JP4428358B2 - 電気光学装置の製造方法及び製造装置 - Google Patents
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(液晶装置の構造)
まず、はじめに液晶装置の構造について図3、図6、図7を用いて説明する。図3は対向基板の概略斜視図である。図6は、TFTアレイ基板をその上に形成された各構成要素と共に対向基板の側からみた平面図である。図7は図6の線H−H’の断面図である。
次に、液晶装置の製造装置について図1から図4を用いて説明する。
次に、上述の製造装置を用いた液晶装置の製造方法及び制御装置の動作について、図5に基づき、図1、図3を用いて説明する。図5は、液晶装置の製造工程を示すフロー図である。
52a…液晶注入口
55…アライメントマーク
200…液晶装置
210…マザー基板
210a…TFTアレイ基板
220…対向基板
300…製造装置
310…制御部
320…CCDカメラ
330…リング照明部
360…搬送機構
361…ヘッド
370…載置台
Claims (4)
- アライメントマークが形成された第1基板と、第2基板とを貼り合わせる電気光学装置の製造装置において、
前記第1基板が載置される第1載置台と、
前記第2基板が所定位置に載置される第2載置台と、
前記アライメントマークの位置を検出する検出部と、
前記第1基板を吸着保持する吸着保持体と、
前記第1基板を吸着保持した前記吸着保持体を前記第1載置台から前記検出部を経由して前記第2載置台上に搬送する搬送機構と、
前記検出部により検出された前記アライメントマークの位置情報に基づき算出した補正情報を前記搬送機構に伝送する制御部とを具備し、
前記制御部は、前記検出部により検出された前記アライメントマークの位置情報と、予め入力された基本となるアライメントマークの位置情報である対比情報とを比較することで前記補正情報を算出し、
前記搬送機構は、前記第1基板を吸着保持した前記吸着保持体を前記補正情報に基づいて補正された位置に搬送し、前記第1基板を前記第2基板上の仮位置合わせの位置に配置し、
前記第1載置台上に前記第1基板よりも大きい平面領域を有する凹部が形成され、前記凹部内に保持された前記第1基板が前記吸着保持体により吸着保持されることを特徴とする電気光学装置の製造装置。 - 前記第1基板が、電気光学装置を構成する一対の基板のうち一方の基板である一方、前記第2基板が、前記電気光学装置を構成する他方の前記基板を複数連結してなる基板であり、
前記搬送機構は、前記吸着保持体に吸着保持された前記第1基板を前記第2基板上の対応する位置に配置することを特徴とする請求項1に記載の電気光学装置の製造装置。 - アライメントマークが形成された第1基板を第1載置台上に配置する工程と、
第2載置台上の所定位置に第2基板を配置する工程と、
前記第1載置台上の前記第1基板を位置補正することなく吸着保持体に吸着保持させる工程と、
前記吸着保持体により吸着保持した状態で、前記吸着保持体を有する搬送機構によって、前記第1基板を前記アライメントマークの位置を検出する検出部の上まで搬送する工程と、
前記検出部の上において、前記アライメントマークの位置を検出する工程と、
前記検出された位置情報と、予め入力された基本となるアライメントマークの位置情報である対比情報とを比較し、補正情報を算出する工程と、
前記補正情報を前記搬送機構に伝送し、前記第1基板を吸着保持した前記吸着保持体を前記補正情報に基づいて補正された位置に搬送することで、前記第1基板を前記第2基板上の仮位置合わせの位置に配置する工程と、
前記第1基板と前記第2基板とを仮接着する工程と
を具備し、
前記第1基板を前記第1載置台上に配置する工程において、前記第1基板よりも大きい平面領域を有して前記第1載置台上に形成された凹部に前記第1基板を保持させる
ことを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 前記第1基板が、電気光学装置を構成する一対の基板のうち一方の基板である一方、前記第2基板が、前記電気光学装置を構成する他方の前記基板を複数連結してなる基板であり、
前記吸着保持体に吸着保持された前記第1基板を前記第2基板上の対応する位置に配置し、前記第1基板と前記一方の基板とを仮接着することを特徴とする請求項3に記載の電気光学装置の製造方法。
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