KR100997131B1 - 챔버의 도어개폐장치 - Google Patents

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KR100997131B1
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함영준
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(주) 예스티
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    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere

Abstract

본 발명은 챔버의 도어개폐장치에 관한 것으로서, 챔버 전면에 위치하여 챔버의 입구를 개방하거나 폐쇄하게 되는 복수의 도어로 마련된 도어부와, 상기 도어부에 포함된 각각의 도어가 좌측 또는 우측으로 이동할 때 궤도로서 마련되는 고정레일부와, 상기 도어부에 포함된 각각의 도어가 적재된 상태에서 챔버의 외측 또는 내측으로 전후 가동되는 가동레일부와, 상기 도어부에 포함된 각각의 도어가 상기 고정레일부 또는 가동레일부를 궤도에 따라 좌측이나 우측으로 슬라이딩이 가능하도록 마련된 슬라이드부와, 상기 슬라이드부에 연결되어 상기 슬라이드부를 좌측 또는 우측으로 이동시키는 동력부재로서 마련된 수평이동실린더부와, 상기 가동레일부에 연결되어 상기 가동레일부를 전진 또는 후진시키는 동력부재로서 마련된 전후이동실린더부가 포함된 것을 특징으로 한다.
이에 의해, 챔버가 개방상태일 때, 챔버의 전면에 위치한 도어가 전후로 겹쳐서 챔버 전면 좌측 또는 우측 한쪽에 모여 정렬함으로써, 챔버의 개방 정도를 높일 수 있고, 도어가 챔버 내에서 차지하는 면적을 줄일 수 있어, 챔버내 공간활용을 극대화시킬 수 있다.
챔버, 도어개폐장치, 도어

Description

챔버의 도어개폐장치{APPARATUS FOR OPENNING AND CLOSING DOOR OF CHAMBER}
본 발명은 챔버의 도어개폐장치에 관한 것으로서, 특히, 좌우로 슬라이딩되는 복수개의 도어가 각 도어별로 마련된 레일을 따라 이동되고, 개방 혹은 폐쇄동작시 도어가 적재된 개별적인 레일이 전후로 가동됨으로써, 도어마다 개별적인 개폐동작이 가능하고, 챔버 개방시 각 도어들이 서로 겹치도록 함으로써 개방상태에서의 도어가 차지하는 공간을 최소화시킬 수 있는 챔버의 도어개폐장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 기판장치는 사진, 식각, 박막형성등 많은 공정을 수행하여 제조되는 것으로, 대부분 밀폐된 공정챔버내에서 이루어지고, 공정챔버내부는 일정한 진공상태를 유지하도록 되어 있다.
따라서 공정챔버내의 안정된 진공상태를 유지하기 위해서는 프론트도어의 개폐동작이 정확하게 이루어져야 하고, 프론트 도어가 닫힌 상태에서는 기밀이 유지되어야 한다.
이것은, 고온 및 저온 등의 극한 상황에서의 반도체 장치 성능 검증을 위한 신뢰성 검사 장치에서에서의 기밀상태 유지도 그와 마찬가지로 중요한 사항이다.
일반적으로 종래의 도어 개폐장치는 여닫이문 형식으로 마련되어 있는 경우가 많았다.
종래의 도어 개폐장치는 하나 또는 둘 이상의 여닫이문 형태로 구성된 도어와 이를 지지하는 회전축을 포함하는 형태가 기본적인 구성이며, 여기에 회전축과 도어의 고정브라켓에 마련된 아암이 추가적으로 포함될 수 있다.
여기서, 상기 도어를 여닫을 경우, 도어의 회전각도는 사용자에 의해 아암이 견인되는 파워에 따라 설정되게 된다.
그러나, 종래의 도어 개폐장치는 무거운 도어를 수동으로 단순 견인하여 개폐시킴에 따라, 도어의 하중을 견딜 수 없을 정도로 사용자의 힘이 가중됨과 동시에, 도어를 닫힘 작동할 경우에도, 사용자가 아암을 눌러주거나 하는 등의 방식으로 폐쇄 작동시킴에 따라 폐쇄 동작이 원활치 않는 상황이 도래하였을 경우에는, 프론트도어가 폐쇄 상태에서의 기밀이 완전하게 이루어지지 않는 등의 단점을 내포하고 있다.
특히, 일측이 힌지로 고정된 도어는 개폐시 챔버의 전방에 도어의 회동반경만큼의 공간이 필요하게 되며, 슬라이딩하는 두개 이상의 도어를 양측방향으로 개방하는 경우에도 챔버의 양측으로 각각 도어의 면적만큼의 공간이 필요하게 되므로 공간활용도가 떨어지는 문제점이 있었다.
본 발명은 상술한 문제를 해결하기 위해 마련된 것으로써, 본 발명의 목적은 챔버가 개방상태일 때, 챔버의 전면에 위치한 도어가 전후로 겹쳐서 챔버 전면 좌측 또는 우측 한쪽에 모여 정렬함으로써, 챔버의 개방 정도를 높일 수 있는 챔버의 도어개폐장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 상기와 같이 도어가 전후로 겹쳐서 정렬함으로써, 도어가 챔버 내에서 차지하는 면적을 줄일 수 있어, 챔버내 공간활용을 극대화시키는데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 각 도어마다 개별적인 개방 또는 폐쇄 동작이 가능하여 사용자의 임의대로 챔버의 개방상태를 제어할 수 있는 챔버의 도어개폐장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 챔버의 도어에 센서가 부착됨으로써, 챔버의 도어가 개방 또는 폐쇄동작시 사람이나 물건이 기동선상에 위치하고 있을 때, 도어와 사람이나 물건의 충돌을 방지하는데 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 챔버의 도어개폐장치는, 챔버 전면에 위치하여 챔버의 입구를 개방하거나 폐쇄하게 되는 복수의 도어로 마련된 도어부와, 챔버의 개방 동작 및 폐쇄 동작시 상기 도어부에 포함된 각각의 도어가 좌측 또는 우측으로 이동할 때 궤도로서 마련되는 고정레일부와, 챔버의 개방 동작 및 폐쇄 동작시 상기 도어부에 포함된 각각의 도어가 적재된 상태에서 챔버의 외측 또는 내측으로 전후 가동되는 가동레일부와, 상기 도어부에 포함된 각각의 도어와 상기 고정레일부 또는 가동레일부 사이에 위치하여, 상기 도어부에 포함된 각각의 도어가 상기 고정레일부 또는 가동레일부를 궤도에 따라 좌측이나 우측으로 슬라이딩이 가능하도록 마련된 슬라이드부와, 상기 슬라이드부에 연결되어 상기 슬라이드부를 좌측 또는 우측으로 이동시키는 동력부재로서 마련된 수평이동실린더부와, 상기 가동레일부에 연결되어 상기 가동레일부를 전진 또는 후진시키는 동력부재로서 마련된 전후이동실린더부가 포함된 것을 특징으로 한다.
그리고, 챔버가 개방 상태로 이행될 때, 상기 가동레일부가 상기 전후이동실린더부에 의해 챔버의 정면을 향해 전진함으로써, 상기 고정레일부와 상기 가동레일부가 열을 맞추게 되고, 이를 통해 일(一)자로 마련된 레일들을 따라 상기 도어부에 포함된 각각의 도어들이 상기 고정레일부의 일측으로 이동하며, 이에 따라 상기 도어부의 도어들이 챔버의 입구 한쪽에 전후로 겹치게 배열되는 것을 특징으로 한다.
또한, 챔버가 폐쇄 상태로 이행될 때, 상기 도어부의 도어들이 일(一)자로 마련된 레일들을 따라 상기 수평이동실린더부에 의해 각 도어마다 할당된 상기 가동레일부까지 이동하게 되고, 상기 가동레일부에 각 도어들이 적재되면 상기 전후이동실린더부가 가동레일부를 챔버의 안쪽을 향해 끌어당김으로써, 상기 도어부에 포함된 각 도어에 의해서 챔버가 완전히 폐쇄되는 것을 특징으로 한다.
한편, 상기 도어부의 도어마다 할당된 상기 고정레일부의 레일들이 서로 다 른 길이로 마련되고, 상기 도어부의 도어마다 할당된 상기 수평이동실린더부에 마련된 일(一)자형 홈의 길이가 서로 다른 길이로 마련될 수 있다.
바람직하게는, 상기 고정레일부와 상기 가동레일부가 각각 상측고정레일 및 하측고정레일와 상측가동레일 및 하측고정레일로 마련되고, 상측고정레일와 상측가동레일는 납작한 바(bar)형태로 마련되며, 하측고정레일와 하측가동레일는 단면이 반시계방향으로 90˚회전한 ㄷ자형으로 마련될 수 있다.
또한, 상기 슬라이드부는 상측슬라이드부와 하측슬라이드부로 마련되고, 상측슬라이드부는 상기 상측고정레일 및 상측가변레일부의 일측을 감싸는 판 형태로 마련되고, 하측슬라이드부는 단면이 ㄴ자형인 것으로 마련될 수 있다.
그리고, 상기 슬라이드부에 상측슬라이드부와 하측슬라이드부가 상기 고정레일부와 가동레일부 상에서 좌측 또는 우측으로 이동시 발생되는 마찰을 감소시킬 수 있는 복수 개의 롤러가 포함될 수 있다.
한편, 상기 수평이동실린더부는 공압식 실린더로 마련될 수 있다.
바람직하게는, 상기 수평이동실린더부는 로드레스(rodless) 실린더로 마련될 수 있다.
그리고, 상기 도어부의 도어 좌측과 우측에 물건이나 사람의 존재 유무를 감지하는 센서가 부착될 수 있다.
그리고, 상기 센서는 상기 도어부의 도어의 좌우에 각각 4개씩 마련될 수 있다.
본 발명에 의해, 챔버가 개방상태일 때, 챔버의 전면에 위치한 도어가 전후로 겹쳐서 챔버 전면 좌측 또는 우측 한쪽에 모여 정렬함으로써, 챔버의 개방 정도를 높일 수 있다.
또한, 상기와 같이 도어가 전후로 겹쳐서 정렬함으로써, 도어가 챔버 내에서 차지하는 면적을 줄일 수 있어, 챔버내 공간활용을 극대화시킬 수 있다.
또한, 각 도어가 개별적으로 개방 및 폐쇄동작이 가능하여 사용자의 임의대로 챔버의 개방상태가 마련될 수 있다.
또한, 챔버의 도어에 센서가 부착됨으로써, 챔버의 도어가 개방 또는 폐쇄동작시 사람이나 물건이 기동선상에 위치하고 있을 때, 도어와 사람이나 물건과의 충돌을 방지할 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 대하여 상세히 설명하기로 한다.
이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어는 사전적인 의미로 한정 해석되어서는 아니되며, 발명자는 자신의 발명을 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절히 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시예 및 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 표현하는 것은 아니므로, 본 출원 시점에 있어 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 존재할 수 있음을 이해하여야 한다.
도 1과 도2는 본 발명에 따른 챔버의 도어개폐장치가 폐쇄상태일 때의 모습을 도시한 전면 사시도와 후면 사시도이다.
그리고, 도 3은 본 발명에 따른 챔버의 도어개폐장치가 폐쇄상태일 때, 상측슬라이드부 상부의 수평이동실린더부를 제외한 나머지 부재들의 모습을 도시한 부분도이다.
또한, 도 4는 본 발명에 따른 챔버의 도어개폐장치가 폐쇄상태일 때, 하측슬라이드부와 하측가동레일의 모습을 도시한 부분도이며, 도 5는 챔버의 도어개폐장치가 폐쇄상태일 때, 상측슬라이드부와 하측가동레일과 수평이동실린더부를 함께 도시한 부분도이다.
또한, 도 6과 도 7은 본 발명에 따른 챔버의 도어개폐장치가 폐쇄상태일 때, 상측슬라이드부와 수평이동실린더부의 홈의 결합관계를 도시한 하측 부분도와 상측 부분도이다.
한편, 도 8 내지 도 11은 본 발명에 따른 챔버의 도어개폐장치가 개방상태일 때의 모습을 도시한 것으로, 각각, 전면 사시도, 후면 사시도, 제1도어와 제2도어가 전후로 겹쳐서 배열된 상태의 전면 상측 부분도, 제1도어와 제2도어가 전후로 겹쳐서 배열된 상태의 후면 상측 부분도이다.
도 1 내지 도 11을 참조하면, 본 발명에 따른 챔버의 도어개폐장치는, 챔버 전면에 위치하여 챔버의 입구를 개방하거나 폐쇄하게 되는 복수의 도어로 마련된 도어부(10)와, 챔버의 개방 동작 및 폐쇄 동작시 상기 도어부(10)에 포함된 각각의 도어가 좌측 또는 우측으로 이동할 때 궤도로서 마련되는 고정레일부(20)와, 챔버 의 개방 동작 및 폐쇄 동작시 상기 도어부(10)에 포함된 각각의 도어가 적재된 상태에서 챔버의 외측 또는 내측으로 전후 가동되는 가동레일부(30)와, 상기 도어부(10)에 포함된 각각의 도어와 상기 고정레일부(20) 또는 가동레일부(30) 사이에 위치하여, 상기 도어부(10)에 포함된 각각의 도어가 상기 고정레일부(20) 또는 가동레일부(30)를 궤도에 따라 좌측이나 우측으로 슬라이딩이 가능하도록 마련된 슬라이드부(40)와, 상기 슬라이드부(40)에 연결되어 상기 슬라이드부(40)를 좌측 또는 우측으로 이동시키는 동력부재로서 마련된 수평이동실린더부(50)와, 상기 가동레일부(30)에 연결되어 상기 가동레일부(30)를 전진 또는 후진시키는 동력부재로서 마련된 전후이동실린더부(60)가 포함된 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 도어부(10)는 실질적으로 챔버의 전면을 개방하거나 폐쇄하게 되는 덮개의 역할을 하는데, 챔버의 개방 정도를 높이기 위해서 복수개로 마련될 수 있으며, 바람직하게는 제1도어(12)와 제2도어(14)로 구성된 2개의 도어로 마련될 수 있다.
그리고, 상기 도어부(10)는 상기 고정레일부(20) 및 가동레일부(30)를 따라 미닫이 문처럼 좌측 또는 우측으로 이동이 가능하다.
여기서, 상기 고정레일부(20)는 상측고정레일(22)과 하측고정레일(24)로 마련되고, 상기 가동레일부(30)는 상측가동레일(32)과 하측고정레일(34)로 마련되며, 상측고정레일(22)과 상측가동레일(32)은 납작한 바(bar)형태로 마련되며, 하측고정레일(24)과 하측가동레일(24)은 단면이 반시계방향으로 90˚회전한 ㄷ자형으로 마련될 수 있다.
즉, 상기 도어부(10)의 도어마다 개별적으로 상기 고정레일부(20) 및 가동레일부(30)가 마련되어있으므로, 각 도어마다 상측고정레일(22), 상측가동레일(32), 하측고정레일(24), 하측가동레일(34)의 4개의 레일이 필요하게 된다.
한편, 상기 도어부(10)가 상기 레일들 위에서 원활하게 이동되기 위해서 상기 도어부(10)와 상기 고정레일부(20)와 가동레일부(30) 사이에 슬라이드부(40)가 마련될 수 있다.
상기 슬라이드부(40)는 상기 도어부(10)에 포함된 도어들의 상측과 하측에 설치될 수 있는데, 상측슬라이드부(42)는 상기 상측고정레일(22) 및 상측가동레일(32)의 일측을 감싸는 판 형태로 마련되고, 하측슬라이드부(44)는 단면이 ㄴ자형으로 마련될 수 있다.
즉, 상기 슬라이드부(40)가 상기와 같은 형상으로 마련됨으로써, 상기 도어부(10)가 상기 고정레일부(20)와 가동레일부(30)에서 이동시 레일으로부터의 이탈을 방지할 수 있고, 상기 가동레일부(30)가 전후로 가동될 때 상기 슬라이드부(40)와 슬라이드부(40)에 연결된 도어부(10)가 함께 움직일 수 있게 된다.
한편, 상기 상측슬라이드부(42)와 하측슬라이드부(44)에 상기 도어부(10)가 상기 고정레일부(20)와 가동레일부(30) 상에서 좌측 또는 우측으로 이동시 발생되는 마찰을 감소시킬 수 있는 복수 개의 롤러(400)가 설치될 수 있다.
바람직하게는, 상기 상측슬라이드부(42)에 설치되는 롤러(400)는 상기 상측고정레일부(22)와 상측가동레일부(32)의 폭이 좁은 윗면과 아랫면 상에서 굴러가게끔 마련되는데, 각 상측슬라이드부(42)마다 4개의 롤러(400)를 포함할 수 있다.
그리고, 상기 하측슬라이드부(44)에 설치되는 롤러(400)는 단면이 반시계방향으로 90˚회전한 ㄷ자형으로 마련된 상기 하측고정레일부(24) 안쪽 면에서 구동될 수 있도록 마련된다.
한편, 상기 수평이동실린더부(40)와 전후이동실린더부(50)는 공압식 실린더로 마련될 수 있다.
특히, 상기 수평이동실린더부(40)는 로드레스(rodless) 실린더로 마련됨으로써 다른 실린더를 이용한 방식에 비하여 간단한 구성으로 구비될 수 있다.
여기서, 로드레스 실린더란, 실린더의 구성요소중 피스톤 로드가 없는 실린더이다.
즉, 일반 공압 실린더가 피스톤 로드의 왕복운동을 통해 동력을 전달하는 방식인데 비해, 로드레스 실린더는 피스톤의 움직임을 요크나 마그넷, 체인 등을 통해 행정길이 범위 내에서 테이블을 직선운동시켜 동력을 전달하는 것이다.
따라서, 로드레스 실린더를 사용하면 설치면적이 극소화되는 장점이 있으며, 전진 또는 후진시의 피스톤 단면적이 같아 중간 정지특성이 양호하다는 이점도 있다.
도 6 내지 도 7에 의하면, 수평방향으로 움직이는 수평이동실린더부(50)의 테이블에 이동방향과 수직인 방향, 즉 전후 방향으로 일(一)자형 홈(500)이 나 있고, 그 홈(500)을 통해 상기 상측슬라이드부(42)와 연결되어 있다.
즉, 상기 가동레일부(30)에 적재된 도어부(10)와 도어부(10)에 마련된 상측슬라이드부(42)가 전후로 가동될 때, 상기 수평이동실린더부(50)에 마련된 일(一) 자형 홈(500)을 따라 상기 상측슬라이드부(42)가 이동이 가능한 구조로 마련되어 있다.
특히, 상기 수평이동실린더부(50)의 일(一)자형 홈(500)과 상기 상측슬라이드부(42)의 체결 부분에 원활한 가동을 위한 롤러(400)가 포함될 수 있다.
한편, 상기 수평이동실린더부(50)는 상기 고정레일부(20) 및 가동레일부(30)와 마찬가지로, 상기 도어부(10)의 도어마다 개별적으로 구비된다.
전후이동실린더부(60)는 상기 가동레일부(30)와 연결된 복수개의 실린더로 마련되며, 상기 가동레일부(30)의 상측가동레일(32)과 하측가동레일(34)의 전후이동을 위한 동력을 제공한다.
바람직하게는, 상기 상측가동레일(32)과 하측가동레일(34)마다 2개의 전후이동실린더가 마련될 수 있다.
그리고, 상기 전후이동실린더부(60)는 기둥 모양의 가이드(600)를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 가이드(600)는 단면이 원인 기둥 모양으로 마련될 수 있는데, 끝 부분에 원 기둥의 몸체 부분의 지름보다 더 큰 반경을 가진 얇은 원판이 마련됨으로써, 상기 전후이동실린더에 의해서 상기 가동레일부(30)가 가동 범위를 넘어선 정도까지 전진하는 것을 막을 수 있다.
한편, 전술한 바와 같은 구성을 가진 본 발명에 의한 챔버의 도어개폐장치의 개방동작과 폐쇄동작시 각 구성요소들의 작동순서는 다음과 같다.
챔버가 개방 상태로 이행될 때, 가동레일부(30)가 전후이동실린더부(60)에 의해 챔버의 정면을 향해 전진함으로써, 상기 고정레일부(20)와 상기 가동레일부(30)가 열을 맞추게 된다.
이를 통해, 일(一)자로 마련된 레일들을 따라 상기 도어부(10)에 포함된 각각의 도어들이 상기 고정레일부(20)의 일측으로 이동하며, 이에 따라 상기 도어부(10)의 도어들이 도 8 내지 도 11에 도시된 바와 같이 챔버의 입구 한쪽에 전후로 겹치게 배열된다.
즉, 이와 같이 상기 도어부(10)의 도어들이 미닫이문처럼 수평방향으로 이동함으로써, 여닫이문 형태로 구성된 도어방식에 비해서 도어의 개방시 별도의 공간이 필요하지 않다.
그리고, 상기 도어부(10)의 도어마다 할당된 상기 고정레일부(20)의 레일들이 서로 다른 길이로 마련되고, 상기 도어부(10)의 도어마다 할당된 상기 수평이동실린더부(50)에 마련된 일(一)자형 홈의 길이가 서로 다른 길이로 마련됨으로써, 상기 도어부(10)에 포함된 도어들을 독립적으로 개방 혹은 폐쇄상태로 만들 수 있다.
즉, 도 7을 참조하면, 제1도어(12)가 적재된 상측가동레일(32)과 제1도어(12)용 상측고정레일(22) 사이의 거리와, 제2도어(14)가 적재된 상측가동레일(32)과 제2도어(14)용 상측고정레일(22) 사이의 거리가 다름을 확인할 수 있다.
바람직하게는, 제1도어(12)가 적재된 상측가동레일(32)이 10mm 전진하고, 제2도어(14)가 적재된 상측가동레일(32)이 90mm 전진함으로써 상기 상측고정레일(22)과 일렬로 배열될 수 있는데, 상기 수치에 한정되는 것은 아니다.
한편, 챔버가 폐쇄 상태로 이행될 때는, 상기 도어부(10)의 도어들이 일(一)자로 마련된 레일들을 따라 상기 수평이동실린더부(50)에 의해 각 도어마다 할당된 상기 가동레일부(30)까지 이동하게 된다.
그리고, 상기 가동레일부(30)에 각 도어들이 적재되면 상기 전후이동실린더부(60)가 가동레일부(30)를 챔버의 안쪽을 향해 끌어당김으로써, 상기 도어부(10)에 포함된 각 도어에 의해서 챔버가 완전히 폐쇄된다.
한편, 상기 도어부(10)의 도어 좌측과 우측에 물건이나 사람의 존재 유무를 감지하는 센서(100)가 부착될 수 있다.
즉, 상기 센서(100)에 의해서, 상기 도어부(10)의 도어들이 개방 또는 폐쇄동작시, 도어들이 이동하는 경로 상에 존재하는 사람이나 물건 등과 도어가 부딛혀 예상하지 못한 피해가 발생하는 것을 막을 수 있다.
바람직하게는, 상기 센서는 상기 도어부(10)의 도어의 좌우에 각각 4개씩 마련될 수 있는데, 상기 갯수에 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명에 따른 챔버의 도어개폐장치가 폐쇄상태일 때의 모습을 도시한 전면 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 챔버의 도어개폐장치가 폐쇄상태일 때의 모습을 도시한 후면 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 챔버의 도어개폐장치가 폐쇄상태일 때, 상측슬라이드부 상부의 수평이동실린더부를 제외한 나머지 부재들의 모습을 도시한 부분도이다.
도 4는 본 발명에 따른 챔버의 도어개폐장치가 폐쇄상태일 때, 하측슬라이드부와 하측가동레일의 모습을 도시한 부분도이다.
도 5는 본 발명에 따른 챔버의 도어개폐장치가 폐쇄상태일 때, 상측슬라이드부와 하측가동레일과 수평이동실린더부를 함께 도시한 부분도이다.
도 6은 본 발명에 따른 챔버의 도어개폐장치가 폐쇄상태일 때, 상측슬라이드부와 수평이동실린더부의 홈의 결합관계를 도시한 하측 부분도이다.
도 7은 본 발명에 따른 챔버의 도어개폐장치가 폐쇄상태일 때, 상측슬라이드부와 수평이동실린더부의 홈의 결합관계를 도시한 상측 부분도이다.
도 8은 본 발명에 따른 챔버의 도어개폐장치가 개방상태일 때의 모습을 도시한 전면 사시도이다.
도 9는 본 발명에 따른 챔버의 도어개폐장치가 개방상태일 때의 모습을 도시한 후면 사시도이다.
도 10은 본 발명에 따른 챔버의 도어개폐장치가 개방상태일 때, 제1도어와 제2도어가 전후로 겹쳐서 배열된 상태를 전면 상측 부분도로써 도시한 것이다.
도 11은 본 발명에 따른 챔버의 도어개폐장치가 개방상태일 때, 제1도어와 제2도어가 전후로 겹쳐서 배열된 상태를 후면 상측 부분도로써 도시한 것이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 도어부 12 : 제1도어
14 : 제2도어 20 : 고정레일부
22 : 상측고정레일 24 : 하측고정레일
30 : 가동레일부 32 : 상측가동레일
34 : 하측가동레일 40 : 슬라이드부
42 : 상측슬라이드부 44 : 하측슬라이드부
50 : 수평이동실린더부 60 : 전후이동실린더부
100 : 센서 400 : 롤러
500 : 홈 600 : 가이드

Claims (11)

  1. 챔버 전면에 위치하여 챔버의 입구를 개방하거나 폐쇄하게 되는 복수의 도어로 마련된 도어부와;
    챔버의 개방 동작 및 폐쇄 동작시 상기 도어부에 포함된 각각의 도어가 좌측 또는 우측으로 이동할 때 궤도로서 마련되는 고정레일부와;
    챔버의 개방 동작 및 폐쇄 동작시 상기 도어부에 포함된 각각의 도어가 적재된 상태에서 챔버의 외측 또는 내측으로 전후 가동되는 가동레일부와;
    상기 도어부에 포함된 각각의 도어와 상기 고정레일부 또는 가동레일부 사이에 위치하여, 상기 도어부에 포함된 각각의 도어가 상기 고정레일부 또는 가동레일부를 궤도에 따라 좌측이나 우측으로 슬라이딩이 가능하도록 마련된 슬라이드부와;
    상기 슬라이드부에 연결되어 상기 슬라이드부를 좌측 또는 우측으로 이동시키는 동력부재로서 마련된 수평이동실린더부와;
    상기 가동레일부에 연결되어 상기 가동레일부를 전진 또는 후진시키는 동력부재로서 마련된 전후이동실린더부가 포함되며,
    상기 수평이동실린더부는 공압식 실린더로 마련되는 것을 특징으로 하는 챔버의 도어개폐장치.
  2. 제1항에 있어서,
    챔버가 개방 상태로 이행될 때, 상기 가동레일부가 상기 전후이동실린더부에 의해 챔버의 정면을 향해 전진함으로써, 상기 고정레일부와 상기 가동레일부가 열 을 맞추게 되고, 이를 통해 일(一)자로 마련된 레일들을 따라 상기 도어부에 포함된 각각의 도어들이 상기 고정레일부의 일측으로 이동하며, 이에 따라 상기 도어부의 도어들이 챔버의 입구 한쪽에 전후로 겹치게 배열되는 것을 특징으로 하는 챔버의 도어개폐장치.
  3. 제1항에 있어서,
    챔버가 폐쇄 상태로 이행될 때, 상기 도어부의 도어들이 일(一)자로 마련된 레일들을 따라 상기 수평이동실린더부에 의해 각 도어마다 할당된 상기 가동레일부까지 이동하게 되고, 상기 가동레일부에 각 도어들이 적재되면 상기 전후이동실린더부가 가동레일부를 챔버의 안쪽을 향해 끌어당김으로써, 상기 도어부에 포함된 각 도어에 의해서 챔버가 완전히 폐쇄되는 것을 특징으로 하는 챔버의 도어개폐장치.
  4. 제2항 또는 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 도어부의 도어마다 할당된 상기 고정레일부의 레일들이 서로 다른 길이로 마련되고, 상기 도어부의 도어마다 할당된 상기 수평이동실린더부에 마련된 일(一)자형 홈의 길이가 서로 다른 길이로 마련되는 것을 특징으로 하는 챔버의 도어개폐장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 고정레일부가 상측고정레일과 하측고정레일로 마련되고, 상기 가동레일부가 상측가동레일과 하측고정레일로 마련되며, 상측고정레일과 상측가동레일은 납작한 바(bar)형태로 마련되고, 하측고정레일과 하측가동레일은 단면이 반시계방향으로 90˚회전한 ㄷ자형인 것을 특징으로 하는 챔버의 도어개폐장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 슬라이드부는 상측슬라이드부와 하측슬라이드부로 마련되고, 상측슬라이드부는 상기 상측고정레일 및 상측가동레일의 일측을 감싸는 판 형태로 마련되고, 하측슬라이드부는 단면이 ㄴ자형인 것을 특징으로 하는 챔버의 도어개폐장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 슬라이드부에 상측슬라이드부와 하측슬라이드부가 상기 고정레일부와 가동레일부 상에서 좌측 또는 우측으로 이동시 발생되는 마찰을 감소시킬 수 있는 복수 개의 롤러가 포함되는 것을 특징으로 하는 챔버의 도어개폐장치.
  8. 삭제
  9. 제1항에 있어서,
    상기 수평이동실린더부는 로드레스(rodless) 실린더로 마련되는 것을 특징으로 하는 챔버의 도어개폐장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 도어부의 도어 좌측과 우측에 물건이나 사람의 존재 유무를 감지하는 센서가 부착된 것을 특징으로 하는 챔버의 도어개폐장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 센서는 상기 도어부의 도어의 좌우에 각각 4개씩 마련되는 것을 특징으로 하는 챔버의 도어개폐장치.
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