JPH0556928U - 自動基板裁断装置における清掃兼用搬送機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 作業効率が良く、装置を簡単な構造としてコ
ンパクト化を図ることができるものである。 【構成】 ガラス基板等の基板をカッターでスクライブ
し、ブレイク手段でブレイクして裁断するために基板を
搬送するに際し、テーブルＴ上で基板を吸着させて搬送
する吸着搬送手段11の移動側にテーブルＴ上面を清掃す
る清掃手段12を並設させて一体で移動可能とし、更に吸
着搬送手段11と清掃手段12をそれぞれ単独で作動しうる
ようにしてなり、移動と同時にテーブルＴ上面を清掃す
ることを特徴とするものである。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、二枚のガラス基板を重ね合わせて形成された、例えばそれぞれが個 々に液晶表示板を構成する複数の透明導電膜パターンが印刷された複層ガラス基 板である基板から各透明導電膜パターンを個々に有する単位複層ガラスに機械的 にスクライブしてブレイクする自動基板裁断装置にあって、これらを移動させる のと同時にテーブル上面を清掃することができる自動基板裁断装置における清掃 兼用搬送機に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

従来の自動基板裁断装置では、テーブル上で基板を吸着させて搬送する吸着搬 送手段とテーブル上面を清掃する清掃手段は別々の装置として設けられており、 吸着搬送手段の移動の合間に、この吸着搬送手段の移動方向に対して清掃手段が 横切るように移動してテーブル上面の清掃を行っている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかし、従来の自動基板裁断装置では、作業効率が悪く、装置が複雑なものに ならざるをえないという問題点がある。

【０００４】 そこで、本考案は、作業効率が良く、装置を簡単な構造としてコンパクト化を 図ることができる自動基板裁断装置における清掃兼用搬送機を提供しようとする ものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するために、ガラス基板等の基板をカッターでスクライブし、 ブレイク手段でブレイクして裁断するために基板を搬送するに際し、テーブル上 で基板を吸着させて搬送する吸着搬送手段の移動側にテーブル上面を清掃する清 掃手段を並設させて一体で移動可能とし、更に吸着搬送手段と清掃手段をそれぞ れ単独で作動しうるようにしてなり、移動と同時にテーブル上面を清掃すること を特徴とするものである。

【０００６】 また、後述する効果により、吸着搬送手段及び清掃手段を、テーブル上に載置 する基板の上方に位置させ、それぞれを単独で昇降自在としてなるものが好まし い。

【０００７】

【作用】

以上の如く本考案の自動基板裁断装置における清掃兼用搬送機によれば、吸着 搬送手段の移動側に清掃手段を並設させて一体で移動可能とし、吸着搬送手段と 清掃手段をそれぞれ単独で作動可能としているので、例えば吸着搬送手段にてテ ーブル上で基板を吸着させて搬送する際、或いは吸着搬送手段は基板を載置した テーブルまで全体を移動させる際に清掃手段を単独で作動させることにより、移 動と同時にテーブル上面を清掃することができる。

【０００８】 次に、吸着搬送手段及び清掃手段を、テーブル上に載置する基板の上方に位置 させ、それぞれを単独で昇降自在としてなるものを用いた場合、搬送又は清掃す る時には吸着搬送手段及び清掃手段をそれぞれ下降させることにより、また作動 させない時には吸着搬送手段及び清掃手段をそれぞれ上昇させた位置で待機させ ておくのである。

【０００９】

【実施例】

本考案の詳細を更に図示した実施例により説明する。 図１に示したものは、自動基板裁断装置における概略平面図であり、該自動基 板裁断装置Ｍは、図９の如く二枚のガラス基板１、２を重ね合わせて形成された 、例えばそれぞれが個々に液晶表示板を構成する複数の透明導電膜パターン３が 印刷された複層ガラス基板である基板４から各透明導電膜パターン３を個々に有 する単位複層ガラスに機械的にスクライブしてブレイクするものである。この自 動基板裁断装置Ｍは、図１に示すように入口側搬送部Ａ、第一裁断部Ｂ、中間搬 送部Ｃ、第二裁断部Ｄ、出口側搬送部Ｅの工程よりなり、更に図１に示すＣ１は 、複数個の基板４を離間して上下に並べて収納したカセット５を搬送する入口側 コンベアであり、Ｔ１は、入口側搬送テーブルであり、Ｔ２は、基板４をカッタ ー６でスクライブする第１スクライブテーブルであり、Ｔ３は、反転機７でスク ライブされた基板４を反転させる反転テーブルであり、Ｔ４は、スクライブされ た基板４をブレイク手段８でブレイクする第１ブレイクテーブルであり、Ｔ５は 、中間テーブルであり、同様にＴ６は、第２スクライブテーブルであり、Ｔ７は 、反転テーブルであり、Ｔ８は、第２ブレイクテーブルであり、Ｃ２は、裁断さ れた透明導電膜パターン３等を搬送する出口側コンベアである。そして、図１に 示すように入口側搬送テーブルＴ１から第１スクライブテーブルＴ２にかけて移 動しうる入口側清掃兼用搬送機９ａを設け、第１ブレイクテーブルＴ４から中間 テーブルＴ５及び第２スクライブテーブルＴ６にかけて移動しうる中間清掃兼用 搬送機９ｂを設け、第２ブレイクテーブルＴ８から出口側コンベアＣ２にかけて 移動しうる出口側清掃兼用搬送機９ｃを設け、更に第１スクライブテーブルＴ２ から反転テーブルＴ３にかけて移動しうる入口側搬送機10ａを設け、第２スクラ イブテーブルＴ６から反転テーブルＴ７にかけて移動しうる出口側搬送機10ｂを 設けている。更に、本考案のポイントである清掃兼用搬送機９ａ、９ｂ、９ｃは 、図１に示すようにそれぞれ吸着搬送手段11、清掃手段12を構成要件としている 。

【００１０】 まず、中間清掃兼用搬送機９ｂは、図２に示すようにテーブルＴ上で基板４を 吸着させて搬送する吸着搬送手段11の移動側である両側部にテーブルＴ上面を清 掃する清掃手段12を並設させて一体で移動可能として、吸着搬送手段11と清掃手 段12をそれぞれ単独で作動しうるようにしてなり、移動と同時にテーブルＴ上面 を清掃することを特徴とするものである。具体的には、吸着搬送手段11は、図２ 及び図３に示すように固定台13の側方に、調整用ねじ14の先端で支持台15の下面 より延設した支持片16を支持した状態で図１の如く支持台15を移動方向に配設す るように取り付け、この支持台15上面に案内用レール17とラックレール18を並行 配設し、該案内用レール17上を外被部材19を外被して走行自在とし、この上に走 行部材20を固定し、更に図３の如く走行部材20上に回転軸21の先端にピニオン22 を有する駆動用モーター23を前記ラックレール18とピニオン22が噛み合うように 取り付けることにより、駆動用モーター23の回転にて図２中の左右いずれにも案 内用レール17上を走行部材20が走行自在としている。更に、吸着搬送手段11は、 図２及び図３に示すように固定台13の側方に設けたテーブルＴに向かって延びる ように走行部材20より延設片25を延設し、この延設片25にロッド26が貫通するよ うに昇降用エアシリンダー27を取り付け、該昇降用エアシリンダー27の側方に内 部にベアリングを有する案内用軸受28、28を貫通して固定し、案内用軸受28にて 支持されるように案内杆29を貫通させ、案内杆29、29の先端にナット30、30で、 及び昇降用エアシリンダー27のロッド26の先端に連結継手31を介してナット32で 昇降片33を取り付け、この昇降片33より側方に取付片34・・を延設し、それぞれ の取付片34の先端に吸盤35を取り付け、この吸盤35の吸込口35′に特に図示しな いチューブで配管して、例えばブロア、真空ポンプ等で排気することにより吸盤 35・・で基板４表面を吸着して搬送可能としたものである。更に、清掃手段12は 、吸着搬送手段11の移動側に並設させて一体になるように前記走行部材20からテ ーブルＴに向かって延びるように延設片36を延設し、この延設片36にロッド37が 貫通するように昇降用エアシリンダー38を取り付け、該昇降用エアシリンダー38 の側方に内部にベアリングを有する案内用軸受39、39を貫通して固定し、該案内 用軸受39にて支持されるように案内杆40を貫通させ、案内杆40、40の先端に及び 昇降用エアシリンダー38のロッド37の先端に螺部を設けてナット41で取付板42を 取り付け、この取付板42に、図５の如く内部が中空であり、底面45ａを開放し、 上面45ｂに吸込部44を有するダクト45の底面45ａ外周に植毛部46を有する清掃部 47を設け、この吸込部44に特に図示しないチューブで配管して、例えばブロア、 真空ポンプ等で排気することにより清掃部47における植毛部46で基板４上の切屑 等を集め、吸い込んで清掃を行うことができるのである。

【００１１】 次に、清掃兼用搬送機９ｃは、図６に示すように前記清掃兼用搬送機９ｂと同 様に吸着搬送手段11′の移動側である一側にテーブルＴ上面を清掃する清掃手段 12を並設させて一体で移動可能としたものであり、清掃手段12は図４で示した前 記清掃手段12と同じ構造である。そして、吸着搬送手段11′も、一部同じ構造で あるが、図６及び図７に示すように、取付用板体48と、中空の枠体49の底面に板 形状であり且つ多孔質状の吸着部材50、例えば連続気泡を有する発泡プラスチッ クを用いたものを設けた枠体49を取付ボルト51と取付ナット52をコイルバネ53を 介在させた状態で取り付けたものである。図６中54は、吸込口であり、図７中55 は、枠体49と吸着部材50の間の中空を保持するための保持部材であり、ねじ56で 固定したものである。そして、吸込口54と特に図示しないチューブで配管して、 この吸着部材50を基板４表面にコイルバネ53・・でクッション性を持たせて当接 させた状態で、ブロア、真空ポンプ等で排気することにより、吸着部材50の背面 を減圧することにより基板４を吸着して搬送しうるようにしたものである。

【００１２】 また、清掃兼用搬送機９ａは、前記中間清掃兼用搬送機９ｂと同じ構造であり 、図１のように移動方向である右側のみに清掃手段12を設けたものである。 更に、入口側搬送機10ａ、出口側搬送機10ｂは、吸着搬送手段11のみからなる ものである。 また、反転機７は、基板４表面を例えば吸盤等で吸着して回転させることによ り、反転させるようにしたものである。

【００１３】 尚、図例の清掃兼用搬送機９は、エアーシリンダーを用いて、吸着搬送手段11 、清掃手段12における吸盤35・・或いは清掃部47を昇降自在としているが、電機 モーター等の他の駆動手段を用いて昇降自在とすることも可能であり、また、図 例の清掃兼用搬送機９のように吸着搬送手段11及び清掃手段12を、テーブルＴ上 に載置する基板４の上方に位置させ、それぞれを単独で昇降自在としているが、 吸着搬送手段11及び清掃手段12を、テーブルＴの側方に位置させそれぞれを単独 で出没自在とさせることにより、テーブルＴ上に載置する基板４に接するように することもできる。

【００１４】 而して、自動基板裁断装置Ｍによれば、図１に示すようにまず入口側搬送部Ａ の工程において、入口側コンベアＣ１で複数個の基板４を離間して積層すること により収納したカセット５が搬送され、入口側搬送テーブルＴ１上に図８の如く 二枚のガラス基板１、２を重ね合わせて形成された基板４が載置され、吸着搬送 手段11の吸盤35・・及び清掃手段12の植毛部46を上昇させた状態で駆動用モータ ー23が回転してピニオン22とラックレール18が噛み合うことにより案内用レール 17上を清掃兼用搬送機９ａが左端に移動し、そして図１の位置で吸着搬送手段11 の吸盤35・・のみが下降して図３に示すように基板４に接触した状態で図示しな いチューブを介して例えばブロア等で排気することにより吸盤35・・で基板４表 面を吸着した後、吸着搬送手段11が図３中距離ｌだけ上昇し、また図４中距離ｍ だけ清掃手段12の植毛部46が下降した後、駆動用モーター23が逆回転して清掃兼 用搬送機９ａが右側に移動されることにより、この植毛部46が第１スクライブテ ーブルＴ２上を清掃し、吸着搬送手段11が第１スクライブテーブルＴ２上まで移 動してこの位置で吸着搬送手段11が下降して図１中想像線で示すように基板４が 載置されるのである。

【００１５】 第一裁断部Ｂの工程では、図９（ａ）の如く入口側搬送テーブルＴ１上に基板 ４を水平に載置され、上方に向いた第１ガラス基板１をそれに印刷したスクライ ブマークＳＭで予め設定されたラインに沿って上方からガラスカッター６でスク ライブ56する。次に、入口側搬送機10ａにて、吸盤35・・にて基板４を同様に吸 着して、反転テーブルＴ３上に基板４を載置し、反転機７にて基板４を反転させ た状態で第１ブレイクテーブルＴ４上に水平状態で載置することができる。そし て、上方に向いた第２ガラス基板２の上方からブレイク手段８により図９（ｂ） の如く第１ガラス基板１のスクライブ56ラインに沿って押圧力を負荷させること で、第１ガラス基板１に図中一点鎖線状態で示すように曲げモーメントを付与し て、第１ガラス基板１をスクライブ56ラインに沿ってブレイク57させる。更に、 吸着搬送手段11の吸盤35・・及び清掃手段12、12の植毛部46を上昇させた状態で 中間清掃兼用搬送機９ｂを図１中左側に移動させて第１ブレイクテーブルＴ４上 に位置させ、吸着搬送手段11を下降して吸盤35・・で基板４を吸着した後上昇す るとともに、左側に位置する清掃手段12を下降させた状態で右側に移動すること により、移動と同時に第１ブレイクテーブルＴ４上の清掃を行うことができる。 そして、中間搬送部Ｃの工程では、中間清掃兼用搬送機９ｂが中間テーブルＴ５ まで移動すると左側に位置する清掃手段12が上昇するとともに、右側に位置する 清掃手段12が下降し、左側への移動と同時に第１ブレイクテーブルＴ６上の清掃 を行うことができ、吸着搬送手段11により第１ブレイクテーブルＴ６上に基板４ を載置し、その後中間清掃兼用搬送機９ｂが図１中左側に移動して中間テーブル Ｔ５上で待機する。

【００１６】 第二裁断部Ｄの工程では、図９（ｃ）の如く第１ブレイクテーブルＴ６上に 第２ガラス基板２を上方に向けて基板４を水平に載置され、同じくそれに印刷し たスクライブマークＳＭで予め設定されたラインに沿ってガラスカッター６でス クライブ56する。そして、同様に出口側搬送機10ｂの移動により反転テーブルＴ ７に基板４が載置され、同様に反転機７にて基板４を反転させた状態で第２ブレ イクテーブルＴ８上に水平状態で載置することができ、上方を向いた第１ガラス 基板１の上方からブレイク手段８によって第２ガラス基板２のスクライブ56ライ ンに沿って押圧力を負荷させることで、同じく第２ガラス基板２に曲げモーメン トを付与して、第２ガラス基板２をスクライブ56ラインに沿ってブレイク57させ る。そして、吸着搬送手段11′の吸着部50及び清掃手段12の植毛部46を上昇させ た状態で出口側清掃兼用搬送機９ｃを図１中左側に移動させて第２ブレイクテー ブルＴ８上に位置させ、吸着搬送手段11′を下降して吸着部50で透明導電膜パタ ーン３等に裁断された基板４を吸着した後上昇するとともに、左側に位置する清 掃手段12を下降させた状態で右側に搬送することにより、移動と同時に第２ブレ イクテーブルＴ８上の清掃を行うことができ、単位複層ガラスに裁断された基板 ４を出口側コンベアＣ２上まで、搬送することができる。更に、出口側搬送部Ｅ の工程では、出口側コンベアＣ２を用いて、単位複層ガラスに裁断された基板４ を搬送させることができる。 尚、上記のような方法で行うと、例えば縦350 ｍｍ×横300 ｍｍ×厚み2.2 ｍ ｍの２層ガラス基板４を縦150 ｍｍ×横280 ｍｍの大きさである単位複層ガラス の２枚に裁断する場合、ラインタクトが従来の方法であると126 秒であるのに対 して、106 秒で行うことができる。 また、同様に上記のような方法で行うと、例えば縦350 ｍｍ×横300 ｍｍ×厚 み2.2 ｍｍの２層ガラス基板４を縦80ｍｍ×横30ｍｍの大きさである単位複層ガ ラスの36枚に裁断する場合、ラインタクトが従来の方法であると185 秒であるの に対して、165 秒で行うことができるが実験的に証明されている。

【００１７】 このように本考案に係る代表的実施例の清掃兼用搬送機９によれば、例えば吸 着搬送手段11にてテーブルＴ上で基板４を吸着させて搬送する際、或いは吸着搬 送手段11は基板４を載置したテーブルＴまで全体を移動させる際に清掃手段12を 単独で作動させることにより、移動と同時にテーブルＴ上面を清掃することがで きるので、基板４を裁断するのに飛躍的に作業効率をあげることができ、また従 来のものと比べて、簡単な構造としてコンパクト化を図ることができる。

【００１８】

【考案の効果】

本考案は、上述のとおり構成されているので、次に記載する効果を奏する。 請求項１の自動基板裁断装置における清掃兼用搬送機によれば、例えば吸着搬 送手段にてテーブル上で基板を吸着させて搬送する際、或いは吸着搬送手段は基 板を載置したテーブルまで全体を移動させる際に清掃手段を単独で作動させるこ とにより、移動と同時にテーブル上面を清掃することができるので、基板を裁断 するのに飛躍的に作業効率をあげることができ、また従来のものと比べて、簡単 な構造としてコンパクト化を図ることができる。

【００１９】 請求項２の自動基板裁断装置における清掃兼用搬送機によれば、吸着搬送又は 清掃する時には吸着搬送手段及び清掃手段をそれぞれ下降させることにより、ま た作動させない時には吸着搬送手段及び清掃手段をそれぞれ上昇させた位置で待 機させておくので、吸着搬送手段及び清掃手段の移動距離を短くでき、よりコン パクトなものとすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】自動基板裁断装置における概略平面図

【図２】第１考案の清掃兼用搬送装置の平面図

【図３】同じく清掃兼用搬送装置における吸着搬送手段
の側面図

【図４】同じく清掃兼用搬送装置における清掃手段の側
面図

【図５】同じく清掃手段の概略縦断面図

【図６】第２考案の清掃兼用搬送装置の平面図

【図７】同じく清掃兼用搬送装置における吸着搬送手段
の一部断面側面図

【図８】複層ガラス基板の一例の一部を示す平面図

【図９】複層ガラス基板の裁断方法の工程手順を示す説
明図

【符号の説明】

Ｍ 自動基板裁断装置 １ ガラス基板 ２ ガラス基板 ３ 透明電導膜パターン ４ 基板 ５ カセット ６ カッター ７ 反転機 ８ ブレイク手段 ９ 入口側清掃兼用搬送機 10 搬送機 11 吸着搬送手段 12 清掃手段 13 固定台 14 調整用ねじ 15 支持台 16 支持片 17 案内用レール 18 ラックレール 19 外被部材 20 走行部材 21 回転軸 22 ピニオン 23 駆動用モーター 25 延設片 26 ロッド 27 昇降用エアシリンダー 28 案内用軸受 29 案内杆 30 ナット 31 連結継手 32 ナット 33 昇降片 34 取付片 35 吸盤 36 延設片 37 ロッド 38 昇降用エアシリンダー 39 案内用軸受 40 案内杆 41 ナット 42 取付板 44 吸込部 45 ダクト本体 46 植毛部 47 清掃部 48 取付用板体 49 枠体 50 吸着部材 51 取付ボルト 52 取付ナット 54 吸込口 55 保持部材 56 スクライブ 57 ブレイク

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガラス基板等の基板をカッターでスクラ
   イブし、ブレイク手段でブレイクして裁断するために基
   板を搬送するに際し、テーブル上で基板を吸着させて搬
   送する吸着搬送手段の移動側にテーブル上面を清掃する
   清掃手段を並設させて一体で移動可能とし、更に吸着搬
   送手段と清掃手段をそれぞれ単独で作動しうるようにし
   てなり、移動と同時にテーブル上面を清掃することを特
   徴とする自動基板裁断装置における清掃兼用搬送機。
2. 【請求項２】 吸着搬送手段及び清掃手段を、テーブル
   上に載置する基板の上方に位置させ、それぞれを単独で
   昇降自在としてなる請求項１記載の自動基板裁断装置に
   おける清掃兼用搬送機。