KR20150092398A - 기판 박리 장치, 및 기판 박리 방법 - Google Patents

기판 박리 장치, 및 기판 박리 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20150092398A
KR20150092398A KR1020140012196A KR20140012196A KR20150092398A KR 20150092398 A KR20150092398 A KR 20150092398A KR 1020140012196 A KR1020140012196 A KR 1020140012196A KR 20140012196 A KR20140012196 A KR 20140012196A KR 20150092398 A KR20150092398 A KR 20150092398A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
peeled
unit
adsorption pad
adsorption
Prior art date
Application number
KR1020140012196A
Other languages
English (en)
Inventor
이보람
김상일
이광호
김현준
조규진
Original Assignee
삼성디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성디스플레이 주식회사 filed Critical 삼성디스플레이 주식회사
Priority to KR1020140012196A priority Critical patent/KR20150092398A/ko
Priority to US14/303,364 priority patent/US20150217556A1/en
Publication of KR20150092398A publication Critical patent/KR20150092398A/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B43/00—Operations specially adapted for layered products and not otherwise provided for, e.g. repairing; Apparatus therefor
    • B32B43/006—Delaminating
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
    • G02F1/133514—Colour filters
    • G02F1/133516—Methods for their manufacture, e.g. printing, electro-deposition or photolithography
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2309/00—Parameters for the laminating or treatment process; Apparatus details
    • B32B2309/06—Angles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2457/00—Electrical equipment
    • B32B2457/20—Displays, e.g. liquid crystal displays, plasma displays
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
    • Y10T156/11—Methods of delaminating, per se; i.e., separating at bonding face
    • Y10T156/1105—Delaminating process responsive to feed or shape at delamination
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
    • Y10T156/19—Delaminating means
    • Y10T156/1906—Delaminating means responsive to feed or shape at delamination

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)

Abstract

본 발명의 일 실시예에 따르면, 제1 기판 및 상기 제1 기판 상에 배치되고, 상기 제1 기판과 결합된 제2 기판에 합착되어 상기 제2 기판을 박리하는 탈착부, 상기 탈착부에 의해 상기 제1 기판 및 제2 기판이 박리되는 속도를 센싱하는 센싱부, 및 상기 탈착부를 제어하여, 상기 제1 기판과 제2 기판이 박리되는 각도를 일정하게 유지하는 제어부를 포함하는 기판 박리 장치를 제공합니다.

Description

기판 박리 장치, 및 기판 박리 방법{SUBSTRATE PEELING DEVICE, METHOD OF PEELING SUBSTRATE}
본 발명은 기판 박리 장치, 기판 박리 방법에 관한 것이다.
근래에 들어 사회가 본격적인 정보화 시대로 접어듦에 따라 대량의 정보를 처리 및 표시하는 디스플레이(display) 분야가 급속도로 발전해 왔고, 최근에는 특히 경량화, 박형화, 저소비전력화의 우수한 성능을 지닌 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT) 액정표시장치(Liquid Crystal Display; LCD)가 개발되어 기존의 브라운관(Cathode Ray Tube; CRT)을 대체하고 있다.
상기 액정표시장치는 크게 컬러필터 기판과 어레이 기판 및 상기 컬러필터 기판과 어레이 기판 사이에 형성된 액정층(liquid crystal layer)으로 구성된다.
상기 컬러필터 기판은 적(Red; R), 녹(Green; G), 청(Blue; B)색의 서브컬러필터로 구성되는 컬러필터와 상기 서브컬러필터 사이를 구분하고 상기 액정층을 투과하는 광을 차단하는 블랙매트릭스(black matrix), 그리고 상기 액정층에 전압을 인가하는 투명한 공통전극으로 이루어져 있다.
상기 어레이 기판에는 종횡으로 배열되어 화소 영역을 정의하는 게이트 라인과 데이터라인이 형성되어 있다. 이때, 상기 게이트 라인과 데이터라인의 교차영역에는 스위칭 소자인 박막 트랜지스터가 형성되어 있으며, 상기 각 화소 영역에는 화소 전극이 형성되어 있다.
이와 같이 구성된 상기 컬러필터 기판과 어레이 기판은 화상표시 영역의 외곽에 형성된 실런트(sealant)에 의해 대향하도록 합착되어 액정패널을 구성하며, 상기 컬러필터 기판과 어레이 기판의 합착은 상기 컬러필터 기판 또는 어레이 기판에 형성된 합착키를 통해 이루어진다.
이러한 액정표시장치는 휴대용 전자기기에 특히 많이 사용되기 때문에, 그 크기와 무게를 감소시켜야만 전자기기의 휴대성을 향상시킬 수 있게 된다. 더욱이, 근래에는 대면적의 액정표시장치가 제작됨에 따라 이러한 경량 및 박형의 요구는 더욱 거세 지고 있다.
액정표시장치의 두께나 무게를 감소시키는 방법은 여러 가지가 있을 수 있지만, 그 구조나 현재 기술상 액정표시장치의 필수 구성요소를 줄이는 것은 한계가 있다. 더욱이, 이러한 필수 구성요소는 중량이 작기 때문에 이들 필수 구성요소의 중량을 감소시켜 전체 액정표시장치의 두께나 무게를 줄이는 것은 대단히 어려운 실정이다.
액정패널을 구성하는 컬러필터 기판과 어레이 기판의 두께를 줄여 액정표시장치의 두께와 무게를 감소시키는 방법이 활발히 연구되고 있으나, 박형의 기판을 이용하여야 하기 때문에 다수의 단위공정간 이동시 또는 단위공정 진행시 기판이 휘거나 깨지는 현상이 발생하고 있다.
특히, 박형 유리기판에 캐리어 기판을 부착하여 공정을 진행하고, 공정이 완료된 후에 박형 유리기판과 캐리어 기판을 분리하는 과정에서 기판이 깨지는 현상이 빈번하게 발생하며, 이는 박형 유리기판이 견딜 수 있는 응력 이상의 힘이 가해져 깨짐이 발생하곤 한다.
특히, 박형 유리기판에 캐리어 기판을 부착하여 공정을 진행하고, 공정이 완료된 후에 박형 유리기판과 캐리어 기판을 분리하는 과정에서 기판이 깨지는 현상이 빈번하게 발생하며, 이는 박형 유리기판이 견딜 수 있는 응력을 초과하는 힘이 가해져 깨짐이 발생하곤 한다.
이에 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 박형 유리기판이 견딜 수 있는 응력 이하의 힘이 가해질 수 있는 기판 박리 장치를 제공하고자 하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 박형 유리기판이 견딜 수 있는 응력 이하의 힘이 가해질 수 있는 기판 박리 방법을 제공하고자 하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 과제는 박형 유리기판의 탈착 시 공정 중에 발생하는 기판의 깨짐을 제거할 수 있는 기판 박리 방법을 제공하고자 하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 박리 장치는 제1 기판 및 상기 제1 기판 상에 배치되고, 상기 제1 기판과 결합된 제2 기판에 합착되어 상기 제2 기판을 박리하는 탈착부, 상기 탈착부에 의해 상기 제1 기판 및 제2 기판이 박리되는 속도를 센싱하는 센싱부, 및 상기 탈착부를 제어하여, 상기 제1 기판과 제 2 기판이 박리되는 각도를 일정하게 유지하는 제어부를 포함한다.
상기 탈착부는, 복수의 흡착 패드, 상기 각 흡착 패드를 상하로 이동시키는 복수의 흡착 패드 이송 유닛, 및 상기 복수의 흡착 패드 이송 유닛을 지지하는 흡착 패드 지지대를 포함하되, 상기 각 흡착 패드 이송 유닛의 상하 이동은 상기 제어부에 의해서 제어된다.
상기 흡착 패드는 진공력에 의해 상기 제2 기판과 합착된다.
상기 흡착 패드 지지대는 제1 방향으로 연장되어 형성되는 복수의 지지 패드를 포함하되, 상기 지지 패드는 상기 제2 방향을 따라 복수개가 연속적으로 배열된다.
상기 지지 패드는 제2 방향으로 연속하여 배열되는 복수의 흡착 패드 중, 적어도 한 개 이상의 상기 흡착 패드와 고정된다.
상기 센싱부는 제1 센서와 제2 센서를 포함하며, 상기 제1 센서는 상기 제1 기판과 상기 제2 기판이 제2 방향으로 박리되는 속도를 센싱하며, 상기 제2 센서는 상기 제1 기판과 상기 제2 기판이 제3 방향으로 박리되는 속도를 센싱한다.
상기 제1 센서 및 제2 센서는 CCD카메라 또는 CMOS카메라를 포함한다.
상기 제어부는 상기 각 흡착 패드 이송 유닛 및 상기 각 흡착 패드 지지대를 제어하여, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판이 제2 방향으로 박리되는 속도 또는 제3 방향으로 박리되는 속도를 제어한다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 박리 장치는 제1 기판 및 상기 제1 기판 상에 배치되고, 상기 제1 기판과 결합된 제2 기판에 합착되어 상기 제2 기판을 박리하는 탈착부, 상기 탈착부에 의해 상기 제1 기판 및 제2 기판이 박리되는 속도를 센싱하는 센싱부, 상기 제1 기판과 고정되며, 상기 제1 기판을 일 방향으로 이송하는 이송부, 및 상기 탈착부 및 이송부를 제어하여, 제1 기판 및 제 2 기판이 박리되는 각도를 일정하게 유지하는 제어부를 포함한다.
상기 탈착부는 복수의 흡착 패드, 상기 각 흡착 패드를 상하로 이동시키는 흡착 패드 이송 유닛, 및 상기 복수의 흡착 패드 이송 유닛을 지지하는 흡착 패드 지지대를 포함하되, 상기 각 흡착 패드는 상기 제어부에 의해서 제어될 수 있다.
상기 흡착 패드는 진공력에 의해 상기 제2 기판과 합착된다.
상기 흡착 패드 지지부는 제1 방향으로 연장되어 형성되는 복수의 지지 패드를 포함하되, 상기 지지 패드는 상기 제2 방향을 따라 복수개가 연속적으로 배열된다.
상기 지지 패드는 제2 방향으로 연속하여 배열되는 복수의 흡착 패드 중, 적어도 한 개 이상의 상기 흡착 패드와 고정된다.
상기 센싱부는 제1 센서와 제2 센서를 포함하며, 상기 제1 센서는 상기 이송부가 일 방향으로 이송하는 속도를 센싱하며, 상기 제2 센서는 상기 제1 기판과 상기 제2 기판이 제3 방향으로 박리되는 속도를 센싱하되, 상기 제1 센서 및 제2 센서는 CCD카메라 또는 CMOS카메라를 포함한다.
상기 제어부는 상기 각 흡착 패드 이송 유닛 및 상기 각 흡착 패드 지지대를 제어하여, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판이 제2 방향으로 박리되는 속도 또는 제3 방향으로 박리되는 속도를 제어한다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 박리 방법은 제1 기판 및 상기 제1 기판 상에 배치되고, 상기 제1 기판과 결합된 제2 기판을 탈착부에 합착하여 상기 제2 기판을 박리하는 단계, 및 상기 제1 기판 및 제2 기판이 박리되는 속도를 센싱하는 단계를 포함하되, 상기 제1 기판과 제2 기판이 박리되는 각도가 일정하게 유지되도록 제어 가능하다.
상기 제2 기판을 박리하는 단계는, 복수의 흡착 패드가 상기 제2 기판 상에 얼라인되는 단계, 상기 복수의 흡착 패드를 진공력에 의해 상기 제2 기판과 합착시키는 단계, 및 상기 각 흡착 패드의 상하 운동을 제어하여 상기 제2 기판을 들어올리는 단계를 포함한다.
상기 제1 기판과 상기 제2 기판이 제2 방향으로 박리되는 속도를 센싱하는 단계, 및 상기 제1 기판과 상기 제2 기판이 제3 방향으로 박리되는 속도를 센싱하는 단계를 더 포함한다.
상기 제1 기판과 상기 제2 기판이 제2 방향으로 박리되는 속도의 크기가 상기 제1 기판과 상기 제2 기판이 제3 방향으로 박리되는 속도의 크기보다 크거나 작으며, 상기 상기 제1 기판과 상기 제2 기판이 제2 방향으로 박리되는 속도의 크기가 상기 제1 기판과 상기 제2 기판이 제3 방향으로 박리되는 속도의 크기의 비율이 일정하게 유지된다.
본 발명의 실시예들에 의하면 적어도 다음과 같은 효과가 있다.
즉, 박형 유리기판이 캐리어 기판과 박리되는 각도를 센싱하여 상기 박형 유리기판에 일정한 응력이 가해지도록 제어할 수 있다.
또, 외부 환경에 영향을 받지 않고, 박형 유리기판에 일정한 응력이 가해지도록 제어하여 제조 시 박형 표시 장치의 불량률을 감소시킬 수 잇다.
본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 박리 장치의 구성을 개략적으로 도시한 블록도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 박리 장치를 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 박리 장치를 도시한 정면도이다.
도 4a 내지 도4b는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 박리 장치의 탈착부가 기판과 합착하는 단계를 설명하기 위한 탈착부의 단면도이다.
도 5는 제1 기판과 제2 기판이 결합되어 있는 형태를 도시한 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 기판과 제2 기판을 박리하는 단계를 설명하기 위한 순서도이다.
도 7 내지 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 기판과 제2 기판을 박리하는 단계를 설명하기 위한 단면도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 기판과 제2 기판이 일정한 각도로 박리되는 단계를 설명하기 위한 도면이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 기판과 제2 기판이 일정한 각도를 유지하며 박리되는 단계를 설명하기 위한 순서도이다.
도 13은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 박리 장치의 구성을 개략적으로 도시한 블록도이다.
도 14는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 박리 장치를 도시한 사시도이다.
도 15은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 박리 장치를 도시한 정면도이다.
도 16은 본 발명의 다른 실시예에 따른 제1 기판과 제2 기판을 박리하는 단계를 설명하기 위한 순서도이다.
도 17은 본 발명의 다른 실시예에 따른 제1 기판과 제2 기판이 일정한 각도를 유지하며 박리되는 단계를 설명하기 위한 순서도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
하나의 소자(elements)가 다른 소자와 "접속된(connected to)" 또는 "커플링된(coupled to)" 이라고 지칭되는 것은, 다른 소자와 직접 연결 또는 커플링된 경우 또는 중간에 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 하나의 소자가 다른 소자와 "직접 접속된(directly connected to)" 또는 "직접 커플링된(directly coupled to)"으로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자를 개재하지 않은 것을 나타낸다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. "및/또는"은 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
이하, 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대해 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 박리 장치의 구성을 개략적으로 도시한 블록도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 박리 장치는 제1 기판(101, 111) 및 제1 기판(101, 111) 상에 배치되고, 제1 기판(101, 111)과 결합된 제2 기판(102, 112)에 합착되어 제2 기판(102, 112)을 박리하는 탈착부(200), 탈착부(200)에 의해 제2 모기판(102) 및 제2 보조기판(112)이 박리되는 속도를 센싱하는 센싱부(300), 및 탈착부(200)를 제어하여, 제2 모기판(102)과 제2 보조기판(112)이 박리되는 각도를 일정하게 유지하는 제어부(400)를 포함할 수 있다.
탈착부(200)는 흡착 패드(210), 흡착 패드 이송 유닛(220), 및 흡착 패드 지지대(230)을 포함할 수 있다. 탈착부(200)는 액정 패널(100)의 제2 보조기판(112)에 흡착 패드(210)를 이용하여 진공력에 의해 합착될 수 있다. 탈착부(200)가 제2 기판(112)에 합착된 후, 흡착 패드 이송 유닛(220)이 흡착 패드(210)를 상하로 이동시켜 제2 보조기판(112)과 제2 모기판(102)을 박리할 수 있다. 또한, 흡착 패드 이송 유닛(220)은 흡착 패드 지지대(230)에 의해 지지되며, 흡착 패드 이송 유닛(220)은 흡착 패드 지지대(230)의 움직임에 따라 제1 기판(101, 111)과 소정의 각도를 형성할 수 있다. 흡착 패드 지지대(230)는 제1 방향으로 연장되어 형성되는 복수의 지지 패드(235)를 포함할 수 있으며, 지지 패드(235)는 제2 방향을 따라 연속적으로 배열될 수 있다. 또한, 지지 패드(235)는 제2 방향으로 연속하여 배열되는 복수의 흡착 패드(210) 중, 적어도 한 개 이상의 흡착 패드(210)와 고정되어 형성될 수 있다.
센싱부(300)는 제1 센서(310) 및 제2 센서(320)를 포함할 수 있다. 제1 센서(310)는 흡착 패드(210)가 제2 방향으로 순차적으로 흡착함으로써, 제2 보조기판(112)이 제2 방향으로 제2 모기판(102)과 박리되는 속도를 센싱할 수 있다. 제2 센서(320)는 흡착 패드(210)가 흡착 패드 이송 유닛(220))에 의해 제3 방향(후술하는 도 2에서는 z방향으로 도시됨)으로 박리되는 속도를 센싱할 수 있다. 제1 센서(310) 및 제2 센서(320)는 CCD 카메라 또는 CMOS 카메라로 형성될 수 있다.
제어부(400)는 센싱부(200)가 센싱하여 취득한 제2 보조기판(112)이 제2 방향으로 제2 모기판(102)과 박리되는 속도(이하, "V1"이라 지칭함) 및 흡착 패드 이송 유닛(220)에 의해 제3 방향(후술하는 도 2에서는 z방향으로 도시됨)으로 박리되는 속도(이하, "V2"라 지칭함)가 동일한지 여부를 판단하며, V1과 V2가 상이한 경우, 흡착 패드 이송 유닛(220) 및 흡착 패드 지지대(230)를 제어하여 V1과 V2가 동일한 크기를 같도록 유지할 수 있다. 즉, V1과 V2의 크기가 동일하면, 제2 보조기판(112)과 제2 모기판(102)이 이루는 각도도 일정하게 유지될 수 있으므로, 제2 기판에 가해지는 응력도 일정하게 유지될 수 있다. 제2 보조기판(112)에 가해지는 상기 응력은 최대 90MPa 이하가 되도록 박리 각도를 유지하여야 하며, 상기 박리 각도는, 본 실시예에서는 45°이하로 유지할 수 있으나, 이에 한정되지는 않을 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 박리 장치를 도시한 사시도이다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 박리 장치를 도시한 정면도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 테이블(120)은 액정 패널(100)을 고정할 수 있다. 즉, 테이블(120) 상에 액정 패널 (100)이 안착되어 고정될 수 있다. 테이블(120)은, 예를 들어, 표시 장치의 제조 장치의 스테이지나 이송 레일일 수 있다. 테이블(120)은 정육면체의 플레이트 형상일 수 있다. 또한, 테이블(120)의 폭은 기판(100)의 폭보다 같거나 클 수 있다. 또한, 테이블(120)과 액정 패널(100)은 진공력 또는 정전기력 또는 표면장력 등에 의해 합착되어 고정될 수 있다.
액정 패널(100)은 제1 모기판(101), 제2 모기판(102), 제1 보조기판(111), 및 제2 보조기판(112)을 포함할 수 있다. 합착된 제1 모기판(101), 제2 모기판(102)은 공정 진행을 위해 부착한 제1 보조기판(111), 제2 보조기판(112)을 제1 모기판(101) 및 제2 모기판(102)으로부터 각각 분리하여야 한다.
합착된 제1 모기판(101)과 제2 모기판(102)은 박막 트렌지스터 어레이 기판들이 형성된 제1 모기판(101) 상에 컬러필터 기판들이 형성된 제2 모기판(102)이 적층된 상태일 수 있다. 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 합착된 제 1, 제 2 모기판(101, 102)은 컬러필터 기판들이 형성된 제 2 모기판(102) 상에 박막 트랜지스터 어레이 기판들이 형성된 제 1 모기판(101)이 적층된 상태일 수도 있다.
제 2 보조기판(112)이 위로 향하도록 상기 제 1, 제 2 모기판(101, 102)을 테이블(120) 상에 안착하게 되며, 상기 로딩된 제 1, 제 2 모기판(101, 102) 상부에는 다수의 흡착 패드(210), 이들을 지지하는 흡착 패드 이송 유닛(220), 및 흡착 패드 이송 유닛(220)이 결합되어 있는 흡착 패드 지지대(230)가 설치될 수 있다.
또한, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 기판 박리 장치는 테이블(120) 상에 안착된 제 1, 제 2 모기판(101, 102)과 탈착부(200)와의 얼라인을 위한 얼라인 유닛, 및 얼라인된 제 1, 제 2 모기판(101, 102)을 고정시키기 위한 진공 척(vacuum chuck) 등을 추가로 구비할 수 있다.
탈착부(200)는 흡착 패드(210), 흡착 패드 이송 유닛(220), 및 흡착 패드 지지대(230)을 포함할 수 있다. 탈착부(200)는 액정 패널(100)과 얼라인 된 후, 진공력에 의해 제2 기판(112)과 흡착 패드(210)를 합착할 수 있다. 탈착부(200)가 제2 기판(112)에 합착된 후, 흡착 패드 이송 유닛(220)이 흡착 패드(210)를 상하로 이동시켜 제2 보조기판(112)과 제2 모기판(102)을 박리할 수 있다. 또한, 흡착 패드 이송 유닛(220)은 흡착 패드 지지대(230)에 의해 지지되며, 흡착 패드 이송 유닛(220)은 흡착 패드 지지대(230)의 움직임에 따라 제1 기판(101, 111)과 소정의 각도를 형성할 수 있다. 흡착 패드 지지대(230)는 제1 방향으로 연장되어 형성되는 복수의 지지 패드(235)를 포함할 수 있으며, 지지 패드(235)는 제2 방향을 따라 연속적으로 배열될 수 있다. 각각의 흡착 패드(210)는 제어부(400)에 의해 흡착 여부, 상하로 이송되는 속도 및 상하로 이송되는 거리 등이 제어될 수 있다. 또한, 각각의 지지 패드 역시 제어부(400)에 의해 지지 패드가 제1 기판과 이루는 각도 등을 제어될 수 있다.
센싱부(300)는 제1 센서(310) 및 제2 센서(320)를 포함할 수 있다. 제1 센서(310) 및 제2 센서(320)는 제2 보조기판(112)과 제2 모기판(102)이 형성되어 있는 높이와 동일한 높이에 형성될 수 있다. 제1 센서(310)는 흡착 패드(210)가 제2 방향으로 순차적으로 박리해 나가므로, 흡착 패드(210)가 제2 방향으로 순차적으로 박리해 나가는 속도를 센싱하여, 제2 보조기판(112)이 제2 방향으로 제2 모기판(102)과 박리되는 속도(V1)를 센싱할 수 있다. 제1 센서(310)는 흡착 패드가 순차적으로 제2 방향으로 합착해 나가는 속도를 센싱하거나, 제2 보조기판(112)과 제2 모기판(102)이 제2 방향으로 박리되어 나가는 속도를 센싱할 수 있다. 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 제1 센서(310)는 제2 보조기판(112)과 제2 모기판(102)이 제2 방향으로 박리되는 속도를 센싱할 수 있으면 족하다.
제2 센서(320)는 흡착 패드(210)가 흡착 패드 이송 유닛(220)에 의해 제3 방향(도 2에서는 z방향으로 도시됨)으로 박리되는 속도를 센싱할 수 있다. 제2 센서(320)는 흡착 패드 이송 유닛(220)이 상승하는 속도를 센싱하거나, 제2 보조기판(112)과 제2 모기판(102)이 제3 방향으로 박리되는 속도를 센싱할 수 있다. 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 제2 센서(320)는 제2 보조기판(112)과 제2 모기판(102)이 제2 방향으로 박리되는 속도를 센싱할 수 있으면 족하다.
제1 센서(310) 및 제2 센서(320)는 CCD 카메라 또는 CMOS 카메라를 포함할 수 있다.
다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 제1 센서(310) 및 제2 센서(320)는 초음파 탐지기 등의 탐지기를 포함할 수 있으며, 제1 센서(310) 및 제2 센서(320)가 각각의 방향에 대한 속도를 센싱할 수 있으면 족하다.
도 4a 내지 도4b는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 박리 장치의 탈착부가 기판과 합착하는 단계를 설명하기 위한 탈착부의 단면도이다.
도 4a 내지 도4b를 참조하면, 탈착부(200)는 흡착 패드(210), 흡착 패드 이송 유닛(220), 및 흡착 패드 지지대(230)를 포함할 수 있다. 흡착 패드(210)는 제2 보조기판(112)과 합착될 수 있으며, 이는 진공력에 의할 수 있다. 상기 진공력은 흡착 패드(210)가 제2 보조기판(112)에 안착되면, 제어부(400)에 의해서 제어되는 진공 펌프(도면에는 도시되어 있지 않음)가 제공하는 진공력에 의해서 흡착 패드(210)가 제2 보조기판(112)에 합착될 수 있다.
도 4a는 흡착 패드 이송 유닛(220)이 제3 방향으로 이송되기 전의 탈착부(200)의 일부를 도시한 것으며, 도 4b는 흡착 패드 이송 유닛(220)이 제3 방향으로 이송한 후의 탈착부(200)의 일부를 도시한 것이다. 흡착 패드 이송 유닛(220)은 이송 조절부(225)와 흡착 패드 지지대(230)를 기준으로 대칭으로 움직일 수 있다. 즉, 이송 조절부(225)가 줄어들면, 흡착 패드 이송 유닛(220)도 줄어들며, 이송 조절부(225)가 늘어나면, 흡착 패드 이송 유닛(220)도 늘어날 수 있다. 흡착 패드 지지대(230)는 복수의 지지 패드(235)를 포함되면, 각각의 지지 패드(235)는 제2 방향으로 이웃한 지지 패드(235)들 간에 분리될 수 있으며, 각각의 지지 패드(235)는 제2 보조기판(112)과 서로 다른 각도를 형성할 수 있다. 다만, 흡착 패드 이송 유닛(220)과 이송 조절부(225)이 작동하는 방법은 이에 한하지 않으며, 상기 구성 중 일부가 생략되더라도, 흡착 패드(210)를 제3 방향을 이송시킬 수 있는 방법이면 족하다.
각각의 흡착 패드 이송 유닛(220) 및 지지 패드(235)는 제어부(400)에 의해서 제어될 수 있다.
도 5는 제1 보조기판과 제 모기판이 결합되어 있는 형태를 도시한 단면도이다.
도 5를 참조하면, 제1 보조기판(111) 상에는 박막 트랜지스터, 화소 전극, 공통 전극, 액정층, 및 절연막을 포함하는 제1 모기판이 결합되어 있다. 즉, 박형 표시 장치의 패널 역시 박막 트랜지스터를 포함하는 일반 액정 패널과 동일한 구조를 형성할 수 있다. 다만, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며, 유기 발광 표시 장치, 또는 전기 영동 표시 장치 등의 표시 장치의 일반적인 구조를 포함할 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 기판과 제2 기판을 박리하는 단계를 설명하기 위한 순서도이다.
합착된 제 1, 제 2 모기판(101, 102)은 제1, 제2 보조기판(111, 112)을 상기 합착된 제1, 제2 모기판(101, 102)으로부터 각각 분리하여야 하는데, 이를 위해 먼저 테이블(120) 상에 합착된 제 1, 제 2 모기판(101, 102)을 안착할 수 있다.(S10).
이때, 합착된 제 1, 제 2 모기판(101, 102)은 박막 트랜지스터 어레이 기판들이 형성된 제1 모기판(101) 상에 컬러필터 기판들이 형성된 제 2 모기판(102)이 적층된 상태일 수 있다.
또한, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 기판 박리 장치는 테이블(120) 상에 로딩된 제1, 제2 모기판(101, 102)과 진공 패드 유닛과의 얼라인을 위한 얼라인 유닛, 상기 진공 패드 유닛을 상하로 이동시키기 위한 흡착 패드 이송 유닛 및 얼라인된 제1, 제2 모기판(101, 102)을 고정시키기 위한 진공 척(vacuum chuck) 등을 추가로 구비할 수 있다.
이와 같이 테이블(120) 상에 로딩된 제 1, 제 2 모기판(101, 102)은 전술한 얼라인 유닛을 통해 그 상부의 탈착부(200)와 얼라인을 맞출 수 있다.(S20).
다음으로, 얼라인된 탈착부 중 흡착 패드 이송 유닛(220)이 하강하고, 진공 펌프를 이용하여 제2 보조기판과 흡착할 수 있다(S30).
마지막으로, 제어부(400)는 흡착 패드 이송 유닛(220) 및 지지 패드(235)를 조절하여 제2 보조 기판(112)을 박리할 수 있으며, 박리된 제2 보조 기판(112)의 형상은 직선의 형상에 한하지 않으며, 부채꼴 또는 원형일 수 있다(S40).
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 박리 방법을 설명하기 위하여 도 7 내지 도 10을 참조한다. 도 7 내지 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 기판과 제2 기판을 박리하는 단계를 설명하기 위한 단면도이다. 설명의 편의상, 도 2에 도시된 도면에 나타낸 각 엘리먼트와 실질적으로 동일한 엘리먼트는 동일 부호로 나타내고, 중복 설명을 생략한다.
먼저, 도 7를 참조하면, 테이블(120) 상에 제1 보조기판(111), 제1 모기판(101), 제2 보조기판(112) 및 제2 모기판(102)을 포함하는 액정 패널(100)이 안착될 수 있다. 테이블(120)과 액정 패널(100)은 진공력 또는 정전기력 등의 힘에 의해서 고정될 수 있으며, 박리 공정이 진행되는 동안 액정 패널(100)과 테이블(120)이 분리되지 않아야 한다.
탈착부(200)는 테이블(120) 상에 안착된 액정 패널(100) 상에 위치할 수 있다. 이때, 탈착부(200)는 도 5에 도시되어 있지 않은 연결 암을 통해 액정 패널(100) 상에 위치할 수 있으며, 상기 연결 암은 탈착부(200)를 하강시켜 제2 보조기판(112) 상에 탈착부(200)가 안착될 수 있도록 도울 수 있다. 다만, 상기 어레이 유닛에 의해 탈착부(200)를 하강시킬 지점에 상기 연결 암을 위치시킬 수 있다.
흡착 패드(210)가 액정 패널(100) 상에 어레이 됨과 동시에, 상기 진공 펌프가 작동하여 흡착 패드(210)와 제2 보조기판(112)과 합착할 준비를 할 수 있다. 다만, 이에 한하지 않고, 액정 패널(100) 상에 어레이 되고, 상기 연결 암이 탈착부(200)를 하강시키고 다시 정확하게 어레이한 후, 진공 펌프를 작동하여 합착할 수 있다.
도 8을 참조하면, 테이블(120)과 액정 패널(100)은 단단히 고정되어 있으며, 탈착부(200) 역시 진공력에 의해 제2 보조기판(112)과 고정되어 있다. 탈착부(200)의 흡착 패드 이송 유닛(220)은 이송 조절부(225)에 의하여 상하 높이 조절이 가능하며, 액정 패널(100)의 일단(도 8에서는 x축 방향 끝단을 도시됨)에서부터 이송 조절부(225)가 작동할 수 있으며, 상기 액정 패널(100)의 일단에서부터 제2 보조기판(112)이 박리될 수 있다.
도 9를 참조하면, 상기 액정 패널(100)의 일단(도 9에서는 x축 방향 끝단으로 도시됨)의 이송 조절부(220)가 하강하면, 흡착 패드 이송 유닛(220)의 끝단은 제3 방향(예를 들어, 도 9에서는 z축 방향으로 도시됨)으로 상승할 수 있다. 흡착 패드 이송 유닛(220)의 끝단에는 흡착 패드(210)가 형성되어 있으므로, 흡착 패드(210) 역시 상승할 수 있다. 진공력에 의해 흡착 패드(210)와 합착되어 있는 제2 보조기판(112)은 역시 상기 일단(도 9에서는 x축 방향 끝단으로 도시됨)부터 제2 모기판(102)과 박리되기 시작한다. 이웃한 이송 조절부(225)라도 서로 다른 높이만큼 하강할 수 있으며, 이에 따라 서로 이웃한 흡착 패드(210)도 각각 다른 높이만큼 제2 보조기판(112)을 제3 방향(예를 들어, 도 9에서는 z축 방향으로 도시됨)으로 이송시킬 수 있다.
도 9에는 도시되지 않았지만, 도 2 내지 도 3에 도시된 제1 센서(310)는 제2 보조기판(112)과 제2 모기판(102)의 경계가 위치하는 높이에 형성될 수 있으며, 제1 센서(310)는 흡착 패드(210)가 제2 방향으로 순차적으로 흡착함으로써, 제2 보조기판(112)이 제2 방향으로 제2 모기판(102)과 박리되는 속도를 센싱할 수 있다. 제2 보조기판(112)이 박리되는 시점은 이송 조절부(225)가 작동하여 흡착 패드 이송 유닛(220)이 상승하는 시점보다 늦을 수 있다. 다만, 서로 이웃한 흡착 패드(210)간의 간격(x)과 서로 이웃한 흡착 패드(210)가 순차적으로 작동하는데 걸리는 시간(t1)을 센싱한다면, 흡착 패드(210)가 순차적으로 제2 방향으로 제2 보조기판(112)과 박리되어 나가는 속도(V1)를 센싱할 수 있다. 또는, 제2 보조기판(112)과 제2 모기판(102)이 분리되는 지점이 제2 방향으로 이동하는 속도를 측정하여 V1을 측정할 수 있다.
도 9에는 도시되지 않았지만, 도 2 내지 도 3에 도시된 제2 센서(320) 또한 제2 보조기판(112)과 제2 모기판(102)의 경계가 위치하는 높이에 형성될 수 있으며, 제2 센서(320)는 흡착 패드(210)가 제2 보조기판(112)과 합착하여, 제3 방향으로 들어올리는 속도(V2)를 센싱할 수 있다. 제2 보조기판(112)이 박리되는 시점은 이송 조절부(225)가 작동하여 흡착 패드 이송 유닛(220)이 상승하는 시점보다 늦을 수 있다. 다만, 흡착 패드 이송 유닛(220)이 상승하는 속도(V2)를 센싱하거나, 제2 보조기판(112)과 제2 모기판(102)이 분리되는 지점이 제3 방향으로 상승하는 속도를 측정하여 V2을 측정할 수 있다.
도 10을 참조하면, 흡착 패드 이송 유닛(220)은 복수의 지지 패드(235)를 포함하고 있으며, 서로 분리될 수 있다. 흡착 패드 이송 유닛(220)이 상승하는 높이까지 제2 보조기판(112)을 합착하여 들어올린다면, 제2 보조기판(11)과 제2 모기판(102)이 이루는 각도가 45°보다 못미칠 수 있으며, 제2 보조기판(112)과 제2 모기판(102)을 박리하는데, 더 많은 시간이 소요될 수 있으며, 박리되지 않은 경우 추가적인 공정이 필요할 수 있다. 이러한 추가적 공정을 피하기 위해 서로 이웃한 지지 패드(235)는 각각의 지지 패널(235)이 소정의 각도를 이룰 수 있도록 조절될 수 있다. 즉, 지지 패드(235)를 조절함으로써 제2 보조기판(112)이 제2 모기판(102)과 용이하게 박리될 수 있어, 추가적인 공정을 줄일 수 있다. 다만, 지지 패드(235)의 각도를 조절하는 경우, 제2 보조기판(112)과 제2 모기판(102)이 이루는 각도(a)가 45°보다 커져, 제2 보조기판(112)이 견딜 수 있는 응력 90MPa보다 큰 힘이 제2 보조기판(112)에 가해질 수 있으므로, V2의 크기가 V1의 크기보다 크지 않도록 제어부(400)가 박리 속도를 조절할 수 있다.
도 10의 과정에서 제2 보조기판(112)은 부채꼴의 형태를 이룰 수 있으며, 원의 형태를 이룰 수 있다. 다만, 어떠한 형태이더라고 제2 보조기판(112)과 제2 모기판(102)이 이루는 각도(a)가 45°보다 작으면 족하다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 기판과 제2 기판이 일정한 각도로 박리되는 단계를 설명하기 위한 도면이다.
도 11을 참조하면, 제1 보조기판(112)과 제1 모기판(102)이 박리되는 지점에서 공통 전극 또는 화소 전극등과 같은 도전체도 소정의 각도로 꺽일 수 있다. 도전체는 일반적으로 연성이 우수하므로, 상기와 같은 꺽임에도 박막 트랜지스터의 스위칭 특성은 영향을 받지 않을 수 있다. 도 11은 제1 보조기판(111) 상에 형성된 제1 모기판(101)을 박리하는 과정을 설명하였으나, 제2 모기판(102) 상에 형성된 제2 모기판(112)을 박리하는 공정도 동일한 방법으로 수행할 수 있다.
또한, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며, 유기 발광 표시 장치, 또는 전기 영동 표시 장치 등의 표시 장치의 일반적인 구조를 포함할 수 있다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 기판과 제2 기판이 일정한 각도를 유지하며 박리되는 단계를 설명하기 위한 순서도이다.
도 12를 참조하면, 먼저, 제1 센서(310)에 의해 제2 보조기판(112)이 제2 방향으로 박리되는 속도(V1)을 센싱하고, 제2 센서(320)에 의해 제2 보조기판(112)이 제3 방향으로 박리되는 속도(V2)를 센싱하여, 제어부(400)로 V1 및 V2를 전송한다.
제어부(400)는 V1과 V2의 크기를 비교하여, V1의 크기가 V2의 크기보다 크거나 같으면(V1 ≥ V2)이면, 제2 보조기판(112)이 견딜 수 있는 응력보다 작은 힘이 가해질 것이므로, 상기 각도를 유지할 수 있다. 다만, V1의 크기가 0인 경우, 탈착부(200)는 더 이상 제2 보조기판(112)을 박리하지 않는 것으로 볼 수 있으므로, 센싱부(300)는 센싱하지 않을 수 있다. V1의 크기가 0이 아닌 경우, 주기적으로 센싱부(300)가 V1 및 V2를 센싱하여 제2 보조기판(112)과 제2 모기판(102)이 이루는 각도를 일정하게 유지할 수 있도록 할 수 있다.
다만, 제어부(400)는 V1과 V2의 크기를 비교하여, V2의 크기가 V1의 크기보다 크거나 같으면(V2 ≥ V1)이면, 제2 보조기판(112)이 견딜 수 있는 응력보다 큰 힘이 가해질 것이므로, 상기 각도를 유지하지 않고, 제어부(400)는 다른 패턴으로 박리 공정을 진행할 수 있으며, 다시 센싱부(300)가 V1 및 V2를 센싱하여 제2 보조기판(112)과 제2 모기판(102)이 일정한 각도를 유지할 수 있도록, 계속 반복될 수 있다.. 다만, V1의 크기가 0인 경우, 탈착부(200)는 더 이상 제2 보조기판(112)을 박리하지 않는 것으로 볼 수 있으므로, 센싱부(300)는 센싱하지 않을 수 있다. V1의 크기가 0이 아닌 경우, 주기적으로 센싱부(300)가 V1 및 V2를 센싱하여 제2 보조기판(112)과 제2 모기판(102)이 이루는 각도를 일정하게 유지할 수 있도록 할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 박리 장치에 따르면, 제2 보조기판(112)과 제2 모기판(102)이 박리되는 각도를 일정하게 유지하여, 박리 공정 중에 제2 보조기판(112)이 깨지는 현상을 방지할 수 있다.
도 13은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 박리 장치의 구성을 개략적으로 도시한 블록도이다. 도 14는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 박리 장치를 도시한 사시도이다. 도 15은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 박리 장치를 도시한 정면도이다.
도 13 내지 도 15을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 박리 장치는 탈착부(200), 센싱부(300), 제어부(400), 이송부(500)를 포함할 수 있다. 이는 본 발명의 일 실시예보다 이송부(500)를 더 포함된 것으로, 도 2의 테이블(120)은 도 13에서 이송 테이블(510)으로 도시되어 있다. 설명의 편의상, 도 1에 도시된 도면에 나타낸 각 엘리먼트와 실질적으로 동일한 엘리먼트는 동일 부호로 나타내고, 중복 설명을 생략한다.
센싱부(300)는 제1 센서(310) 및 제2 센서(320)를 포함할 수 있다. 제1 센서(310) 및 제2 센서(320)는 제2 보조기판(112)과 제2 모기판(102)이 형성되어 있는 높이와 동일한 높이에 형성될 수 있다. 제1 센서(310)는 흡착 패드(210)와 합착된 제2 보조기판(112)이 이송 테이블(510)에 고정되어 제2 방향의 반대방향(도 14에서 x방향으로 도시되어 있음)으로 이동하므로, 이송 테이블(510)의 제2 방향의 반대방향(도 14에서 x방향으로 도시되어 있음)으로 이동하는 속도를 센싱하여, 제2 보조기판(112)이 제2 방향으로 제2 보조기판(112)과 박리되는 속도(이하, "V1'"으로 지칭함)를 센싱할 수 있다. 또는, 제2 보조기판(112)과 제2 모기판(102)이 제2 방향으로 박리되어 나가는 속도를 센싱할 수 있다. 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 제1 센서(310)는 제2 보조기판(112)과 제2 모기판(102)이 제2 방향으로 박리되는 속도(V1')를 센싱할 수 있으면 족하다.
제2 센서(320)는 흡착 패드(210)가 흡착 패드 이송 유닛(220)에 의해 제3 방향(도 14에서는 z방향으로 도시됨)으로 박리되는 속도(이하, "V2'"라 지칭함)를 센싱할 수 있다. 제2 센서(320)는 흡착 패드 이송 유닛(220)이 상승하는 속도를 센싱하거나, 제2 보조기판(112)과 제2 모기판(102)이 제3 방향으로 박리되는 속도를 센싱할 수 있다. 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 제2 센서(320)는 제2 보조기판(112)과 제2 모기판(102)이 제2 방향으로 박리되는 속도(V2')를 센싱할 수 있으면 족하다.
제1 센서 및 제2 센서(310, 320)는 CCD 카메라 또는 CMOS 카메라를 포함할 수 있다.
다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 제1 센서 및 제2 센서는 초음파 탐지기 등의 탐지기를 포함할 수 있으며, 제1 센서 및 제2 센서가 각각의 방향에 대한 속도를 센싱할 수 있으면 족하다.
이송부(500)는 이송 테이블(510), 연결 암(520), 및 가이드 부재(530)을 포함할 수 있다.
이송 테이블(510)은 표시 장치의 제조 장치의 스테이지나 이송 레일일 수 있다. 이송 레일을 따라 제2 방향의 반대 방향(도 14에서는 x방향으로 도시되어 있음)으로 이송 테이블(510)이 이동할 수 있다. 즉, 흡착 패드 이송 유닛(220)이 순차적으로 제2 보조기판(112)을 박리하며 이동하지 않고, 제2 보조기판(112)과 합착된 개별 흡착 패드(210)에 일정한 힘을 가하고, 이송 테이블(510)이 이동하여 박리 공정이 진행될 수 있다.
연결 암(520)은 이송 테이블(510)과 가이드 부재(530)을 연결하며, 연결 암(520)에 의해 이송 테이블(510)이 제2 방향의 반대 방향(도 14에서는 x방향으로 도시되어 있음)으로 가이드 부재(530)를 따라 이동할 수 있다.
가이드 부재(530)는 연결 암(520)이 안착되어 제2 방향의 반대 방향(도 14에서는 x방향으로 도시되어 있음)으로 이송 테이블(510)이 이동할 수 있도록 가이드할 수 있다.
설명의 편의상, 도 1에 도시된 도면에 나타낸 각 엘리먼트와 실질적으로 동일한 엘리먼트는 동일 부호로 나타내고, 중복 설명을 생략한다.
도 16은 본 발명의 다른 실시예에 따른 제1 기판과 제2 기판을 박리하는 단계를 설명하기 위한 순서도이다.
도 16을 참조하면, 합착된 제 1, 제 2 모기판(101, 102)은 제1, 제2 보조기판(111, 112)을 상기 합착된 제1, 제2 모기판(101, 102)으로부터 각각 분리하여야 하는데, 이를 위해 먼저 이송 테이블(510) 상에 합착된 제 1, 제 2 모기판(101, 102)을 안착할 수 있다.(S10).
이때, 합착된 제 1, 제 2 모기판(101, 102)은 박막 트랜지스터 어레이 기판들이 형성된 제1 모기판(101) 상에 컬러필터 기판들이 형성된 제 2 모기판(102)이 적층된 상태일 수 있다.
또한, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 기판 박리 장치는 이송 테이블(510) 상에 로딩된 제1, 제2 모기판(101, 102)과 탈착부(200)와의 얼라인을 위한 얼라인 유닛, 상기 진공 패드 유닛을 상하로 이동시키기 위한 흡착 패드 이송 유닛(220) 및 얼라인된 제1, 제2 모기판(101, 102)을 고정시키기 위한 진공 척(vacuum chuck) 등을 추가로 구비할 수 있다.
이와 같이 이송 테이블(510) 상에 로딩된 제 1, 제 2 모기판(101, 102)은 전술한 얼라인 유닛을 통해 그 상부의 탈착부(200)와 얼라인을 맞추게 된다(S20).
다음으로, 얼라인된 탈착부(200) 중 흡착 패드 이송 유닛(220)이 하강하고, 진공 펌프를 이용하여 제2 보조기판(112)과 흡착할 수 있다(S30).
제2 보조기판(112)과 흡착 패드(210)가 합착되어 있는 상황에서, 흡착 패드 이송 유닛(220)이 상승하여 제2 보조기판(112)에 제3 방향으로 힘을 가하고, 이송 테이블(510)이 제2 방향의 반대방향(도 14에서는 x방향으로 도시되어 있음)으로 이동할 수 있다.(S35)
마지막으로, 제어부(400)는 이송 테이블(510), 흡착 패드 이송 유닛(220) 및 지지 패드(235)를 조절하여 제2 보조기판(112)을 박리할 수 있으며, 박리된 제2 보조기판(112)의 형상은 직선의 형상에 한하지 않으며, 부채꼴 또는 원형일 수 있다(S40).
도 17은 본 발명의 다른 실시예에 따른 제1 기판과 제2 기판이 일정한 각도를 유지하며 박리되는 단계를 설명하기 위한 순서도이다.
도 17을 참조하면, 먼저, 제1 센서(310)에 의해 제2 보조기판(112)이 제2 방향으로 박리되는 속도(V1)을 센싱하고, 제2 센서(320)에 의해 제2 보조기판(112)이 제3 방향으로 박리되는 속도(V2)를 센싱하여, 제어부(400)로 V1 및 V2를 전송한다.
제어부(400)는 V1과 V2의 크기를 비교하여, V1의 크기가 V2의 크기보다 크거나 같으면(V1 ≥ V2)이면, 제2 보조기판(112)이 견딜 수 있는 응력보다 작은 힘이 가해질 것이므로, 상기 각도를 유지할 수 있다. 다만, V1의 크기가 0인 경우, 탈착부(2000는 더 이상 제2 보조기판(112)을 박리하지 않는 것으로 볼 수 있으므로, 센싱부(300)는 센싱하지 않을 수 있다. V1의 크기가 0이 아닌 경우, 주기적으로 센싱부(300)가 V1 및 V2를 센싱하여 제2 보조기판(112)과 제2 모기판(102)이 이루는 각도를 일정하게 유지할 수 있도록 할 수 있다.
다만, 제어부(400)는 V1과 V2의 크기를 비교하여, V2의 크기가 V1의 크기보다 크거나 같으면(V2 ≥ V1)이면, 제2 보조기판(112)이 견딜 수 있는 응력보다 큰 힘이 가해질 것이므로, 상기 각도를 유지하지 않고, 제어부(400)는 다른 패턴으로 박리 공정을 진행할 수 있으며, 다시 센싱부(300)가 V1 및 V2를 센싱하여 제2 보조기판(112)과 제2 모기판(102)이 일정한 각도를 유지할 수 있도록, 계속 반복될 수 있다.. 다만, V1의 크기가 0인 경우, 탈착부(200)는 더 이상 제2 보조기판(112)을 박리하지 않는 것으로 볼 수 있으므로, 센싱부(300)는 센싱하지 않을 수 있다. V1의 크기가 0이 아닌 경우, 주기적으로 센싱부(300)가 V1 및 V2를 센싱하여 제2 보조기판(112)과 제2 모기판(102)이 이루는 각도를 일정하게 유지할 수 있도록 할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 박리 장치에 따르면, 제2 보조기판(112)과 제2 모기판(102)이 박리되는 각도를 일정하게 유지하여, 박리 공정 중에 제2 보조기판(112)이 깨지는 현상을 방지할 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
100: 액정 패널 101: 제1 모기판
102: 제2 모기판 111: 제1 보조기판
112: 제2 보조기판 120: 테이블
200: 탈착부 210: 흡착 패드
220: 흡착 패드 이송 유닛 225: 이송 유닛 조절부
230: 흡착 패드 지지대 235: 지지 패드
300: 센싱부 310: 제1 센서
302: 제2 센서 400: 제어부
500: 이송부 510: 이송 테이블
520: 연결 암 530: 가이드 부재

Claims (19)

  1. 제1 기판 및 상기 제1 기판 상에 배치되고, 상기 제1 기판과 결합된 제2 기판에 합착되어 상기 제2 기판을 박리하는 탈착부;
    상기 탈착부에 의해 상기 제1 기판 및 제2 기판이 박리되는 속도를 센싱하는 센싱부; 및
    상기 탈착부를 제어하여, 상기 제1 기판과 제 2 기판이 박리되는 각도를 일정하게 유지하는 제어부를 포함하는 기판 박리 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 탈착부는, 복수의 흡착 패드;
    상기 각 흡착 패드를 상하로 이동시키는 복수의 흡착 패드 이송 유닛; 및
    상기 복수의 흡착 패드 이송 유닛을 지지하는 흡착 패드 지지대를 포함하되,
    상기 각 흡착 패드 이송 유닛의 상하 이동은 상기 제어부에 의해서 제어되는 기판 박리 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 흡착 패드는 진공력에 의해 상기 제2 기판과 합착되는 기판 박리 장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 흡착 패드 지지대는 제1 방향으로 연장되어 형성되는 복수의 지지 패드를 포함하되,
    상기 지지 패드는 상기 제2 방향을 따라 복수개가 연속적으로 배열되는 기판 박리 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 지지 패드는 제2 방향으로 연속하여 배열되는 복수의 흡착 패드 중, 적어도 한 개 이상의 상기 흡착 패드와 고정되는 기판 박리 장치.
  6. 제 2항에 있어서,
    상기 센싱부는 제1 센서와 제2 센서를 포함하며,
    상기 제1 센서는 상기 제1 기판과 상기 제2 기판이 제2 방향으로 박리되는 속도를 센싱하며,
    상기 제2 센서는 상기 제1 기판과 상기 제2 기판이 제3 방향으로 박리되는 속도를 센싱하는 기판 박리 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1 센서 및 제2 센서는 CCD카메라 또는 CMOS카메라를 포함하는 기판 박리 장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 각 흡착 패드 이송 유닛 및 상기 각 흡착 패드 지지대를 제어하여, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판이 제2 방향으로 박리되는 속도 또는 제3 방향으로 박리되는 속도를 제어하는 기판 박리 장치.
  9. 제1 기판 및 상기 제1 기판 상에 배치되고, 상기 제1 기판과 결합된 제2 기판에 합착되어 상기 제2 기판을 박리하는 탈착부;
    상기 탈착부에 의해 상기 제1 기판 및 제2 기판이 박리되는 속도를 센싱하는 센싱부;
    상기 제1 기판과 고정되며, 상기 제1 기판을 일 방향으로 이송하는 이송부; 및
    상기 탈착부 및 이송부를 제어하여, 제1 기판 및 제 2 기판이 박리되는 각도를 일정하게 유지하는 제어부를 포함하는 기판 박리 장치.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 탈착부는 복수의 흡착 패드;
    상기 각 흡착 패드를 상하로 이동시키는 흡착 패드 이송 유닛; 및
    상기 복수의 흡착 패드 이송 유닛을 지지하는 흡착 패드 지지대를 포함하되,
    상기 각 흡착 패드는 상기 제어부에 의해서 제어될 수 있는 기판 박리 장치.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 흡착 패드는 진공력에 의해 상기 제2 기판과 합착되는 기판 박리 장치.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 흡착 패드 지지부는 제1 방향으로 연장되어 형성되는 복수의 지지 패드를 포함하되,
    상기 지지 패드는 상기 제2 방향을 따라 복수개가 연속적으로 배열되는 기판 박리 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 지지 패드는 제2 방향으로 연속하여 배열되는 복수의 흡착 패드 중, 적어도 한 개 이상의 상기 흡착 패드와 고정되는 기판 박리 장치.
  14. 제10항에 있어서,
    상기 센싱부는 제1 센서와 제2 센서를 포함하며,
    상기 제1 센서는 상기 이송부가 일 방향으로 이송하는 속도를 센싱하며,
    상기 제2 센서는 상기 제1 기판과 상기 제2 기판이 제3 방향으로 박리되는 속도를 센싱하되,
    상기 제1 센서 및 제2 센서는 CCD카메라 또는 CMOS카메라를 포함하는 기판 박리 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 각 흡착 패드 이송 유닛 및 상기 각 흡착 패드 지지대를 제어하여, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판이 제2 방향으로 박리되는 속도 또는 제3 방향으로 박리되는 속도를 제어하는 기판 박리 장치.
  16. 제1 기판 및 상기 제1 기판 상에 배치되고, 상기 제1 기판과 결합된 제2 기판을 탈착부에 합착하여 상기 제2 기판을 박리하는 단계, 및
    상기 제1 기판 및 제2 기판이 박리되는 속도를 센싱하는 단계를 포함하되,
    상기 제1 기판과 제2 기판이 박리되는 각도가 일정하게 유지되도록 제어 가능한 기판 박리 방법.
  17. 제 16항에 있어서,
    상기 제2 기판을 박리하는 단계는,
    복수의 흡착 패드가 상기 제2 기판 상에 얼라인되는 단계,
    상기 복수의 흡착 패드를 진공력에 의해 상기 제2 기판과 합착시키는 단계; 및
    상기 각 흡착 패드의 상하 운동을 제어하여 상기 제2 기판을 들어올리는 단계를 포함하는 기판 박리 방법.
  18. 제 17항에 있어서,
    상기 제1 기판과 상기 제2 기판이 제2 방향으로 박리되는 속도를 센싱하는 단계; 및
    상기 제1 기판과 상기 제2 기판이 제3 방향으로 박리되는 속도를 센싱하는 단계를 더 포함하는 기판 박리 방법.
  19. 제 18항에 있어서,
    상기 제1 기판과 상기 제2 기판이 제2 방향으로 박리되는 속도의 크기가 상기 제1 기판과 상기 제2 기판이 제3 방향으로 박리되는 속도의 크기보다 크거나 작으며,
    상기 상기 제1 기판과 상기 제2 기판이 제2 방향으로 박리되는 속도의 크기가 상기 제1 기판과 상기 제2 기판이 제3 방향으로 박리되는 속도의 크기의 비율이 일정하게 유지되는 기판 박리 방법.
KR1020140012196A 2014-02-03 2014-02-03 기판 박리 장치, 및 기판 박리 방법 KR20150092398A (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140012196A KR20150092398A (ko) 2014-02-03 2014-02-03 기판 박리 장치, 및 기판 박리 방법
US14/303,364 US20150217556A1 (en) 2014-02-03 2014-06-12 Substrate peeling device and method for peeling substrate

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140012196A KR20150092398A (ko) 2014-02-03 2014-02-03 기판 박리 장치, 및 기판 박리 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20150092398A true KR20150092398A (ko) 2015-08-13

Family

ID=53754109

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140012196A KR20150092398A (ko) 2014-02-03 2014-02-03 기판 박리 장치, 및 기판 박리 방법

Country Status (2)

Country Link
US (1) US20150217556A1 (ko)
KR (1) KR20150092398A (ko)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102064405B1 (ko) * 2014-02-04 2020-01-10 삼성디스플레이 주식회사 기판 박리 장치 및 그것을 이용한 기판 박리 방법
KR102405122B1 (ko) * 2015-09-10 2022-06-08 삼성디스플레이 주식회사 기판 분리 장치 및 이를 이용한 기판 분리 방법
CN105197583B (zh) * 2015-10-30 2017-06-23 江苏比微曼智能科技有限公司 Pcb板下板机
CN109313867A (zh) * 2016-05-31 2019-02-05 堺显示器制品株式会社 基板保持装置
CN107665848B (zh) * 2016-07-29 2020-08-25 上海微电子装备（集团）股份有限公司 一种解键合调平装置及解键合方法
JP2018043377A (ja) * 2016-09-13 2018-03-22 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 剥離装置および剥離方法
KR102437535B1 (ko) 2016-11-15 2022-08-30 코닝 인코포레이티드 기판을 처리하는 방법
US10374161B2 (en) * 2017-08-16 2019-08-06 Wuhan China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co., Ltd. Glass substrate separation method and glass substrate separation device
CN113496645B (zh) * 2021-07-02 2023-06-27 浙江春宇包装材料有限公司 一种防伪商标及其制备方法
JP7465859B2 (ja) * 2021-11-25 2024-04-11 キヤノントッキ株式会社 基板キャリア、基板剥離装置、成膜装置、及び基板剥離方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW558743B (en) * 2001-08-22 2003-10-21 Semiconductor Energy Lab Peeling method and method of manufacturing semiconductor device
US20090017323A1 (en) * 2007-07-13 2009-01-15 3M Innovative Properties Company Layered body and method for manufacturing thin substrate using the layered body
CN102202994B (zh) * 2009-08-31 2014-03-12 旭硝子株式会社 剥离装置
JP5913053B2 (ja) * 2011-12-08 2016-04-27 東京エレクトロン株式会社 剥離装置、剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体
US8470129B1 (en) * 2012-05-08 2013-06-25 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. Method and machine for separating liquid crystal panel and liner pad

Also Published As

Publication number Publication date
US20150217556A1 (en) 2015-08-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20150092398A (ko) 기판 박리 장치, 및 기판 박리 방법
KR20100009208A (ko) 박리 및 안착 통합 장치와, 이를 이용한 액정표시장치의제조방법
TWI511225B (zh) Substrate transfer device and substrate assembly line
JP5897208B2 (ja) パネル取り付け装置
KR20180027693A (ko) 표시 장치
JP6038077B2 (ja) 基板脱着装置及び同装置を用いたフラットパネルディスプレイの製造方法
KR102561186B1 (ko) 기재 부착 방법 및 기재 부착 장치
KR101711956B1 (ko) 평행이동형 디스플레이 패널 측면단자 인쇄 시스템
CN109031745A (zh) 待切割显示模组及其制作方法
KR100556339B1 (ko) 수직형 편광판 부착장치
KR101711957B1 (ko) 회전이동형 디스플레이 패널 측면단자 인쇄 시스템
US20110122359A1 (en) Apparatus for transferring liquid crystal display panel
KR100548960B1 (ko) 편광판 부착장치
TWI425591B (zh) 基板組合裝置
KR101404057B1 (ko) 기판 합착 장치용 라미네이팅 장치 및 방법, 및 이를 구비한 기판 합착 장치 및 방법
KR20160111603A (ko) 합착 기판의 절단 시스템
JP5017041B2 (ja) 部品実装方法及び装置
KR100781536B1 (ko) 도포장치 및 도포방법
KR20120119263A (ko) 릴리스 장치
JP4904508B2 (ja) 基板の製造装置及びその方法
KR20040038540A (ko) 기판 로딩 및 언로딩용 테이블
KR101801397B1 (ko) 액정표시장치의 제조장치
KR20120023246A (ko) 기판 지지 장치
KR101488518B1 (ko) 기판 처리 장치
KR100963439B1 (ko) 기판 접합 장치

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid