CN209880570U - 高效型硅片导片机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及硅片加工设备领域，尤其是高效型硅片导片机。该导片机包括皮带输送机、花篮一、花篮一升降台、花篮二、花篮二升降台、皮带清污机构、出片机构和进片机构，所述皮带输送机的平台底部设有花篮一升降台和花篮二升降台，花篮一升降台的移动端上设有花篮一，花篮二升降台的移动端上设有花篮二。本实用新型通过皮带输送机进行硅片的传送。通过花篮一升降台驱使花篮一进行升降，从而可以配合输送台，将花篮一内的硅片导出。通过花篮二升降台驱使花篮二进行升降，从而可以配合输送台，将输送过来的硅片全部装载到花篮二内。通过皮带清污机构清理皮带上的污物，从而避免污染硅片。本申请提高了硅片导片的效率。

Description

高效型硅片导片机

技术领域

本实用新型涉及硅片加工设备领域，尤其是高效型硅片导片机。

背景技术

硅片在加工运输的过程中，需要将硅片从一个花篮内，传送到另一个花篮内。但是现有的硅片导片的效率较低。

实用新型内容

为了解决背景技术中描述的技术问题，本实用新型提供了一种高效型硅片导片机。通过皮带输送机进行硅片的传送。通过花篮一升降台驱使花篮一进行升降，从而可以配合输送台，将花篮一内的硅片导出。通过花篮二升降台驱使花篮二进行升降，从而可以配合输送台，将输送过来的硅片全部装载到花篮二内。通过皮带清污机构清理皮带上的污物，从而避免污染硅片。本申请提高了硅片导片的效率。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种高效型硅片导片机，包括皮带输送机、花篮一、花篮一升降台、花篮二、花篮二升降台、皮带清污机构、出片机构和进片机构，所述皮带输送机的平台底部设有花篮一升降台和花篮二升降台，花篮一升降台的移动端上设有花篮一，花篮二升降台的移动端上设有花篮二，花篮一和花篮二分别位于皮带输送机两端，皮带输送机的平台一端开设有用于穿过花篮一的穿口，平台另一端开设有用于穿过花篮二的穿口，皮带输送机的平台两端分别固定有出片机构和进片机构，皮带输送机的平台底端安装有皮带清污机构。

具体地，所述皮带输送机由传动辊、皮带和驱动电机组成，平台两端分别转动连接有传动辊，其中一端的传动辊固定在驱动电机的输出轴上，驱动电机固定在平台上，两个传动辊均贴合在皮带内圈，平台上开设有穿槽，皮带位于平台的穿槽内。

具体地，所述花篮一升降台由直线模组一和定位板一组成，直线模组一的滑座固定有定位板一，定位板一上设有用于定位花篮一的定位销。

具体地，所述花篮二升降台由直线模组二和定位板二组成，直线模组二的滑座固定有定位板二，定位板二上设有用于定位花篮二的定位销。

具体地，所述皮带清污机构由转动马达、锥齿轮一、锥齿轮二、框体、固定板和毛体组成，框体固定在皮带输送机的平台底面，框体的侧端固定有转动马达，转动马达的输出轴上固定有锥齿轮一，锥齿轮一与锥齿轮二相啮合，锥齿轮二转动连接在框体内，锥齿轮二通过支架固定在固定板上，固定板上固定有毛体，毛体与皮带输送机的皮带相贴合。

具体地，所述出片机构由出片气缸和推板组成，出片气缸的缸体固定在皮带输送机的平台上，出片气缸的活塞杆端固定有推板。

具体地，所述进片机构由水平直线模组、旋转电机和板体组成，水平直线模组的缸体固定在皮带输送机的平台底面，水平直线模组的滑座上固定有旋转电机，旋转电机的输出轴上固定有板体。

本实用新型的有益效果是：本实用新型提供了一种高效型硅片导片机。通过皮带输送机进行硅片的传送。通过花篮一升降台驱使花篮一进行升降，从而可以配合输送台，将花篮一内的硅片导出。通过花篮二升降台驱使花篮二进行升降，从而可以配合输送台，将输送过来的硅片全部装载到花篮二内。通过皮带清污机构清理皮带上的污物，从而避免污染硅片。本申请提高了硅片导片的效率。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的结构示意图；

图中1.皮带输送机，2.花篮一，3.花篮一升降台,4.花篮二，5.花篮二升降台，6.皮带清污机构，7.出片机构，8.进片机构，11.传动辊，12.皮带，13.驱动电机，31.直线模组一，32.定位板一，51.直线模组二，52.定位板二，61.转动马达，62.锥齿轮一，63.锥齿轮二，64.框体，65.固定板,66.毛体，71.出片气缸，72.推板，81.水平直线模组，82.旋转电机，83.板体。

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

图1是本实用新型的结构示意图。

一种高效型硅片导片机，包括皮带输送机1、花篮一2、花篮一升降台3、花篮二4、花篮二升降台5、皮带清污机构6、出片机构7和进片机构8，所述皮带输送机1的平台底部设有花篮一升降台3和花篮二升降台5，花篮一升降台3的移动端上设有花篮一2，花篮二升降台5的移动端上设有花篮二4，花篮一2和花篮二4分别位于皮带输送机1两端，皮带输送机1的平台一端开设有用于穿过花篮一2的穿口，平台另一端开设有用于穿过花篮二4的穿口，皮带输送机1的平台两端分别固定有出片机构7和进片机构8，皮带输送机1的平台底端安装有皮带清污机构6。所述皮带输送机1由传动辊11、皮带12和驱动电机13组成，平台两端分别转动连接有传动辊11，其中一端的传动辊11固定在驱动电机13的输出轴上，驱动电机13固定在平台上，两个传动辊11均贴合在皮带12内圈，平台上开设有穿槽，皮带12位于平台的穿槽内。所述花篮一升降台3由直线模组一31和定位板一32组成，直线模组一31的滑座固定有定位板一32，定位板一32上设有用于定位花篮一2的定位销。所述花篮二升降台5由直线模组二51和定位板二52组成，直线模组二51的滑座固定有定位板二52，定位板二52上设有用于定位花篮二4的定位销。所述皮带清污机构6由转动马达61、锥齿轮一62、锥齿轮二63、框体64、固定板65和毛体66组成，框体64固定在皮带输送机1的平台底面，框体64的侧端固定有转动马达61，转动马达61的输出轴上固定有锥齿轮一62，锥齿轮一62与锥齿轮二63相啮合，锥齿轮二63转动连接在框体64内，锥齿轮二63通过支架固定在固定板65上，固定板65上固定有毛体66，毛体66与皮带输送机1的皮带12相贴合。所述出片机构7由出片气缸71和推板72组成，出片气缸71的缸体固定在皮带输送机1的平台上，出片气缸71的活塞杆端固定有推板72。所述进片机构8由水平直线模组81、旋转电机82和板体83组成，水平直线模组81的缸体固定在皮带输送机1的平台底面，水平直线模组81的滑座上固定有旋转电机82，旋转电机82的输出轴上固定有板体83。

直线模组为电机驱动滚珠丝杠旋转，旋转的滚珠丝杠驱使与之螺纹连接的滚珠螺母进行直线移动，与滚珠螺母外圈固定的滑座就与其同步移动。

如附图1所示，花篮一升降台3的滑座可以驱使花篮一2穿过皮带输送机1平台上的穿口进行上下移动。花篮二升降台5的滑座可以驱使花篮二4穿过平台上的穿口进行上下移动。

皮带输送机1的工作方式为，两条相互平行的皮带12张紧在左右两端的传动辊11上，驱动电机13的输出轴驱使传动辊11进行旋转，旋转的传动辊11通过摩擦力带动两条皮带12进行传动。皮带12就可以通过摩擦力带动硅片进行水平移动。

首先将装满硅片的花篮一2定位在花篮一升降台3的定位板一32上，将空的花篮二4定位在花篮二升降台5的定位板二52上。此时花篮一2位于皮带输送机1上方。而出片气缸71驱使推板72水平移动并穿过花篮一2，将花篮一2最底部的第一个硅片推出花篮一2，推出花篮一2的硅片则落在两条平行的皮带12上。由皮带12将硅片往花篮二4的方向水平移动。接着直线模组一31驱使花篮一2往下移动，直到花篮一2内第二个硅片下移到推板72前方，再由推板72将硅片推出到皮带12上，直到将花篮一2内全部的硅片逐一移出。

当硅片被传送道皮带12出料端时，水平直线模组81将水平状态的板体83移动至最靠近花篮一2的位置。然后旋转电机82的输出轴驱使板体83旋转，使得板体83穿出两条皮带12之间，从而来到硅片的外侧。接着水平直线模组81驱使板体83往花篮二4的方向水平移动，这样板体83就能将硅片从皮带12上推入到花篮二4内。当第一片硅片被传送到花篮二4内最高处的卡槽内之后，直线模组二51驱使花篮二4往上移动，使得花篮二4下方空置的卡槽处于皮带输送机1出料口正前方，从而将第二个硅片插入到该卡槽内。持续上述方式，就可以将花篮一2内的硅片逐一传送到花篮二4内。最后取走花篮一2和花篮二4。

皮带清污机构6的工作方式为，转动马达61驱使锥齿轮一62旋转，旋转的锥齿轮一62驱使与之啮合的锥齿轮二63旋转，旋转的锥齿轮二63带动固定板65及固定板65上的毛体66水平旋转。旋转的毛体66就能将皮带12上沾染的污物刮除。这样皮带12上的污物就不会沾染在硅片上。

以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (7)

1.一种高效型硅片导片机，其特征是，包括皮带输送机(1)、花篮一(2)、花篮一升降台(3)、花篮二(4)、花篮二升降台(5)、皮带清污机构(6)、出片机构(7)和进片机构(8)，所述皮带输送机(1)的平台底部设有花篮一升降台(3)和花篮二升降台(5)，花篮一升降台(3)的移动端上设有花篮一(2)，花篮二升降台(5)的移动端上设有花篮二(4)，花篮一(2)和花篮二(4)分别位于皮带输送机(1)两端，皮带输送机(1)的平台一端开设有用于穿过花篮一(2)的穿口，平台另一端开设有用于穿过花篮二(4)的穿口，皮带输送机(1)的平台两端分别固定有出片机构(7)和进片机构(8)，皮带输送机(1)的平台底端安装有皮带清污机构(6)。

2.根据权利要求1所述的高效型硅片导片机，其特征在于：所述皮带输送机(1)由传动辊(11)、皮带(12)和驱动电机(13)组成，平台两端分别转动连接有传动辊(11)，其中一端的传动辊(11)固定在驱动电机(13)的输出轴上，驱动电机(13)固定在平台上，两个传动辊(11)均贴合在皮带(12)内圈，平台上开设有穿槽，皮带(12)位于平台的穿槽内。

3.根据权利要求1所述的高效型硅片导片机，其特征在于：所述花篮一升降台(3)由直线模组一(31)和定位板一(32)组成，直线模组一(31)的滑座固定有定位板一(32)，定位板一(32)上设有用于定位花篮一(2)的定位销。

4.根据权利要求1所述的高效型硅片导片机，其特征在于：所述花篮二升降台(5)由直线模组二(51)和定位板二(52)组成，直线模组二(51)的滑座固定有定位板二(52)，定位板二(52)上设有用于定位花篮二(4)的定位销。

5.根据权利要求1所述的高效型硅片导片机，其特征在于：所述皮带清污机构(6)由转动马达(61)、锥齿轮一(62)、锥齿轮二(63)、框体(64)、固定板(65)和毛体(66)组成，框体(64)固定在皮带输送机(1)的平台底面，框体(64)的侧端固定有转动马达(61)，转动马达(61)的输出轴上固定有锥齿轮一(62)，锥齿轮一(62)与锥齿轮二(63)相啮合，锥齿轮二(63)转动连接在框体(64)内，锥齿轮二(63)通过支架固定在固定板(65)上，固定板(65)上固定有毛体(66)，毛体(66)与皮带输送机(1)的皮带(12)相贴合。

6.根据权利要求1所述的高效型硅片导片机，其特征在于：所述出片机构(7)由出片气缸(71)和推板(72)组成，出片气缸(71)的缸体固定在皮带输送机(1)的平台上，出片气缸(71)的活塞杆端固定有推板(72)。

7.根据权利要求1所述的高效型硅片导片机，其特征在于：所述进片机构(8)由水平直线模组(81)、旋转电机(82)和板体(83)组成，水平直线模组(81)的缸体固定在皮带输送机(1)的平台底面，水平直线模组(81)的滑座上固定有旋转电机(82)，旋转电机(82)的输出轴上固定有板体(83)。