KR101352929B1 - 글라스 처짐이 방지된 인라인 진공장치 - Google Patents

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Abstract

글라스 처짐이 방지된 인라인 진공장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 글라스 처짐이 방지된 인라인 진공장치는, 글라스가 이송되기 위한 슬롯이 마련되어 공정 별로 처리되는 복수의 챔버 유닛, 및 복수의 챔버 유닛의 슬롯을 연결하는 밸브 유닛을 포함하고, 밸브 유닛은 각 챔버 유닛의 슬롯에 연결되는 슬롯이 대면하게 배치되는 밸브 본체, 및 밸브 본체의 슬롯을 개폐하는 씰 모듈을 포함하고, 복수의 챔버 유닛의 인접한 일측 슬롯으로부터 타측 슬롯까지 밸브 유닛을 경유하는 글라스의 이송 경로에는 글라스를 지지하는 지지부가 배치된다.

Description

글라스 처짐이 방지된 인라인 진공장치{In line vacuum device for preventing deflection of glass}
본 발명은, 글라스 처짐이 방지된 인라인 진공장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 복수의 챔버가 서로 연결되어 글라스가 이송되면서 공정 별로 처리되는 글라스 처짐이 방지된 인라인 진공장치에 관한 것이다.
평판 디스플레이(FPD, Flat Panel Display)로 통칭되는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), OLED(Organic Light Emitting Diodes) 외에, 태양광 패널 등에 사용되는 기판은 그 재질이 주로 유리로서, 기판 자체를 통상 글라스라 지칭하기도 한다.
평판 디스플레이가 대형화됨에 따라 생산효율을 높이기 위해서 글라스도 점차 대면적화되고 있다. 기판 제조사는 보다 넓은 사이즈를 제작하고자 연구 중에 있는데, 현재에는 가로/세로의 폭이 2미터 내외인 8G라 불리는 글라스의 양산을 일부 제조사에서 진행 중에 있다.
글라스는 제품화를 위해 물리적/화학적인 일련의 공정을 거칠 수 있는데, 해당 공정은 진행을 위한 최적의 환경이 조성된 다수의 프로세스 챔버 유닛(process chamber unit)과 챔버 유닛 사이에 밸브 유닛이 배치된 인라인 진공장치에서 수행될 수 있다.
이와 같은 인라인 진공장치는 글라스의 사이즈가 점점 증가함에 챔버 유닛을 연결하는 밸브 유닛의 너비가 커지게 되고, 글라스가 밸브 유닛를 통과할 때, 그 지지위치로부터 하중 증가에 따른 글라스의 처짐량도 증가하게 된다.
즉, 글라스가 일측 챔버 유닛 측에 지지된 상태에서 밸브 유닛을 통과하여 타측 챔버 유닛 측으로 이송될 때, 글라스의 대형화에 따라 챔버 유닛 사이에 배치되는 글라스의 면적이 증가하고, 챔버 유닛로부터 이격된 밸브 유닛을 통과하는 위치에서 글라스의 처짐이 발생하며, 글라스의 처짐 증가로 인해 밸브 유닛에서 간섭이 발생하여 글라스의 이송이 원활하지 않은 문제가 있다.
[특허문헌 1] 대한민국 등록특허 제885415호
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 일측 챔버 유닛과 타측 챔버 유닛을 연결하는 밸브 유닛에서 글라스의 처짐을 방지하여 글라스와 밸브 유닛의 간섭을 방지함으로써, 챔버 유닛 간 글라스의 이송을 안전하고 순조롭게 수행할 수 있는 글라스 처짐이 방지된 인라인 진공장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 글라스가 이송되기 위한 슬롯이 마련되어 공정 별로 처리되는 복수의 챔버 유닛; 및 복수의 상기 챔버 유닛의 슬롯을 연결하는 밸브 유닛을 포함하며, 상기 밸브 유닛은, 상기 각 챔버 유닛의 슬롯에 연결되는 슬롯이 대면하게 배치되는 밸브 본체; 및 상기 밸브 본체의 슬롯을 개폐하는 씰 모듈을 포함하며, 복수의 상기 챔버 유닛의 인접한 일측 상기 슬롯으로부터 타측 상기 슬롯까지 상기 밸브 유닛을 경유하는 상기 글라스의 이송 경로에는, 상기 글라스를 지지하는 지지부가 배치된다.
상기 씰 모듈은 상기 슬롯을 개폐하기 위해 상기 밸브 본체에 회전가능하게 결합되고, 상기 지지부는 상기 씰 모듈에 배치될 수 있다.
상기 씰 모듈은, 상기 밸브 본체의 슬롯 중 어느 하나를 개폐하는 밀착판;
상기 밀착판에 결합되는 회전축; 및 상기 밀착판과 상기 회전축을 연결하는 지지로드를 포함할 수 있다.
상기 지지부는 상기 밀착판에 결합되는 지지롤러를 포함할 수 있다.
상기 지지롤러는 상기 밀착판이 상기 밸브 본체의 슬롯을 폐쇄한 상태에서 상기 밸브 본체의 슬롯에 배치될 수 있다.
상기 씰 모듈은 상기 밸브 본체의 슬롯을 개폐하기 위해 상기 밸브 본체에 상하 및 좌우 중 적어도 어느 한 방향으로 이동가능하게 마련되고, 상기 지지부는 상기 씰 모듈에 배치될 수 있다.
상기 씰 모듈은, 상기 슬롯 중 어느 하나를 개폐하는 밀착판; 및 상기 밀착판에 결합되되 상기 밸브 본체에 대해 상하 및 좌우로 이동가능하게 배치되는 이동부재를 포함할 수 있다.
상기 지지부는 상기 밀착판의 상면부에 결합되는 지지롤러를 포함할 수 있다.
상기 씰 모듈은 상기 슬롯을 개폐하기 위해 상기 밸브 본체에 상하로 이동가능하게 마련될 수 있다.
상기 씰 모듈은, 상기 슬롯을 개폐하는 밀착판; 및 상기 밀착판의 저면부에 결합되고 상기 밸브 본체에 대해 상하로 이동가능하게 삽입되는 승강부재를 포함할 수 있다.
상기 밀착판은 상방과 측방으로 돌출된 L형으로 형성되며, 상기 밀착판은 상기 밸브 본체의 상벽부와 일 측벽부에 각각 밀착될 수 있다.
상기 지지부는 상기 밀착판에 결합되는 지지롤러를 포함하고, 상기 지지롤러의 상단은 상기 밸브 본체가 개방되어 상기 글라스가 이송되는 상태에서 상기 밀착판의 상단보다 높도록 마련되며, 상기 밸브 본체의 상벽부에는 표면으로부터 상방으로 함몰형성되어 상기 지지롤러가 수용 가능한 홈부가 마련될 수 있다.
상기 밀착판은 상방과 측방으로 돌출된 L형으로 형성되며, 상기 밀착판은 상기 밸브 본체의 상벽부와 상기 밸브 본체의 일 측벽부에서 내부로 돌출되어 마련되는 걸림턱에 각각 밀착될 수 있다.
상기 지지부는 상기 밸브 본체의 슬롯에 배치되어 상기 글라스를 지지하는 지지롤러를 포함할 수 있다.
상기 지지부는 상기 챔버 유닛의 슬롯에 배치되어 상기 글라스를 지지하는 지지롤러를 포함할 수 있다.
상기 지지부는 볼 롤러를 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 복수의 챔버 유닛의 인접하여 대면하는 일측 슬롯으로부터 타측 슬롯까지 밸브 유닛을 경유하는 글라스의 이송 경로에 글라스를 지지하는 지지부를 배치함으로써, 밸브 유닛을 통해 이송되는 글라스의 처짐을 방지하여 글라스와 밸브 유닛의 간섭을 방지할 수 있으므로, 챔버 유닛 간 글라스의 이송을 안전하고 순조롭게 수행할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 글라스 처짐이 방지된 인라인 진공장치를 절단하여 내부를 개방한 사시도이다.
도 2는 도 1의 씰 모듈에 지지부가 적용된 단면도이다.
도 3은 도 2의 씰 모듈의 사시도이다.
도 4는 도 2의 씰 모듈에 결합되는 지지롤러의 사시도이다.
도 5는 도 2의 씰 모듈의 작동 상태도이다.
도 6은 도 2의 씰 모듈에 결합되는 볼 롤러의 사시도이다.
도 7은 제2 실시예에 따른 글라스 처짐이 방지된 인라인 진공장치의 씰 모듈에 지지롤러가 적용된 단면도이다.
도 8은 도 7의 씰 모듈의 사시도이다.
도 9는 도 8의 씰 모듈의 작동 상태도이다.
도 10은 본 발명의 제3 실시예에 따른 글라스 처짐이 방지된 인라인 진공장치의 씰 모듈에 지지롤러가 적용된 단면도이다.
도 11은 도 10의 씰 모듈의 사시도이다.
도 12는 도 10의 씰 모듈의 작동 상태도이다.
도 13은 본 발명의 제4 실시예에 따른 글라스 처짐이 방지된 인라인 진공장치의 밸브 본체에 지지롤러가 적용된 단면도이다.
도 14는 본 발명의 제5 실시예에 따른 글라스 처짐이 방지된 인라인 진공장치의 챔버 유닛에 지지롤러가 적용된 단면도이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다. 하기에 중복적으로 기재되는 글라스는 도면에 "G"로 지시되어 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 글라스 처짐이 방지된 인라인 진공장치를 절단하여 내부를 개방한 사시도이고, 도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 글라스 처짐이 방지된 인라인 진공장치의 씰 모듈(130)에 지지부(150)가 적용된 단면도이며, 도 3은 도 2의 씰 모듈(130)의 사시도이고, 도 4는 도 2의 씰 모듈(130)에 결합되는 지지부(150)의 사시도이며, 도 5는 도 2의 씰 모듈(130)이 회전된 작동 상태도이고, 도 6은 도 2의 씰 모듈(130)에 결합되는 볼 롤러(155)의 사시도이다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 글라스 처짐이 방지된 인라인 진공장치를 절단하여 내부를 개방한 사시도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 글라스 처짐이 방지된 인라인 진공장치는 하나의 챔버 유닛(100)과 연결되는 다른 챔버 유닛(101) 사이에 밸브 유닛(110)이 설치되어 각각의 챔버 유닛(100, 101)이 독립적으로 가동되는 방식을 채택하고 있다.
챔버 유닛(100, 101)과 밸브 유닛(110)은 슬롯(121, 122)에 의해 연결된다. 글라스는 필요한 공정을 위해 일측 챔버 유닛(110)에서 타측 챔버 유닛(101)으로 슬롯(121, 122)을 통과하여 이송된다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 글라스 처짐이 방지된 인라인 진공장치는, 일련의 공정을 수행하기 위한 하나의 챔버 유닛(100)과 다른 챔버 유닛(101) 사이를 연결하는 밸브 유닛(110)을 더 포함한다.
밸브 유닛(110)은 글라스가 통과하는 제1 슬롯(121)과 제1 슬롯(121)의 반대 측에 제2 슬롯(122)이 형성된 밸브 본체(115)와, 밸브 본체(115)의 제2 슬롯(122) 측에 회전가능하게 결합되어 제2 슬롯(122)을 개폐하는 씰 모듈(130)과, 씰 모듈(130)에 마련되어 밸브 본체(115)의 제1 슬롯(121) 측에서 제2 슬롯(122) 측으로 이송되는 글라스를 지지하는 지지부(150)를 포함한다.
챔버 유닛(110, 101)은 밸브 본체(115)의 제1, 2 슬롯(121, 122) 대응하는 슬롯(121', 122')이 형성되고, 글라스를 지지하는 이송 롤러(105)가 배치된다. 밸브 본체(115)는 서로 연결되는 챔버 유닛(100, 101) 사이에 배치되어 연결된 두 챔버 유닛(100, 101)이 독립적으로 작동될 수 있도록 할 뿐만 아니라, 글라스가 대기로부터 격리되어 통과할 수 있는 내부 통로를 제공할 수 있다.
도 2와 도 3을 참조하면, 씰 모듈(130)은 밸브 본체(115)의 슬롯(121, 122) 중 제2 슬롯(122)을 개폐하는 밀착판(135)과, 밀착판(135)에 결합되는 회전축(140)을 포함한다. 도 3에서는 회전축(140)이 도시되지 않았으나, 도 2를 참조하면 회전축(140)은 밀착판(135)의 배후부 저면에 결합되는 지지로드(141)에 연결될 수 있다.
씰 모듈(130)은 챔버 유닛(101)에 연결되는 제2 슬롯(122)을 밀착판(135)에 의해 개폐하도록 제2 슬롯(122)의 횡 방향을 따라 배치된다. 밀착판(135)은 회전축(140)이 밸브 본체(115)에 회전가능하게 결합되어 있으므로, 회전축(140)의 구동에 의해 반 시계 방향으로 회전될 수 있다. 회전축(140)에 대한 구동부는 도시하지 않았으나, 밸브 본체(110)의 측방에 배치가 가능한 모터 또는 공압 실린더 등에 의해 회전될 수 있다.
한편, 글라스가 이동하는 방향을 종 방향으로 설정하고, 그 방향에 교차하고 도면의 단면에 수직하는 방향을 횡 방향으로 정의한다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 지지부(150)는 글라스에 접촉하여 지지하는 지지롤러(151)을 포함하며, 지지롤러(151)는 밀착판(135)의 측면부에 결합된다. 여기서, 지지롤러(151)는 밀착판(135)이 제2 슬롯(122)을 폐쇄한 상태에서 제2 슬롯(122)에 배치될 수 있다. 또한, 지지롤러(151)는 씰 모듈(130)의 길이 방향을 따라 일렬로 간격을 두고 다수개가 배치될 수 있다. 즉, 그 개수는 횡 방향을 따라 글라스의 처짐을 방지할 수 있는 적절한 간격에 의해 정해질 수 있다.
도 2와 도 5를 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 글라스 처짐이 방지된 인라인 진공장치의 글라스의 이송 및 지지 과정을 설명한다. 글라스는 좌측 챔버 유닛(100)의 내부에 배치되어 있는 이송 롤러(105)에 지지된 상태에서 제1 슬롯(121), 밸브 본체(115), 제2 슬롯(122)을 순서대로 통과하여 우측 챔버 유닛(101)으로 이동된다. 이때, 글라스는 밸브 본체(115)를 지나면서 하방으로 처짐이 발생할 수 있으나, 지지부(150)의 지지롤러(151)에 지지됨으로써 그 처짐이 방지될 수 있다.
즉, 글라스의 이송이 시작되어 밸브 본체(115)를 통과하기 전에, 씰 모듈(130)은 제2 슬롯(122)을 폐쇄한 상태에서 반 시계방향으로 회전된다. 지지롤러(151)는 밀착판(135)으로부터 제2 슬롯(122) 측으로 배치된 상태에서 씰 모듈(130)의 회전으로 기립되고, 통과하는 글라스의 저면을 지지할 수 있다.
한편, 지지부(150)는 도 4와 같이 통상적인 구름방식의 지지롤러(151)가 캐스터(152)에 결합되어 있는 회전축(153)에 회전가능하게 결합된 모델이 사용될 수 있으나, 그 지지구조가 이에 한정되는 것은 아니며, 도 6과 같이 볼(156)이 회전가능하게 스핀부(157)에 스핀결합되어 설치방향과 무관하게 글라스를 지지할 수 있는 볼 롤러(155)가 사용될 수도 있다.
캐스터(152)는 밀착판(135)에 결합되는 체결나사(154)가 삽입되어 배치될 수 있다. 이와 달리, 스핀부(157)는 밀착판(135)에 결합되는 삽입로드(158)를 구비할 수 있으며, 삽입로드(158)에는 체결을 위한 나선(미도시)이 형성될 수 있다.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 글라스 처짐이 방지된 인라인 진공장치의 씰 모듈(230)에 지지부(250)가 적용된 단면도이고, 도 8은 도 7의 씰 모듈(230)의 사시도이다. 도 9는 도 8의 씰 모듈(230)의 작동 상태도이다.
도 7과 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 글라스 처짐이 방지된 인라인 진공장치는, 일련의 공정을 수행하기 위한 하나의 챔버 유닛(200)과 다른 챔버 유닛(201) 사이를 연결하는 밸브 유닛(210)을 포함한다.
밸브 유닛(210)은 글라스가 통과하는 제1 슬롯(221)과 제1 슬롯(221)의 반대 측에 제2 슬롯(222)을 포함하는 밸브 본체(215)와, 밸브 본체(215)의 제2 슬롯(222) 측에 배치되고 상하 작동에 의해 제2 슬롯(222)을 개폐하는 씰 모듈(230)과, 씰 모듈(230)의 상면부에 마련되어 밸브 본체(215)의 제1 슬롯(221) 측에서 제2 슬롯(222) 측으로 이송되는 글라스를 지지하는 지지부(250)를 포함한다.
제2 실시예는 제1 실시예와 같이, 챔버 유닛(200, 201)과, 밸브 본체(215)와, 지지부(250)를 적용하는데, 씰 모듈(230)이 측방 및 상하로 선형이동이 가능한 측면에서 제1 실시예와 차이가 있다.
도 7과 도 8을 참조하면, 씰 모듈(230)은 제2 슬롯(222)을 개폐하기 위해 밸브 본체(215)에 상하로 이동가능하게 결합된다. 즉, 씰 모듈(230)은 슬롯(221, 222) 중 제2 슬롯(222)을 개폐하는 밀착판(235)과, 밀착판(235)에 결합되고 밸브 본체(215)에 이동가능하게 배치되는 이동부재(240)를 포함한다. 여기서, 이동부재(240)는 상하 및 양측 방향으로 이동가능하게 밸브 본체(115)에 설치될 수 있다. 즉, 도시하지는 않았으나 밸브 본체(215)의 하부에는 이동부재(240)가 삽입되어 상하/좌우로 이동이 가능한 L형의 가이드 통로가 형성될 수 있으며, 이동부재(240)는 상하/좌우로 이동이 가능하도록 리드 스크류, 모터, 선형 가이드, 승강부 등에 의해 구동될 수 있다.
씰 모듈(230)의 지지부(250)는 밀착판(235)의 상면부에 결합되는 지지롤러(251)를 포함한다. 지지롤러(251)는 통과하는 글라스의 종 방향과 횡 방향에 따른 처짐을 방지할 수 있도록, 그 간격이 조절되어 씰 모듈(231)의 상면부에 다수개가 결합될 수 있다. 이때, 지지롤러(251)는 제2 슬롯(222) 측에 인접하여 배치될 수 있다.
한편, 제1 실시예와 마찬가지로 제2 실시예의 지지부(250)도 도 5와 같은 지지롤러(251)가 적용된 모델이나, 도 6과 같은 볼 롤러(155)가 밀착판(235)의 상면부에 결합되는 방식을 채택할 수 있다.
도 7과 도 9을 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 글라스 처짐이 방지된 인라인 진공장치의 글라스의 이송 및 지지과정을 설명한다.
도 7과 도 9를 참조하면, 글라스가 밸브 본체(115)를 통과할 때, 지지롤러(251)가 글라스를 지지하는 과정은 씰 모듈(231)이 도 9에 도시된 L형 점선의 화살표시를 따라 이동한 후, 글라스가 제1 슬롯(221)에서 제2 슬롯(222) 측으로 이동하는 순서로 이루어진다. 즉, 씰 모듈(231)은 L형 모션으로 작동되어 제2 슬롯(221)을 개폐할 수 있다. 이때, 지지롤러(251)는 통과하는 글라스의 하방에 배치되어 글라스의 저면을 지지한다. 글라스는 지지롤러(251)에 의해 처짐 없이 제2 슬롯(222)을 통과하여 좌측 챔버 유닛(201)의 내부로 순조롭게 이송될 수 있다.
도 10은 본 발명의 제3 실시예에 따른 글라스 처짐이 방지된 인라인 진공장치의 씰 모듈(330)에 지지부(350)가 적용된 단면도이고, 도 11은 도 10의 씰 모듈(330)의 사시도이다. 도 12는 도 10의 씰 모듈(330)의 작동 상태도이다.
도 10과 도 11에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 글라스 처짐이 방지된 인라인 진공장치는, 일련의 공정을 수행하기 위한 하나의 챔버 유닛(300)과 다른 챔버 유닛(301) 사이를 연결하는 밸브 유닛(310)을 포함한다. 제3 실시예의 좌/우 챔버 유닛(300, 301)도 제1 실시예와 마찬가지로 밸브 본체(315)에 의해 연결되고 개폐되어 독립성이 보장될 수 있다.
밸브 유닛(310)은 글라스가 통과하는 제1 슬롯(321)과 제1 슬롯(321)의 반대 측에 제2 슬롯(322)을 포함하는 밸브 본체(315)와, L형으로 형성되어 밸브 본체(315)를 개폐하는 씰 모듈(330)과, 씰 모듈(330)에 마련되어 밸브 본체(315)의 제1 슬롯(321) 측에서 제2 슬롯(322) 측으로 이송되는 글라스를 지지하는 지지부(350)를 포함한다. 여기서, 밸브 본체(315)의 제1 슬롯(321)은 좌측 챔버 유닛(300)에 연결되고, 제2 슬롯(322)은 우측 챔버 유닛(301)에 연결된다.
씰 모듈(330)은 양측 슬롯(321, 322)을 개폐하는 밀착판(335)과, 밀착판(335)의 저면부에 결합되고 밸브 본체(315)에 상하로 이동가능하게 삽입되는 승강부재(340)를 포함한다. 밀착판(335)은 상방과 측방으로 돌출된 L형으로 형성되어 밸브 본체(115)의 슬롯(321, 322) 중 제1 슬롯(321)에 인접한 상벽부(315a)와 제2 슬롯(322)에 인접한 측벽부(315b)에 각각 밀착될 수 있다.
즉, 씰 모듈(330)의 밀착판(335)은 상하 동작에 의해 밸브 본체(315)의 제1 슬롯(321)과 제2 슬롯(322) 사이를 차단하기 위해 L형으로 형성된다. 여기서, 밸브 본체(315)는 씰 모듈(330)의 밀착판(335)이 상방 작동 상태에서 걸릴 수 있는 걸림턱(360)을 제2 슬롯(322) 측의 하부에 포함한다.
씰 모듈(330)의 밀착판(335)의 평면부(335a)에 결합되는 지지롤러(351)는 씰 모듈(330)의 상단(335b)보다 높게 배치될 수 있다. 이때, 밸브 본체(315)는 씰 모듈(330)이 밸브 유닛(310)을 폐쇄한 상태에서 지지 롤러(351)가 안치될 수 있도록 홈부(315c)를 포함한다.
도 10에 도시된 바와 같이, 밀착판(335)의 평면부(335a)와 상단(335b)이 밸브 본체(315)의 내벽부에 밀착되어 제1 슬롯(321)과 제2 슬롯(322) 사이를 차단할 수 있다. 즉, 챔버 유닛(300, 301)은 밸브 본체(315)의 상벽부(315a)에 밀착판(335)의 상단(335b)이 밀착되며, 제2 슬롯(322)에 인접한 걸림턱(360)에 밀착판(335)의 평면부(335a)가 밀착되어 차단된다.
한편, 제3 실시예의 지지부(350)도 제1, 2 실시예와 같이 볼 롤러(155)가 적용될 수 있다.
도 10과 도 12를 참조하여 본 발명의 제3 실시예에 따른 글라스 처짐이 방지된 인라인 진공장치의 글라스의 이송 및 지지과정을 설명한다.
도 10과 도 12에 도시된 바와 같이, 씰 모듈(330)이 밸브 본체(315)를 폐쇄한 상태에서 밸브 본체(315)가 개방되고 글라스가 지지되는 과정은, 씰 모듈(330)이 하방으로 이동되어 제1 슬롯(321)과 제2 슬롯(322) 사이가 개방되고, 지지롤러(350)가 제1 슬롯(321)과 제2 슬롯(322) 사이로 배치되어 글라스가 지지되는 순서로 이루어진다. 다시, 글라스가 제2 슬롯(322)을 통해 우측의 챔버 유닛(301)으로 이송이 완료된 후, 씰 모듈(330)이 상방으로 이동되어, 밸브 본체(315)의 상부(315a)에 밀착판(335)의 상면부(335b)가 밀착되고, 걸림턱(360)에 평면부(335a)가 밀착될 수 있다.
한편, 도시하지는 않았으나, 씰 모듈(330)의 평면부(335b)와 지지롤러(351) 사이에 스프링이 설치되어 지지롤러(350)와 평면부(335b)의 지지 간격이 신축가능하게 구성된 경우에는, 밸브 본체(315)의 홈부(315c)가 생략될 수 있다.
즉, 씰 모듈(330)이 밸브 본체(315)를 개방하고 있는 상태에서 상승되어 밀착판(335)의 상면부(335b)가 밸브 본체(115)의 상부(315a)에 밀착되는 경우, 지지롤러(151)가 상부(315a)에 접촉되면서 가압되고, 스프링이 압축되어 지지 간격이 줄어들 수 있다. 반대로, 씰 모듈(330)이 하강하여 밸브 본체(315)를 개방하는 경우, 지지롤러(350)는 스프링에 의해 신장되어 씰 모듈(330)보다 높은 위치로 복귀되고, 통과하는 글라스를 지지할 수 있다. 지지롤러(350)의 지지간격이 신축가능한 구성은 내부의 피스톤 로드가 변위되는 공압 실린더에 의해서도 가능하다.
도 13은 본 발명의 제4 실시예에 따른 글라스 처짐이 방지된 인라인 진공장치의 밸브 본체(415)의 슬롯(421, 422)에 지지롤러(451, 452)가 적용된 단면도이다.
도 13에 도시된 바와 같이, 제4 실시예는 제1 실시예와 같이 챔버 유닛(400, 401)과, 밸브 유닛(410)의 밸브 본체(415)와 씰 모듈(430)을 그대로 포함한다. 다만, 제4 실시예는 지지부(450)를 구성하는 지지롤러(451, 452)가 제1 슬롯(421)과 제2 슬롯(422)에 설치된다.
글라스가 좌측 챔버 유닛(400)에서 우측 챔버 유닛(401)으로 이송될 때, 글라스는 제1 슬롯(421)의 제1 지지롤러(451)에 먼저 지지되고, 밸브 본체(415)의 내부를 통과하여 제2 슬롯(422)을 지날 때 제2 지지롤러(452)에 다시 지지된다.
제4 실시예는 좌측 챔버 유닛(400)에서 우측 챔버 유닛(401)까지 글라스의 이송경로 중간중간에, 제1, 2 지지롤러(451, 452)가 설치되어 있는 것으로서, 밸브 본체(415)의 제1, 2 슬롯(421, 422)에 설치된 각각의 지지롤러(451, 450)에 의해, 징검다리 방식으로 글라스가 지지됨으로써 이송 중 글라스의 처짐이 방지될 수 있다.
도 14는 본 발명의 제5 실시예에 따른 글라스 처짐이 방지된 인라인 진공장치의 챔버 유닛(500, 501)의 슬롯(521', 522')에 지지롤러(551, 552)가 적용된 단면도이다.
도 14에 도시된 바와 같이, 제5 실시예는 제1 실시예와 같이 챔버 유닛(500, 501)과, 밸브 유닛(510)의 밸브 본체(515)와 씰 모듈(530)을 그대로 포함하며, 제4 실시예와 달리 지지부(550)를 구성하는 지지롤러(551, 552)가 챔버 유닛(500, 501)의 슬롯(521', 522')에 설치된다.
글라스가 좌측 챔버 유닛(500)에서 우측 챔버 유닛(501)으로 이송될 때, 글라스는 좌측 슬롯(521')의 제1 지지롤러(551)에 먼저 지지되고, 밸브 본체(515)의 내부를 통과하여 우측 슬롯(522')을 지날 때는 제2 지지롤러(552)에 다시 지지된다.
제5 실시예는 좌측 챔버 유닛(500)에서 우측 챔버 유닛(501)까지 글라스의 이송경로인 슬롯(521', 522')에 지지롤러(551, 552)가 배치됨으로써 이송 중 밸브 본체(515)의 내부에서 글라스의 처짐이 방지된다.
한편, 제4, 5 실시예의 지지부(450, 550)도 제1 내지 3 실시예와 같이 볼 롤러(155)가 적용될 수 있다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
100, 101: 챔버 유닛 105: 이송롤러
110: 밸브 유닛 115: 밸브 본체
121, 122: 슬롯 130: 씰 모듈
135: 밀착판 140: 회전축
151: 지지롤러 155: 볼 롤러
240: 이동부재 340: 승강부재
360: 걸림턱

Claims (16)

  1. 글라스가 이송되기 위한 슬롯이 마련되어 공정 별로 처리되는 복수의 챔버 유닛; 및
    복수의 상기 챔버 유닛의 슬롯을 연결하는 밸브 유닛을 포함하며,
    상기 밸브 유닛은,
    상기 각 챔버 유닛의 슬롯에 연결되는 슬롯이 대면하게 배치되는 밸브 본체; 및
    상기 밸브 본체의 슬롯을 개폐하는 씰 모듈을 포함하며,
    복수의 상기 챔버 유닛의 인접한 일측 상기 슬롯으로부터 타측 상기 슬롯까지 상기 밸브 유닛을 경유하는 상기 글라스의 이송 경로에는, 상기 글라스를 지지하는 지지부가 배치되며,
    상기 씰 모듈은 상기 슬롯을 개폐하기 위해 상기 밸브 본체에 회전가능하게 결합되고, 상기 지지부는 상기 씰 모듈에 배치되며,
    상기 씰 모듈은,
    상기 밸브 본체의 슬롯 중 어느 하나를 개폐하는 밀착판;
    상기 밀착판에 결합되는 회전축; 및
    상기 밀착판과 상기 회전축을 연결하는 지지로드를 포함하며,
    상기 지지부는 상기 밀착판에 결합되는 지지롤러를 포함하며,
    상기 지지롤러는, 상기 밀착판이 상기 밸브 본체의 슬롯을 폐쇄한 상태에서 상기 밸브 본체의 슬롯에 배치되는 것을 특징으로 하는 글라스 처짐이 방지된 인라인 진공장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 글라스가 이송되기 위한 슬롯이 마련되어 공정 별로 처리되는 복수의 챔버 유닛; 및
    복수의 상기 챔버 유닛의 슬롯을 연결하는 밸브 유닛을 포함하며,
    상기 밸브 유닛은,
    상기 각 챔버 유닛의 슬롯에 연결되는 슬롯이 대면하게 배치되는 밸브 본체; 및
    상기 밸브 본체의 슬롯을 개폐하는 씰 모듈을 포함하며,
    복수의 상기 챔버 유닛의 인접한 일측 상기 슬롯으로부터 타측 상기 슬롯까지 상기 밸브 유닛을 경유하는 상기 글라스의 이송 경로에는, 상기 글라스를 지지하는 지지부가 배치되며,
    상기 씰 모듈은 상기 슬롯을 개폐하기 위해 상기 밸브 본체에 상하로 이동가능하게 마련되며,
    상기 씰 모듈은,
    상기 슬롯을 개폐하는 밀착판; 및
    상기 밀착판의 저면부에 결합되고 상기 밸브 본체에 대해 상하로 이동가능하게 삽입되는 승강부재를 포함하며,
    상기 지지부는 상기 밀착판에 결합되는 지지롤러를 포함하고,
    상기 지지롤러의 상단은 상기 밸브 본체가 개방되어 상기 글라스가 이송되는 상태에서 상기 밀착판의 상단보다 높도록 마련되며, 상기 밸브 본체의 상벽부에는 표면으로부터 상방으로 함몰형성되어 상기 지지롤러가 수용 가능한 홈부가 마련되는 것을 특징으로 하는 글라스 처짐이 방지된 인라인 진공장치.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 제6항에 있어서,
    상기 밀착판은 상방과 측방으로 돌출된 L형으로 형성되며,
    상기 밀착판은 상기 밸브 본체의 상벽부와 일 측벽부에 각각 밀착되는 것을 특징으로 하는 글라스 처짐이 방지된 인라인 진공장치.
  12. 삭제
  13. 제6항에 있어서,
    상기 밀착판은 상방과 측방으로 돌출된 L형으로 형성되며,
    상기 밀착판은 상기 밸브 본체의 상벽부와 상기 밸브 본체의 일 측벽부에서 내부로 돌출되어 마련되는 걸림턱에 각각 밀착되는 것을 특징으로 하는 글라스 처짐이 방지된 인라인 진공장치.
  14. 삭제
  15. 삭제
  16. 제1항 또는 제6항에 있어서,
    상기 지지롤러는, 볼 롤러인 것을 특징으로 하는 글라스 처짐이 방지된 인라인 진공장치.
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