JP2002154648A - 基板カセット - Google Patents

基板カセット

Info

Publication number
JP2002154648A
JP2002154648A JP2000347528A JP2000347528A JP2002154648A JP 2002154648 A JP2002154648 A JP 2002154648A JP 2000347528 A JP2000347528 A JP 2000347528A JP 2000347528 A JP2000347528 A JP 2000347528A JP 2002154648 A JP2002154648 A JP 2002154648A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
glass substrate
sensor
glass
robot hand
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000347528A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazuyoshi Suehara
和芳 末原
Hiroshi Nagate
弘 長手
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Photo Film Co Ltd filed Critical Fuji Photo Film Co Ltd
Priority to JP2000347528A priority Critical patent/JP2002154648A/ja
Publication of JP2002154648A publication Critical patent/JP2002154648A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ガラス基板の有無、サイズ、方向、位置ズ
レ、厚みを検出して二重収納防止、異種基板混入防止、
方向違い防止、アライメントを行う。 【解決手段】 各桁材13の上面に4本ずつ支持ピン1
4が取り付けられて基板収納部50を構成する。ガラス
基板15は、ロボットハンドで基板収納部50への収
納、取り出しが行われる。基板収納部50にラインセン
サ55を縦横方向に2つずつ配置する。ラインセンサ5
5により、ガラス基板15の有無を検出する。また、検
出したガラス基板15の端部位置から演算処理によって
基板サイズ、載置方向、傾き、位置ズレ等の基板情報を
検出する。ロボットハンドはこの基板情報に基づいて、
各基板収納部50に1枚ずつガラス基板15を収納し、
取り出しの際にはアライメント修正を行う。この基板情
報を活用することで異種基板の混在処理も可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は基板カセットに関
し、特に、液晶表示パネル等のカラーフィルタの製造時
に、ガラス基板等を一時的に収納する際に用いて好適な
基板カセットに関するものである。
【0002】
【従来の技術】液晶表示パネル(LCD)やプラズマデ
ィスプレイパネル(PDP)等のカラーフィルタの製造
工程では、基板カセットに複数枚のガラス基板を収納し
て、一時保管や次工程への搬送が行われる。例えば、特
開平11−165813号公報には、ガラス基板の端部
と略中央部とを支持してガラス基板を収納する基板カセ
ットが提案されている。このような基板カセットには、
ガラス基板を略水平に支持するピン等から構成される基
板収納部が、ガラス基板の枚数や寸法に応じて設けられ
ており、ガラス基板が重ならないように個別に収納す
る。基板カセットへのガラス基板の収納および取り出し
は、通常ロボットハンド等の移載装置で1枚ずつ行う。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような基板カセットでは、ガラス基板が各基板収納部に
収納されているか否か、および収納されているガラス基
板のサイズ、厚み、載置方向、位置ズレ等の基板情報を
検出する基板検出機能が備わっていない。このため、例
えばガラス基板を収納する際に移載装置の制御が異常を
起こした場合には、ガラス基板の二重収納や、これに伴
ってガラス基板、基板カセットあるいは移載装置が破損
するという問題がある。また、基板カセットへのガラス
基板の収納前あるいは取り出し後にロボットでアライメ
ント検査を行ったり、サイズ、厚みの異なる異種混入防
止や基板の縦横方向違いなどの異常検知のために作業員
の目視確認などによって、その工程で必要な基板情報を
得なければならなかった。
【0004】本発明は、上記問題を解決するためになさ
れたものであり、各基板収納部においてガラス基板の基
板情報を検出できるようにした基板カセットを提供する
ことを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の基板カセットは、基板を支持部材により支
持して収納する基板収納部を複数個設け、各基板収納部
に基板の有無を検出するセンサを設けたものである。支
持部材を基板の下面に接触する複数の支持ピンから構成
し、この支持ピン内にセンサを設けることが好ましい。
支持ピンあるいは支持ピンが設けられた支持台にセンサ
を設け、さらにセンター基準で基板がカセット内に置か
れる場合にはセンサを基板収納部の中央部付近に配置す
ることが好ましい。
【0006】また、本発明の基板カセットは、基板を支
持部材により支持して収納する基板収納部に、基板の周
縁位置を検出するラインセンサを設けたものである。ラ
インセンサは、基板収納部の縦方向または横方向の中央
部付近に1つ、または縦方向および横方向の中央部付近
にそれぞれ1つずつ、さらには基板収納部の縦方向およ
び横方向にそれぞれ少なくとも2つずつ配置されること
が好ましい。
【0007】
【発明の実施の形態】図1は、本発明に係る基板カセッ
トの斜視図である。基板カセット10は、外枠11と、
支柱12と、桁材13と、支持ピン14とから構成され
ており、10枚のガラス基板15を水平に保持して収納
する構造になっている。ガラス基板15は図示しないロ
ボットハンドにより、下面が吸着された状態で基板カセ
ット10内に挿入され、または取り出される。
【0008】本実施形態で収納するガラス基板15は、
液晶表示パネルのカラーフィルタ用であり、その製造の
際に一時的に基板カセットに収納される。ガラス基板1
5には先ずラミネータで感光性着色層が転写される。次
に、露光機で感光性着色層に所定の画素パターンが露光
される。露光済みのガラス基板15は現像処理機で現像
処理され、所定の画素パターンが形成される。この画素
パターンは、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)につ
いて形成され、この後に、黒色(K)用感光性着色層が
転写されて、露光、現像処理され、ブラックマトリクス
が形成される。これら各色の感光性着色層はガラス基板
15の一方の面(表面)に形成される。この感光性着色
層は画素形成面であり、この面を支持したり吸着したり
してガラス基板15をハンドリングすることはできない
ので、裏面側から吸着または支持してガラス基板15を
取り扱うことになる。
【0009】外枠11は、アルミ押出型材を用いて、直
方体状に組み上げて構成されており、底枠17と、天枠
18と、これら底枠17及び天枠18のそれぞれの角を
連結する4本の外柱19とから構成されている。底枠1
7及び天枠18はアルミ押出型材により正方形または長
方形に構成されている。
【0010】支柱12は、外柱19と平行になるよう
に、両側面に適宜ピッチで複数本設けられる。本実施形
態では、外柱19の間で5本取り付けられているが、こ
れらは、収納するガラス基板15のサイズに応じて適宜
増減させてよい。この支柱12は両側面で同じ位置に形
成されており、これらは対とされて全部で5組の支柱1
2が外枠11の両側面に設けられる。
【0011】対となっている各組の支柱12に対し、水
平に桁材13が複数本取り付けられる。桁材13はガラ
ス基板15の収納枚数分が設けられる。本実施形態で
は、10枚のガラス基板15を収納するため、10本の
桁材13が1組の支柱12に対し一定ピッチで水平に取
り付けられる。
【0012】各桁材13の上面には、4本の支持ピン1
4が外柱19と平行になるように鉛直方向で取り付けら
れている。各支持ピン14は、収納するガラス基板15
の複数種類のサイズに応じて、各サイズのガラス基板1
5を確実に支持することができる位置に設けられてい
る。ガラス基板15は裏面吸着で且つ感光性着色層を上
に向けた状態で基板カセット10に収納する必要から、
ロボットハンドのハンド本体の厚み(高さ)を超える高
さで支持ピン14は構成されている。支持ピン14は合
成樹脂から構成されており、ガラス基板15に衝撃を与
えることなく載置が可能にされている。なお、支持ピン
14全体を合成樹脂で構成する他に、金属製で構成し、
ガラス基板載置部分のみに合成樹脂やゴム製のキャップ
等を取り付けてもよい。
【0013】図2は、基板収納部の1つを示す斜視図で
ある。水平方向に並ぶ5組の桁材13に取り付けられた
各支持ピン14によって、ガラス基板15(2点鎖線表
示)を水平に支持する基板収納部20が構成されてい
る。このように、多数の支持ピン14によってガラス基
板15を支持するため、1つの基板カセット10で複数
のサイズのガラス基板15に対応でき、例えば550m
m×650mm〜960mm×1100mmまでの多サ
イズに対応可能である。また、ガラス基板15の挿入方
向についても、縦向きあるいは横向きのいずれにも対応
することができる。そして、中央部に位置する1組の支
柱12に架け渡された桁材13であって、その中央寄り
の支持ピン14aには、後述する基板検出センサが設け
られている。
【0014】図3(1)に示すように、支持ピン14a
は軸芯に沿ってくり抜かれたセンサ収納部14bを有
し、取付金具24によって桁材13に固定されている。
このセンサ収納部14bで上部近くに基板検出センサ2
5が固定される。基板検出センサ25は、ファイバータ
イプの赤外線反射型光センサであり、投光部25aから
照射した赤外光がガラス基板15に反射して受光部25
bに入射することによってガラス基板15を検出する。
【0015】図示のように、ガラス基板15が支持ピン
14aの上に載せられると、ガラス基板15によってセ
ンサ収納部14bからなる光路14cが塞がれる。これ
により、ガラス基板15からの反射光がほとんど外部に
漏れずに受光部25bに入射するので、安定してガラス
基板15の検出を行うことができる。また、図3(2)
に示すように、基板検出センサ25の信号線26は、桁
材13を構成するアルミ押出型材内の空洞部13aに収
納して配線する。このため、支持ピン14a以外に突起
物がなく、ガラス基板15の収納または取り出しの際
に、基板検出センサ25あるいは信号線26とロボット
ハンドとが干渉することはない。しかも、信号線26が
空洞部13a内に収納されるため、塵埃が発生しにくく
クリーンルーム対応に優れている。
【0016】基板検出センサ25で検出したガラス基板
15の基板検出信号は、図示しないロボットハンドの制
御部に入力される。ロボットハンドの制御部では、この
基板検出信号に基づいてガラス基板15の収納または取
り出しを行う。収納する際には、ガラス基板15が収納
されていない、つまり基板検出信号が制御部に入力され
ていない基板収納部20にガラス基板15を収納する。
また、取り出しの際には、ガラス基板15が収納されて
いる、つまり基板検出信号が制御部に入力されている基
板収納部20からガラス基板15を取り出す。これによ
り、ガラス基板15の二重収納やこれに伴うガラス基板
15等の破損が発生することはない。
【0017】次に、上記構成の作用について説明する。
前工程での加工処理が完了したガラス基板15は、その
表面を上に向けた水平状態でロボットハンドに裏面を吸
着保持され、基板カセット10に向かって搬送される。
ロボットハンドの制御部は、基板カセット10の各基板
検出センサ25から入力される基板検出信号に基づい
て、ガラス基板15が収納されていない基板収納部20
を判別する。そして、図2において、図中左方からロボ
ットハンドに保持されたガラス基板15が搬送されてく
る。ガラス基板15のセンター位置PCが基板収納部2
0のセンター位置SCと略合致する位置に達すると、ロ
ボットハンドの搬送が停止する。次に、ロボットハンド
が徐々に下降してガラス基板15の裏面が各支持ピン1
4に当接する。ロボットハンドは、さらにガラス基板1
5及び桁材13との隙間が十分に確保される位置まで下
降した後、図中左方に引き抜かれる。こうして、ガラス
基板15は、ロボットハンドから基板収納部20に移載
され、各支持ピン14によって略水平に支持される。
【0018】ガラス基板15が収納された基板収納部2
0では、基板検出センサ25が内蔵されている支持ピン
14aの光路14cがガラス基板15により塞がれ、基
板検出センサ25からロボットハンドの制御部に基板検
出信号が入力される。これにより、ガラス基板15が既
に収納されている基板収納部20に2枚以上のガラス基
板15が収納されることはなく、またこれに伴うガラス
基板15等の破損やロボットハンドの損傷も発生するこ
とはない。
【0019】ロボットハンドは、収納するべきガラス基
板15が無くなるか、あるいは基板カセット10の基板
収納部20の全てにガラス基板15が収納されるまで、
上記と同様にしてガラス基板15の収納を繰り返し行
う。
【0020】また、基板カセット10に収納されたガラ
ス基板15を後工程に供給する際には、ロボットハンド
がガラス基板15の表面を上に向けた水平状態で裏面を
吸着保持して基板カセット10から取り出す。このと
き、ロボットハンドの制御部は、基板カセット10の各
基板検出センサ25から入力される基板検出信号に基づ
いて、ガラス基板15が収納されている基板収納部20
を判別する。そして、上記手順と逆の手順で基板収納部
20とロボットハンドとの間でガラス基板15の移載が
行われ、ガラス基板15の裏面を吸着保持して取り出
す。ガラス基板15が取り出された基板収納部20で
は、基板検出センサ25が内蔵された支持ピン14aの
光路14cが開放され、基板検出センサ25からロボッ
トハンドの制御部に基板検出信号が入力されなくなる。
【0021】ロボットハンドは、基板カセット10の基
板収納部20から取り出すガラス基板15が無くなる
か、あるいは指示された所定枚数のガラス基板15の取
り出しが完了するまで、上記と同様にしてガラス基板1
5の排出を繰り返し行う。
【0022】なお、上記実施形態では、基板カセット1
0の中心に合わせてガラス基板15を載置するセンター
基準としてあり、基板検出センサ25を基板収納部20
のセンタ位置SC近傍に配置してあるので、1つの基板
カセット10で多様なサイズのガラス基板15の収納に
対応することができる。ガラス基板15を基板カセット
10の前端または後端の端面基準で載置する場合には、
基板検出センサ25をサイズ変化による影響を受けない
位置に配置するとよい。また、収納する基板をガラス基
板としているが、本発明はこれに限られず、金属や樹脂
など他の素材で形成されたものでもよい。
【0023】上記実施形態では、基板検出センサ25を
支持ピン14a内に埋め込んで取り付けているが、支持
ピンの側面や桁材に支持具を用いて取り付けるなど、ロ
ボットハンドと干渉せずにその機能を満たすことができ
るのであれば、どのような取付位置、取付方法でもよ
い。例えば、図4に示すように、支持具34を用いて支
持ピン14の側面に基板検出センサ35を取り付けた
り、図5に示すように、支持具44を用いて桁材13に
基板検出センサ45を取り付ける方法がある。また、基
板検出センサとして投光部と受光部とが一体になってい
る反射型光センサを用いているが、投光部と受光部とを
対面して配置する透過型光センサを用いてもよく、この
方が一般的に精度、安定性がよい。さらに、各桁材に4
本ずつ支持ピンを取り付けているが、本発明はこれに限
られず、基板の搬出入の際にロボットハンドと干渉しな
ければ、より多数の支持ピンを設けてもよく、この方が
基板の多サイズ対応に適している。
【0024】上記実施形態では、基板検出センサを基板
収納部のセンター位置近傍だけに配置しているが、図6
に示すように、上下透過型のラインセンサ55を基板収
納部50の縦方向および横方向にそれぞれ2つずつ配置
してもよい。このラインセンサ55は、多数の発光素子
がライン状に配列された投光器55aと、各発光素子と
対をなす受光素子55cがライン状に配列された受光器
55bとから構成される。受光素子55cには、赤外光
透過型光センサであるフォトアレイ等の分解能の高いセ
ンサが用いられる。ラインセンサ55は、各一対の発光
素子と受光素子55cとがそれぞれ同期して発光、受光
を行い、ガラス基板15端部の座標を検出する。そし
て、このガラス基板15端部の座標から演算処理するこ
とで、ガラス基板15の傾きや位置ズレを判定する。こ
のようにしてラインセンサ55では、基板収納部50に
ガラス基板15が収納されているか否かを検出する他
に、基板サイズ、載置方向、位置ズレ等の基板情報を検
出することができる。これにより、基板サイズや載置方
向等の異なるガラス基板15を異種混入や方向違いの異
常として検出できる。また、この基板情報を活用して自
動で混在処理することが容易になる。さらに、基板情報
をロボットハンドの制御部にフィードバックして、ロボ
ットハンドがガラス基板15を持ち上げる前にロボット
ハンドの傾きや位置を正しい位置になるように修正して
取り出すことでアライメント修正を同時に行うことがで
きる。このようにして、工程の異常検出や管理の自動化
や製造工程の簡略化、フレキシブル化が図れる。
【0025】なお、ラインセンサ55の取り付け間隔W
1,W2は、収納するガラス基板15の最小サイズより
も小さくする。また、基板の厚みを検出する場合には、
基板収納部の上部に投受光方式の距離センサを設け、支
持ピンの上部の基板の上面からの反射光の角度を検出す
ることで基板とセンサとの距離を求め、この距離に基づ
いて基板の厚みを算出する。なお、距離センサの他に非
接触式で基板の厚みを測定するものを用いてもよい。
【0026】本実施形態では、縦方向および横方向にそ
れぞれ2つずつラインセンサを配置しているが、必要と
する基板情報に応じてラインセンサを適宜増減して配置
してよい。例えば、基板サイズだけを検出するのであれ
ば、ラインセンサを縦方向および横方向にそれぞれ1つ
ずつ配置すればよい。また、限られた基板サイズしか扱
わず、基板の縦あるいは横のサイズを検出して基板サイ
ズを判定するのであれば、ラインセンサを縦方向または
横方向に1つだけ配置すればよい。さらには、ラインセ
ンサを縦方向や横方向へ配置する代わりに、対角線方向
や対角線と平行な方向に配置してガラス基板の各四辺の
位置を検出し、これに基づいて基板サイズの判定をして
もよい。
【0027】上記実施形態では、図1に示すように、支
柱12に対して桁材13を水平に配置して支持ピン14
を設けたが、図7に示すように、支柱を用いることな
く、両側の外柱69間に桁材63を例えば水平に架け渡
し、この1対の外側桁材63に対して、上記支持ピン1
4を有する桁材63を水平に架け渡してもよい。この場
合には、支柱が無くなるので、外枠61の前後方向のみ
ならず左右方向からもガラス基板15の出し入れが可能
になる。また、支持ピン14を有する桁材63が水平に
架け渡され、支持ピン14でガラス基板15を支持する
ことができればよく、外枠61、外柱69、桁材63な
どの配置は適宜変更してよい。
【0028】上記実施形態では、基板検出センサとして
非接触式反射型または透過型光センサを用いているが、
本発明はこれに限られず、容量型近接センサ、超音波セ
ンサ、エア式圧力センサ、接触式変位センサ、圧電セン
サ、重量検知センサなど適用可能なものならば他のセン
サを用いてもよい。また、アルミ押出型材を用いて外枠
や桁材を構成しているが、本発明はこれに限られず、樹
脂等の他の材料で形成された構造部材を用いて外枠や桁
材を構成してもよい。さらに、基板収納部を上下方向に
1列で設けたが、これを複数列設けてもよい。なお、基
板カセットは固定のカセットのみではなく、自動搬送台
車等に積載して移動可能なものでもよく、この場合は光
信号、電波等の非接触方式や定位置における接触方式の
信号端子等で基板情報信号の伝達を行うとよい。
【0029】
【発明の効果】本発明の基板カセットによれば、各基板
収納部に基板の有無を検出するセンサがそれぞれ設けら
れているので、基板を二重収納することがなく、基板の
二重収納に伴う基板、基板カセット、移載装置等の破損
も発生することがない。また、各基板収納部に基板の周
縁位置を検出するラインセンサが設けられているので、
基板カセットに収納されている状態で基板のサイズ、載
置方向、位置ズレ等の基板情報が得られ、基板情報を得
るための装置や工程が不要となり、工程の簡略化および
タクト減少が図れる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る基板カセットの斜視図である。
【図2】基板カセットの基板収納部を示す斜視図であ
る。
【図3】支持ピンに内蔵する基板検出センサを示す断面
図である。
【図4】第2実施形態の基板検出センサの取り付け方法
を示す斜視図である。
【図5】第3実施形態の基板検出センサの取り付け方法
を示す斜視図である。
【図6】第4実施形態の基板検出センサを示す斜視図で
ある。
【図7】第5実施形態の基板カセットを示す斜視図であ
る。
【符号の説明】
10,60 基板カセット 11,61 外枠 12 支柱 13,63 桁材 14 支持ピン 15 ガラス基板 17,67 底枠 18,68 天枠 19,69 外柱 20,50 基板収納部 24 取付金具 25,35,45 基板検出センサ 26,36,46 信号線 34,44 支持具 55 ラインセンサ

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板を支持部材により支持して収納する
    基板収納部を複数個設け、各基板収納部に基板の有無を
    検出するセンサを設けたことを特徴とする基板カセッ
    ト。
  2. 【請求項2】 前記支持部材を、基板の下面に接触する
    複数の支持ピンから構成し、この支持ピン内に前記セン
    サを設けたことを特徴とする請求項1記載の基板カセッ
    ト。
  3. 【請求項3】 前記支持ピンあるいは前記支持ピンが設
    けられた支持台に前記センサを設けたことを特徴とする
    請求項1または2いずれか記載の基板カセット。
  4. 【請求項4】 前記センサを、前記基板収納部の中央部
    付近に配置したことを特徴とする請求項1ないし3いず
    れか1つ記載の基板カセット。
  5. 【請求項5】 基板を支持部材により支持して収納する
    基板収納部に、基板の周縁位置を検出するラインセンサ
    を設けたことを特徴とする基板カセット。
  6. 【請求項6】 前記ラインセンサは、前記基板収納部の
    縦方向または横方向の中央部付近に1つ配置されている
    ことを特徴とする請求項5記載の基板カセット。
  7. 【請求項7】 前記ラインセンサは、前記基板収納部の
    縦方向および横方向の中央部付近にそれぞれ1つずつ配
    置されていることを特徴とする請求項5記載の基板カセ
    ット。
  8. 【請求項8】 前記ラインセンサは、前記基板収納部の
    縦方向および横方向にそれぞれ少なくとも2つずつ配置
    されていることを特徴とする請求項5記載の基板カセッ
    ト。
JP2000347528A 2000-11-15 2000-11-15 基板カセット Pending JP2002154648A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000347528A JP2002154648A (ja) 2000-11-15 2000-11-15 基板カセット

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000347528A JP2002154648A (ja) 2000-11-15 2000-11-15 基板カセット

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2002154648A true JP2002154648A (ja) 2002-05-28

Family

ID=18821241

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000347528A Pending JP2002154648A (ja) 2000-11-15 2000-11-15 基板カセット

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2002154648A (ja)

Cited By (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005134418A (ja) * 2003-10-28 2005-05-26 Dainippon Printing Co Ltd カラーフィルター基板、その積層体及びカラーフィルター基板の利用方法
JP2005134423A (ja) * 2003-10-28 2005-05-26 Dainippon Printing Co Ltd 積層体及びカラーフィルター基板の利用方法
JP2005134419A (ja) * 2003-10-28 2005-05-26 Dainippon Printing Co Ltd 積層体及びカラーフィルター基板の利用方法
JP2005134416A (ja) * 2003-10-28 2005-05-26 Dainippon Printing Co Ltd 積層体
JP2005134425A (ja) * 2003-10-28 2005-05-26 Dainippon Printing Co Ltd カラーフィルター基板、その積層体及びカラーフィルター基板の利用方法
JP2005275248A (ja) * 2004-03-26 2005-10-06 Dainippon Printing Co Ltd 積層体及びカラーフィルター基板の利用方法
JP2005274827A (ja) * 2004-03-24 2005-10-06 Dainippon Printing Co Ltd カラーフィルター基板、その積層体及びその利用方法
KR100551683B1 (ko) * 2003-11-21 2006-02-13 (주)상아프론테크 글래스 수납 카세트
KR100575160B1 (ko) 2004-08-30 2006-04-28 삼성전자주식회사 기판 적재용 카세트
JP2007093337A (ja) * 2005-09-28 2007-04-12 Sunx Ltd 光電センサ
JP2010108003A (ja) * 2010-02-03 2010-05-13 Dainippon Printing Co Ltd 積層体及びカラーフィルター基板の利用方法
JP2010152377A (ja) * 2010-02-03 2010-07-08 Dainippon Printing Co Ltd 積層体及びカラーフィルター基板の利用方法
JP2010156983A (ja) * 2010-02-03 2010-07-15 Dainippon Printing Co Ltd カラーフィルター基板、その積層体及びカラーフィルター基板の利用方法
JP2010156984A (ja) * 2010-02-03 2010-07-15 Dainippon Printing Co Ltd 積層体及びカラーフィルター基板の利用方法
KR101058837B1 (ko) 2010-12-22 2011-08-23 (주)에스티엔아이 다단 터널식 구조를 갖는 반송계용 리프트
WO2013058557A2 (ko) * 2011-10-18 2013-04-25 주식회사 테라세미콘 기판정렬장치
JP2014512106A (ja) * 2011-04-13 2014-05-19 株式会社テラセミコン 基板支持用支持ユニット
CN105858214A (zh) * 2016-06-01 2016-08-17 武汉华星光电技术有限公司 基板存放设备
JP2018207032A (ja) * 2017-06-08 2018-12-27 株式会社ディスコ ウエーハの加工方法及び加工装置
CN112009997A (zh) * 2019-05-30 2020-12-01 宝山钢铁股份有限公司 一种格栅防变形装置
JP7520078B2 (ja) 2021-07-29 2024-07-22 セメス カンパニー,リミテッド 基板処理装置

Cited By (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4493975B2 (ja) * 2003-10-28 2010-06-30 大日本印刷株式会社 積層体
JP2005134418A (ja) * 2003-10-28 2005-05-26 Dainippon Printing Co Ltd カラーフィルター基板、その積層体及びカラーフィルター基板の利用方法
JP2005134419A (ja) * 2003-10-28 2005-05-26 Dainippon Printing Co Ltd 積層体及びカラーフィルター基板の利用方法
JP2005134416A (ja) * 2003-10-28 2005-05-26 Dainippon Printing Co Ltd 積層体
JP2005134425A (ja) * 2003-10-28 2005-05-26 Dainippon Printing Co Ltd カラーフィルター基板、その積層体及びカラーフィルター基板の利用方法
JP4493977B2 (ja) * 2003-10-28 2010-06-30 大日本印刷株式会社 積層体及びカラーフィルター基板の利用方法
JP2005134423A (ja) * 2003-10-28 2005-05-26 Dainippon Printing Co Ltd 積層体及びカラーフィルター基板の利用方法
JP4493979B2 (ja) * 2003-10-28 2010-06-30 大日本印刷株式会社 カラーフィルター基板、その積層体及びカラーフィルター基板の利用方法
JP4493976B2 (ja) * 2003-10-28 2010-06-30 大日本印刷株式会社 カラーフィルター基板、その積層体及びカラーフィルター基板の利用方法
JP4493978B2 (ja) * 2003-10-28 2010-06-30 大日本印刷株式会社 積層体及びカラーフィルター基板の利用方法
KR100551683B1 (ko) * 2003-11-21 2006-02-13 (주)상아프론테크 글래스 수납 카세트
JP4494054B2 (ja) * 2004-03-24 2010-06-30 大日本印刷株式会社 カラーフィルター基板、その積層体及びその利用方法
JP2005274827A (ja) * 2004-03-24 2005-10-06 Dainippon Printing Co Ltd カラーフィルター基板、その積層体及びその利用方法
JP4494056B2 (ja) * 2004-03-26 2010-06-30 大日本印刷株式会社 積層体及びカラーフィルター基板の利用方法
JP2005275248A (ja) * 2004-03-26 2005-10-06 Dainippon Printing Co Ltd 積層体及びカラーフィルター基板の利用方法
KR100575160B1 (ko) 2004-08-30 2006-04-28 삼성전자주식회사 기판 적재용 카세트
JP2007093337A (ja) * 2005-09-28 2007-04-12 Sunx Ltd 光電センサ
JP2010108003A (ja) * 2010-02-03 2010-05-13 Dainippon Printing Co Ltd 積層体及びカラーフィルター基板の利用方法
JP2010152377A (ja) * 2010-02-03 2010-07-08 Dainippon Printing Co Ltd 積層体及びカラーフィルター基板の利用方法
JP2010156983A (ja) * 2010-02-03 2010-07-15 Dainippon Printing Co Ltd カラーフィルター基板、その積層体及びカラーフィルター基板の利用方法
JP2010156984A (ja) * 2010-02-03 2010-07-15 Dainippon Printing Co Ltd 積層体及びカラーフィルター基板の利用方法
KR101058837B1 (ko) 2010-12-22 2011-08-23 (주)에스티엔아이 다단 터널식 구조를 갖는 반송계용 리프트
TWI584402B (zh) * 2011-04-13 2017-05-21 特艾希米控公司 用以支撐基板之支撐單元
JP2014512106A (ja) * 2011-04-13 2014-05-19 株式会社テラセミコン 基板支持用支持ユニット
KR101355213B1 (ko) * 2011-10-18 2014-01-28 주식회사 테라세미콘 기판 정렬 장치
WO2013058557A3 (ko) * 2011-10-18 2013-06-13 주식회사 테라세미콘 기판정렬장치
WO2013058557A2 (ko) * 2011-10-18 2013-04-25 주식회사 테라세미콘 기판정렬장치
CN105858214A (zh) * 2016-06-01 2016-08-17 武汉华星光电技术有限公司 基板存放设备
JP2018207032A (ja) * 2017-06-08 2018-12-27 株式会社ディスコ ウエーハの加工方法及び加工装置
CN112009997A (zh) * 2019-05-30 2020-12-01 宝山钢铁股份有限公司 一种格栅防变形装置
CN112009997B (zh) * 2019-05-30 2022-07-05 宝山钢铁股份有限公司 一种格栅防变形装置
JP7520078B2 (ja) 2021-07-29 2024-07-22 セメス カンパニー,リミテッド 基板処理装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2002154648A (ja) 基板カセット
KR100723119B1 (ko) 기판 처리 장치 및 그 반송 위치 설정 방법
KR20060104666A (ko) 편광필름 검사장치 및 방법
KR102044788B1 (ko) 글라스 기판 검사 장치
JP4274394B2 (ja) ガラス基板積層体搬送体
KR20150092398A (ko) 기판 박리 장치, 및 기판 박리 방법
JP2005114882A (ja) 処理ステージの基板載置方法、基板露光ステージおよび基板露光装置
KR101683094B1 (ko) 인덱스형 셀 검사장치
US7881819B2 (en) Substrate transfer apparatus, method of transferring substrate, and method of manufacturing electro-optical device
JP4052826B2 (ja) マスクと露光対象基板との搬送に兼用できる搬送アーム及びそれを備えた露光装置
KR20080046380A (ko) 쉘프 콘트롤 시스템 및 이를 포함하는 스토커
JP4016622B2 (ja) 吸着保持器、搬送装置、基板の搬送方法、及び、電気光学装置の製造方法
US7361920B2 (en) Substrate processing apparatus and transfer positioning method thereof
JP2003015310A (ja) プロキシミティ露光装置及びその装置におけるフォトマスク変形補正方法
JP4428358B2 (ja) 電気光学装置の製造方法及び製造装置
JP4958017B2 (ja) カラーフィルター製造ラインシステム
KR20230032035A (ko) 카세트 반송 시스템 및 카세트 위치 자동 티칭 방법
KR100924267B1 (ko) 평면디스플레이용 면취기
KR20200121433A (ko) 캘리브레이션 플레이트 및 이를 포함하는 편광판 부착 장치
KR20040036986A (ko) 유리기판 파손감지 수단을 구비한 기판 이송장치
KR20050003521A (ko) 카세트의 정위치 자동 감지장치
JP2001203254A (ja) 基板搬送装置およびこれを備える露光装置
JP4195256B2 (ja) コア装置を備えた製造ラインシステム
JP3953259B2 (ja) 基板取り出し機構および基板取り出し方法
KR20060118966A (ko) 카세트 검사장치 및 이를 이용한 카세트 검사방법