KR101356209B1 - 기판 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

기판 처리 장치가 개시된다. 본 발명에 따른 기판 처리 장치는, 외측도어에 설치되어 내측도어를 슬라이딩시키는 복수의 구동부가 외측도어 및 내측도어에 각각 유동가능하게 설치된다. 그러면, 복수의 구동부가 동일하게 동작하지 않음으로 인해, 각각의 구동부에 작용하는 도어로부터의 상이한 하중은, 구동부의 유동에 의하여 상쇄되므로, 구동부가 손상되지 않는 효과가 있다.

Description

기판 처리 장치 {APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE}
본 발명은 기판이 처리되는 공간인 챔버를 개폐하는 도어를 슬라이딩시키는 구동부가 손상되는 것을 방지한 기판 처리 장치에 관한 것이다.
기판 처리 장치는, 평판 디스플레이의 제조시 사용되며, 증착(Vapor Deposition) 장치와 어닐링(Annealing) 장치로 대별된다.
증착 장치는 평판 디스플레이의 핵심 구성을 이루는 투명 전도층, 절연층, 금속층 또는 실리콘층을 형성하는 장치로써, LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition) 또는 PECVD(Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition) 등과 같은 화학 기상 증착 장치와 스퍼터링(Sputtering) 등과 같은 물리 기상 증착 장치가 있다.
그리고, 어닐링 장치는 기판에 막을 증착한 후, 증착된 막의 특성을 향상시키는 장치로써, 증착된 막을 결정화 또는 상 변화시키기 위하여 열처리하는 장치이다.
일반적으로, 기판 처리 장치는 하나의 기판을 처리하는 매엽식(Single Substrate Type)과 복수의 기판을 처리하는 배치식(Batch Type)이 있다. 매엽식 기판 처리 장치는 구성이 간단한 이점이 있으나 생산성이 떨어지는 단점이 있어, 대량 생산에는 배치식 기판 처리 장치가 많이 사용된다.
종래의 기판 처리 장치는 기판이 로딩되어 처리되는 공간인 챔버를 형성하는 본체를 포함한다. 상기 본체의 전면에는 기판이 출입하는 출입구가 형성되고, 상기 출입구를 개폐하기 위한 도어가 설치된다. 상기 도어는 상기 본체의 상하방향으로 승강한 다음, 상기 본체의 전후방향으로 슬라이딩하여 상기 출입구를 개폐한다. 상기 출입구가 개폐되면 상기 챔버가 개폐됨은 당연하다.
상기 도어는 복수의 실린더에 의하여 상기 본체의 전후방향으로 슬라이딩되고, 상기 도어의 전체면이 균일하게 슬라이딩되기 위해서는 상기 복수의 실린더가 동일하게 동작하여야 한다. 그런데, 상기 복수의 실린더가 동일하게 동작하도록 제어하는 것이 대단히 어려워, 상기 복수의 실린더는 각각 미세한 차이를 가지면서 동작한다.
이로 인해, 상기 도어로부터 상기 복수의 실린더에 각각 작용하는 하중은 상호 상이하고, 상기 복수의 실린더 중, 상기 도어로부터 큰 하중을 받는 어느 실린더는 손상되는 단점이 있었다.
기판 처리 장치와 관련한 선행기술은 한국공개특허공보 제10-2010-0008722호 등에 개시되어 있다.
본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해소하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 도어와 구동부를 유동가능하게 결합하여 도어로부터 작용하는 하중에 의하여 구동부가 손상되는 것을 방지할 수 있는 기판 처리 장치를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 처리 장치는, 내부에는 기판이 처리되는 공간인 챔버가 형성되고, 전면에는 상기 챔버와 연통되며 기판이 출입하는 출입구가 형성된 본체; 상기 본체의 전면에 상하로 승강가능하게 설치된 외측도어, 상기 외측도어에 지지되어 상기 외측도어와 함께 승강함과 동시에 상기 외측도어에 대하여 전후로 슬라이딩가능하게 설치되어 상기 출입구를 개폐하는 내측도어를 가지는 도어; 상기 외측도어에 설치되어 상기 내측도어를 슬라이딩시키는 피스톤을 각각 가지는 복수의 구동부를 포함하며, 상기 구동부의 외측으로 노출된 상기 피스톤은 완충부재를 매개로 상기 내측도어에 결합된다.
본 발명에 따른 기판 처리 장치는, 외측도어에 설치되어 내측도어를 슬라이딩시키는 복수의 구동부가 외측도어 및 내측도어에 각각 유동가능하게 설치된다. 그러면, 복수의 구동부가 동일하게 동작하지 않음으로 인해, 각각의 구동부에 작용하는 도어로부터의 상이한 하중은, 구동부의 유동에 의하여 상쇄되므로, 구동부가 손상되지 않는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 사시도.
도 2는 도 1에 도시된 도어의 분리 사시도.
도 3은 도 2에 도시된 구동부와 주위 부품들의 확대도.
도 4는 도 2에 도시된 제 1 지지블럭 및 제 2 지지블럭의 확대도.
후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시하여 도시한 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있도록 충분히 상세하게 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 상호 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 특정 구조 및 특성은 일 실시예와 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미가 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에 도시된 실시예들의 길이, 면적, 두께 및 형태는, 편의상, 과장되어 표현될 수도 있다.
본 실시예를 설명함에 있어서, 기판의 처리라 함은 기판을 가열 및 냉각하는 공정, 기판에 소정의 막을 증착하기 위한 모든 공정, 기판에 증착된 소정의 막을 어닐링, 결정화 또는 상변화 하기 위한 모든 열처리 공정 등을 포함하는 개념으로 이해되어야 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 도어의 분리 사시도이다.
도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 기판 처리 장치는 본체(110)를 포함한다. 본체(110)는 대략 직육면체 형상으로 형성되며, 내부에는 기판(50)이 처리되는 공간인 챔버(112)가 형성된다.
본체(110)는 직육면체 형상뿐만 아니라 기판(50)의 형상에 따라 다양한 형상으로 형성될 수 있으며, 챔버(112)는 밀폐된 공간으로 마련된다. 그리고, 기판(50)의 재질은 특별히 제한되지 않으며 글래스, 플라스틱, 폴리머, 실리콘 웨이퍼 또는 스테인레스 스틸 등과 같은 재질로 형성될 수 있다.
본체(110)의 전면에는 기판(50)이 출입하는 출입구(114)가 형성되고, 출입구(114)를 개폐하는 도어(120)가 설치된다. 즉, 로봇(미도시)으로 기판(50)을 지지하여, 기판(50)을 챔버(112)에 로딩하거나 챔버(112)로부터 언로딩할 때에는 도어(120)에 의하여 출입구(114)는 개방된다. 그리고, 기판(50)을 챔버(112)에 로딩하여 기판(50)을 처리할 때에는 도어(120)에 의하여 출입구(114)는 폐쇄된다.
도어(120)는 외측도어(121)와 내측도어(125)를 가지며, 본체(110)의 상하방향으로 승강가능함과 동시에 본체(110)의 전후방향으로 슬라이딩가능하게 설치되어, 출입구(114)를 개폐한다.
상세히 설명하면, 외측도어(121)는 본체(110)의 전면에 상하로 슬라이딩가능하게 설치되고, 내측도어(125)는 외측도어(121)에 지지되어 외측도어(121)에 의하여 상하로 슬라이딩함과 동시에 외측도어(121)에 대하여 전후로 슬라이딩가능하게 설치된다.
외측도어(121)는 본체(110)에 전면 양측면에 각각 설치된 실린더 또는 모터 등과 같은 구동부(미도시)에 의하여 상하로 슬라이딩되고, 내측도어(125)는 외측도어(121)에 설치된 실린더 등과 같은 복수의 구동부(140)에 의하여 외측도어(121)에 대하여 전후로 슬라이딩된다.
그리하여, 상기 구동부에 의하여 외측도어(121)가 상승하여 출입구(114)와 대향하면, 구동부(140)에 의하여 내측도어(125)가 본체(110)의 전면측으로 슬라이딩된다. 내측도어(125)가 복수의 구동부(140)에 의하여 본체(110)의 전면측으로 슬라이딩되면, 본체(110)의 전면에 설치된 실링부재(116)를 압착하면서 실링부재(116)와 접촉하고, 이로 인해 챔버(112)가 실링된다.
상기 구동부가 위치된 본체(110)의 전면측에는 상하방향과 평행하게 안내레일(131)이 결합되어, 외측도어(121)가 안정되게 승강하도록 지지한다. 안내레일(131)에는 외측도어(121)의 소정 부위를 감지하여 외측도어(121)가 승강한 거리를 감지하는 센서(미도시)가 설치될 수 있다.
챔버(112)에는 기판(50)의 처리에 필요한 부품들이 설치된다. 상기 부품들은 기판(50)을 탑재시켜 지지하는 지지 유닛(미도시), 기판(50)을 가열하기 위한 히터(미도시), 기판(50)의 처리에 필요한 분위기가스를 공급하는 가스공급관(미도시), 기판(50)을 냉각시키기 위한 냉각관(미도시) 등을 포함할 수 있다.
도 1의 미설명 부호 180은 본체(110)를 지지하는 프레임이다.
전술한 바와 같이, 내측도어(125)는 복수의 구동부(140)에 의하여 본체(110)의 전후방향으로 슬라이딩된다. 이때, 복수의 구동부(140)가 동일하게 동작하여야 내측도어(125)가 정확하게 슬라이딩되어 출입구(114)를 폐쇄한다. 그런데, 복수의 구동부(140)가 동일하게 동작하지 않으면, 내측도어(125)가 정확하게 슬라이딩되지 않을 뿐만아니라, 내측도어(125)에서 각각의 구동부(140)에 작용하는 하중이 불균일하다. 그러면, 구동부(140)가 손상될 수 있다.
본 실시예에 따른 기판 처리 장치는 구동부(140)가 손상되는 것을 방지하기 위하여, 구동부(140)와 내측도어(125)가 유동가능하게 결합된다.
구동부(140)와 내측도어(125)의 결합구조를 도 2 및 도 3을 참조하여 설명한다. 도 3은 도 2에 도시된 구동부와 주위 부품들의 확대도이다.
도시된 바와 같이, 구동부(140)는 하우징(141)과 일측은 하우징(141)의 내부에 위치되고 타측은 하우징(141)의 외측에 위치된 피스톤(145)을 가진다. 하우징(141)은 외측도어(121)에 결합되고, 하우징(141)의 외측으로 노출된 피스톤(145)의 타측은 내측도어(125)에 결합된다. 이때, 피스톤(145)과 내측도어(125)는 플로팅 조인트(Floating Joint)(151)등과 같은 완충부재를 매개로 상호 결합된다. 그러면, 플로팅 조인트(151)로 인해, 구동부(140)와 내측도어(125)가 상호 유동가능하게 결합되므로, 복수의 구동부(140)가 동일하게 동작하지 않음으로 인해, 도에(120)에서 각각의 구동부(140)에 작용하는 상이한 하중은 상쇄되므로, 구동부(140)가 손상되는 것이 방지된다.
구동부(140)가 손상되는 것을 더욱 방지하기 위하여, 구동부(140)는 외측도어(121)에 유동가능하게 설치될 수 있다.
이를 위하여, 외측도어(121)에는 브라켓(153)이 결합되고, 브라켓(153)에는 탄성을 가진 복수의 스페이서(Spacer)(155)가 결합된다. 그리고, 스페이서(155)에는 체결부재(157)의 일측이 삽입 결합되고, 체결부재(157)의 타측은 스페이서(155)를 관통하여 구동부(140)의 하우징(141)에 결합된다. 그러면, 스페이서(155)로 인하여 구동부(140)가 외측도어(121)에 유동가능하게 설치되므로, 구동부(140)가 손상되는 것이 더욱 방지된다.
내측도어(125)에는 플로팅 조인트(151)가 결합 지지되는 지지편(159)이 결합될 수 있다.
구동부(140)가 손상되는 것을 더욱 더 방지함과 동시에 내측도어(125)가 안정되게 슬라이딩되도록 지지하는 제 1 지지블럭(161) 및 제 2 지지블럭(165)이 외측도어(121) 및 내측도어(125)에 각각 결합된다. 제 1 지지블럭(161) 및 제 2 지지블럭(165)에 대하여 도 2 및 도 4를 참조하여 설명한다. 도 4는 도 2에 도시된 제 1 지지블럭 및 제 2 지지블럭의 확대도이다.
도시된 바와 같이, 제 1 지지블럭(161)은 복수개가 외측도어(121)에 결합되고, 제 2 지지블럭(165)은 제 1 지지블럭(161)과 대응되게 복수개가 내측도어(125)에 결합되어 하면이 제 1 지지블럭(161)의 상면에 접촉 지지된다. 이때, 제 1 지지블럭(161)에는 내측도어(125)의 슬라이딩 방향과 평행을 이루는 안치로(162)가 함몰 형성되고, 제 2 지지블럭(165)에는 안치로(162)에 삽입 지지되는 롤러(166)가 설치된다.
제 2 지지블럭(165)의 하면이 제 1 지지블럭(161)의 상면에 접촉 지지되므로, 외측도어(121)가 상하로 슬라이딩되면 내측도어(125)도 안정되게 상하로 슬라이딩된다. 그리고, 롤러(166)가 안치로(162)에 삽입 지지되므로, 내측도어(125)는 외측도어(121)에 대하여 안정되게 전후로 슬라이딩된다.
또한, 제 1 지지브럭(161)의 상면에 제 2 지지블럭(165)의 하면이 접촉 지지되므로, 내측도어(125)가 외측도어(121)에 대하여 기울어지는 것이 방지된다. 따라서, 구동부(140)가 손상되는 것이 방지된다.
도 2에는 4개의 제 2 지지블럭(165)이 도시되어 있으나, 도면의 간략화를 위하여, 2개의 제 1 지지블럭(161)만 도시한다.
본체(110)의 후면에도 출입구(미도시)가 형성될 수 있고, 상기 출입구를 개폐하는 도어(170)(도 1 참조)가 설치될 수 있다. 본체(110)의 후면에 형성된 상기 출입구는 챔버(114)에 설치된 기판(50)의 처리에 필요한 상기 부품들을 수리하고자 할 때 사용한다. 그리고, 본체(110)의 후면에 설치된 도어(170)도 본체(110)의 전면에 설치된 도어(120)와 동일하게 구성될 수 있다.
본 실시예에 따른 기판 처리 장치는 외측도어(121)에 설치되어 내측도어(121)를 슬라이딩시키는 복수의 구동부(140)가 외측도어(121) 및 내측도어(125)에 각각 유동가능하게 결합된다. 그러므로, 복수의 구동부(140)가 동일하게 동작하지 않음으로 인해, 도어(120)로부터 각각의 구동부(140)에 작용하는 하중이 상호 상이하여도, 유동가능하게 설치된 구동부(140)로 인해 상쇄되므로, 구동부(140)는 손상되지 않는다.
상기와 같이 기술된 본 발명의 실시예들에 대한 도면은 자세한 윤곽 라인을 생략하여, 본 발명의 기술사상에 속하는 부분을 쉽게 알 수 있도록 개략적으로 도시한 것이다. 또한, 상기 실시예들은 본 발명의 기술사상을 한정하는 기준이 될 수 없으며, 본 발명의 청구범위에 포함된 기술사항을 이해하기 위한 참조적인 사항에 불과하다.
110: 본체
120: 도어
121: 외측도어
125: 내측도어
140: 구동부
151: 플로팅 조인트
153: 브라켓
155: 스페이서

Claims (7)

  1. 내부에는 기판이 처리되는 공간인 챔버가 형성되고, 전면에는 상기 챔버와 연통되며 기판이 출입하는 출입구가 형성된 본체;
    상기 본체의 전면에 상하로 승강가능하게 설치된 외측도어, 상기 외측도어에 지지되어 상기 외측도어와 함께 승강함과 동시에 상기 외측도어에 대하여 전후로 슬라이딩가능하게 설치되어 상기 출입구를 개폐하는 내측도어를 가지는 도어;
    상기 외측도어에 설치되어 상기 내측도어를 슬라이딩시키는 피스톤을 각각 가지는 복수의 구동부를 포함하며,
    상기 구동부의 일측은 상기 외측도어에 설치되고,
    상기 피스톤의 일측은 상기 구동부의 내부에 위치되고 타측은 상기 구동부의 외측으로 노출되어 직선왕복운동하며,
    상기 구동부의 외측으로 노출된 상기 피스톤의 타단부측은 완충부재를 매개로 상기 내측도어에 결합되고,
    상기 외측도어에는 복수의 제 1 지지블럭이 결합되고, 상기 내측도어에는 상기 제 1 지지블럭에 각각 접촉 지지되는 복수의 제 2 지지블럭이 결합되며,
    상기 제 2 지지블럭에는 상기 제 1 지지블럭에 접촉되는 롤러가 설치된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 완충부재는 플로팅 조인트인 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 외측도어에는 브라켓이 결합되고,
    상기 구동부는 상기 브라켓에 유동가능하게 결합된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 브라켓에는 탄성을 가진 복수의 스페이서(Spacer)가 결합되고,
    상기 스페이서에는 체결부재의 일측이 삽입 결합되며,
    상기 체결부재의 타측은 상기 스페이서를 관통하여 상기 구동부에 결합된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서,
    상기 제 1 지지블럭에는 상기 롤러가 삽입 지지되는 함몰된 안치로가 형성된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
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