KR101355213B1 - 기판 정렬 장치 - Google Patents

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Abstract

기판 정렬 장치가 개시된다. 본 발명에 따른 기판 정렬 장치는, 기판이 본체에 투입되어 지지핀에 탑재 지지되었을 때, 기판의 테두리부측이 지지핀에 탑재 지지되었는가를 감지하는 수단이 마련되므로, 기판을 이동시켜 정렬할 때, 기판 또는 지지핀이 손상되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Description

기판 정렬 장치 {APPARATUS FOR ALIGNING SUBSTRATE}
본 발명은 기판과 기판이 탑재 지지되는 지지핀의 손상 없이, 기판을 정해진 위치로 슬라이딩시켜 정렬할 수 있는 기판 정렬 장치에 관한 것이다.
평판 디스플레이의 제조시 사용되는 기판 처리 장치는 증착(Vapor Deposition) 장치와 어닐링(Annealing) 장치로 대별된다.
증착 장치에는 투명 전도층, 절연층, 금속층 또는 실리콘층을 형성하기 위한 LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition) 또는 PECVD(Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition) 등과 같은 화학기상 증착 장치와 스퍼터링(Sputtering) 등과 같은 물리기상 증착 장치가 있다.
그리고, 어닐링 장치는 기판에 막을 증착을 한 후, 증착된 막의 특성을 향상시키는 장치로써, 증착된 막을 결정화 또는 상 변화시키기 위하여 기판을 열처리하는 처리 장치다.
기판 처리 장치는 하나의 기판을 처리하는 매엽식(Single Substrate Type)과 복수의 기판을 처리하는 배치식(Batch Type)이 있다. 매엽식 기판 처리 장치는 구성이 간단한 이점이 있으나 생산성이 떨어지는 단점이 있어, 대량 생산에는 배치식 기판 처리 장치가 많이 사용된다.
기판은 로봇에 지지되어 기판 처리 장치에 로딩되거나 기판 처리 장치로부터 언로딩된다. 그런데, 기판이 기판 처리 장치의 정해진 위치에 정확하게 로딩되지 않으면 기판 처리 공정시 에러가 발생할 수 있다. 그리고, 기판 처리 장치의 정해진 위치에 로딩되지 않은 기판을 기판 처리 장치로부터 언로딩하여 다음 공정을 위한 장치로 이송하면 이 또한 에러가 발생할 수 있다.
이를 위하여, 기판 처리 장치의 일측에는 미처리된 기판 또는 처리된 기판을 정렬시켜 보관하는 기판 정렬 장치가 설치된다. 기판 정렬 장치는 기판을 정해진 위치로 슬라이딩시켜 정렬 보관한다.
미처리된 기판이 기판 정렬 장치에 투입되어 정해진 위치에 위치되면, 로봇이 미처리된 기판을 지지하여 기판 처리 장치에 로딩한다. 그러면, 기판이 기판 처리 장치의 정해진 위치에 위치된다.
그리고, 처리된 기판이 기판 정렬 장치에 투입되어 정해진 위치에 위치되면, 로봇이 처리된 기판을 지지하여 다음 공정을 위한 장치로 이송한다. 그러면, 기판이 다음 공정을 위한 장치의 정해진 위치에 위치된다.
일반적으로, 기판 정렬 장치는 기판이 탑재 지지되는 복수의 지지핀과 기판의 외면과 접촉하여 기판을 정해진 위치에 위치시키는 정렬기를 포함한다. 그리고, 상기 정렬기는 받침판과 상기 받침판에 설치되어 상기 받침판과 함께 운동하며 기판의 외면과 접촉하여 기판을 정해진 위치로 슬라이딩시켜 정렬하는 접촉편을 가진다. 이때, 상기 지지핀은 상기 접촉편의 내측에 위치된다.
기판이 기판 정렬 장치에 투입되면, 기판의 테두리부측을 포함한 하면은 지지핀에 탑재 지지된다. 만약, 기판의 테두리부측 일측이 상기 지지핀에 탑재되지 않은 상태에서 상기 정렬기가 슬라이딩하여 기판을 정렬시키면, 기판 및 상기 지지핀이 손상된다.
그런데, 종래의 기판 정렬 장치는, 기판이 상기 지지핀에 탑재 지지되었을 때, 기판의 테두리부측 부위가 상기 지지핀에 탑재 지지되었는가를 감지하는 아무런 수단이 없으므로, 상기 정렬기에 의하여 기판이 정렬되는 도중, 기판 및 상기 지지핀이 손상되는 문제점이 있었다.
기판의 로딩을 감지하는 기판 감지 장치와 관련한 선행기술은 한국공개특허공보 제10-2008-0040408호 등에 개시되어 있다.
본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해소하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 기판의 정렬시 기판 또는 기판이 탑재 지지되는 지지핀이 손상되는 것을 방지할 수 있는 기판 정렬 장치를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 정렬 장치는, 내부에 공간이 형성되고 전면에는 기판이 투입 또는 배출되는 출입구가 형성된 본체; 상하로 간격을 가지면서 상기 본체의 내부에 설치된 복수의 지지프레임; 상기 지지프레임에 설치되며 상기 기판이 탑재 지지되는 복수의 지지핀; 상기 지지프레임의 중심을 기준으로, 상기 지지프레임의 최외측에 위치된 상기 지지핀과 대응되는 상기 지지프레임의 부위에 설치되며 상기 지지핀에 상기 기판이 탑재되었을 때, 기판을 감지하는 기판감지센서; 상기 지지프레임의 테두리부측에 슬라이딩가능하게 결합된 받침판, 상기 받침판에 설치되어 상기 지지프레임의 중심을 기준으로 상기 지지핀 및 상기 기판감지센서의 외측에 위치되고 상기 받침판과 함께 운동하며 상기 지지핀에 탑재된 상기 기판의 외면과 접촉하여 상기 기판을 정해진 위치로 슬라이딩시켜 정렬하는 접촉편을 각각 가지는 복수의 정렬기; 상기 본체에 설치되며 상기 지지핀에 상기 기판이 탑재되었을 때, 상기 기판의 테두리부측 부위가 상기 지지핀에 탑재되었는가를 감지하는 수단을 포함한다.
본 발명에 따른 기판 정렬 장치는, 기판이 본체에 투입되어 지지핀에 탑재 지지되었을 때, 기판의 테두리부측 부위가 지지핀에 탑재 지지되었는가를 감지하는 수단이 마련되므로, 기판을 이동시켜 정렬할 때, 기판 또는 지지핀이 손상되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 정렬 장치의 개략 사시도.
도 2a는 도 1에 도시된 어느 하나의 지지프레임의 확대 사시도.
도 2b는 도 2a의 "A"부 확대도.
도 3은 본 발명의 도 1의 개략 정면도.
도 4는 도 1의 개략 평면도.
도 5는 도 1에 도시된 로봇의 개략 정면도.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 정렬 장치의 개략 정면도.
후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시하여 도시한 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있도록 충분히 상세하게 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 상호 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 특정 구조 및 특성은 일 실시예와 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미가 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에 도시된 실시예들의 길이, 면적, 두께 및 형태는, 편의상, 과장되어 표현될 수도 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 기판 정렬 장치를 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 정렬 장치의 개략 사시도이다.
도시된 바와 같이, 기판 정렬 장치는 대략 직육면체 형상으로 형성되어 외관을 이루는 본체(110)를 포함한다. 본체(110)의 내부에는 기판(50)(도 3 참조)이 보관되는 공간이 형성되고, 전면에는 기판(50)이 투입 또는 배출되는 출입구(113)가 형성된다.
기판(50)은 로봇(60)에 지지되어 본체(110)에 투입되거나, 본체(110)로부터 배출되며, 수평지지부재(61), 회전부재(63), 수직지지부재(65), 승강부재(67) 및 아암(69)을 포함한다. 로봇(60)에 대해서는 후술한다.
본체(110)의 내부에는 복수의 기판(50)이 상하로 적층된 형태로 저장되어 정렬된다. 이를 위하여, 본체(110)의 내부에는 본체(110)의 내부를 상하로 구획하는 형태로 복수의 지지프레임(120)이 설치되고, 각 지지프레임(120)의 상측에 기판(50)이 각각 정렬된다.
지지프레임(120)에 대하여 도 1 내지 도 2b를 참조하여 설명한다. 도 2a는 도 1에 도시된 어느 하나의 지지프레임의 확대 사시도이고, 도 2b는 도 2a의 "A"부 확대도이다.
도시된 바와 같이, 지지프레임(120)은 한쌍의 가로지지바(121a, 121b)와 복수의 세로지지바(125a, 125b, 125c)를 가진다. 가로지지바(121a, 121b)는 본체(110)의 전면측 및 후면측에 각각 설치되어 본체(110)의 좌우방향을 향하면서 상호 평행을 이루고, 세로지지바(125a, 125b, 125c)는 전단부측 및 후단부측이 가로지지바(121a) 및 가로지지바(121b)에 각각 결합되어 본체(110)의 전후방향을 향하면서 상호 평행을 이룬다.
가로지지바(121a, 121b)와 최외곽에 위치된 세로지지바(125a, 125b)가 지지프레임(120)의 테두리부를 이룬다.
가로지지바(121)와 세로지지바(125)에는 복수의 지지핀(131)이 각각 설치된다. 지지핀(131)에는 로봇(60)의 아암(69)에 지지되어 본체(110)의 내부로 투입된 기판(50)이 탑재 지지된다. 그리고, 세로지지바(125) 중, 최외곽에 위치된 우측의 세로지지바(125a)에는 지지핀(131)에 기판(50)이 탑재되었을 때, 기판(50)을 감지하는 기판감지센서(135)가 설치된다.
기판감지센서(135)는 세로지지바(125a)에 설치된 지지핀(131a)과 대응되는 세로지지바(125a)의 부위에 설치된다. 더 상세히 설명하면, 지지프레임(120)의 중심을 통과하면서 세로지지바(125)와 평행하는 가상의 직선을 그렸을 때, 상기 가상의 직선과 지지핀(131a) 사이의 거리와 상기 가상의 직선과 기판감지센서(135)의 사이의 거리가 동일하도록 기판감지센서(135)가 설치된다. 기판감지센서(135)에 대해서는 후술한다.
세로지지바(125a, 125b, 125c) 중, 최외곽에 위치된 세로지지바(125a, 125b) 및 중앙에 위치된 세로지지바(125c)의 양단부측에는 지지핀(131)에 탑재 지지된 기판(50)을 정해진 위치로 슬라이딩시켜 정렬하는 정렬기(140)가 각각 설치된다.
정렬기(140)는 세로지지바(125a, 125b, 125c)에 각각 슬라이딩가능하게 설치된 받침판(141)과 받침판(141)에 설치되어 받침판(141)과 함께 운동하며 지지핀(131)에 탑재 지지된 기판(50)의 외면과 접촉하여 기판을 정해진 위치로 슬라이딩시켜 정렬하는 탄성을 가진 접촉편(145)을 가진다.
이때, 접촉편(145)은 지지프레임(120)의 중심을 기준으로 항상 지지핀(131) 및 기판감지센서(135)의 외측에 위치된다. 더 구체적으로 설명하면, 접촉편(145)은 받침판(141)이 지지프레임(120)의 외측으로 최대한 슬라이딩되었을 때뿐만 아니라 내측으로 최대한 슬라이딩되었을 때에도 세로지지바(125a, 125b, 125c)에 설치된 지지핀(131)과 기판감지센서(135)의 외측에 위치된다.
그리하여, 최외곽에 위치된 세로지지바(125a, 125b)에 설치된 정렬기(140)는 본체(110)의 좌우방향으로 슬라딩하면서 지지핀(131)에 탑재된 기판(50)을 정해진 위치로 이송하고, 중앙에 위치된 세로지지바(125c)에 설치된 정렬기(140)는 본체(110)의 전후방향으로 슬라딩하면서 지지핀(131)에 탑재된 기판(50)을 정해진 위치로 이송한다.
정렬기(140)는 모터(미도시) 또는 실린더(미도시) 등에 의하여 슬라이딩되며, 상기 모터 또는 상기 실린더는 제어부(미도시)의 의하여 제어된다. 그리고, 접촉편(145)에 의하여 기판(50)이 손상되는 것을 방지하기 위하여, 접촉편(145)은 받침판(141)에 대하여 회전가능하게 설치된 롤러 형태로 형성되는 것이 바람직하다.
세로지지바(125a, 125b)의 부위 중, 지지핀(131)과 기판감지센서(135)의 외측의 부위에는 기판(50)이 세로지지바(125a, 125b)의 외측으로 이탈하는 것을 방지하는 이탈방지돌기(127)가 형성된다.
로봇(60)의 아암(69)에 지지된 기판(50)이 지지핀(131)에 탑재되면, 기판감지센서(135)가 기판(50)을 감지한다. 그 후, 기판감지센서(135)에 의하여 기판(50)이 감지되면, 상기 제어부는 정렬기(140)를 슬라이딩시켜 기판(50)을 정해진 위치에 위치시켜 정렬한다.
그런데, 도 3에 도시된 바와 같이, 기판(50)이 비틀어진 상태로 본체(110)에 투입되어 지지핀(131)에 탑재될 수도 있는데, 이러한 경우에는 적어도 어느 하나의 지지핀(131b)에는 기판(50)이 탑재 지지되지 못한다.
그러면, 정렬기(140)에 의하여 기판(50)이 정렬될 때, 기판(50) 또는 지지핀(131b)이 손상될 수 있다. 이를 방지하기 위하여, 본 실시예에 따른 기판 정렬 장치에는 지지핀(131)에 기판(50)이 탑재되었을 때, 기판(50)의 테두리부측 부위가 지지핀(131)에 탑재되었는가를 감지하는 수단이 마련된다.
상기 수단에 대하여 도 2a 내지 도 4를 참조하여 설명한다. 도 3은 본 발명의 도 1의 개략 정면도이고, 도 4는 도 1의 개략 평면도이다.
도시된 바와 같이, 상기 수단은 세로지지바(125b)에 설치된 정렬기(140)의 접촉편(145)과 지지핀(131) 사이에 위치되는 본체(110)의 전면측 및 후면측 상측에 설치된 제 1 레이저센서(151)와 제 1 레이저센서(151)와 대응되게 본체(110)의 하측에 설치된 제 1 반사판(155)을 포함한다.
제 1 레이저센서(151)와 제 1 반사판(155) 사이에 기판(50)이 없으면, 제 1 레이저센서(151)에서 조사된 빛이 제 1 반사판(155)에서 반사되어 제 1 레이저센서(151)로 입사되고, 제 1 레이저센서(151)와 제 1 반사판(155) 사이에 기판(50)이 있으면, 제 1 레이저센서(151)에서 조사된 빛이 제 1 반사판(155)에서 반사되지 못하므로 제 1 레이저센서(151)로 빛이 입사되지 못한다.
따라서, 세로지지바(125a)에 설치된 기판감지센서(135)에서 기판(50)을 감지하고, 세로지지바(125b)측 본체(110)의 전후면측에 각각 설치된 제 1 레이저센서(151)에서 제 1 반사판(155)에서 반사되는 빛을 각각 감지하면, 기판(50)이 정해진 위치에 위치되어 기판(50)의 테두리부측도 지지핀(131)에 탑재 지지된 의미한다. 이러한 상태에서, 정렬기(140)를 제어하여 기판(50)을 정렬하면 된다.
그리고, 세로지지바(125a)에 설치된 기판감지센서(135)에서 기판(50)을 감지하고, 제 1 레이저센서(151)에서 제 1 반사판(155)에서 반사되는 빛을 감지하지 못하면, 기판(50)이 틀어져 있음을 의미하므로, 경보가 발생하여 작업을 중지한다.
제 1 레이저센서(151)가 본체(110)의 하측 부위에 설치되고 제 1 반사판(155)이 본체(110)의 상측 부위에 설치될 수 있음은 당연하다. 그리고, 제 1 레이저센서(151)와 제 1 반사판(155) 사이의 세로지지바(125a)의 부위에는 빛이 통과할 수 있도록 관통공(미도시)이 형성된다.
도 1 및 도 5를 참조하여 본 실시예에 따른 기판 정렬 장치에 사용되는 로봇에 대하여 설명한다. 도 5는 도 1에 도시된 로봇의 개략 정면도이다.
도시된 바와 같이, 로봇(60)의 수평지지부재(61)는 바닥 등에 설치되어 상기 바닥 등과 대략 평행을 이루며 상기 바닥 상에서 직선왕복운동가능하게 설치되고, 회전부재(63)는 수평지지부재(61)에 설치되어 수평지지부재(61)와 함께 운동하며 수평지지부재(61)에 대하여 회전가능하게 설치된다.
수직지지부재(65)는 회전부재(63)에 기립 설치되어 회전부재(63)와 함께 운동하고, 승강부재(67)는 수직지지부재(65)에 설치되어 상기 바닥과 평행을 이루고 수직지지부재(65)와 함께 운동하며 수직지지부재(65)에 대하여 승강가능하게 설치된다.
아암(69)은 승강부재(67)에 설치되어 상기 바닥과 평행을 이루고 승강부재(67)와 함께 운동하며 승강부재(67)를 출입하는 형태로 직선왕복운동가능하게 설치된다. 아암(69)은 기판(50)을 지지하여, 기판(50)을 본체(110)에 투입하거나 본체(110)로부터 배출한다.
지지프레임(120)은 상하로 간격을 가지면서 본체(110)에 설치되어 있으므로, 승강부재(67)도 기판(50)을 투입하고자 하는 지지프레임(120)의 부위와 대응되게 승강하여야 한다. 이때, 승강부재(67)는 모터(미도시)에 의하여 승강하며, 상기 모터에는 승강부재(67)의 승강거리를 제어하는 엔코더(미도시)가 설치된다.
그런데, 상기 엔코더를 이용하여 승강부재(67)의 승강거리를 제어할 경우 정확한 제어가 어렵다. 이로 인해, 수직지지부재(65)의 하측 부위에는 레이저 변위센서(60a)가 설치되고, 승강부재(67)에는 레이저 변위센서(60a)와 대향되게 반사판(60b)이 설치된다. 그리하여, 레이저 변위센서(60a)에서 반사판(60b)으로 빛을 조사하고, 반사판(60b)에서 반사된 빛을 레이저 변위센서(60a)가 수신하여 승강부재(67)의 실제 승강거리를 정확하게 계산한다.
장시간 사용하다 보면, 로봇(60)의 아암(69)의 자유단부측이 하측으로 처질 수 있다. 그러면, 아암(69)의 자유단부측에 위치된 기판(50)도 하측으로 처진 상태로 본체(110)로 투입되므로, 아암(69)과 기판(50)과 지지프레임(120)이 손상될 수 있다.
이를 방지하기 위하여, 본 실시예에 따른 기판 정렬 장치에는 로봇(60)의 아암(69)의 자유단부측이 하측으로 처진 상태로 본체(110)에 투입되는가를 감지하는 센서가 설치되는데, 이를 도 6을 참조하여 설명한다. 도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 정렬 장치의 개략 정면도이다.
도시된 바와 같이, 지지프레임(220)에 설치된 지지핀(231)의 높이와 대응되는 본체(210)의 전면 일측에는 제 2 레이저센서(261)가 설치되고, 본체(210)의 전면 타측에는 제 2 레이저센서(261)와 대향되게 제 2 반사판(265)이 설치된다.
그리하여, 기판(50)을 지지한 로봇(60)의 아암(69)이 정상적인 상태로 본체(210)에 투입되면, 제 2 레이저센서(261)에서 조사된 빛이 제 2 반사판(265)에서 반사되어 제 2 레이저센서(261)에 수신되므로, 계속하여 작업을 수행하면 된다.
그리고, 기판(50)을 지지한 로봇(60)의 아암(69)이 처진 상태로 본체(210)에 투입되면, 제 2 레이저센서(261)에서 조사된 빛이 아암(69)에 막히므로, 제 2 반사판(265)에서 반사되지 못한다. 그러면, 제 2 레이저센서(261)가 제 2 반사판(265)에서 반사된 빛을 수신하지 못하므로, 경보가 발생하여 작업을 중지한다.
로봇(60)의 아암(69)의 두께를 고려하여 각각의 제 2 레이저센서(261)와 각각의 제 2 반사판(265)은 각각의 지지프레임(220)에 설치된 지지핀(231)의 상단부측과 대응되는 높이 또는 낮은 위치의 본체(210)의 부위에 설치된다.
상기와 같이 기술된 본 발명의 실시예들에 대한 도면은 자세한 윤곽 라인을 생략하여, 본 발명의 기술사상에 속하는 부분을 쉽게 알 수 있도록 개략적으로 도시한 것이다. 또한, 상기 실시예들은 본 발명의 기술사상을 한정하는 기준이 될 수 없으며, 본 발명의 청구범위에 포함된 기술사항을 이해하기 위한 참조적인 사항에 불과하다.
110: 본체
120: 지지프레임
131: 지지핀
135: 기판감지센서
140: 정렬기
151: 제 1 레이저센서
155: 제 1 반사판

Claims (10)

  1. 내부에 공간이 형성되고 전면에는 로봇에 지지된 기판이 투입 또는 배출되는 출입구가 형성된 본체;
    상기 본체의 전면측 및 후면측에 각각 설치되어 상기 본체의 좌우방향을 향하며 상호 평행을 이루는 한쌍의 가로지지바와 상기 가로지지바에 일단부측 및 타단부측이 각각 결합되어 상기 본체의 전후방향을 향하며 상호 평행을 이루는 복수의 세로지지바를 포함하며 상하로 간격을 가지는 복수의 지지프레임;
    상기 지지프레임에 설치되며 상기 기판이 탑재 지지되는 복수의 지지핀;
    상기 지지프레임의 중심을 기준으로, 상기 지지프레임의 최외측에 위치된 상기 지지핀과 대응되는 상기 지지프레임의 부위에 설치되며 상기 지지핀에 상기 기판이 탑재되었을 때, 상기 기판을 감지하는 기판감지센서;
    상기 지지프레임의 테두리부측에 슬라이딩가능하게 설치되며, 상기 지지핀에 탑재된 상기 기판의 외면과 접촉하여 상기 기판을 정해진 위치로 슬라이딩시켜 정렬하는 복수의 정렬기;
    상기 본체에 설치되며 상기 지지핀에 상기 기판이 탑재되었을 때, 상기 기판의 테두리부측 부위가 상기 지지핀에 탑재되었는가를 감지하는 수단을 포함하며,
    상기 정렬기는 복수의 상기 세로지지바 중 최외곽에 위치된 상기 세로지지바에 각각 설치되어 상기 본체의 좌우방향으로 각각 슬라이딩하면서 상기 기판을 정해진 위치로 이송하고, 중앙부측에 위치된 상기 세로지지바의 양단부측에 각각 설치되어 상기 본체의 전후방향으로 각각 슬라딩하면서 상기 기판을 정해진 위치로 이송하는 것을 특징으로 하는 기판 정렬 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 정렬기는,
    상기 지지프레임의 테두리부측에 슬라이딩가능하게 결합된 받침판;
    상기 받침판에 설치되어 상기 지지프레임의 중심을 기준으로 상기 지지핀 및 상기 기판감지센서의 외측에 위치되고, 상기 받침판과 함께 운동하며, 상기 지지핀에 탑재된 기판의 외면과 접촉하여 기판을 정해진 위치로 슬라이딩시켜 정렬하는 탄성을 가진 접촉편을 가지는 것을 특징으로 하는 기판 정렬 장치.
  3. 삭제
  4. 제2항에 있어서,
    최외곽에 위치된 상기 세로지지바 중, 어느 하나의 상기 세로지지바에 상기 기판감지센서가 설치되고 다른 하나의 상기 세로지지바측 상기 본체의 부위에 상기 수단이 설치된 것을 특징으로 하는 기판 정렬 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 수단은,
    최외곽에 위치된 다른 하나의 상기 세로지지바에 설치된 상기 접촉편과 상기 지지핀 사이에 위치되는 상기 본체의 전면측 및 후면측의 상측 부위에 설치된 제 1 레이저센서와 상기 제 1 레이저센서와 대향되게 상기 본체의 전면측 및 후면측의 하측 부위에 설치된 제 1 반사판을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 정렬 장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 수단은,
    최외곽에 위치된 다른 하나의 상기 세로지지바에 설치된 상기 접촉편과 상기 지지핀 사이에 위치되는 상기 본체의 전면측 및 후면측의 하측 부위에 설치된 제 1 레이저센서와 상기 제 1 레이저센서와 대향되게 상기 본체의 전면측 및 후면측의 상측 부위에 설치된 제 1 반사판을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 정렬 장치.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서,
    최외곽에 위치된 상기 세로지지바의 부위 중, 상기 지지핀 및 상기 기판감지센서 외측의 상기 세로지지바의 부위에는 상기 기판이 최외곽에 위치된 상기 세로지지바와 외측으로 이탈하는 것을 방지하는 이탈방지돌기가 형성된 것을 특징으로 하는 기판 정렬 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 접촉편은 상기 받침판에 대하여 회전가능하게 설치된 롤러 형태로 마련된 것을 특징으로 하는 기판 정렬 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 로봇은 바닥에 설치되어 직선운동하는 수평지지부재, 상기 수평지지부재에 설치되며 상기 수평지지부재에 대하여 회전가능하게 설치된 회전부재, 상기 회전부재에 설치된 수직지지부재, 상기 수직지지부재에 설치되어 상기 바닥과 평행을 이루며 상기 수직지지부재에 대하여 승강가능하게 설치된 승강부재 및 상기 승강부재에 설치되어 상기 바닥과 평행을 이루고 상기 승강부재를 출입하는 형태로 직선왕복운동가능하게 설치되어 상기 기판을 상기 본체에 투입하거나 상기 본체로부터 배출하는 아암을 가지고,
    상기 수직지지부재의 하측 부위에는 레이저 변위센서가 설치되고, 상기 승강부재에는 상기 레이저 변위센서와 대향되게 반사판이 설치되어 상기 승강부재의 승강거리를 감지하는 것을 특징으로 하는 기판 정렬 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    각각의 상기 지지프레임에 설치된 상기 지지핀의 상단부측과 대응되는 높이의 상기 본체의 전면 일측에는 제 2 레이저센서가 설치되고,
    상기 본체의 전면 타측에는 상기 제 2 레이저센서와 대향되게 제 2 반사판이 설치되어 상기 로봇의 상기 아암을 감지하는 것을 특징으로 하는 기판 정렬 장치.
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