수 있도록 하기 위한 구성이다. 특히, 상기 가이드홀(23)은 도어(10)를 승강시키기 위해 슬라이딩홀(24)에 다수개의 승강홀(25)이 형성된다.
즉, 상기 도어(10)는 가이드핀(12)이 가이드홀(23)의 슬라이딩홀(24)에 의해 슬라이딩되고, 승강홀(25)에 의해 승강됨에 의해 승강 및 슬라이딩 구동이 안내되는 것으로, 이때, 상기 승강홀(25)은 도어(10)가 수직방향으로 승강되어 최대의 밀폐효율(작업지점과 도어의 접촉지점에 실링부재가 수직으로 접촉할 때 최대의 밀폐효율 구현)을 얻기 위해 슬라이딩홀(24)에 대하여 직교되도록 형성된다.
상기 가이드 레일(22)은 후술될 가이드 구동부(30)의 가이드블록(31)이 결합되어 슬라이딩되도록 하기 위한 구성으로, 가이드 레일(22)과 가이드블록(31)은 LM가이드 형태의 구성으로 결합되는 것이 바람직하다.
상기 가이드 구동부(30)는 도어(10)의 양측면에 결합되고, 상기 레일부(20)에 슬라이딩 가능하게 결합된다. 보다 구체적으로 상기 가이드 구동부(30)와 도어(10)의 결합은 도어(10)의 가이드핀(12)이 가이드 구동부(30)의 일측에 결합된 승강가이드 부재(32)를 관통함에 의해 구현된다.
이를 위해, 상기 가이드 구동부(30)는 전술된 가이드블록(31)과, 승강가이드 부재(32)로 이루어진다. 이때, 상기 가이드블록(31)과 승강가이드 부재(32)는 도어(10)를 승강시키고 슬라이딩시키기 위한 구성으로, 구체적으로, 상기 승강가이드 부재(32)를 관통한 가이드핀(12)을 레일부(20)의 가이드홀(23)에서 승강시키고 슬라이딩시킴에 의해 도어(10)의 승강 및 슬라이딩 구동이 실시된다.
여기서, 상기 승강가이드 부재(32)에는 도어(10)의 측부에 형성된 가이드핀(12)이 상기 가이드홀(23)에 결합될 때 관통되는 승강가이드홀(33)이 형성되는데, 상기 승강가이드홀(33)은 도 5에서와 같이 가이드 구동부(30)의 가이드블록(31)이 구동기구(40)에 의해 이동되면, 상기 가이드핀(12)을 가이드홀(23)의 승강홀(25)에서 승강시켜 도어(10)가 승강될 수 있도록 하고, 이후, 계속되는 가이드블록(31)의 슬라이딩 구동에 의해 상기 가이드핀(12)을 가이드홀(23)의 슬라이딩홀(24)을 따라 슬라이딩시키도록 구성된 것이다.
이때, 상기 승강가이드홀(33)은 레일부(20)에 형성된 가이드홀(23)의 슬라이딩홀(24) 중심선상과 대응되는 선상에 일측 단부가 형성되고, 상기 가이드홀(23)의 승강홀(25) 중심선상과 대응되는 선상에 타측 단부가 형성된 경사슬릿 형태로 형성된다. 특히, 상기 승강가이드홀(33)은 경사면이 특정의 곡률로 라운드 형성되어 가이드핀(12)이 승강될 때 원활하게 안내되도록 구성될 수도 있다.
특히, 상기 가이드핀(12)을 구성하는 각각의 롤러(12b)는 가이드핀(12)이 승강될 때 가이드홀(23)과 승강가이드홀(33)에서 윤활기능을 수행하여 도어(20)의 승강 및 슬라이드 이동이 더욱 원활하게 수행될 수 있다.
상기 구동기구(40)는 레일부(20) 일측에 설치되고, 그 끝단부가 가이드 구동부(30)의 가이드블록(31)에 결합된 실린더로 구성된다. 이때, 상기 구동기구(40)는 가이드블록(31)을 레일부(20)에서 슬라이딩 시킴에 의해 가이드블록(31)과 결합된 승강가이드 부재(32)가 도어(10)를 승강시킨 후 슬라이딩시키는 구동력을 제공하는 구성이다.
상기 구동기구(40)는 일측의 레일부(20)에 설치될 수도 있지만, 구동의 정확성을 위해 양측의 레일부(20)에 설치한 후 이들 구동기구를 동기화시켜 적용할 수 있으며, 특히, 상기 구동기구(40)는 실린더 외에도 모터와, 모터의 회전구동력을 직선구동력으로 변환시키는 동력변환기구 등을 결합하여서 된 형태의 구성으로 대체될 수도 있다.
10: 도어 20: 레일부
21: 레일구조체 22: 가이드레일
23: 가이드홀 24: 슬라이딩홀
25: 승강홀 30: 가이드 구동부
31: 가이드블록 32: 승강가이드 부재
33: 승강가이드홀 40: 구동기구

Claims (5)

  1. 반도체 장비의 소자나 부품의 제조 또는 실험을 실시하기 위한 작업구간에 도어(10)가 설치되고, 상기 도어(10)가 슬라이딩되어 작업구간을 밀폐/개방시킬 수 있도록 한 반도체 장비용 슬라이딩 도어장치에 있어서,
    상기 도어(10)가 슬라이딩되어 이동되는 구간에 걸쳐 도어(10)의 양측에 형성되고, 상기 도어(10)의 양측면과 대향되는 지점에는 도어(10)의 측면에 돌출형성된 가이드핀(12)이 결합되어 도어(10)가 승강된 후 슬라이딩될 수 있도록 하기 위한 가이드홀(23)이 형성된 레일부(20)와; 상기 도어(10)의 양측면에 결합되고, 상기 레일부(20)에 슬라이딩 가능하게 결합되어 도어(10)가 슬라이딩되도록 하며, 상기 도어(10)와 결합되는 측부에 도어(10)가 슬라이딩되기 이전에 상기 도어(10)를 승강시킬 수 있도록 한 승강가이드 부재(32)가 마련된 가이드 구동부(30)와; 상기 가이드 구동부(30)와 결합되어 가이드 구동부(30)를 레일부(20) 상에서 슬라이딩시킴에 의해 도어(10)가 승강된 후 슬라이딩될 수 있도록 하는 구동력을 제공하는 구동기구(40);를 포함하여 구성되며, 상기 가이드핀(12)은 도어(10)와 결합되는 축(12a) 상에서 레일부(20) 및 가이드 구동부(30)와 결합되는 지점에 롤러(12b)가 각각 회전가능하게 장착되어 도어(20)가 슬라이딩될 때 윤활기능을 수행할 수 있도록 구성되고,
    상기 레일부(20)는 레일구조체(21)의 상부에 가이드 구동부(30)가 결합되어 슬라이딩되기 위한 가이드 레일(22)이 설치되며, 상기 레일구조체(21)의 도어(10) 측면과 대향되는 지점에 상기 가이드홀(23)이 형성되며, 상기 가이드홀(23)은 도어(10)를 승강시키기 위해 슬라이딩홀(24)에 다수개의 승강홀(25)이 형성되고,
    상기 가이드 구동부(30)는, 레일부(20)의 가이드 레일(22)에 슬라이딩 가능하게 가이드 블록(31)이 결합되며, 상기 가이드 블록(31)의 도어(10)측 단부에는 도어(10)가 승강되기 위한 승강가이드 부재(32)가 결합되고, 상기 승강가이드 부재(32)에는 도어(10)의 측부에 형성된 가이드핀(12)이 상기 가이드홀(23)에 결합될 때 관통되는 승강가이드홀(33)이 형성되어 가이드 구동부(30)가 구동기구(40)에 의해 이동되면, 상기 가이드핀(12)을 가이드홀(23)의 승강홀(25)에서 승강시킨 후 슬라이딩되도록 하여 도어(10)가 승강 및 슬라이딩될 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 장비용 슬라이딩 도어장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 승강가이드홀(33)은
    가이드홀(23)의 슬라이딩홀(24) 중심선상과 대응되는 선상에 일측 단부가 형성되고, 상기 가이드홀(23)의 승강홀(25) 중심선상과 대응되는 선상에 타측 단부가 형성된 경사슬릿 형태로 형성되며, 선택적으로 상기 승강가이드홀(33)은 경사면이 특정의 곡률로 라운드 형성되어 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 장비용 슬라이딩 도어장치.
  5. 제 1 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 가이드홀(23)은
    도어(10)가 수직방향으로 승강되어 최대의 밀폐효율을 얻기 위해 승강홀(25)은 슬라이딩홀(24)에 대하여 직교되도록 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 장비용 슬라이딩 도어장치.
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