KR20080005660U - 창 슬라이딩 안내장치 및 이를 구비한 반도체소자몰딩시스템용 자동창 - Google Patents

창 슬라이딩 안내장치 및 이를 구비한 반도체소자몰딩시스템용 자동창 Download PDF

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KR20080005660U
KR20080005660U KR2020070008396U KR20070008396U KR20080005660U KR 20080005660 U KR20080005660 U KR 20080005660U KR 2020070008396 U KR2020070008396 U KR 2020070008396U KR 20070008396 U KR20070008396 U KR 20070008396U KR 20080005660 U KR20080005660 U KR 20080005660U
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semiconductor device
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최준환
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세크론 주식회사
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Abstract

본 고안은 반도체소자 몰딩시스템의 창에 관한 것으로서, 개구부가 형성되어 있는 몸체, 상기 개구부에 대응되는 크기를 가지며 상기 개구부의 일측에서 상기 개구부를 개폐하기 위해 왕복이송되도록 상기 몸체에 구비되어 있는 창 플레이트, 상기 창 플레이트가 왕복이송되도록 구동력을 제공하는 구동부, 및 상기 개구부의 일측에 설치되고 상기 창 플레이트의 표면을 가압하며 상기 창 플레이트 표면에 따라 회전하는 하나 이상의 롤러를 포함하는 창 슬라이딩 안내장치를 포함한다.
본 고안의 반도체소자 몰딩시스템용 자동창을 이용하면, 창 플레이트의 이송을 안정적으로 안내할 수 있어 불안정한 이송에 따른 창 플레이트의 스크래치, 소음, 및 진동의 발생을 방지할 수 있다.
창, 자동창, 안내장치, 가이드장치

Description

창 슬라이딩 안내장치 및 이를 구비한 반도체소자 몰딩시스템용 자동창 {Sliding guide apparatus of window and auto window for molding system of semiconductor device with the same}
도 1은 종래의 반도체소자 몰딩시스템용 자동창의 평면도,
도 2는 종래의 반도체소자 몰딩시스템용 자동창의 도 1에 도시된 A-A의 단면도,
도 3은 본 고안의 반도체소자 몰딩시스템용 자동창의 평면도,
도 4는 본 고안의 반도체소자 몰딩시스템용 자동창의 도 3에 도시된 B-B의 단면도,
도 5는 본 고안의 창 슬라이딩 안내장치의 정면도,
도 6은 본 고안의 창 슬라이딩 안내장치의 측면도,
도 7은 본 고안의 창 슬라이딩 안내장치의 도 6에 도시된 C-C의 단면도이다.
＊ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ＊
100 : 몸체 110 : 개구부
120 : 가이드부 130 : 프레임
200 : 창 플레이트 300 : 구동부
310 : 실린더 320 : 로드
400 : 창 슬라이딩 안내장치 410 : 롤러
410a : 제1롤러 410b : 제2롤러
420 : 지지부 421a : 제1지지부재
421b : 제2지지부재 422 : 연결부재
430 : 고정부재 440 : 클리닝부
441 : 브러쉬 442 : 브러쉬고정부재
S1 : 제1축 S2 : 제2축
B : 베어링
본 고안은 창 슬라이딩 안내장치 및 이를 구비한 반도체소자 몰딩시스템용 자동창에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 불안정한 창의 이송에 따른 스크래치, 소음, 및 진동의 발생을 방지할 수 있는 창 슬라이딩 안내장치 및 이를 구비한 반도체소자 몰딩시스템용 자동창에 관한 것이다.
일반적으로 반도체소자의 후공정은 크게 반도체소자들이 형성된 웨이퍼(Wafer)의 불량을 체크하는 원자재 검사, 웨이퍼를 절단하여 낱개로 분리한 반도체칩을 리드 프레임(Lead frame)의 탑재판에 부착시키는 다이본딩(Die bonding)공정, 반도체칩 상에 구비된 칩 패드와 리드 프레임의 리드를 와이어로 연결시켜주는 와이어본딩(Wire bonding)공정, 반도체칩의 내부회로와 그 외의 구성부품을 보호하 기 위하여 봉지재로 외부를 감싸는 몰딩(Molding)공정, 리드와 리드를 연결하고 있는 댐바를 커팅하는 트림공정 및 리드를 원하는 형태로 구부리는 포밍(Foaming)공정, 및 상기 공정을 거쳐 완성된 반도체소자의 양부를 검사하는 테스트공정으로 이루어진다.
여기서 상기 몰딩공정은 반도체소자 스테이지부, 수지금형부, 디게이팅부, 및 적재부를 포함하는 반도체소자 몰딩시스템에 의해서 이루어진다. 상기 반도체소자 몰딩시스템은 대한민국 특허등록번호 제264639호에 그 일례가 상세히 기술되어 있다. 이와 같은 반도체소자 몰딩시스템에는 그 외부케이스의 측벽에 자동으로 구동되는 내부 장치의 유지보수를 위한 창(Window)이 구비된다.
이러한 종래의 반도체소자 몰딩시스템용 자동창은, 도 1 및 도 2에 도시되어 있는 바와 같이, 몸체(10), 창 플레이트(20), 가이드부(30), 및 구동부(40)로 구성된다.
상기 몸체(10)에는 개구부(11)가 형성되어 이 개구부(11)를 통해 외부의 작업자가 상기 반도체소자 몰딩시스템 내부의 장치에 대한 유지보수를 수행하게 된다.
상기 창 플레이트(20)는 상기 가이드부(30)에 의해 안내되어, 상기 개구부(11)를 개폐할 수 있도록 상기 몸체(10)에 설치된다. 상기 가이드부(30)는 상기 창 플레이트(20)가 대응하는 개구부(11)를 안정적으로 개폐할 수 있도록 상기 창 플레이트(20)를 안내한다.
상기 구동부(40)는 상기 창 플레이트(20)를 이송시키는 구동력을 제공한다. 상기 구동부(40)는 상기 몸체(10)에 설치되고, 상기 몸체(10)에 구비된 지지프레임(12)에 의해 지지되는 공압실린더로 구비된다.
상술한 바와 같은 종래의 반도체소자 몰딩시스템용 자동창은, 도 1 및 도 2에 도시되어 있는 바와 같이, 상기 지지프레임(12)이 상기 몸체(10)에서 반도체소자 몰딩시스템의 바깥쪽 방향으로 돌출되는 형태로 구비되고, 상기 지지프레임(12)의 하부로 상기 창 플레이트(20)가 왕복이송되도록 구비된다.
이와 같은 종래의 반도체소자 몰딩시스템용 자동창은, 일반적으로 협소한 공간의 제약 때문에 상기 지지프레임(12)의 돌출 높이에 한계가 있다. 따라서, 상기 창 플레이트(20)는 상기 지지프레임(12)에서 매우 근접한 거리에 위치한 상태로 그 하부에서 왕복이송되게 된다.
이때, 종래의 반도체소자 몰딩시스템용 자동창은, 상기 가이드부(30)의 유격및 일반적으로 유연성이 있는 아크릴로 구비되는 상기 창 플레이트(20)의 재질로 인해 그 이송이 불안정한 문제점이 있었다.
따라서, 상기 창 플레이트(20)의 불안정한 이송으로 인해, 상기 창 플레이트(20)에 상기 지지프레임(12)과의 접촉에 의한 스크래치(Scratch)가 빈번하게 발생하는 문제점이 있다.
또한, 이러한 불안정한 이송으로 인해 상기 창 플레이트(20)가 이송될 때, 소음이나 진동이 발생하는 문제점이 있다.
상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 고안의 목적은, 창 플레이트의 이송을 안정적으로 안내할 수 있어, 불안정한 이송에 따른 창 플레이트의 스크래치, 소음 및 진동의 발생을 방지할 수 있는 창 슬라이딩 안내장치 및 이를 구비한 반도체소자 몰딩시스템용 자동창을 제공하는 데 있다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 고안의 반도체소자 몰딩시스템용 자동창은 개구부가 형성되어 있는 몸체, 상기 개구부에 대응되는 크기를 가지며 상기 개구부의 일측에서 상기 개구부를 개폐하기 위해 왕복이송되도록 상기 몸체에 구비되어 있는 창 플레이트, 상기 창 플레이트가 왕복이송되도록 구동력을 제공하는 구동부, 및 상기 개구부의 일측에 설치되고 상기 창 플레이트의 표면을 가압하며 상기 창 플레이트 표면에 따라 회전하는 하나 이상의 롤러를 포함하는 창 슬라이딩 안내장치를 포함한다.
상기 창 슬라이딩 안내장치는 상기 하나 이상의 롤러의 이물질을 각각 제거하는 하나 이상의 클리닝부를 포함할 수 있다.
상기 몸체는 상기 창 플레이트의 이송방향과 직각으로 상기 개구부의 일측에 평행하게 설치되어 있는 프레임을 포함하되, 상기 구동부는 상기 프레임에 의해 지지되도록 상기 몸체에 설치되고, 상기 창 슬라이딩 안내장치는 상기 프레임에 고정설치될 수 있다.
상기 구동부는 일단은 상기 몸체에 고정설치되고 타단은 상기 프레임에 의해 지지되는 실린더, 및 일단부는 상기 실린더 내에 설치되고 타단은 상기 창 플레이트에 결합되며 상기 실린더 내 유체의 압력변화에 따라 왕복이송되는 로드를 포함 할 수 있다.
상기 창 슬라이딩 안내장치는 상기 프레임에 대한 위치를 조절하거나 상기 프레임에 탈착될 수 있도록 상기 프레임을 고정 또는 해제하는 고정부재를 더 포함할 수 있다.
본 고안의 창 슬라이딩 안내장치는 상기 창 플레이트의 표면과 밀착되고 상기 창 플레이트의 이송에 따라 회전하여 그 이송을 안내하는 하나 이상의 롤러, 상기 하나 이상의 롤러를 지지하는 지지부, 및 상기 지지부를 상기 기기의 측벽에 고정시키는 고정부재를 포함한다.
상기 창 슬라이딩 안내장치는 상기 하나 이상의 롤러의 이물질을 각각 제거하는 하나 이상의 클리닝부를 더 포함할 수 있다.
상기 하나 이상의 클리닝부는 상기 롤러의 표면에 점착되어 있는 이물질을 제거하는 브러쉬, 및 상기 브러쉬를 상기 지지부에 고정시키는 브러쉬고정부재를 각각 포함할 수 있다.
상기 하나 이상의 롤러는 제1ㆍ제2롤러의 한 쌍의 롤러로 구비되고, 상기 지지부는 상기 제1ㆍ제2롤러를 각각 지지하는 제1ㆍ제2지지부재, 및 상기 제1ㆍ제2지지부재를 연결하는 연결부재를 포함할 수 있다.
상기 제1ㆍ제2롤러는 상기 제1ㆍ제2지지부재에 각각 설치된 제1ㆍ제2축에 회전으로 인한 마찰을 감소시키는 하나 이상의 베어링에 의해 각각 결합될 수 있다.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 고안의 실시예에 대하여 본 고안 이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 고안은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 그 범위가 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
이하, 첨부된 도 3 내지 도 7을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시예에 따른 반도체소자 몰딩시스템용 자동창의 구성 및 작용효과를 구체적으로 설명한다.
도 3에 도시되어 있는 바와 같이, 본 고안의 바람직한 실시예에 따른 상기 반도체소자 몰딩시스템용 자동창은 몸체(100), 창 플레이트(200), 구동부(300), 및 창 슬라이딩 안내장치(400)를 포함한다.
상기 몸체(100)는 일반적으로 상기 반도체소자 몰딩시스템의 외부 케이스 측벽이나, 이 측벽에 구비된 도어(door)이다. 상기 몸체(100)에는 개구부(110)가 형성되어 이 개구부(110)를 통해 외부의 작업자가 상기 반도체소자 몰딩시스템 내부의 장치에 대한 유지보수를 수행하게 된다.
상기 몸체(100)에는 상기 창 플레이트(200)가 상기 개구부(110)를 개폐할 수 있도록 그 이송을 안내하는 가이드부(120)가 구비된다. 상기 가이드부(120)는 일반적으로 플레이트형 물체를 안내할 때 사용되는 한 쌍의 'ㄷ'자형 프레임이 사용된다. 상기 한 쌍의 'ㄷ'자형 프레임 내측의 상기 창 플레이트(200)와 접촉되는 부위는 수지물질과 같은 완충부재(미도시)가 구비될 수 있다.
그리고, 상기 몸체(100)에는 상기 구동부(300)를 지지하는 프레임(130)이 구비되고, 상기 프레임(130)의 하부로 상기 창 플레이트(200)가 왕복이송된다.
상기 창 플레이트(200)는 상기 가이드부(120)에 의해 안내되어, 상기 개구 부(110)를 개폐할 수 있도록 상기 몸체(100)에 설치된다. 상기 창 플레이트(200)는 투명하게 제조되고, 쉽게 파손되지 않는 아크릴판으로 구비됨이 바람직하나 그 재질이 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
상기 구동부(300)는 상기 창 플레이트(200)를 이송시키는 구동력을 제공한다. 본 고안의 바람직한 실시예에 따른 반도체소자 몰딩시스템용 자동창에 있어서, 상기 구동부(300)는, 도 3에 도시되어 있는 바와 같이, 실린더(310), 및 로드(320)를 포함한다.
상기 실린더(310)는 일단은 상기 몸체(100)에 고정설치되고, 타단은 상기 프레임(130)에 의해 지지되며, 상기 창 플레이트(200)를 이송시키는 동력을 발생시킨다. 상기 실린더(310)의 내부에는 상기 로드(320)가 설치되고, 상기 실린더(310)에는 공압기(Air compressor)가 연결되어 그 내부의 공압변화에 따라 상기 로드(320)가 왕복이송될 수 있도록 구비된다.
상기 로드(320)는 상기 실린더(310)의 동력을 상기 창 플레이트(200)에 전달하여 상기 창 플레이트(200)를 이송시킨다. 상기 로드(320)는 일단부가 상기 실린더(310)의 내부에 설치되고, 타단은 상기 창 플레이트(200)에 결합되어 상기 실린더(310) 내의 공압변화에 따라 왕복이송될 수 있도록 구비된다. 즉, 상기 로드(320)는 상기 실린더(310) 내의 공압변화에 따라 이송되어, 상기 창 플레이트(200)를 이송시키는 것이다.
본 고안의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 구동부(300)는 공압실린더의 형태로 구비되었으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 유압실린더 또는 모터 와 기어의 조합으로 구성될 수도 있다.
한편, 전술되어진 창 슬라이딩 안내장치(400)는 상기 창 플레이트(200)가 이송될 때, 상기 프레임(130)에 접촉되지 않도록 안정되게 상기 창 플레이트(200)의 이송을 안내한다. 이하, 도 5 내지 도 7을 참조하여, 상기 창 슬라이딩 안내장치(400)에 대하여 구체적으로 설명한다.
상기 창 슬라이딩 안내장치(400)는 롤러(410), 지지부(420), 고정부재(430), 및 클리닝부(440)를 포함한다.
상기 롤러(410)는 상기 창 플레이트(200)의 이송에 따라 회전하여 그 이송을 안내하도록 상기 창 플레이트(200)의 표면과 밀착되는 제1ㆍ제2롤러(410a, 410b)로 구비된다. 상기 제1ㆍ제2롤러(410a, 410b)는 상기 창 플레이트(200)의 표면에 밀착된 상태로 가압하여 상기 창 플레이트(200)가 상기 프레임(130)과 접촉되는 것을 방지하는 것이다.
상기 지지부(420)는, 도 6에 도시되어 있는 바와 같이, 제1ㆍ제2지지부재(421a, 421b), 및 연결부재(422)를 포함한다. 상기 제1ㆍ제2지지부재(421a, 421b)는 상기 제1ㆍ제2롤러(410a, 410b)를 각각 지지하고, 상기 연결부재(422)는 상기 제1ㆍ제2지지부재(421a, 421b)를 연결한다.
상기 제1ㆍ제2지지부재(421a, 421b)에는 제1ㆍ제2축(S1, S2)이 각각 설치된다. 그리고, 도 7에 도시되어 있는 바와 같이, 상기 제1ㆍ제2축(S1, S2)은 각각 상기 회전으로 인한 마찰을 감소시키는 한 쌍의 베어링(B)에 의해 상기 제1ㆍ제2롤러(410a, 410b)와 결합된다. 이와 같이 상기 제1ㆍ제2축(S1, S2)과 한 쌍의 베어 링(B)이 구비된 형태로, 상기 제1ㆍ제2지지부재(421a, 421b)가 상기 제1ㆍ제2롤러(410a, 410b)를 지지하는 것이다.
상기 연결부재(422)는 상기 제1ㆍ제2지지부재(421a, 421b)를 연결함으로써, 상기 제1ㆍ제2롤러(410a, 410b)가 평행하게 설치된 상태에서 상기 창 플레이트(200)의 표면과 밀착될 수 있도록 한다. 또한, 상기 연결부재(422)에는 상기 고정부재(430)가 설치되어, 상기 프레임(130)에 대한 상기 제1ㆍ제2롤러(410a, 410b)의 위치를 고정시킨다.
본 고안의 바람직한 실시예에 있어서 상기 지지부(420)는 상기 제1ㆍ제2지지부재(421a, 421b)와 상기 연결부재(422)의 조합으로 구성되었으나, 이에 한정되지 않고 상기 제1ㆍ제2지지부재(421a, 421b)와 상기 연결부재(422)가 일체로 형성될 수도 있다.
또한, 제1ㆍ제2지지부재(421a, 421b)는 상기 한 쌍의 베어링(B)에 의해 상기 제1ㆍ제2롤러(410a, 410b)와 결합되었으나, 반드시 한 쌍의 베어링으로 결합되도록 그 개수가 한정되는 것은 아니다. 또한, 회전에 의한 마찰을 감소시키는 구성 요소가 반드시 베어링으로 한정되는 것도 아니다. 뿐만 아니라, 상기 롤러(410)와 상기 지지부재(421)는 각각 한 쌍으로 구비되었으나, 그 개수가 한 쌍으로 한정되는 것은 아니다.
상기 고정부재(430)는 상기 프레임(130)에 대한 상기 창 슬라이딩 안내장치(400)의 위치를 조절하거나, 상기 프레임(130)에 상기 창 슬라이딩 안내장치(400)를 탈착시킬 수 있도록 상기 프레임(130)을 고정 또는 해제한다.
상기 고정부재(430)는, 도 6에 도시되어 있는 바와 같이, 상기 연결부재(422)에 고정결합되는 한 쌍의 'ㄴ'자형 부재로 구비된다. 상기 한 쌍의 'ㄴ'자형 부재의 사이에 상기 프레임(130)이 위치되면 이를 가압한 상태로 상기 한 쌍의 'ㄴ'자형 부재를 상기 연결부재(422)에 고정결합시켜 상기 프레임(130)을 고정하는 것이다.
그러나, 상기 고정부재(430)의 형태는 이에 한정되는 것은 아니고, 상기 창 슬라이딩 안내장치(400)를 상기 프레임(130)에 고정시킬 수 있는 형태의 부재라면 어떤 것이든 자유롭게 사용될 수 있다. 또한, 본 고안의 바람직한 실시예에 있어서는, 상기 고정부재(430)가 상기 프레임(130)을 가압 또는 해제하는 형태로 구비되었으나, 상기 창 슬라이딩 안내장치(400)는 상기 몸체(100)에 구비된 다른 형태의 구조물에 고정되는 형태로 구비될 수도 있다.
상기 클리닝부(440)는 상기 롤러(410)의 표면에 점착된 이물질을 제거한다. 이를 위해, 도 6에 도시되어 있는 바와 같이, 상기 클리닝부(440)는 브러쉬(441), 및 브러쉬고정부재(442)를 포함한다.
상기 브러쉬(441)는 상기 롤러(410)의 표면에 밀착되도록 설치되어, 상기 롤러(410)의 회전에 따라 상기 롤러(410)의 표면을 쓸면서 상기 롤러(410)의 표면에 점착된 이물질을 제거한다. 상기 브러쉬고정부재(442)는 상기 브러쉬(441)가 상기 롤러(410)의 표면에 밀착 설치된 상태로 상기 브러쉬(441)를 상기 연결부재(422)에 고정시킨다.
본 고안의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 클리닝부(440)는 상기 롤러(410) 의 표면에 밀착 설치된 브러쉬(441)로 구비되었으나, 이에 한정되지 않고 상기 롤러(410)의 표면을 클리닝할 수 있는 부재, 예를 들어 스펀지 등과 같은 부재 등이 자유롭게 사용될 수 있다. 또한, 상기 브러쉬고정부재(442)는 상기 연결부재(422)에 고정되도록 구비되었으나, 상기 지지부(420)에 고정되도록 구비될 수도 있다.
또한, 본 고안의 바람직한 실시예에 있어서, 상술한 바와 같은 상기 창 슬라이딩 안내장치(400)는 상기 프레임(130)에 일정한 간격을 두고 한 쌍이 설치되었으나, 이에 한정되는 것은 아니고 요구되는 사양에 따라 하나 이상이 자유롭게 설치될 수 있다.
또한, 상기 창 슬라이딩 안내장치(400)가 상기 프레임(130)에 고정되지 않고, 상기 몸체(100)에 형성된 다른 형태의 구조물에 고정될 수도 있음은 전술한 바와 같다.
이상 살펴본 바와 같이, 본 고안의 반도체소자 몰딩시스템용 자동창에 의하면, 창 플레이트의 표면에 밀착되는 롤러가 구비된 창 슬라이딩 안내장치가 구비됨으로써 상기 창 플레이트가 프레임과 접촉되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 상기 창 플레이트와 상기 프레임의 접촉에 의한 스크래치의 발생을 방지할 수 있다.
또한, 상기 창 슬라이딩 안내장치가 상기 창 플레이트의 이송을 안정적으로 안내함으로써, 불안정한 이송에 따른 소음 및 진동의 발생을 방지할 수 있다.
이상에서 본 고안은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만, 본 고안의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어 명백 한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부되어 있는 실용신안등록청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (10)

  1. 개구부가 형성되어 있는 몸체;
    상기 개구부에 대응되는 크기를 가지며, 상기 개구부의 일측에서 상기 개구부를 개폐하기 위해 왕복이송되도록 상기 몸체에 구비되어 있는 창 플레이트;
    상기 창 플레이트가 왕복이송되도록 구동력을 제공하는 구동부; 및
    상기 개구부의 일측에 설치되고, 상기 창 플레이트의 표면을 가압하며, 상기 창 플레이트 표면에 따라 회전하는 하나 이상의 롤러를 포함하는 창 슬라이딩 안내장치;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체소자 몰딩시스템용 자동창.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 창 슬라이딩 안내장치는,
    상기 하나 이상의 롤러의 이물질을 각각 제거하는 하나 이상의 클리닝부;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 반도체소자 몰딩시스템용 자동창.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 몸체는,
    상기 창 플레이트의 이송방향과 직각으로 상기 개구부의 일측에 평행하게 설치되어 있는 프레임;
    을 포함하되, 상기 구동부는 상기 프레임에 의해 지지되도록 상기 몸체에 설치되고, 상기 창 슬라이딩 안내장치는 상기 프레임에 고정설치되어 있는 것을 특징으로 하는 상기 반도체소자 몰딩시스템용 자동창.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 구동부는,
    일단부는 상기 몸체에 고정설치되고, 타단부는 상기 프레임에 의해 지지되는 실린더; 및
    일단부는 상기 실린더 내에 설치되고, 타단은 상기 창 플레이트에 결합되며, 상기 실린더 내 유체의 압력변화에 따라 왕복이송되는 로드;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 반도체소자 몰딩 시스템용 자동창.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 창 슬라이딩 안내장치는,
    상기 프레임에 대한 위치를 조절하거나 상기 프레임에 탈착될 수 있도록 상기 프레임을 고정 또는 해제하는 고정부재;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 반도체소자 몰딩시스템용 자동창.
  6. 기기의 측벽에 형성된 개구부를 개폐하도록 이송되는 창 플레이트를 안내하는 장치에 있어서,
    상기 창 플레이트의 표면과 밀착되고, 상기 창 플레이트의 이송에 따라 회전하여 그 이송을 안내하는 하나 이상의 롤러;
    상기 하나 이상의 롤러를 지지하는 지지부; 및
    상기 지지부를 상기 기기의 측벽에 고정시키는 고정부재;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 창 슬라이딩 안내장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 하나 이상의 롤러의 이물질을 각각 제거하는 하나 이상의 클리닝부;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 창 슬라이딩 안내장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 하나 이상의 클리닝부는,
    상기 롤러의 표면에 점착되어 있는 이물질을 제거하는 브러쉬; 및
    상기 브러쉬를 상기 지지부에 고정시키는 브러쉬고정부재;
    를 각각 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 창 슬라이딩 안내장치.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 하나 이상의 롤러는,
    제1ㆍ제2롤러의 한 쌍의 롤러로 구비되고,
    상기 지지부는,
    상기 제1ㆍ제2롤러를 각각 지지하는 제1ㆍ제2지지부재; 및
    상기 제1ㆍ제2지지부재를 연결하는 연결부재;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 창 슬라이딩 안내장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제1ㆍ제2롤러는,
    상기 제1ㆍ제2지지부재에 각각 설치된 제1ㆍ제2축에 회전으로 인한 마찰을 감소시키는 하나 이상의 베어링에 의해 각각 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 상기 창 슬라이딩 안내장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101365045B1 (ko) * 2012-04-27 2014-02-21 주식회사 테라세미콘 기판 처리 장치

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