KR101365045B1 - 기판 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

기판 처리 장치가 개시된다. 본 발명에 따른 기판 처리 장치는, 구동부에 의하여 슬라이딩되는 내측도어가 내부에 챔버가 형성된 본체를 기준으로 틸팅되지 않는다. 그러므로, 내측도어에 의하여 챔버가 완전하게 실링되고, 내측도어로부터 작용하는 하중으로 인하여 구동부가 손상되는 것이 방지되는 효과가 있다.

Description

기판 처리 장치 {APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE}
본 발명은 슬라이딩가능하게 설치되어 챔버를 개폐하는 내측도어가 틸팅(Tilting)되는 것을 방지한 기판 처리 장치에 관한 것이다.
기판 처리 장치는, 평판 디스플레이의 제조시 사용되며, 증착(Vapor Deposition) 장치와 어닐링(Annealing) 장치로 대별된다.
증착 장치는 평판 디스플레이의 핵심 구성을 이루는 투명 전도층, 절연층, 금속층 또는 실리콘층을 형성하는 장치로써, LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition) 또는 PECVD(Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition) 등과 같은 화학 기상 증착 장치와 스퍼터링(Sputtering) 등과 같은 물리 기상 증착 장치가 있다.
그리고, 어닐링 장치는 기판에 막을 증착한 후, 증착된 막의 특성을 향상시키는 장치로써, 증착된 막을 결정화 또는 상 변화시키기 위하여 열처리하는 장치이다.
기판 처리 장치는 하나의 기판을 처리하는 매엽식(Single Substrate Type)과 복수의 기판을 처리하는 배치식(Batch Type)이 있다. 매엽식 기판 처리 장치는 구성이 간단한 이점이 있으나 생산성이 떨어지는 단점이 있어, 대량 생산에는 배치식 기판 처리 장치가 많이 사용된다.
일반적으로, 기판 처리 장치는 기판이 로딩되어 처리되는 공간인 챔버를 형성하는 본체를 포함한다. 상기 본체의 전면에는 기판이 출입하는 출입구가 형성되고, 상기 출입구를 개폐하는 도어가 설치된다.
상기 도어는 상기 본체의 상하방향으로 승강하는 외측도어와 상기 외측도어에 설치되어 상기 외측도어와 함께 승강함과 동시에 상기 외측도어에 대하여 전후방향으로 슬라이딩가능하게 설치되어 상기 출입구를 개폐하는 내측도어를 포함한다. 이때, 상기 내측도어는 상기 외측도어에 설치된 복수의 실린더에 의하여 전후방향으로 슬라이딩된다.
상기와 같은 종래의 기판 처리 장치는 조립시의 공차 및 복수의 상기 실린더가 동일하지 않게 동작함으로 인하여, 상기 실린더에 의하여 상기 내측도어가 슬라이딩될 때, 상기 내측도어가 상기 본체를 기준으로 틸팅될 수 있다. 그러면, 상기 내측도어가 상기 출입구를 폐쇄하여도 상기 출입구가 완전하게 실링되지 않을 우려가 있다.
그리고, 상기 내측도어가 틸팅되면, 상기 내측도어로부터 상기 복수의 실린더에 각각 작용하는 하중은 상호 상이하다. 그러면, 상기 복수의 실린더 중, 상기 내측도어로부터 큰 하중을 받는 어느 실린더는 손상될 우려가 있다.
기판 처리 장치와 관련한 선행기술은 한국공개특허공보 제10-2010-0008722호 등에 개시되어 있다.
본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점들을 해소하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 슬라이딩가능하게 설치된 내측도어로 챔버를 완전하게 실링할 수 있음과 동시에 내측도어를 슬라이딩시키는 구동부가 손상되는 것을 방지할 수 있는 기판 처리 장치를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 처리 장치는, 내부에는 기판이 처리되는 공간인 챔버가 형성되고, 전면에는 상기 챔버와 연통되며 기판이 출입하는 출입구가 형성된 본체; 상기 본체의 전면에 상하로 승강가능하게 설치된 외측도어, 상기 외측도어에 지지되어 상기 외측도어와 함께 승강함과 동시에 상기 외측도어에 대하여 전후로 슬라이딩가능하게 설치되어 상기 출입구를 개폐하는 내측도어를 가지는 도어; 상기 외측도어에 설치되어 상기 내측도어를 슬라이딩시키는 복수의 구동부; 상기 구동부에 의하여 상기 내측도어가 슬라이딩될 때, 상기 내측도어가 상기 본체에 대하여 틸팅(Tilting)되는 것을 방지하는 수단을 포함한다.
본 발명에 따른 기판 처리 장치는, 구동부에 의하여 슬라이딩되는 내측도어가 내부에 챔버가 형성된 본체를 기준으로 틸팅되지 않는다. 그러므로, 내측도어에 의하여 챔버가 완전하게 실링되고, 내측도어로부터 작용하는 하중으로 인하여 구동부가 손상되는 것이 방지되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 사시도.
도 2는 도 1에 도시된 도어의 분리 사시도.
도 3a는 도 2에 도시된 제 1 지지블럭, 제 2 지지블럭 및 지지프레임의 확대도.
도 3b는 도 3a의 결합 정면도.
후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시하여 도시한 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있도록 충분히 상세하게 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 상호 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 특정 구조 및 특성은 일 실시예와 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미가 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에 도시된 실시예들의 길이, 면적, 두께 및 형태는, 편의상, 과장되어 표현될 수도 있다.
본 실시예를 설명함에 있어서, 기판의 처리라 함은 기판을 가열 및 냉각하는 공정, 기판에 소정의 막을 증착하기 위한 모든 공정, 기판에 증착된 소정의 막을 어닐링, 결정화 또는 상변화 하기 위한 모든 열처리 공정 등을 포함하는 개념으로 이해되어야 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 도어의 분리 사시도이다.
도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 기판 처리 장치는 본체(110)를 포함한다. 본체(110)는 대략 직육면체 형상으로 형성되며, 내부에는 기판(50)이 처리되는 공간인 챔버(112)가 형성된다.
본체(110)는 직육면체 형상뿐만 아니라 기판(50)의 형상에 따라 다양한 형상으로 형성될 수 있으며, 챔버(112)는 밀폐된 공간으로 마련된다. 그리고, 기판(50)의 재질은 특별히 제한되지 않으며 글래스, 플라스틱, 폴리머, 실리콘 웨이퍼 또는 스테인레스 스틸 등과 같은 재질로 형성될 수 있다.
본체(110)의 전면에는 기판(50)이 출입하는 출입구(114)가 형성되고, 출입구(114)를 개폐하는 도어(120)가 설치된다. 즉, 로봇(미도시)으로 기판(50)을 지지하여, 기판(50)을 챔버(112)에 로딩하거나 챔버(112)로부터 언로딩할 때에는 도어(120)에 의하여 출입구(114)는 개방된다. 그리고, 기판(50)을 챔버(112)에 로딩하여 기판(50)을 처리할 때에는 도어(120)에 의하여 출입구(114)는 폐쇄된다. 출입구(114)가 개폐되면, 챔버(112)가 개폐됨은 당연하다.
도어(120)는 외측도어(121)와 내측도어(125)를 가지며, 본체(110)의 상하방향으로 승강가능함과 동시에 본체(110)의 전후방향으로 슬라이딩가능하게 설치되어, 출입구(114)를 개폐한다.
상세히 설명하면, 외측도어(121)는 본체(110)의 전면에 상하로 슬라이딩가능하게 설치되고, 내측도어(125)는 외측도어(121)에 지지되어 외측도어(121)에 의하여 상하로 슬라이딩함과 동시에 외측도어(121)에 대하여 전후로 슬라이딩가능하게 설치된다.
외측도어(121)는 본체(110)에 전면 양측면에 각각 설치된 실린더 또는 모터 등과 같은 구동부(미도시)에 의하여 상하로 슬라이딩되고, 내측도어(125)는 외측도어(121)에 설치된 실린더 등과 같은 복수의 구동부(131)에 의하여 외측도어(121)에 대하여 전후로 슬라이딩된다.
그리하여, 상기 구동부에 의하여 외측도어(121)가 상승하여 출입구(114)와 대향하면, 구동부(131)에 의하여 내측도어(125)가 본체(110)의 전면측으로 슬라이딩된다. 내측도어(125)가 복수의 구동부(131)에 의하여 본체(110)의 전면측으로 슬라이딩되면, 출입구(114)를 감싸는 형태로 본체(110)의 전면에 설치된 실링부재(116)를 압착하면서 실링부재(116)와 접촉하고, 이로 인해 챔버(112)가 실링된다.
상기 구동부가 위치된 본체(110)의 전면측에는 상하방향과 평행하게 안내레일(135)이 결합되어, 외측도어(121)가 안정되게 승강하도록 지지한다. 안내레일(135)에는 외측도어(121)의 소정 부위를 감지하여 외측도어(121)가 승강한 거리를 감지하는 센서(미도시)가 설치될 수 있다.
챔버(112)에는 기판(50)의 처리에 필요한 부품들이 설치된다. 상기 부품들은 기판(50)을 탑재시켜 지지하는 지지 유닛(미도시), 기판(50)을 가열하기 위한 히터(미도시), 기판(50)의 처리에 필요한 분위기 가스를 공급하는 가스공급관(미도시), 기판(50)을 냉각시키기 위한 냉각관(미도시) 등을 포함할 수 있다.
도 1의 미설명 부호 160은 본체(110)를 지지하는 프레임이고, 도 2의 미설명 부호 133은 외측도어(121)에 결합되어 구동부(131)를 지지하는 브라켓이다.
전술한 바와 같이, 내측도어(125)는 본체(110)의 전후방향으로 슬라이딩된다. 그런데, 조립시의 공차 및 복수의 구동부(131)가 동일하게 동작하지 않음으로 인하여, 내측도어(125)가 구동부(131)에 의하여 슬라이딩될 때, 내측도어(125)가 본체(110)를 기준으로 틸팅(Tilting)되어 슬라이딩될 수 있다.
내측도어(125)가 틸팅(Tilting)되어 슬라이딩되면, 내측도어(125)가 출입구(114)를 폐쇄하여도 챔버(112)가 완전하게 실링되지 않는다. 그리고, 내측도어(125)로부터 각각의 구동부(131)에 작용하는 하중이 불균일하여, 구동부(131)가 손상될 수 있다.
본 실시예에 따른 기판 처리 장치에는 구동부(131)에 의하여 내측도어(125)가 슬라이딩될 때, 내측도어(125)가 본체(110)를 기준으로 틸팅(Tilting)되는 것을 방지하는 수단이 마련된다.
상기 수단에 대하여 도 2 내지 도 3b를 참조하여 설명한다. 도 3a는 도 2에 도시된 제 1 지지블럭, 제 2 지지블럭 및 지지프레임의 확대도이고, 도 3b는 도 3a의 결합 정면도이다.
도시된 바와 같이, 상기 수단은 제 1 지지블럭(141), 제 2 지지블럭(143) 및 지지프레임(145)을 포함한다.
제 1 지지블럭(141)은 외측도어(121)에 복수개가 결합되고, 제 2 지지블럭(143)은 제 1 지지블럭(141)과 대응되게 내측도어(125)에 복수개가 결합되어, 하면이 제 1 지지블럭(141)의 상면에 접촉 지지된다. 지지프레임(145)은 제 1 지지블럭(141)에 결합되어 제 2 지지블럭(143)의 상면 및 양측면을 지지한다.
즉, 제 2 지지블럭(143)의 하면 및 상면이 제 1 지지블럭(141) 및 지지프레임(145)에 각각 접촉 지지되므로, 제 2 지지블럭(143)은 본체(110)를 기준으로 상하방향으로 틸팅되지 않는다. 그리고, 제 2 지지블럭(143)의 일측면 및 타측면이 지지프레임(145)에 각각 접촉 지지되므로, 제 2 지지블럭(143)은 본체(110)를 기준으로 전후방향으로 틸팅되지 않는다.
따라서, 제 2 지지블럭(143)이 본체(110)을 기준으로 틸팅되지 않으므로, 내측도어(125)가 틸팅되는 것이 방지된다.
내측도어(125)가 원활함과 동시에 안정되게 슬라이딩될 수 있도록, 제 2 지지블럭(143)에는 롤러(147)가 설치되고, 제 1 지지블럭(141) 및 지지프레임(145)에는 롤러(147)의 하측 부위 및 상측 부위가 각각 안치 지지되는 안치로(141a, 145a)가 각각 형성된다.
도 2에는, 도면의 간략화를 위하여, 구동부(131)를 2개만 도시하고, 제 1 지지블럭(141), 제 2 지지블럭(143) 및 지지프레임(145)을 4개만 도시한다.
한편, 본체(110)의 후면에도 출입구(미도시)가 형성될 수 있고, 상기 출입구를 개폐하는 도어(150)(도 1 참조)가 설치될 수 있다. 본체(110)의 후면에 형성된 상기 출입구는 챔버(114)에 설치된 기판(50)의 처리에 필요한 상기 부품들을 수리하고자 할 때 사용한다. 그리고, 본체(110)의 후면에 설치된 도어(150)도 본체(110)의 전면에 설치된 도어(120)와 동일하게 구성될 수 있다.
본 실시예에 따른 기판 처리 장치는, 구동부(131)에 의하여 슬라이딩되는 내측도어(121)가 본체(110)를 기준으로 틸팅되지 않는다. 그러므로, 내측도어(125)에 의하여 챔버(112)가 완전하게 실링되고, 내측도어(125)로부터 작용하는 하중으로 인하여 구동부(131)가 손상되지 않는다.
상기와 같이 기술된 본 발명의 실시예들에 대한 도면은 자세한 윤곽 라인을 생략하여, 본 발명의 기술사상에 속하는 부분을 쉽게 알 수 있도록 개략적으로 도시한 것이다. 또한, 상기 실시예들은 본 발명의 기술사상을 한정하는 기준이 될 수 없으며, 본 발명의 청구범위에 포함된 기술사항을 이해하기 위한 참조적인 사항에 불과하다.
110: 본체
120: 도어
121: 외측도어
125: 내측도어
131: 구동부
141: 제 1 지지블럭
143: 제 2 지지블럭
145: 지지프레임

Claims (4)

  1. 내부에는 기판이 처리되는 공간인 챔버가 형성되고, 전면에는 상기 챔버와 연통되며 기판이 출입하는 출입구가 형성된 본체;
    상기 본체의 전면에 상하로 승강가능하게 설치된 외측도어, 상기 외측도어에 지지되어 상기 외측도어와 함께 승강함과 동시에 상기 외측도어에 대하여 전후로 슬라이딩가능하게 설치되어 상기 출입구를 개폐하는 내측도어를 가지는 도어;
    상기 외측도어에 설치되어 상기 내측도어를 슬라이딩시키는 복수의 구동부를 포함하며,
    상기 구동부에 의하여 상기 내측도어가 슬라이딩될 때, 상기 내측도어가 상기 본체에 대하여 틸팅(Tilting)되는 것을 방지하기 위하여,
    상기 외측도어에는 복수의 제 1 지지블럭이 결합되고,
    상기 내측도어에는 상기 제 1 지지블럭의 상면에 하면이 지지되는 복수의 제 2 지지블럭이 상기 제 1 지지블럭과 대응되게 결합되며,
    상기 제 1 지지블럭에는 상기 제 2 지지블럭의 상면 및 양측면이 지지되는 지지프레임이 결합된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제 2 지지블럭에는 롤러가 설치되고,
    상기 롤러의 하측 부위 및 상측 부위는 상기 제 1 지지블럭 및 상기 지지프레임에 각각 접촉 지지되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제 1 지지블럭 및 상기 지지프레임에는 상기 롤러의 하측 부위 및 상측 부위가 삽입 지지되는 함몰된 안치로가 각각 형성된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
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