CN220925621U - 一种适用超薄板材的下料装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种适用超薄板材的下料装置，包括底座、安装在所述底座上的驱动机构、由所述驱动机构驱动的用于吸住并固定住板材的吸附平台、以及位于所述吸附平台附近的扫描机构，其中，所述驱动机构用于驱动吸附平台在竖直方向上的升降和旋转，以及在横向方向和纵向方向上的前进和后退。采用该结构后，对板材位置进行校正时，不用与板材直接进行接触，避免板材变形。

Description

一种适用超薄板材的下料装置

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，具体涉及一种适用超薄板材的下料装置。

背景技术

半导体产业中，板材传输是产线连接的重要纽带，是避不开的重要环节，行业内常规的传输方式有滚轮、皮带、机械臂等。

目前在超薄封装基板的相关工艺中，由于超薄封装基板一般为0.08mm-0.1mm，这样由于自身柔软刚性不足，使得基板极易变形坍塌。而且基板的传送过程中不可避免地会产生位置偏差，常规的整列方式(单边挤压整列等)对于超薄基板不适用，整列过程中基板有变形风险。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种适用超薄板材的下料装置，采用该结构后，对板材位置进行校正时，不用与板材直接进行接触，避免板材坍塌变形。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

一种适用超薄板材的下料装置，包括底座、安装在所述底座上的驱动机构、由所述驱动机构驱动的用于吸住并固定住板材的吸附平台、以及位于所述吸附平台附近的扫描机构，其中，所述驱动机构用于驱动吸附平台在竖直方向上的升降和旋转，以及在横向方向和纵向方向上的前进和后退。

因为超薄基板厚度为0.08mm-0.1mm，该基板自身比较柔软刚性不足，采用单边挤压进行整列，容易变形坍塌。采用上述结构后，对板材位置进行校正时，通过调整吸附平台位置达到校正，这样不用与板材直接进行接触，从而避免板材变形坍塌。

作为本实用新型进一步的方案：所述吸附平台包括底板、和固定在底板上四个边缘真空吸块、一个横向真空吸块以及两个纵向真空吸块，其中，四个边缘真空吸块的表面、一个横向真空吸块表面以及两个纵向真空吸块表面齐平形成一个田字形吸附面，能够将所述板材吸住并固定住。采用这样的结构能防止板材的坍塌，而且，田字形吸附面与板材接触的位置都避让开板材中的功能区，避免污染损坏板材。

作为本实用新型进一步的方案：所述底板表面固定有一对气动滑台，两个所述纵向真空吸块分别安装在相对应的所述气动滑台，所述气动滑台为所述纵向真空吸块提供驱动力。采用上述结构，由于板材上的功能区大小不同从而导致各个功能区之间的间隙位置不同，通过调节两个纵向的纵向真空吸块，使其抵在板材的功能区之间有间隙上，这样可以避免与板材的功能区接触。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

图1是本实用新型一种适用超薄板材的下料装置的结构示意图；

图2是本实用新型为下料装置另一角度的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1和图2所示，本实用新型为一种适用超薄板材的下料装置，包括平台底座10、安装在平台底座10上的平台驱动机构20、由平台驱动机构20驱动的吸附平台30、以及安装在吸附平台30附近的扫描机构11。

扫描机构11包括多个定位相机(图中未示出)和多个相机光源13。

其中，平台驱动机构20用于驱动吸附平台30在竖直方向上的升降和旋转，以及在横向和纵向上的前进和后退。平台驱动机构20包括固定在平台底座10表面上的气缸21、由气缸21驱动升降的升降平台22、固定在升降平台22上的第一电机23、由第一电机23驱动的纵向移动平台24、固定在纵向移动平台24上的第二电机25、由第二电机25驱动的横向移动平台26、以及安装在横向移动平台26上的旋转电机27。吸附平台30安装在旋转电机27的输出端上。升降平台22和纵向移动平台24的表面都固定有一对滑轨28。纵向移动平台24和横向移动平台26的底面两侧都固定在相对应的两个滑轨28上。

吸附平台30包括底板31和固定在底板31上表面的四个边缘真空吸块34、一个横向真空吸块38以及两个纵向真空吸块37，其中，四个边缘真空吸块34的表面、一个横向真空吸块38表面以及两个纵向真空吸块37表面齐平形成一个田字形吸附面35能够将板材吸住并固定住。采用这样的结构，田字形吸附面35不仅能将板材吸住并固定住，防止板材的坍塌，而且，田字形吸附面35与板材接触的位置都避让开板材中的功能区，避免污染损坏板材。

底板31表面上固定有一对气动滑台39，两个纵向真空吸块37分别安装在相对应的气动滑台39，气动滑台37为纵向真空吸块37提供驱动力。采用上述结构，由于板材上的功能区大小不同从而导致各个功能区之间的间隙位置不同，通过调节两个纵向的纵向真空吸块37，使其抵在板材的功能区之间有间隙上，这样可以避免与板材的功能区接触。

当下料时，气缸21驱动吸附平台30上升，直至吸住且固定住板材，然后，气缸21驱动吸附平台30下降，然后由扫描机构11扫描后道传输带(图中未显示)位置，第一电机23、第二电机25及旋转电机27相互配合驱动吸附平台30移动保证板材落在后道传输带上位置的准确性，之后，板材传送给后道传输带并被传送出去。使用下料装置结构校正板材位置时，保证板材位置的准确性，避免板材坍塌变形。

以上对本实用新型的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。

Claims (5)

1.一种适用超薄板材的下料装置，其特征在于：包括底座、安装在所述底座上的驱动机构、由所述驱动机构驱动的用于吸住并固定住板材的吸附平台、以及位于所述吸附平台附近的扫描机构，其中，所述驱动机构用于驱动吸附平台在竖直方向上的升降和旋转，以及在横向方向和纵向方向上的前进和后退。

2.根据权利要求1所述的适用超薄板材的下料装置,其特征在于：所述驱动机构包括固定在所述底座表面的气缸、由所述气缸驱动升降的升降平台、固定在所述升降平台上的第一电机、由所述第一电机驱动的纵向移动平台、固定在所述纵向移动平台上的第二电机、由所述第二电机驱动的横向移动平台、以及安装在所述横向移动平台上的旋转电机，所述吸附平台安装在所述旋转电机的输出端上。

3.根据权利要求2所述的适用超薄板材的下料装置,其特征在于：所述升降平台和所述纵向移动平台的表面都固定有一对滑轨，所述纵向移动平台和所述横向移动平台的底面两侧都固定在相对应的两个所述滑轨上。

4.根据权利要求1所述的适用超薄板材的下料装置,其特征在于：所述吸附平台包括底板、和固定在底板表面上的四个边缘真空吸块、一个横向真空吸块以及两个纵向真空吸块，其中，四个边缘真空吸块的表面、一个横向真空吸块表面以及两个纵向真空吸块表面齐平形成一个田字形吸附面，能够将所述板材吸住并固定住。

5.根据权利要求4所述的适用超薄板材的下料装置,其特征在于：所述底板表面固定有一对气动滑台，两个所述纵向真空吸块分别安装在相对应的所述气动滑台，所述气动滑台为所述纵向真空吸块提供驱动力。