JP2002268044A - パネル位置決め装置、これを用いたパネル表示検査装置、電気光学装置用検査装置及び電気光学装置用位置決め装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】高精度の位置決めを可能にすると共に液晶パネ
ルの損傷を防ぐ。 【解決手段】チップテーブル７２上に、位置決めピン７
４を利用して液晶パネルを載置する。アーム７６，７７
は先端に位置出し面８４，８５が形成されており、アー
ム７６，７７を近接する方向に移動させることで、位置
出し面８４，８５が液晶パネルの対向基板側面を押圧し
ながら液晶パネルを位置決めする。対向基板の側面の外
形精度は高く、液晶パネルを高精度に位置決め可能であ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、複数の素子基板が
構成されたマザーガラス基板に対向基板を貼り合わせた
後に分断して構成された液晶パネルのパネル位置決め装
置、これを用いたパネル表示検査装置、電気光学装置用
検査装置及び電気光学装置用位置決め装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶ライトバルブ等の液晶装置は、ガラ
ス基板、石英基板等の２枚の基板間に液晶を封入して構
成される。液晶ライトバルブでは、一方の基板に、例え
ば薄膜トランジスタ（Thin Film Transistor、以下、Ｔ
ＦＴと称す）等の能動素子をマトリクス状に配置し、他
方の基板に対向電極を配置して、両基板間に封止した液
晶層の光学特性を画像信号に応じて変化させることで、
画像表示を可能にする。

【０００３】ＴＦＴを配置したＴＦＴ基板と、ＴＦＴ基
板に対向配置される対向基板とは、別々に製造される。
両基板は、パネル組立工程において高精度に貼り合わさ
れた後、液晶が封入される。

【０００４】パネル組立工程においては、先ず、各基板
工程において夫々製造されたＴＦＴ基板と対向基板との
対向面、即ち、対向基板及びＴＦＴ基板の液晶層と接す
る面上に配向膜が形成され、次いでラビング処理が行わ
れる。次に、一方の基板上の端辺に接着剤となるシール
部が形成される。ＴＦＴ基板と対向基板とをシール部を
用いて貼り合わせ、アライメントを施しながら圧着硬化
させる。シール部の一部には注入口が設けられており、
この注入口を介して液晶を封入する。

【０００５】一般的には、貼り合わせ工程までは、生産
性及び歩留まりの点から、ＴＦＴ基板は、大きいマザー
ガラス基板上で複数同時に形成される。マザーガラス基
板上に形成された各ＴＦＴ基板上に夫々対向基板を貼り
合わせる。スクライブ工程においては、マザーガラス基
板を各セル毎に切れ込みを入れ、この切れ込みを利用し
て各セルを分断して、液晶パネルを得る。

【０００６】ところで、完成した液晶パネルに対して、
パネル表示検査が行われる。図１４はこのようなパネル
表示検査に用いられる従来のパネル表示検査装置を示す
正面図である。また、図１５はその斜視図である。ま
た、図１６は図１４及び図１５中のチップテーブルを示
す斜視図である。

【０００７】台１上にはチップテーブル２が取り付けら
れる。チップテーブル２は、中央に窓３が形成され、窓
３の周囲の二辺には数カ所に位置出しピン４が取り付け
られている。窓３はチップテーブル２の上下方向に貫通
して形成され、窓３の大きさは完成した液晶パネルの表
示領域に対応した大きさである。

【０００８】台１には、台１に対して水平方向に位置決
めされたプローブカード固定板５が垂直方向には移動自
在に取り付けられている。プローブカード固定板５には
窓３に対応した窓６が形成されている。プローブカード
固定板５は下面に、少なくとも窓３，６に対応する部分
は開口したプローブカード７が取り付けられるようにな
っている。

【０００９】このように構成された従来のパネル表示検
査装置においては、チップテーブル２上に、図１７に示
す液晶パネル８を載置する。この場合には、液晶パネル
８のＴＦＴ基板９側をチップテーブル２上に載せ、ＴＦ
Ｔ基板９の側面を位置出しピン４に当接させることで、
液晶パネル８の水平方向の位置決めを行う。次に、液晶
パネル８をチップテーブル２上に真空吸着させて固定す
る。

【００１０】この状態でプローブカード固定板５を下方
に移動させて、プローブカード７の下面に配列された複
数のプローブ１３を液晶パネル８の端辺上に配列された
実装端子１１に接触させる。プローブカード固定板５の
プローブ１３には図示しないパターンジェネレータから
信号が供給されるようになっており、パターンジェネレ
ータからの信号によって、液晶パネル８を駆動させる。
検査者は窓３，６を介して液晶パネル８の表示を観察す
ることで、目視による検査を行う。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、液晶
パネル８の位置決めはＴＦＴ基板９側面を位置出しピン
４に当接させて行っている。即ち、ＴＦＴ基板９の側面
が位置出しの基準面となっている。ところが、液晶パネ
ル８のＴＦＴ基板９の側面は、スクライブ工程におい
て、バリ１２が生じている。このため、バリ１２によっ
てＴＦＴ基板９の位置がずれてしまうことがあり、プロ
ーブ１３と実装端子１１との位置合わせができなくなっ
て導通異常が生じ、正常にパネル表示検査を実施するこ
とができなくなってしまうという問題点があった。

【００１２】また、ＴＦＴ基板９の側面を位置出しピン
４に当接させる際に、バリ１２が欠けてしまい、この欠
けによって表示領域周辺部の配線パターンが損傷を受
け、表示不良が発生してしまうこともあるという問題点
もあった。

【００１３】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであって、液晶パネル及びチップテーブル相互間の正
確な位置決めを可能にすることができるパネル位置決め
装置、これを用いたパネル表示検査装置、電気光学装置
用検査装置及び電気光学装置用位置決め装置を提供する
ことを目的とする。

【００１４】また、本発明は、液晶パネルをチップテー
ブルに位置決めする際に液晶パネルが損傷を受けること
を防止することができるパネル位置決め装置、これを用
いたパネル表示検査装置、電気光学装置用検査装置及び
電気光学装置用位置決め装置を提供することを目的とす
る。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明に係るパネル位置
決め装置は、素子基板と対向基板とを貼り合わせて構成
された液晶パネルが載置されるチップテーブルと、前記
対向基板の外形を基準として前記チップテーブルに対し
て前記液晶パネルを位置決めする位置規定部材とを具備
したことを特徴とする。

【００１６】このような構成によれば、チップテーブル
上に載置された液晶パネルは、位置規定部材によって位
置決めされる。位置規定部材は、液晶パネルの対向基板
の外形を基準として位置決めを行う。対向基板の外形精
度は高く、高精度の位置決めが可能である。

【００１７】前記位置規定部材は、前記対向基板の４つ
の側面に当接する部分を有しこれらの当接部分によって
前記液晶パネルを移動させて位置決めを行うことを特徴
とする。

【００１８】このような構成によれば、位置規定部材は
対向基板の４つの側面に当接する部分によって液晶パネ
ルを移動させることで位置決めを行う。

【００１９】また、前記位置規定部材は、相互に逆方向
に移動する２対の位置出し面によって前記対向基板の４
つの側面に当接する部分を構成することを特徴とする。

【００２０】このような構成によれば、相互に逆方向に
移動する２対の位置出し面は、夫々対向基板の４つの側
面に当接する。対向基板の相対する側面同士は相互に逆
方向に移動する対となった位置出し面によって移動され
る。即ち、液晶パネルは、２対の位置出し面の可動位置
と対向基板の形状に応じた位置に位置決めされる。

【００２１】前記２対の位置出し面は、相互に逆方向に
移動する１対の部材によって構成されることを特徴とす
る。

【００２２】このような構成によれば、対向基板の４つ
の側面は１対の部材によって当接されるので、位置規定
部材の構成を簡略化できると共に、位置規定部材の駆動
制御が容易である。

【００２３】前記位置規定部材は、相互に直角な２つの
面を有する一対の部材によって前記対向基板の４つの側
面に前記対向基板のコーナーにおいて当接することを特
徴とする。

【００２４】このような構成によれば、１対の部材が対
向基板のコーナーにおいて４つの側面に当接するので、
位置規定部材の構成を簡略化できると共に、位置決め部
材の駆動制御が容易である。

【００２５】前記位置規定部材は、前記対向基板の４つ
の側面に当接する部分が面又は点であることを特徴とす
る。

【００２６】このような構成によれば、位置規定部材の
設計の自由度が増大する。

【００２７】前記チップテーブルは、前記液晶パネルの
概略位置を規定するガイド部材を有することを特徴とす
る。

【００２８】このような構成によれば、液晶パネルをチ
ップテーブル上に概略位置決めすることができるので、
位置規定部材による位置決めが容易となる。

【００２９】本発明に係るパネル表示検査装置は、前記
パネル位置決め装置と、前記パネル位置決め装置上に載
置された前記液晶パネル上の実装端子に接触することで
信号を供給する導通部材と、前記導通部材が取り付けら
れて、前記パネル位置決め装置の位置決め平面では前記
パネル位置決め装置に対して所定の位置関係を有して固
定され、他の平面には移動自在に構成されて前記導通部
材を前記実装端子に接触又は非接触させる導通部材固定
部と、前記導通部材を介して前記実装端子に信号を供給
した状態で前記液晶パネルに光を入射させる光供給手段
とを具備したことを特徴とする。

【００３０】このような構成によれば、パネル位置決め
装置に対して導通部材固定部を移動させ、液晶パネル上
の実装端子と導通部材とを接触させる。液晶パネルは位
置規定部材によって正確に位置決めされている。従っ
て、実装端子と導通部材とは確実に接触し導通する。導
通部材を介して実装端子に信号を供給して液晶パネルを
駆動しながら光を入射して、パネル表示検査を行う。

【００３１】本発明に係る電気光学装置用検査装置は、
一対の基板で電気光学物質を挟持した電気光学装置を検
査するものであって、前記電気光学装置を載せるテーブ
ルと、前記テーブルに載置された前記電気光学装置の一
方の基板の側面に対して、基板の対角線方向から挟持す
るアーム部と、位置決めされた前記電気光学装置の端子
に導通し、表示検査を行う検査プローブとを備えること
を特徴とする。

【００３２】このような構成によれば、電気光学装置を
テーブル上に載置し、アーム部によって、電気光学装置
の一方の基板の側面を、基板の対角線方向から挟持す
る。これにより、電気光学装置の位置決めが行われる。
位置決めされた電気光学装置の端子には検査プローブが
導通して表示検査が行われる。

【００３３】また、本発明に係る電気光学装置用検査装
置は、前記テーブルに設けられ、前記電気光学装置の他
方の基板の側面に当接する仮位置決め部を有することを
特徴とする。

【００３４】このような構成によれば、電気光学装置を
テーブルに載置する際に仮位置決め部によって大まかな
位置決めが行われる。これにより、アーム部による位置
決めが容易となる。

【００３５】本発明に係る電気光学装置用位置決め装置
は、一対の基板を有する電気光学装置を載置するテーブ
ルと、前記テーブルに設けられ、前記電気光学装置の一
方の基板の側面に当接する仮位置決め部と、前記テーブ
ルに仮位置決めされた前記電気光学装置の他方の基板の
側面に対して、基板の対角線方向から挟持するアーム部
とを備えることを特徴とする。

【００３６】このような構成によれば、電気光学装置を
テーブル上に載置する。この場合には、仮位置決め部が
電気光学装置の一方の基板の側面に当接して概略位置決
めされる。次に、アーム部によって、仮位置決めされた
電気光学装置の他方の基板の側面を、基板の対角線方向
から挟持して、正確な位置決めが行われる。

【００３７】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について詳細に説明する。図１は本発明の第１
の実施の形態に係るパネル位置決め装置を示す平面図で
ある。図２は図１の駆動部分を説明するための説明図で
あり、図２（ｂ）は平面形状を示し、図２（ａ）は図２
（ｂ）の側面外形を概略示している。図３はパネル表示
検査装置の全体の概略構成図であり、図４は液晶パネル
とプローブピンユニットとの接続を示す説明図である。
図５乃至図７は液晶パネルのパネル位置決め装置への設
置を示す説明図である。図８はＴＦＴ基板等の素子基板
をその上に形成された各構成要素と共に対向基板側から
見た平面図であり、図９は素子基板と対向基板とを貼り
合わせて液晶を封入する組立工程終了後の液晶装置を、
図８のＨ−Ｈ'線の位置で切断して示す断面図である。
図１０はパネル組立工程を示すフローチャートである。

【００３８】本実施の形態はパネル位置決め装置をパネ
ル表示検査装置に適用した例である。

【００３９】先ず、図８乃至図１０を参照して、液晶パ
ネル１８の構造について説明する。

【００４０】液晶パネル１８は、図８及び図９に示すよ
うに、ＴＦＴ基板等の素子基板１０と対向基板２０との
間に液晶５０を封入して構成される。素子基板１０上に
は画素を構成する画素電極等がマトリクス状に配置され
る。

【００４１】ガラスや石英等の素子基板１０には、図示
しないＴＦＴ素子及び画素電極等が形成されている。こ
れらのＴＦＴ素子及び画素電極上には液晶５０との間に
ポリイミド系の高分子樹脂からなる図示しない配向膜が
積層され、所定方向にラビング処理されている。

【００４２】一方、対向基板２０には、ＴＦＴ素子の形
成領域を含む各画素の非表示領域に対向して、例えば、
マトリクス状に第１遮光膜２３が設けられている。この
第１遮光膜２３によって、対向基板２０側からの入射光
がＴＦＴ素子等に入射することが防止される。第１遮光
膜２３上に、図示しない対向電極（共通電極）が基板２
０全面に亘って形成されている。対向電極上には液晶５
０との間にポリイミド系の高分子樹脂からなる配向膜が
積層され、所定方向にラビング処理されている。素子基
板１０と対向基板２０との間に液晶５０が封入されてい
る。

【００４３】対向基板２０には表示領域を区画する額縁
としての第２遮光膜４２が設けられている。第２遮光膜
４２は例えば第１遮光膜２３と同一又は異なる遮光性材
料によって形成されている。

【００４４】第２遮光膜４２の外側の領域に液晶を封入
するシール材４１が、素子基板１０と対向基板２０間に
形成されている。シール材４１は対向基板２０の輪郭形
状に略一致するように配置され、素子基板１０と対向基
板２０を相互に固着する。シール材４１は、素子基板１
０の１辺の一部において欠落しており、貼り合わされた
素子基板１０及び対向基板２０相互の間隙には、液晶５
０を注入するための液晶注入口７８が形成される。液晶
注入口７８より液晶が注入された後、液晶注入口７８を
封止材７９で封止するようになっている。

【００４５】素子基板１０のシール材４１の外側の領域
には、データ線駆動回路６１及び実装端子６２が素子基
板１０の一辺に沿って設けられており、この一辺に隣接
する２辺に沿って、走査線駆動回路６３が設けられてい
る。素子基板１０の残る一辺には、画面表示領域の両側
に設けられた走査線駆動回路６３間を接続するための複
数の配線６４が設けられている。また、対向基板２０の
コーナー部の少なくとも１箇所においては、素子基板１
０と対向基板２０との間を電気的に導通させるための導
通材６５が設けられている。

【００４６】実装端子６２を介して供給された画像信号
によってＴＦＴ素子が駆動される。これにより各画素電
極に信号が書き込まれて、画素電極と対向電極との電位
差に応じて液晶５０の分子集合の配向や秩序が変化し
て、光が変調され、階調表示が行われる。

【００４７】次に、図１０を参照してパネル組み立て工
程について説明する。素子基板１０は、１枚のマザーガ
ラス基板上に複数形成される。複数の素子基板１０を有
する基板（ＴＦＴ基板）と対向基板２０とは、別々に製
造される。ステップＳ1 ，Ｓ6 で夫々用意されたＴＦＴ
基板及び対向基板２０に対して、次のステップＳ2 ，Ｓ
7 では、配向膜となるポリイミド（ＰＩ）を塗布する。
次に、ステップＳ3 ，Ｓ8 において、素子基板１０表面
の配向膜及び対向基板２０表面の配向膜に対して、ラビ
ング処理を施す。

【００４８】次に、ステップＳ4 ，Ｓ9 において、洗浄
工程を行う。ステップＳ4 ，Ｓ9 の洗浄工程は、ラビン
グ処理によって生じた塵埃を除去するためのものであ
る。

【００４９】洗浄工程が終了すると、ステップＳ5 にお
いて、シール材４１（図９参照）を形成する。次いで、
ステップＳ10で、素子基板１０と対向基板２０とを貼り
合わせ、ステップＳ11でアライメントを施しながら圧着
し、シール材４１を硬化させる。次に、ステップＳ12に
おいて、シール材４１の一部に設けた切り欠きから液晶
を封入し、切り欠きを塞いで液晶を封止する。

【００５０】次に、ステップＳ13において、マザーガラ
ス基板上の各セルを分断する。１枚のマザーガラス基板
上には素子基板１０が複数形成されており、各素子基板
１０上に、素子基板１０よりも面積が小さい各対向基板
２０が夫々貼り合わされている。従って、対向基板２０
相互間のマザーガラス基板（素子基板１０）に対してス
クライブ処理が行われる。スクライブ処理によって形成
された切り込みを利用して、マザーガラス基板を分断し
て、図８及び図９に示す素子基板１０と対向基板２０と
からなる液晶パネル１８を得る。

【００５１】従って、上述したように、素子基板１０の
側面には分断時にバリが生じてしまう。一方、対向基板
２０の側面は、分断工程においてスクライブ等の処理が
行われておらず、高い面精度（外形精度）を有する。

【００５２】このような液晶パネル１８に対して、図１
の装置を用いて、ステップＳ14において、パネル表示検
査が行われるようになっている。

【００５３】図１に示すパネル位置決め装置７０におい
て、チップテーブル７２は、台座７１上に取付固定され
ている。なお、パネル位置決め装置７０の台座７１は、
パネル表示検査時には、図３の装置本体の所定位置に収
納されて固定されるようになっている。

【００５４】チップテーブル７２は上下に開口した窓７
３が形成されており、台座７１の対応する位置には窓７
３よりも広い開口が形成されている。窓７３は、少なく
とも液晶パネル１８の表示領域よりも広く形成され、且
つ、液晶パネル１８をチップテーブル７２上に載置可能
なように、素子基板１０よりも狭く形成される。

【００５５】例えば、窓７３は上下から見て四角形状に
形成され、４辺の外側には夫々チップテーブル７２上に
植設された位置決めピン７４が設けられている。位置決
めピン７４は、液晶パネル１８の素子基板１０よりも広
い間隔で配設され、液晶パネル１８を位置決めピン７４
相互間に所定の余裕を持たせて、窓７３に略沿った状態
で配置させることができるようになっている。即ち、分
断工程で生じた素子基板１０側面のバリが位置決めピン
７４に当接することなく、液晶パネル１８を位置決めピ
ン７４相互間に配置可能である。

【００５６】一方、台座７１上には、後述する一対のア
ーム７６，７７を水平面内において摺動自在に設けるた
めのアーム案内部材７５が、チップテーブル７２に対し
て所定の位置関係を有して固定されている。アーム案内
部材７５は、アーム７６，７７を窓７３の対角線方向に
摺動させるように設けられている。

【００５７】一対のアーム７６，７７は、アーム案内部
材７５に沿って摺動する。アーム７６，７７は、基端側
に案内部材７５の案内方向に延びた側面を有し、この側
面に歯８８，８９が形成されてラックを構成する。ま
た、アーム７６，７７の歯８８，８９に夫々歯合するよ
うに、台座７１に植設された軸８０，８１を中心に回動
自在な一対の歯車８２，８３が設けられてピニオンを構
成する。歯車８２，８３同士も歯合することで、歯車８
２，８３は相互に逆方向に回転する。これにより、アー
ム７６，７７は、相互に逆方向に連動して移動するよう
になっている。

【００５８】アーム７６，７７は、先端の相互に向き合
う端部がＬ字又は逆Ｌ字に形成され、これらの側面が位
置規定部材としての位置出し面８４Ｈ，８４Ｖ（以下、
代表して８４ともいう）及び８５Ｈ，８５Ｖ（以下、代
表して８５ともいう）を構成するようになっている。ア
ーム７６の位置出し面８４Ｈ，８４Ｖは相互に直交し、
アーム７７の位置出し面８５Ｈ，８５Ｖも相互に直交す
る。位置出し面８４Ｈ，８５Ｈは相互に平行で、窓７３
の一片にも平行である。同様に、位置出し面８４Ｖ，８
５Ｖも相互に平行で、且つ窓７３の他の一片に平行であ
る。

【００５９】位置出し面８４Ｈ，８４Ｖ同士が交差する
水平面上の位置と位置出し面８５Ｈ，８５Ｖ同士が交差
する水平面上の位置とは、窓７３の対角線上に位置し、
これらの交差部分は液晶パネルの端部の損傷を防止する
ために角を欠いている。なお、窓７３の対角線は、液晶
パネル１８を載置した場合における対向基板２０の対角
線に略一致し、位置決めピン７４によって規定される対
向基板２０の角部の最大移動範囲は、アーム７６，７７
を相互に近接させる方向に移動させた場合において位置
出し面８４，８５に接触する範囲内になるように、位置
決めピン７４及び位置出し面８４，８５の長さ等が規定
されている。

【００６０】本実施の形態においては、アーム７６，７
７は、先端側が所定の厚さの平板状であって、液晶パネ
ル１８をチップテーブル７２の窓７３部分に配置した状
態で、位置出し面８４，８５が液晶パネル１８の対向基
板２０側面に当接するように、水平面内を窓７３の対角
線方向に移動するようになっている。即ち、アーム７
６，７７の先端側の底面が移動する水平面とチップテー
ブル７２の表面との距離は、少なくとも素子基板１０の
厚さよりも大きく、液晶パネル１８の厚さよりも小さく
なるように構成される。更に、アーム７６，７７の先端
側の底面が移動する水平面は、アーム７６，７７の底面
が素子基板１０に接触しないように、素子基板１０の表
面よりも高い位置に設定する。

【００６１】なお、アーム７７の位置出し面８５Ｈは、
液晶パネル１８を位置決めする際に、アーム７７の先端
が素子基板１０上の実装端子６２上に位置しないよう
に、その長さが短く規定されている。また、チップテー
ブル７２は、液晶パネル１８の位置決め後に液晶パネル
１８を表面に真空吸着することができるようになってい
る。

【００６２】アーム７６，７７の基端側の所定位置には
夫々係止部９１，９２が設けられており、係止部９１，
９２相互間にバネ等の付勢部材９３が配設されている。
付勢部材９３は、アーム７６，７７を相互に近接する方
向に付勢するようになっている。歯車８２，８３は図示
しないモータによって回転駆動されて、アーム７６，７
７を相互に離間する方向に移動させることができるよう
になっている。

【００６３】図３に示す装置本体１０１は、台座７１を
収納して固定するための図示しない支持部材を有してい
る。また、装置本体１０１内には、先端にプローブピン
ユニット１０２が取り付けられたプローブピンユニット
固定部１０３、投射レンズ１０４、反射ミラー１０５及
びプロジェクタ用光学設計部１０６が配設されている。

【００６４】プローブピンユニット１０２は、先端に液
晶パネル１８の複数の実装端子６２に対応した複数のプ
ローブピン（図示せず）が突出して配列されており、基
端側はプローブピンユニット固定部１０３に取り付けら
れている。プローブピンユニット固定部１０３は、水平
方向には台座７１に対して所定位置に固定されており、
垂直方向には移動自在である。これにより、プローブピ
ンユニット固定部１０３は、液晶パネル１８をチップテ
ーブル７２上に載置した状態で下降して、プローブピン
ユニット１０２先端のプローブピンを素子基板１０上の
実装端子６２に接触させることができるようになってい
る。

【００６５】なお、プローブピンは図示しないパターン
ジェネレータに接続されており、パターンジェネレータ
からの信号を伝送して実装端子６２に供給することがで
きるようになっている。

【００６６】プロジェクタ用光学設計部１０６は、台座
７１の上方に設置されており、図示しない高輝度ラン
プ、偏向ビームスプリッター、マルチレンズ、コンデン
サレンズ及び偏光板等によって構成される。プロジェク
タ用光学設計部１０６は、所定の光を発生してチップテ
ーブル７２上の液晶パネル１８の対向基板２０側から入
射させることができるようになっている。一方、台座７
１の窓７３の下方には投射レンズ１０４が配設されてい
る。投射レンズ１０４は、液晶パネル１８を通過し窓７
３及び台座７１の開口を介して入射した光を出射する。
投射レンズ１０４の出射光の光路上には反射ミラー１０
５が配設されており、反射ミラー１０５は、入射した光
を装置本体１０１の前面に設けた開口を介してスクリー
ン１０７に拡大投射する。なお、液晶パネル１８による
光の変調を可能にするために、液晶パネル１８の入射面
及び出射面近傍には、偏光板を配置するようになってい
る。

【００６７】また、プローブピンユニット固定部１０３
及びチップテーブル７２の少なくとも一方には、水平，
垂直及び角度方向（ｘｙｚθ方向）に変位量を微調整す
るための位置調整機構を設けてもよい。

【００６８】次に、このように構成された実施の形態の
作用について説明する。いま、マザーガラス基板上の各
素子基板１０と対向基板２０との貼り合わせ工程、液晶
５０の封入・封止工程後に、分断工程が終了して得られ
た液晶パネル１８に対するパネル表示検査を行うものと
する。この場合には、図４に示すように、液晶パネル１
８の素子基板１０上に構成された実装端子６２に、プロ
ーブピンユニット１０２先端のプローブピン１０８を当
接させることによって、液晶パネル１８を駆動する。

【００６９】先ず、図示しないモータによって歯車８
２，８３を回転させ、アーム７６，７７を相互に離間す
る方向に移動させる。この状態で、液晶パネル１８をチ
ップテーブル７２の窓７３上の位置決めピン７４相互間
に載置する。この場合には、位置決めピン７４相互間の
間隔が液晶パネル１８の素子基板１０よりも広く設定さ
れているので、位置決めピン７４に素子基板１０側面に
生じたバリを当接させることなく、液晶パネル１８を載
置可能である。位置決めピン７４によって大まかな位置
決めが行われ、これにより、アーム７６，７７による位
置決めが可能となる。

【００７０】次に、モータの回転力を弱めて付勢部材９
３の付勢力により、アーム７６，７７を相互に近接する
方向に移動させる。そうすると、先ず、アーム７６，７
７先端の位置出し面８４，８５のいずれか１つ以上の面
が液晶パネル１８の対向基板２０の側面に当接する。更
に、アーム７６，７７を移動させることにより、位置出
し面８４，８５は対向基板２０の１つ以上の側面を押圧
して液晶パネル１８の位置を変位させる。こうして、液
晶パネル１８は、対向基板２０の大きさ及びアーム７
６，７７で規定される位置出し面８４，８５相互の位置
関係に応じた固定位置で停止する。図５は液晶パネル１
８が位置決めされた状態における液晶パネル１８とアー
ム７６，７７との関係を示している。

【００７１】アーム７６，７７で対向基板２０の側面を
押圧して位置決めを行っており、対向基板２０の側面の
面精度が極めて高いことから、液晶パネル１８の位置決
めを高精度に行うことができる。また、対向基板２０の
側面にはバリ等は生じていないので、アーム７６，７７
によって対向基板２０を押圧しても、対向基板２０が損
傷を受けることはない。

【００７２】また、図６に示すように、アーム７６，７
７は、素子基板１０表面よりも上方で水平移動するよう
になっており、アーム７６，７７の底面が素子基板１０
表面に接触することはない。これにより、位置決め時に
アーム７６，７７によって素子基板１０が損傷を受ける
ことはない。

【００７３】実装端子６２は素子基板１０上の位置が規
定されており、液晶パネル１８の位置決めによって、台
座７１と実装端子６２とは水平面内で規定された位置関
係に位置することになる。

【００７４】液晶パネル１８が位置決めされたパネル位
置決め装置７０を装置本体１０１に収納し、台座７１を
装置本体１０１に固定する。この状態で台座７１とプロ
ーブピンユニット固定部１０３とは水平面内で規定され
た位置関係に配置されており、プローブピンユニット固
定部１０３に取り付けられたプローブピンユニット１０
２の先端のプローブピン１０８は、水平面内では、図７
に示すように、液晶パネル１８上の実装端子６２に対向
した位置に配置される。

【００７５】この状態で、プローブピンユニット固定部
１０３を下方に移動させ、プローブピン１０８を実装端
子６２に接触させる。次に、プロジェクタ用光学設計部
１０６から光を出射させながら、パターンジェネレータ
から信号を発生させる。パターンジェネレータからの信
号はプローブピン１０８を介して実装端子６２に供給さ
れ、液晶パネル１８は駆動されてプロジェクタ用光学設
計部１０６からの光を変調する。液晶パネル１８を通過
した光は、チップテーブル７２の窓７３及び台座７１の
開口を通過し、投射レンズ１０４によって反射ミラー１
０５を介してスクリーン１０７に拡大投射される。スク
リーン１０７上に映出された画像を確認することで、液
晶パネル１８のパネル表示検査を行う。

【００７６】このように、本実施の形態においては、対
向基板側面の面精度が極めて高いことを利用して位置決
めの基準面に用いており、位置決めを高精度に行うこと
を可能にしている。また、位置決めに際して素子基板を
押圧する構成にはなっていないことから、分断工程で生
じた素子基板のバリに力が加わることがなく、液晶パネ
ルが損傷を受けることを防止することができる。更に、
アームは素子基板に接触しない位置で対向基板側面を押
圧するようになっており、素子基板の損傷を防止するこ
とができる。これにより、表示不良が発生することを防
止することができる。

【００７７】なお、上記実施の形態においては、プロー
ブピンユニット固定部１０３とパネル位置決め装置７０
とを別体に構成したが、一体的に構成してもよいことは
明らかである。

【００７８】また、パターンジェネレータからの信号を
供給するためにプローブピンユニットを採用したが、プ
ローブカードを採用してもよいことは明らかである。

【００７９】また、パネル表示検査を投影方式で行った
が、直視によって行ってもよいことは明らかである。

【００８０】なお、上記実施の形態においてはパネル表
示検査装置に適用した例について説明したが、本発明
は、フレキシブルプリント板の圧着工程及びケーシング
組み付け工程等のパネルの位置決めが必要な種々の工程
及び装置に適用可能である。

【００８１】また、上記実施の形態においては、アーム
に位置出し面を設けて、対向基板側面を面で受ける（押
圧する）ことにより位置出しを行う例について説明した
が、対向基板側面を点で受ける構成にしてもよく、ま
た、点及び面で受ける構成にしてもよい。

【００８２】例えば、図１１のアーム１１１，１１２
は、対向基板２０の側面を点で受ける構成を示してい
る。また、図１２は対向基板２０の各側面を夫々面で受
けるアーム１１５，１１６と隣接した２側面を同時に面
で受けるアーム１１７の３つのアームを設けた例であ
る。更に、図１３は対向基板２０の各側面を夫々面で受
ける４つのアーム１１８を用いる例を示している。いず
れの例においても、アームが対向基板２０の側面を面基
準として位置決めを行っているので、正確な位置決めが
可能であると共に、液晶パネルの損傷を防止することが
可能である。

【００８３】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、液
晶パネル及びチップテーブル相互間の正確な位置決めを
可能にすることができると共に、液晶パネルをチップテ
ーブルに位置決めする際に液晶パネルが損傷を受けるこ
とを防止することができるという効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係るパネル位置決
め装置を示す平面図。

【図２】図１の駆動部分を説明するための説明図。

【図３】パネル表示検査装置の全体の概略構成図。

【図４】液晶パネルとプローブピンユニットとの接続を
示す説明図。

【図５】液晶パネルのパネル位置決め装置への設置を示
す説明図。

【図６】液晶パネルのパネル位置決め装置への設置を示
す説明図。

【図７】液晶パネルのパネル位置決め装置への設置を示
す説明図。

【図８】ＴＦＴ基板等の素子基板をその上に形成された
各構成要素と共に対向基板側から見た平面図。

【図９】素子基板と対向基板とを貼り合わせて液晶を封
入する組立工程終了後の液晶装置を、図８のＨ−Ｈ'線
の位置で切断して示す断面図。

【図１０】パネル組立工程を示すフローチャート。

【図１１】アームの他の例を示す説明図。

【図１２】アームの他の例を示す説明図。

【図１３】アームの他の例を示す説明図。

【図１４】パネル表示検査等に用いられるパネル表示検
査装置を示す正面図。

【図１５】図１４の斜視図。

【図１６】図１４及び図１５中のチップテーブルを示す
斜視図。

【図１７】分断工程後の液晶パネルを示す斜視図。

【符号の説明】

７１…台座 ７２…チップテーブル ７３…窓 ７４…位置決めピン ７５…案内部材 ７６，７７…アーム ８４Ｈ，８４Ｖ，８５Ｈ，８５Ｖ…位置出し面

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G011 AA16 AC06 AE01 2G132 AA00 AB01 AE03 AE04 AF01 AG01 2H088 FA01 FA11 FA30 HA01 HA08 HA21 HA24 MA20 2H090 JC11 JC18 LA12 MB01 5G435 AA17 BB12 CC09 EE47 KK03 KK05 KK10

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 素子基板と対向基板とを貼り合わせて構
   成された液晶パネルが載置されるチップテーブルと、 前記対向基板の外形を基準として前記チップテーブルに
   対して前記液晶パネルを位置決めする位置規定部材とを
   具備したことを特徴とするパネル位置決め装置。
2. 【請求項２】 前記位置規定部材は、前記対向基板の４
   つの側面に当接する部分を有しこれらの当接部分によっ
   て前記液晶パネルを移動させて位置決めを行うことを特
   徴とする請求項１に記載のパネル位置決め装置。
3. 【請求項３】 前記位置規定部材は、相互に逆方向に移
   動する２対の位置出し面によって前記対向基板の４つの
   側面に当接する部分を構成することを特徴とする請求項
   ２に記載のパネル位置決め装置。
4. 【請求項４】 前記２対の位置出し面は、相互に逆方向
   に移動する１対の部材によって構成されることを特徴と
   する請求項３に記載のパネル位置決め装置。
5. 【請求項５】 前記位置規定部材は、相互に直角な２つ
   の面を有する一対の部材によって前記対向基板の４つの
   側面に前記対向基板のコーナーにおいて当接することを
   特徴とする請求項２に記載のパネル位置決め装置。
6. 【請求項６】 前記位置規定部材は、前記対向基板の４
   つの側面に当接する部分が面又は点であることを特徴と
   する請求項２に記載のパネル位置決め装置。
7. 【請求項７】 前記チップテーブルは、前記液晶パネル
   の概略位置を規定するガイド部材を有することを特徴と
   する請求項１に記載のパネル位置決め装置。
8. 【請求項８】 請求項１に記載のパネル位置決め装置
   と、 前記パネル位置決め装置上に載置された前記液晶パネル
   上の実装端子に接触することで信号を供給する導通部材
   と、 前記導通部材が取り付けられて、前記パネル位置決め装
   置の位置決め平面では前記パネル位置決め装置に対して
   所定の位置関係を有して固定され、他の平面には移動自
   在に構成されて前記導通部材を前記実装端子に接触又は
   非接触させる導通部材固定部と、 前記導通部材を介して前記実装端子に信号を供給した状
   態で前記液晶パネルに光を入射させる光供給手段とを具
   備したことを特徴とするパネル表示検査装置。
9. 【請求項９】 一対の基板で電気光学物質を挟持した電
   気光学装置を検査する電気光学装置用検査装置におい
   て、 前記電気光学装置を載せるテーブルと、 前記テーブルに載置された前記電気光学装置の一方の基
   板の側面に対して、基板の対角線方向から挟持するアー
   ム部と、 位置決めされた前記電気光学装置の端子に導通し、表示
   検査を行う検査プローブとを備えることを特徴とする電
   気光学装置用検査装置。
10. 【請求項１０】 前記テーブルに設けられ、前記電気光
    学装置の他方の基板の側面に当接する仮位置決め部を有
    することを特徴とする請求項９に記載の電気光学装置用
    検査装置。
11. 【請求項１１】 一対の基板を有する電気光学装置を載
    置するテーブルと、 前記テーブルに設けられ、前記電気光学装置の一方の基
    板の側面に当接する仮位置決め部と、 前記テーブルに仮位置決めされた前記電気光学装置の他
    方の基板の側面に対して、基板の対角線方向から挟持す
    るアーム部とを備えることを特徴とする電気光学装置用
    位置決め装置。